JPH01128499A - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 くイ）産業上の利用分野 本発明は電子回路基板等の基板を加工する工程で用いる
基板搬送装置に関する。

（ロ）　従来の技術 基板加工工程、例えば電子回路基板に電子部品を装着す
るといった工程においては、ＸＹテーブルのような基板
位置決め装置に基板を固定して、基板の任意の位置を加
工用工具（例えば電子・部品装着用真空チャック）に相
対させる、という構成をとることが多い。基板位置決め
装置に基板を取り付けたり、あるいはそこから基板を取
り外したりする作業も最近では殆ど自動化されている。

この作業に関連してローディングブリッジとアンローデ
ィングブリッジが用いられる。ローディングブリッジ、
基板位置決め装置、アンローディングブリッジは、この
順序に並んで基板の受け渡しを行なう、かかる装置の例
は、例えば特公昭５９−１２５６５号公報、特公昭６２
−１３８３７号公報に見ることができる。これらの例で
は基板受け渡し時のみ３者が集合し、それ以外の時はロ
ーディングブリッジとアンローディングブリッジが互の
間隔を広げて基板位置決め装置の移動空間を確保するの
であるが、両ブリ７ジの相互位置を不変に保ち、基板加
工作業は両ブリッジから脇にそれた場所で行ない、基板
受け渡し時のみ、基板位置決め装置が両ブリッジ間に帰
って来る、という構成をとることもある。

上記のような基板搬送装置は、大きさの異なる基板を取
り扱えるよう、搬送部の幅を調節できるようになってい
る。ローディングブリッジの幅とアンローディングブリ
ッジの幅を同期して変化させることは、実公昭５７−７
７２１３号公報に示されているが、実際にも広く行なわ
れている。しかるに基板位置決め装置の幅調節は、ロー
ディングブリッジ、アンローディングブリッジと同期し
て行なう適当な手段がなく（ローディングブリッジ、ア
ンロ−ディングブリッジ、基板位置決め装置をすべて電
動機で幅調節するものとすれば、３者の同期調節はもち
ろん可能であるが、このようにすると基板位置決め装置
の質量が増し、その高速化を阻害するので、この構造が
考慮されることはあまりない）、作業者が手操作で調節
することを余儀なくされていた。

（ハ）発明が解決しようとする問題点 本発明は、ローディングブリッジ・アンローディングブ
リッジの基板撤退幅調節に連動して基板位置決め装置の
基板搬送幅を調節でき、しかも基板位置決め装置の買置
を徒らに増大させることのない、基板位置決め装置への
動力補給ラインを増加させることもない、新規構成の基
板搬送装置を提供することを目的とする。

（ニ）問題点を解決するための手段 本発明において、ローデイ〉・グブリッジ及びアンロ−
ディングブリッジは相互間距離不変に設置され、共に可
動桁構造を有し、この可動桁構造を、これと平行する桁
構造に対し開閉動させることにより、基板搬送幅を調節
する。これらの可動桁構造の一方又は双方に、アクチュ
エータにより駆＠七しめらねる連結構造体を設ける。基
板位置決め装置も、基板搬送幅を調節すべく可動ガイド
レール構造を有するが、この可動ガイドレール構造は、
前記連結構造体に連結する運動伝達体を備えている。基
板位置決め装置中には可動ガイドレール構造に対し動力
補給なしに制動を維持するブレーキ機構を設置する。ブ
レーキ機構の制動解除装置は基板位置決め装置外に置く
。

（ホ）作用 基板加工作業が終了すると基板位置決め装置はローディ
ングブリッジとアンローディングブリッジの間に復帰す
る。ここでアクチュエータが作動すると、連結構造体が
運動伝達体に連結する。可動桁構造が開閉動すると、可
動ガイドレール構造もそれに伴なって開閉動する。この
時は、制動解除装置がブレーキ機構を制動解除状態に置
いており、６ｆ勤ガイドレール構造は自由に動き得る状
態にある。可動桁構造が動きを止めると可動ガイドレー
ル構造も新しい位置を得る。ここで制動解除装置が制動
解除の動きを止めることにより、可動ガイドレール構造
はその位置に固定される。

