JPH07302790A - 熱処理装置 - Google Patents
熱処理装置Info
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- JPH07302790A JPH07302790A JP11358494A JP11358494A JPH07302790A JP H07302790 A JPH07302790 A JP H07302790A JP 11358494 A JP11358494 A JP 11358494A JP 11358494 A JP11358494 A JP 11358494A JP H07302790 A JPH07302790 A JP H07302790A
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- heat treatment
- seal member
- heat
- treatment apparatus
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 耐熱性に優れ、弱い挟圧力でフランジ部の気
密性を確保することができる気密構造を備えた熱処理装
置を提供する。 【構成】 被接続部２２に気密に接続されるフランジ部
２１を有する熱処理炉３に被処理体Ｗを収容して処理ガ
ス雰囲気下で熱処理する熱処理装置１において、前記被
接続部２２とフランジ部２１の間に環状で断面がＳ字状
の耐熱金属製のシール部材２３を介設してある。このシ
ール部材２３の弾性により弱い挟圧力で被接続部２２と
フランジ部２１との間の気密性を確保することが可能と
なり、石英製フランジ部２１の気密性確保に好適である
と共に、前記シール部材２３が耐熱金属製であることか
らゴム製等のＯリングと異なり冷却手段を必要としない
で高温部に使用することが可能となる。
密性を確保することができる気密構造を備えた熱処理装
置を提供する。 【構成】 被接続部２２に気密に接続されるフランジ部
２１を有する熱処理炉３に被処理体Ｗを収容して処理ガ
ス雰囲気下で熱処理する熱処理装置１において、前記被
接続部２２とフランジ部２１の間に環状で断面がＳ字状
の耐熱金属製のシール部材２３を介設してある。このシ
ール部材２３の弾性により弱い挟圧力で被接続部２２と
フランジ部２１との間の気密性を確保することが可能と
なり、石英製フランジ部２１の気密性確保に好適である
と共に、前記シール部材２３が耐熱金属製であることか
らゴム製等のＯリングと異なり冷却手段を必要としない
で高温部に使用することが可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、熱処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】被処理体である例えば半導体ウエハの製
造においては、酸化、拡散、ＣＶＤ（Chemical Vapor D
eposition）などの処理を行うために、各種の熱処理装
置が使用されている。そして、その代表的な熱処理装置
は、耐熱性材料例えば石英からなる縦型の熱処理炉（反
応管）内に被処理体例えば半導体ウエハを収容して処理
ガス雰囲気下で熱処理するものである。
造においては、酸化、拡散、ＣＶＤ（Chemical Vapor D
eposition）などの処理を行うために、各種の熱処理装
置が使用されている。そして、その代表的な熱処理装置
は、耐熱性材料例えば石英からなる縦型の熱処理炉（反
応管）内に被処理体例えば半導体ウエハを収容して処理
ガス雰囲気下で熱処理するものである。
【０００３】上記熱処理炉外の周囲には炉内を高温に加
熱する筒状の加熱部が設けられ、熱処理炉の側壁下部に
は処理ガスを給排する各配管が接続されている。また、
この熱処理炉の炉口の下部には蓋体が昇降可能に設けら
れ、この蓋体上には多数枚の被処理半導体ウエハをそれ
ぞれ上下方向に隙間を隔てて多段に保持するウエハボー
トが保温筒を介して載置される。
熱する筒状の加熱部が設けられ、熱処理炉の側壁下部に
は処理ガスを給排する各配管が接続されている。また、
この熱処理炉の炉口の下部には蓋体が昇降可能に設けら
れ、この蓋体上には多数枚の被処理半導体ウエハをそれ
ぞれ上下方向に隙間を隔てて多段に保持するウエハボー
トが保温筒を介して載置される。
【０００４】このような熱処理装置においては、配管の
接続部等が気密に保たれていないと、処理ガスの漏洩が
生じ、所定の熱処理が不十分に終ったり、処理ガスが可
燃性或いは毒性を有する場合には危険を伴う恐れがある
ため、配管の接続部等には種々の気密手段が採用されて
いる。例えば、配管の接続部の場合には対向するフラン
ジ部同士を接続するフランジ接続が採用され、対向する
フランジ部間に気密手段としてゴム製等のＯリングを介
設し、フランジ部間でＯリングを挟圧することにより気
密性を確保している。
接続部等が気密に保たれていないと、処理ガスの漏洩が
生じ、所定の熱処理が不十分に終ったり、処理ガスが可
燃性或いは毒性を有する場合には危険を伴う恐れがある
ため、配管の接続部等には種々の気密手段が採用されて
いる。例えば、配管の接続部の場合には対向するフラン
ジ部同士を接続するフランジ接続が採用され、対向する
フランジ部間に気密手段としてゴム製等のＯリングを介
設し、フランジ部間でＯリングを挟圧することにより気
密性を確保している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
たように気密手段がＯリングである場合、耐熱性が低い
ことから、高温部に使用する場合には冷却手段が必要と
なる。なお、耐熱性の優れた気密手段としてメタルシー
ルがあるが、これはフランジ部間で強く挟圧しないと気
密性が得られないので、フランジ部が石英製である場合
にはフランジ部が破損する恐れがある。
たように気密手段がＯリングである場合、耐熱性が低い
ことから、高温部に使用する場合には冷却手段が必要と
なる。なお、耐熱性の優れた気密手段としてメタルシー
ルがあるが、これはフランジ部間で強く挟圧しないと気
密性が得られないので、フランジ部が石英製である場合
にはフランジ部が破損する恐れがある。
【０００６】そこで、本発明の目的は、耐熱性に優れ、
弱い挟圧力でフランジ部の気密性を確保することができ
る気密構造を備えた熱処理装置を提供することにある。
弱い挟圧力でフランジ部の気密性を確保することができ
る気密構造を備えた熱処理装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１記載の熱処理装置は、被接続部に気密に接続
されるフランジ部を有する熱処理炉に被処理体を収容し
て処理ガス雰囲気下で熱処理する熱処理装置において、
前記被接続部とフランジ部の間に環状で断面がＳ字状の
耐熱金属製のシール部材を介設したことを特徴とする。
に請求項１記載の熱処理装置は、被接続部に気密に接続
されるフランジ部を有する熱処理炉に被処理体を収容し
て処理ガス雰囲気下で熱処理する熱処理装置において、
前記被接続部とフランジ部の間に環状で断面がＳ字状の
耐熱金属製のシール部材を介設したことを特徴とする。
【０００８】請求項２記載の熱処理装置は、フランジ接
続された石英製の処理ガス配管を有する熱処理炉に被処
理体を収容して処理ガス雰囲気下で熱処理する熱処理装
置において、前記処理ガス配管のフランジ接続部が、対
向するフランジ部のフランジ面間に配置された環状で断
面がＳ字状の耐熱金属製のシール部材と、このシール部
材を位置決めする位置決め部材と、前記フランジ部同士
を締付ける締付機構とを具備したことを特徴とする。
続された石英製の処理ガス配管を有する熱処理炉に被処
理体を収容して処理ガス雰囲気下で熱処理する熱処理装
置において、前記処理ガス配管のフランジ接続部が、対