（＾、）実施例 まず第１図に基き装置のアウトラインを説明する。同図
において、（１）は加工すべき基板、（３）は基板（１
）を加工位置に移動させる基板位置決め装置、（５）は
基板位置決め装置く３）に未加工の基板（１）を送り込
むローディングブリッジ、（７）は基板位置決め装置（
３）から加工済基板を受け取るアンローディングブリッ
ジである。ローディングブリッジ（５）とアンローディ
ングブリッジ（７）の相互距離は不変である。基板加工
作業は両ブリッジ（５）（７）の脇の方で行なわれ、作
業が終わると基板位置決め装置（３）が両ブリッジ（５
）（７）の間隙に入り込み、基板（１）の受け渡しが行
なわれるものである。

次にローディングブリッジ（５）の構造を説明する。ロ
ーディングブリッジ（５）は、１対の平行する桁構造（
１０）（１１）により構成される。一方の桁構造（１１
）は、桁構造（１０）に対し開閉動可能、つまり桁構造
〈１０）からの距離を変えられるようになっている。開
閉動を生じさせるのは、第１２図に模型的に示す電動機
（１２〉と、これによって回転せしめられるねじ軸（１
３）である、以下の説明では、桁構造（１１）のことを
特に可動桁構造と呼ぶことにする。

桁構造（１０）と可動桁構造（１１）の互に向かい合う
縁部には、基板（１）の側縁を落とし込んで支える段部
（１４）が形設されている０段部（１４）の底の部分は
、ローディングブリッジ（５）の出口に近い僅かな個所
を除いて、その殆どを基板搬送ベルト（１５）（第６図
）によって構成されている。そして桁構造（１０）及び
可動桁構造（１１）の内面には、基板搬送ベルト（１５
）によって運ばれて来た基板（１）のオーバーランを防
ぐためのストッパ（１６）が設置される。

桁構造（１０）の側のストッパ〈１６）も可動桁構造＜
１１）の側のストッパ（１６）も基本的な仕組は同一な
ので、ここでは可動桁槽ｆｆ１（１１）のスト７パク１
６）についてその動作機構を説明する。ストッパ（１６
）そのものは、基板（１）の行く手に立ちはだかる板状
の部材であるが１、これは、板金製レバー（１８）の揺
動端に固定されている。レバー（１８）はストッパ退避
動作機構（１７）の−環をなすものであり、可動桁構造
（１１〉に軸（１９）で取り付けられて、垂直面内で揺
動可能となっている。レバー（１８）には、可動桁構造
（１１）との間に張り渡した引張フィルばね（２０）に
より、第６図において反時計まわりの回動力が付与され
ている。可動桁構造（１１）の内面に固定した軸受ブロ
ックク２１）によりレバー（１８）は回転を止められる
が、この時ストッパ（１６）は、基板（１）の支持高さ
より少し上に頭を出す、レバー（１８）の、軸（１９）
に近い部位には、ローラ〈２２）が取り付けられている
。　（２３）は、ローラ（２２）に向かい合う如く軸受
ブロック（２１）を水平に貫通する押圧ロッドである。

押圧ロッド（２３）は圧縮フィルばね（２４）により第
６図において右方に押され、常時は第６図の位置を保っ
ている。抑圧ロッド（２３）の、ローラ（２２〉に面す
る側は、平たく面積の大きい頭部（２５）となっている
、　（２６）は基板く１）を送るためのウオーキングビ
ームで、３本の爪（２７）（２８）（２９）を下向きに
突出させている。爪（２７）は基板位置決め装置（３）
から加工済基板く１）を押し出すためのもの、。

爪（２８）（２９）は、ローディングブリッジ（５）か
ら基板位置決め装ｅ（３）へ、未加工の基板（１）を前
後から挾んで送り込むためのものである。

アンローディングブリッジ（７）も、平行する１対の桁
構造（４０）（４１）からなる、可動桁構造（１１）と
同じ側に位置する桁構造（４１）は、やはり桁構造（４
０）に対し開閉動可能となっている。そこで、桁構造（
４１）も可動桁構造と呼ぶ、可動桁構造（４１）に開閉
動を生じさせるのは、第１２図に模型的に示す電動機（
４２）と、これによって回転せしめられるねじ軸（４３
）である。電動機（１２）（４２）は、可動桁構造（１
１）（４１）が、同時に、同方向へ、同速度で同距離だ
け移動するよう、制御装置（４４）により制御される。