向するフランジ部のフランジ面間に配置された環状で断
面がＳ字状の耐熱金属製のシール部材と、このシール部
材を位置決めする位置決め部材と、前記フランジ部同士
を締付ける締付機構とを具備したことを特徴とする。
【０００９】請求項３記載の熱処理装置は、請求項２記
載の熱処理装置において、前記締付機構によるフランジ
部同士の締付けにより前記シール部材の少なくとも外周
縁部が一方のフランジ面に圧接し、前記シール部材の少
なくとも内周縁部が他方のフランジ面に圧接してフラン
ジ面間を気密にするように構成されていることを特徴と
する。
載の熱処理装置において、前記締付機構によるフランジ
部同士の締付けにより前記シール部材の少なくとも外周
縁部が一方のフランジ面に圧接し、前記シール部材の少
なくとも内周縁部が他方のフランジ面に圧接してフラン
ジ面間を気密にするように構成されていることを特徴と
する。
【００１０】
【作用】請求項１記載の熱処理装置によれば、被接続部
とフランジ部の間に環状で断面がＳ字状の耐熱金属製の
シール部材を介設したので、このシール部材の弾性によ
り弱い挟圧力で被接続部とフランジ部との間の気密性を
確保することが可能となり、石英製フランジ部の気密性
確保に好適であると共に、前記シール部材が耐熱金属製
であることからＯリングと異なり冷却手段を必要としな
いで高温部に使用することが可能となる。
とフランジ部の間に環状で断面がＳ字状の耐熱金属製の
シール部材を介設したので、このシール部材の弾性によ
り弱い挟圧力で被接続部とフランジ部との間の気密性を
確保することが可能となり、石英製フランジ部の気密性
確保に好適であると共に、前記シール部材が耐熱金属製
であることからＯリングと異なり冷却手段を必要としな
いで高温部に使用することが可能となる。
【００１１】請求項２記載の熱処理装置によれば、石英
製の処理ガス配管のフランジ接続部が、対向するフラン
ジ部のフランジ面間に配置された環状で断面がＳ字状の
耐熱金属製のシール部材と、このシール部材を位置決め
する位置決め部材と、前記フランジ部同士を締付ける締
付機構とを具備しているため、対向するフランジ部のフ
ランジ面間で前記シール部材を所定の弱い挟圧力で正確
に挟圧して気密性を確保することが可能となり、石英製
処理ガス配管のフランジ部の気密性及び耐久性の向上が
図れる。
製の処理ガス配管のフランジ接続部が、対向するフラン
ジ部のフランジ面間に配置された環状で断面がＳ字状の
耐熱金属製のシール部材と、このシール部材を位置決め
する位置決め部材と、前記フランジ部同士を締付ける締
付機構とを具備しているため、対向するフランジ部のフ
ランジ面間で前記シール部材を所定の弱い挟圧力で正確
に挟圧して気密性を確保することが可能となり、石英製
処理ガス配管のフランジ部の気密性及び耐久性の向上が
図れる。
【００１２】請求項３記載の熱処理装置によれば、前記
締付機構によるフランジ部同士の締付けにより前記シー
ル部材の少なくとも外周縁部が一方のフランジ面に圧接
し、前記シール部材の少なくとも内周縁部が他方のフラ
ンジ面に圧接してフランジ面間を気密にするように構成
されているので、フランジ面間の気密性を簡単な構造で
しかも弱い挟圧力で充分に確保することが可能となる。
締付機構によるフランジ部同士の締付けにより前記シー
ル部材の少なくとも外周縁部が一方のフランジ面に圧接
し、前記シール部材の少なくとも内周縁部が他方のフラ
ンジ面に圧接してフランジ面間を気密にするように構成
されているので、フランジ面間の気密性を簡単な構造で
しかも弱い挟圧力で充分に確保することが可能となる。
【００１３】
【実施例】以下に、本発明の実施例を添付図面に基づい
て詳述する。図１は本発明の一実施例である熱処理装置
を示す断面図である。この熱処理装置１は、円形の開口
部２ａを有する耐食・耐熱性金属例えばステンレススチ
ール製のベースプレート２を水平に備えており、このベ
ースプレート２の開口部２ａ内を貫通して上方へ突出し
た状態で縦型の熱処理炉を構成する耐食・耐熱性材料例
えば石英製の反応管（プロセスチューブ）３が配置され
ている。この反応管３は上端が閉塞された円筒状に形成
され、その下端には開放された炉口４が形成されてい
る。この炉口４の周縁部には外向きのフランジ部５が形
成され、このフランジ部５が前記ベースプレート２の下
部に取付けられた取付部材６を介して水平に支持されて
いる。なお、この構成は、種々の変形が可能であり、例
えばベースプレート２に前記反応管３を直接支持しても
よいし、載置してもよい。
て詳述する。図１は本発明の一実施例である熱処理装置
を示す断面図である。この熱処理装置１は、円形の開口
部２ａを有する耐食・耐熱性金属例えばステンレススチ
ール製のベースプレート２を水平に備えており、このベ
ースプレート２の開口部２ａ内を貫通して上方へ突出し
た状態で縦型の熱処理炉を構成する耐食・耐熱性材料例
えば石英製の反応管（プロセスチューブ）３が配置され
ている。この反応管３は上端が閉塞された円筒状に形成
され、その下端には開放された炉口４が形成されてい
る。この炉口４の周縁部には外向きのフランジ部５が形
成され、このフランジ部５が前記ベースプレート２の下
部に取付けられた取付部材６を介して水平に支持されて
いる。なお、この構成は、種々の変形が可能であり、例
えばベースプレート２に前記反応管３を直接支持しても
よいし、載置してもよい。
【００１４】前記ベースプレート２上には重金属汚染防
止機能を有する例えば炭化ケイ素（ＳｉＣ）製の上端の
閉塞された円筒状の均熱管７が前記反応管３の周囲を覆
うように設けられると共に、天井部を有する円筒状の断
熱材８が前記均熱管７の周囲を覆うように設けられてい
る。前記断熱材８の内壁には前記反応管３内のウエハ配
列領域を高温例えば８００〜１２００℃程度に均一に加
熱するコイル状の発熱抵抗体である例えば鉄（Ｆｅ）、
クロム（Ｃｒ）及びアルミニウム（Ａｌ）の合金からな
るカンタル線を螺旋状に巻いた加熱部（ヒータ）Ｈが設
けられている。また、前記断熱材８の外側は水冷ジャケ
ット構造のシェル（図示せず）で覆われている。
止機能を有する例えば炭化ケイ素（ＳｉＣ）製の上端の
閉塞された円筒状の均熱管７が前記反応管３の周囲を覆
うように設けられると共に、天井部を有する円筒状の断
熱材８が前記均熱管７の周囲を覆うように設けられてい
る。前記断熱材８の内壁には前記反応管３内のウエハ配
列領域を高温例えば８００〜１２００℃程度に均一に加
熱するコイル状の発熱抵抗体である例えば鉄（Ｆｅ）、
クロム（Ｃｒ）及びアルミニウム（Ａｌ）の合金からな
るカンタル線を螺旋状に巻いた加熱部（ヒータ）Ｈが設
けられている。また、前記断熱材８の外側は水冷ジャケ
ット構造のシェル（図示せず）で覆われている。
【００１５】前記反応管３の炉口４の下部にはこの炉口
４を開閉する蓋体９が昇降機構１０により昇降可能に設
けられている。この蓋体９は耐熱・耐食性金属例えばス
テンレススチールにより形成されており、この蓋体９上
には多数枚例えば１５０枚程度の半導体ウエハＷ列を水
平状態で上下方向に予め定められた間隔をおいて多段に
保持するウエハボート１１が石英製の保温筒１２を介し
て載置されている。なお、蓋体９には保温筒１２を回転
駆動する回転機構等が設けられている（図示せず）。
４を開閉する蓋体９が昇降機構１０により昇降可能に設
けられている。この蓋体９は耐熱・耐食性金属例えばス
テンレススチールにより形成されており、この蓋体９上
には多数枚例えば１５０枚程度の半導体ウエハＷ列を水
平状態で上下方向に予め定められた間隔をおいて多段に
保持するウエハボート１１が石英製の保温筒１２を介し
て載置されている。なお、蓋体９には保温筒１２を回転
駆動する回転機構等が設けられている（図示せず）。
【００１６】前記反応管３の下部側壁には処理ガスを供
給、排気するための処理ガス配管１３，１４が設けられ