桁構造（４０〉と可動桁構造（４１）の互に向がい合う
縁部には、基板（１）の側縁を落とし込んで支える段部
（４５）が形設され、段部（４５）の底の部分は、アン
ローディングブリッジ（７）の入口に近い僅かな個所を
除いて、その殆どを基板搬送ベルト（４６）によって構
成されている０桁＊ｙ１（４０）及び可動桁構造（４１
）の内面にはブロック（４７）が固定され、ここからロ
ーディングブリッジ（５）の方に向かってビン（４８）
が突出する。ビン（４８）の軸心は、これと同じ側にあ
る抑圧ロッド（２３）の軸心に−・致する。

ビン（４８）はブロック（４７）に対しスライド自在で
あり、桁構造（４０）及び可動桁構造（４１）の内面に
取り付けたアクチュエータ（４９）（第１３図）によっ
て動きを与えられる。アクチュエータ〈４９）として、
ここではエアシリンダを使用している。アクチュエータ
（４９）は、常時はビン（４８）の先端をアンローディ
ングブリッジ（７）の端とつらいもの位置に置いている
。

基板位置決め装置（３）の構造は次のようになっている
。ベース（５０）はいわゆるＸＹテーブルであって、２
次元の移動が可能である。この上にフレーム（５１）が
設置され、フレーム（５１）の上部には、ローディング
ブリッジ（５）及びアンローディングブリッジ（７）の
桁構造と並ぶように、１対のガイドレール構造（５２）
（５３）が設置される。ガイドし・−ル構造（５３）は
ガイドレール構造（５２）に対し開閉動可能であり、可
動ガイドレール構造と呼ぶことにする。ガイドレール構
造（５２）のレール板（５４）と、可動ガイドレール構
造（５３）のレール板（５５）には、向かい合う段部（
５６）が形設され、ここで基板（１）の側縁を支持する
ようになっている。第２図に示すように、レール板（５
４）の内部には空１１？１（５７）庖設け、ここにベル
クランク状のレバー（５８）を、軸（５９）により、水
平面内で回動できるよう枢支している。レバー（５８）
は、圧縮コイルばね（６０）に押されて一端を僅かに段
部（５６）の中に突き出す、基板位置決め装ｆ（３）に
基板（１）が到着すると、レバー（５８）は基板（１）
に押されて空洞（５７）の中へ引っ込む、この時のレバ
ー＜５８）の動きを図示しないセンサ（例えばリミット
スイッチ、光電管）で検知し、基板到着の信号を得るも
のである。レール板（５５）については、段部（５６）
のところに多数のローラ（６１）を配置している。ロー
ラ（６１）は１列に並んで基板（１）の縁部を誘導する
もので、各々が１個づつのスライドブロック＜６２）に
支持され、互に独立して進退可能である。各スライドブ
ロック（６２）は、第４図に見られるように一定距離の
進退が可能であって、圧縮コイルばね（６３）により、
ローラ（６１）を最大限に突出させる位置まで押し出さ
れている。

可動ガイドレール構造（５３）について更に詳しく述べ
る。レール板（５５）は左右１対のスライドブロック（
７０）に取り付ける。そこで以後、レール板（５５）を
可動レール板と呼ぶことにする。スライドブロック（７
０）はフレーム（５１）の上面に固定したレール＜７１
）に直線移動のみ可能なる如く支持されている。レール
（７１）と、これを支えるフレーム（５１）の上部水平
ビーム（７２）とは、レール板り５５）と直角の方向に
延びる。　（７５）は上部水平ビーム（７２）に懸垂状
態で支持されるスライドベースである。スライドベース
（７５）は上部水平ビーム（７２）を挾む１対の側板（
７６）を有し、この１対の側板〈７６）の間に、第４図
に見られるように２個のブロック（７７）（７８）を固
定し、及び２個のローラ〈７９）を枢支し、ブロック（
７７）（７８）をレール（７１）に載置して重量を支え
、ローラ（７９）を上部水平ビーム（７２）の下面に接
触させて上方への動き表止める仕組としている。

ブロック（７７）（７８）は間が広く開いており、スラ
イドブロック（７０）はここに位置する。スライドプロ
７クク７０）とスライドベース（７５）とは、スライド
ブロック（７０）から突出したロッド（８０）により連
結されている。すなわちロッド（８０）はブロック（７
８）をスライド自在に貫通しており、その先端には抜は
止め用ナツト（８１）が固定されている。スライドゾロ
ツク（７０）とブロック（７８）の間には、ロッド（８
０）を取り巻く形で圧縮コイルばね（８２）が挿入され
ており、この圧縮コイルばね（８２）によりスライドゾ
ロツク（７０）と可動レール板（５５）は、レール板（
５４）に接近する方向に附勢されている。

（８５）は左右のスライドベース（７５）を貫通する伝
達ロッドである。伝達ロッド（８５）は、ローディング
ブリッジ〈５）、基板位置決め装置（３）、アンローデ
ィングブリッジ（７）の３者が整列した時、抑圧ロッド
（２３〉及びピン（４８）と−直線に並ぶ位置に設けら
れ、また押圧ロッド（２３）及びピン（４８）と等しい
直径を有している。伝達ロッド（８５）の長さは左右の
スライドベース（７５）の外面間隔に等しい。

伝達ロッド（８５）は、途中に設けたストッパ（８６）
がアンローディングブリッジ（７）側に位置するスライ
ドベース（７５）に当たるところまで、圧縮フィルばね
（８７）の断発力でアンローディングブリッジ（７５）
側に押すことにより、基板位置決め装置く３）の中に全
身を没する状態に常時維持されている。

これと同様の伝達ロッドがガイドレール構造（５２）の
側にも設けられる。可動ガイドレール構造（５３）の側
の伝達ロッド（８５）にはくさび形のカム（８８）を固
定する。このカム（８８）は、可動レール板（５５）の
中央部に取り付けられたローラ（８９）（第５図、第１
０図、第１１図に図示）に関連づけられるもので、伝達
ロッド（８５）がローディングブリッジ（５）の方へ移
動した時にローラ（８９）を押し、可動レール板（５５
）及びスライドブロック（７０〉を、圧縮コイルばね（
８２）の力に抗しレール板（５４）から遠ざかる方向に
移動させる。

可動ガイドレール構造（５３）はブレーキ機構（９５）
を有する。ブレーキ機構〈９５）はスライドベース（７
５）の動きを止めるためのもので、スライドブロック７
５）の軸受部（９６）に上下自在に支持したロッド（９
７）が主体となり、ロッド（９７）の上下端にブレーキ
パッド（９８）とフランジ（９９）を固定し、これを圧
縮フィルばね（１００）で上方に附勢している。ブレー
キパッド（９８）が上部水平ビーム（７２）の下面に圧
接することにより、スライドベース（７５）はその位置
に固定される。ブレーキ機構（９５）はローディングブ
リッジ（５）側のスライドベース（７５）にもアンロー
ディングブリッジ（７）側のスライドベース（７５）に
も設けられ牢＃る。

ローディングブリッジ（５）とアンローディングブリッ
ジ（７）の可動桁構造（１１）（４１＞には制動解除装
置ｔ　（１０５）（１０６）を設置する。制動解除装置
１（１０５）（１０６）はいずれも、ロッド（１１）を
下に向けて支持されたエアシリンダ（１１０）と、ロッ
ド（１１１）の先端に固定された抑圧板（１１２）から
なる、　（１１３）はエアシリンダ（１１０）の取付個
所から垂下するガイドロッドで、押圧板（１１２）の透
孔（１１４）を貫通し、押圧板（１１２）の回り止めを
行なうものである。

（１２０）は基板位置決め装置（３）に送り込まれた基
板（１）を下から支えるエレベータである。エレベータ
（１２０）は、基板（１）を支える位置まで、エアシリ
ンダ（１２１）によって上昇せしめられる。この他基板
位置決め装置ｉｔ＜３　＞には、特公昭６２−１３８３
７号公報におけると同様、レール板及び可動レール板（
５４＞（５５）と直角の方向から基板（１）を挾みつけ
る位置決め爪が設置きれるが、ここでは図示しない。