ている。具体的には、供給系の処理ガス配管１３は、前
記反応管３の下部側壁に一体形成された導入管部１５
と、この導入管部１５にフランジ接続された耐熱・耐食
性材料例えば石英製の処理ガス供給管１６とから主に構
成されている。また、排気系の処理ガス配管１４は、前
記反応管３の下部側壁に一体形成された排気管部１７
と、この排気管部１７にフランジ接続された排気管１８
とから主に構成されている。前記反応管３の内壁には前
記導入管部１５から導入される処理ガスを反応管３内の
上方に導くための導送管部１９が一体形成されている。
前記処理ガス供給管１６は例えばウエット酸化処理用の
水蒸気を発生、供給する燃焼装置等の処理ガス供給源
（図示せず）に接続され、前記排気管１８は除害装置等
を介して工場排気系（図示せず）に接続されている。
給、排気するための処理ガス配管１３，１４が設けられ
ている。具体的には、供給系の処理ガス配管１３は、前
記反応管３の下部側壁に一体形成された導入管部１５
と、この導入管部１５にフランジ接続された耐熱・耐食
性材料例えば石英製の処理ガス供給管１６とから主に構
成されている。また、排気系の処理ガス配管１４は、前
記反応管３の下部側壁に一体形成された排気管部１７
と、この排気管部１７にフランジ接続された排気管１８
とから主に構成されている。前記反応管３の内壁には前
記導入管部１５から導入される処理ガスを反応管３内の
上方に導くための導送管部１９が一体形成されている。
前記処理ガス供給管１６は例えばウエット酸化処理用の
水蒸気を発生、供給する燃焼装置等の処理ガス供給源
（図示せず）に接続され、前記排気管１８は除害装置等
を介して工場排気系（図示せず）に接続されている。
【００１７】前記供給系処理ガス配管１３におけるフラ
ンジ接続部２０の構造を具体的に説明すると、図２に示
すように前記導入管部１５の先端部には外向きのフラン
ジ部２１が一体形成され、前記処理ガス供給管１６の先
端部には前記フランジ部２１に接続される被接続部とし
て外向きのフランジ部２２が一体形成されている。そし
て、これら対向するフランジ部２１，２２のフランジ面
２１ａ，２２ａ間には図３にも示すように環状で断面が
Ｓ字状のシール部材（メタルエッジシール）２３が介設
されている。このシール部材２３は耐熱金属例えば耐食
・耐熱合金であるハステロイからなる薄い肉厚例えば
０．２５ｍｍ程度の板材をプレス成型することにより形
成され、断面Ｓ字の一端が形成する外周縁部２３ａが同
じ側の環状曲面部２３ｂよりも軸方向（図３の左側）に
所定量Ｓ1だけ延出して形成されると共に、断面Ｓ字の
他端が形成する内周縁部２３ｃが同じ側の環状曲面部２
３ｄよりも所定量Ｓ2（Ｓ1とほぼ同程度）だけ軸方向
（図３の右側）に延出して形成されている。
ンジ接続部２０の構造を具体的に説明すると、図２に示
すように前記導入管部１５の先端部には外向きのフラン
ジ部２１が一体形成され、前記処理ガス供給管１６の先
端部には前記フランジ部２１に接続される被接続部とし
て外向きのフランジ部２２が一体形成されている。そし
て、これら対向するフランジ部２１，２２のフランジ面
２１ａ，２２ａ間には図３にも示すように環状で断面が
Ｓ字状のシール部材（メタルエッジシール）２３が介設
されている。このシール部材２３は耐熱金属例えば耐食
・耐熱合金であるハステロイからなる薄い肉厚例えば
０．２５ｍｍ程度の板材をプレス成型することにより形
成され、断面Ｓ字の一端が形成する外周縁部２３ａが同
じ側の環状曲面部２３ｂよりも軸方向（図３の左側）に
所定量Ｓ1だけ延出して形成されると共に、断面Ｓ字の
他端が形成する内周縁部２３ｃが同じ側の環状曲面部２
３ｄよりも所定量Ｓ2（Ｓ1とほぼ同程度）だけ軸方向
（図３の右側）に延出して形成されている。
【００１８】また、前記フランジ部２１，２２の外周部
には前記シール部材２３をその軸芯がフランジ部２１，
２２の軸芯と一致するように位置決めするための位置決
め部材２４が装着されている。この位置決め部材２４は
耐食・耐熱性金属例えばステンレススチールにより形成
され、前記フランジ部２１，２２の外周に緩く嵌まる円
筒状本体２４ａの中央内周面に前記シール部材２３の外
周面を押えるための環状の突状部２４ｂを一体形成して
なる。更に、前記フランジ部２１，２２には前記シール
部材２３を挟圧すべくフランジ部２１，２２を互に締付
けて接続するための締付機構２５が装着されている。こ
の締付機構２５は、図４にも示すようにフランジ部２
１，２２の外端部に係止される例えばステンレススチー
ル製の馬蹄形状（Ｕ字状）の一対のクランプ部材２５
ａ，２５ｂと、これらクランプ部材２５ａ，２５ｂを互
に締付けるべく周方向に等間隔で配設された例えばステ
ンレススチール製のボルト２６と、各ボルト２６の頭部
２６ａと一方のクランプ部材２５ａとの間に介設されて
所定の挟圧力を得るための例えばステンレススチール製
の複数の皿バネ２７とから主に構成されている。
には前記シール部材２３をその軸芯がフランジ部２１，
２２の軸芯と一致するように位置決めするための位置決
め部材２４が装着されている。この位置決め部材２４は
耐食・耐熱性金属例えばステンレススチールにより形成
され、前記フランジ部２１，２２の外周に緩く嵌まる円
筒状本体２４ａの中央内周面に前記シール部材２３の外
周面を押えるための環状の突状部２４ｂを一体形成して
なる。更に、前記フランジ部２１，２２には前記シール
部材２３を挟圧すべくフランジ部２１，２２を互に締付
けて接続するための締付機構２５が装着されている。こ
の締付機構２５は、図４にも示すようにフランジ部２
１，２２の外端部に係止される例えばステンレススチー
ル製の馬蹄形状（Ｕ字状）の一対のクランプ部材２５
ａ，２５ｂと、これらクランプ部材２５ａ，２５ｂを互
に締付けるべく周方向に等間隔で配設された例えばステ
ンレススチール製のボルト２６と、各ボルト２６の頭部
２６ａと一方のクランプ部材２５ａとの間に介設されて
所定の挟圧力を得るための例えばステンレススチール製
の複数の皿バネ２７とから主に構成されている。
【００１９】前記ボルト２６は軸方向途中で外径寸法が
異なっており、一方のクランプ部材２５ｂにはボルト先
端部の小径軸部に形成されたネジ部２６ｂが螺合するネ
ジ孔２８が形成され、他方のクランプ部材２５ａにはボ
ルト２６の大径軸部２６ｃが挿通するボルト挿通孔２９
が形成されている。従って、ボルト２６を一方のクラン
プ部材２６ｂに捩じ込んで大径軸部２６ｃの端部がその
クランプ部材２６ｂに当接するとそれ以上回転しない状
態となるので、その時の挟圧力を皿バネ２７の枚数によ
って設定できるように構成されている。なお、前記排気
系処理ガス配管１４におけるフランジ接続部３０の構造
も前記供給系処理ガス配管１３におけるフランジ接続部
２０の構造と同様に構成されている（図示省略）。
異なっており、一方のクランプ部材２５ｂにはボルト先
端部の小径軸部に形成されたネジ部２６ｂが螺合するネ
ジ孔２８が形成され、他方のクランプ部材２５ａにはボ
ルト２６の大径軸部２６ｃが挿通するボルト挿通孔２９
が形成されている。従って、ボルト２６を一方のクラン
プ部材２６ｂに捩じ込んで大径軸部２６ｃの端部がその
クランプ部材２６ｂに当接するとそれ以上回転しない状
態となるので、その時の挟圧力を皿バネ２７の枚数によ
って設定できるように構成されている。なお、前記排気
系処理ガス配管１４におけるフランジ接続部３０の構造
も前記供給系処理ガス配管１３におけるフランジ接続部
２０の構造と同様に構成されている（図示省略）。
【００２０】このように構成された熱処理装置１におい
て、例えば前記供給系処理ガス配管１３のフランジ部２
１，２２を接続する場合には、先ず一方のフランジ部２
１に位置決め部材２４を装着すると共に、この位置決め
部材２４の内周にシール部材２３を配置し、次に前記一