本発明装置は次のように動作する。基板位置決め装置（
３）上の基板（１）を加工している間に、ローディング
ブリッジ（５）においては基板搬送ベルト（１５）によ
り未加工の基板（１）が運ばれて来て、ストッパ（１６
）に当たり待機している。基板加工終了後、第１０図に
示すようにローディングブリッジ（５）とアンローディ
ングブリッジく７）の間へ基板位置決め装置（３）が帰
って来る。基板位置決め装置（３）がローディングブリ
ッジ（５）とアンローディングブリッジ（７）に整列し
、静止した時点で、アクチュエータ（４９）が動作し、
基板位置決め装置（３）の方へピン（４８）を突出させ
る。第７図に示すように、突出したピン（４８）はスラ
イドベース（７５）の中に入り込み、圧縮フィルばね（
８７）の弾発力に抗して伝達ロッド（８５）を押す、押
された伝達ロッド〈８５）は第７図及び第１１図におい
て基板位置決め装置（３）の左側に突出し、ローディン
グブリッジ（５）の押圧ロッド（２３）を押す、押圧ロ
ッド（２３）はレバー（１８）のローラ〈２２）を押し
、レバー（１８）は引張フィルばね（２０）の張力に抗
し第７図において時計まわりに回動し、ストッパ（１６
）は待機中の基板（１）から離れる。これと同時に、カ
ム（８８）は可動レール板（５５）のローラ（８９）を
押し、レール板及び可動レール板（５４）（５５）によ
る基板（１）の挾みっけを解除する。勿論この時、レー
ル板及び可動レール板（５４）（５５）と直角の方向か
ら基板（１）を挾みつける図示しない位置決め爪、及び
エレベータ（１０５）も、完全に基板（１）から離れて
いる。ここでウオーキングビーム（２６）が動き、基板
位置決め装ｆｌ（３）から加工済基板（１）をアンロー
ディングブリッジ（７）へと押し出し、また未加工基板
（１）をローディングブリッジ（５）から基板位置決め
装！１（３）へ移す、ウオーキングビーム（２６）の動
作中は、基板搬送ベルト（１５）＜４６）は静止してい
る。基板（１）の受け渡しを終えた後、アクチュエータ
（４９）が元の状態に復帰してピン（４８）を引っ込め
ると、伝達ロッド（８５）は旧位置に復し、可動レール
［（５５）は圧縮コイルばね（８２）の力で、ローラ（
６１）を介して基板（１）をレール板（５４）に押しつ
ける。ローディングブリッジ（５）においてはストッパ
（１６）が旧位置に復元し、このストッパ（１６）めが
けて基板搬送ベルト（１５）が基板〈１）を運んで来る
ものである。アンローディングブリッジ（７）では、つ
オーキングビーム（２６）が加工済基板（１）を移し終
えると同時に基板撤退ベルト（４６）が動作を始めてこ
の基板（１）を運び去る。

基板搬送部の幅調節は、第１２図のように、ローディン
グブリッジ（５）、基板位置決め装置（３）、アンロー
ディングブリッジ（７）の３者が一直線に並んだ状態で
行なう、ここで、可動桁構造（４１）から連結構造体が
進出し、可動ガイドレール構造（５３）の運動伝達体に
連結する。この場合ピン（４８〉が連結構造体であり、
これを受け入れるスライドベースク７５）が運動伝達体
である。ピン（４８）によって押し出された伝達ロッド
（８５）は軸受ブロック（２１）に入り込み、可動桁構
造〈１１）と可動ガイドし・−ル構造（５３）との連結
もここにおいて生じる。このようにして可動桁構造（４
１＞（１１）と可動ガイドレール構造り５３）を連結し
た上で、制動解除装置（１０５）（１０６）を作動させ
る。ローディングブリッジく５）、基板位置決め装置（
３）、アンローディングブリッジ（７）の３者が接近し
た状態で、制動解除装置（１０５）（１０６）の押圧板
（１１２）はブレーキ機構（９５）のフランジ（９９）
の上方に重なる。エアシリンダ（１１０）を動作させる
と第７図に示したようにブレーキパッド（９８）は上部
水平ビーム（７２〉から離れ、可動ガイドレール構造（
５３）は動き得る状態になる。この状態で電動機（１２
）（４２）を駆動して、可動桁構造（１１）（４１）と
可動ガイドレール構造（５３）の位置を変更する０位置
変更終了後、制動解除装置（１０５）（１０６）の動作
を終了して押圧板（１１２）を引き上げ、ブレーキ機構
（９５）で再び可動ガイドレール構造（５３）に制動を
かけ、新しい搬送幅に見合う幅の基板（１）の加工を開
始する。

なお、実施例では可動ガイドレール構造（５３）にブレ
ーキ機構（９５）を支持させたが、立場を入れ替えて、
フレーム（５１）にブレーキ機構（９５）を支持させ、
可動ガイドレール構造（５３）にブレーキパッド（９８
）を押し付けるようにしても良い、この場合、制動解除
装置ｆ　（１０５）（１０６）は桁構造（１０）（４０
）に設置することになる。

（ト）発明の効果 本発明では、基板搬送幅を調節するにあたり、ローディ
ングブリッジ側可動桁構造もしくはアンローディングブ
リッジ側可動桁構造の一方ないし双方に設けた、アクチ
ュエータ駆動の連結構造体を基板位置決め装置の可動ガ
イドレール構造に連結させ、可動桁構造をもって可動ガ
イドレール構造を移動させるようにしたから、基板位置
決め装置には、可動ガイドレール構造が不用意に移動す
るのを防止するブレーキ機構を設けるだけで良くなり、
基板位置決め装置を軽量に保ちつつ、基板搬送部の幅調
節をライン全体として一挙に遂行することが可能になっ
た。またブレーキ機構は動力補給なしに制動を維持する
形式のものであり、制動解除は基板位置決め装置外の制
動解除装置で行なうから、運動量の多い基板位置決め装
置にブレーキ機構用の動力補給ラインを付加する必要が
なく、装置の信頼性が増す。

図は本発明の一実施例を示し、第１図は装置の概略構成
を示す斜視図、第２図は基板位置決め装置の部分的に破
断した上面図、第３図は基板位置決め装置の部分斜視図
、第４図は基板位置決め装置の部分垂直断面図、第５図
は可動レール板の部分垂直断面図、第６図及び第７図は
本発明装置の部分垂直断面図にして異なる動作状態時に
おける＋＋（７）、第８図はローディングブリッジの部
分水平断面図、第９図はローディングブリッジの部分斜
視図、第１０図及び第１１図は基板受け渡し動作説明用
の上面図にして、一部破断したもの、第１２図は基板撤
退幅変更動作説明用の上面図、第１３図はアクチュエー
タ設置状況を示す一部断面部分正面図、第１４図は第９
図とは別の方向から見たローディングブリッジの部分斜
視図である。

（１）・・・基板、（３）・・・基板位置決め装置、（
５）・・・ローディングブリッジ、（７）・・・アンロ
ーディングブリッジ、（１０）（４０＞・・・桁構造、
（１１）（４１＞・・・可動桁構造、（４８）・・・連
結構造体を構成するビン、（４９）・・・アクチュエー
タ、（５１）・・・フレーム、（５２）・・・ガイドレ
ール構造、（５３）・・・可動ガイドレール構造、（７
５）・・・運動伝達体を構成するスライドベース、（９
５）・・・ブレーキ機構、（１０５）（１０６）・・・
ブレーキ解除装置。

第２図 第３図 第４図 ｍｌＯ図 蛾図 第Ｂ図 手続補正書（方式） １．事件の表示 昭和６２年特許願第２８６２１９号 Ｚ発明の名称 基板搬送装置 ３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 名称　（１８８）三洋電機株式会社 ４、代　理　人 住所　守口市京阪本通２丁目１８番地 （外１名） 連結先：電話（東京）　８３５−１１１１特許センター
駐在　中周５、補正命令の日付（＠送日） 昭和６３年２月２３日　　　　　、２−丁゛−６、補正
の対象 明細書中、図面の簡単な説明の欄。

７、補正の内容 明細書中第２１頁第１８行目を下記の通り補正する。

記

【図面の簡単な説明】

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）基板加工のため、基板を支持して任意位置に移動さ
   せる基板位置決め装置と、この基板位置決め装置に未加
   工の基板を送り込むローディングブリッジと、基板位置
   決め装置から加工済基板を受け取るアンローディングブ
   リッジとを備え、ローディングブリッジとアンローディ
   ングブリッジとは相互間距離不変に設置され、基板受け
   渡し時には、基板位置決め装置が両ブリッジ間に入り込
   むようにしたものにおいて、 前記ローディングブリッジ及びアンローディングブリッ
   ジを、各々１対の平行する桁構造により構成し、これら
   の桁構造のうち、基板搬送ラインの片側に位置するもの
   は、これと平行する桁構造に対し開閉動可能とし、かか
   る可動桁構造のローディングブリッジ側に存在するもの
   、あるいはアンローディングブリッジ側に存在するもの
   、あるいはその双方に、アクチュエータにより駆動せし
   められる連結構造体を設けると共に、基板位置決め装置
   においては、基板を支持する１対のガイドレール構造の
   一方を、他方に対し開閉動可能なる如く装置フレームに
   取り付け、この可動ガイドレール構造には、前記連結構
   造体に連結して前記可動桁構造の開閉動作を伝達される
   運動伝達体を設けると共に、可動ガイドレール構造に対
   し動力補給なしに制動を維持するブレーキ機構を基板位
   置決め装置中に設置し、このブレーキ機構の制動解除装
   置を、基板位置決め装置外に設置してなる基板搬送装置
   。