方のフランジ部２１に対して他方のフランジ部２２を前
記位置決め部材２４及びシール部材２３を介して対向さ
せ、これらフランジ部２１，２２に締付機構２５のクラ
ンプ部材２５ａ，２５ｂを係合させてボルト２６で締結
すればよい。このように、両フランジ部２１，２２間に
環状で断面がＳ字状の耐熱金属製のシール部材２３を介
設したので、このシール部材２３の弾性特に軸方向の弾
性力によって弱い挟圧力でフランジ部間の気密性を確保
することができる。
て、例えば前記供給系処理ガス配管１３のフランジ部２
１，２２を接続する場合には、先ず一方のフランジ部２
１に位置決め部材２４を装着すると共に、この位置決め
部材２４の内周にシール部材２３を配置し、次に前記一
方のフランジ部２１に対して他方のフランジ部２２を前
記位置決め部材２４及びシール部材２３を介して対向さ
せ、これらフランジ部２１，２２に締付機構２５のクラ
ンプ部材２５ａ，２５ｂを係合させてボルト２６で締結
すればよい。このように、両フランジ部２１，２２間に
環状で断面がＳ字状の耐熱金属製のシール部材２３を介
設したので、このシール部材２３の弾性特に軸方向の弾
性力によって弱い挟圧力でフランジ部間の気密性を確保
することができる。
【００２１】この場合、前記締付機構２５によるフラン
ジ部２１，２２同士の締付けにより前記シール部材２３
の少なくとも外周縁部２３ａが一方のフランジ面２１ａ
に圧接し（同じ側の環状曲面部２３ｂも圧接するように
してもよい）、前記シール部材２３の少なくとも内周縁
部２３ｃが他方のフランジ面２２ａに圧接し（同じ側の
環状曲面部２３ｄも圧接するようにしてもよい）、フラ
ンジ面２１ａ，２２ａ間を気密にシールするようにな
り、フランジ面２１ａ，２２ａ間の気密性を簡単な構造
でしかも弱い挟圧力で充分に確保することができる。従
って、石英製フランジ部２１，２２に適用してもフラン
ジ部２１，２２が破損する恐れがなく、石英製フランジ
部２１，２２の気密性確保に好適であると共に、前記シ
ール部材２３が耐熱金属製であることからゴム製等のＯ
リングと異なり冷却手段を必要としないで高温部に使用
することができる。また、実施例のように石英製の処理
ガス配管１３，１４のフランジ接続部２０，３０が、対
向するフランジ部２１，２２のフランジ面２１ａ，２２
ａ間に配置された環状で断面がＳ字状の耐熱金属製のシ
ール部材２３と、このシール部材２３を位置決めする位
置決め部材２４と、前記フランジ部２１，２２同士を締
付ける締付機構２５とを具備しているため、対向するフ
ランジ部２１，２２のフランジ面２１ａ，２２ａ間で前
記シール部材２３を所定の弱い挟圧力で正確に挟圧して
気密性を確保することができ、石英製処理ガス配管１
３，１４のフランジ部２１，２２の気密性及び耐久性の
向上が図れる。更に、このようにフランジ接続部２０，
３０の気密性を確保することができるので、所定の熱処
理を安定して行うことができると共に、処理ガスが可燃
性或いは毒性を有する場合でも安全に熱処理を行うこと
ができる。
ジ部２１，２２同士の締付けにより前記シール部材２３
の少なくとも外周縁部２３ａが一方のフランジ面２１ａ
に圧接し（同じ側の環状曲面部２３ｂも圧接するように
してもよい）、前記シール部材２３の少なくとも内周縁
部２３ｃが他方のフランジ面２２ａに圧接し（同じ側の
環状曲面部２３ｄも圧接するようにしてもよい）、フラ
ンジ面２１ａ，２２ａ間を気密にシールするようにな
り、フランジ面２１ａ，２２ａ間の気密性を簡単な構造
でしかも弱い挟圧力で充分に確保することができる。従
って、石英製フランジ部２１，２２に適用してもフラン
ジ部２１，２２が破損する恐れがなく、石英製フランジ
部２１，２２の気密性確保に好適であると共に、前記シ
ール部材２３が耐熱金属製であることからゴム製等のＯ
リングと異なり冷却手段を必要としないで高温部に使用
することができる。また、実施例のように石英製の処理
ガス配管１３，１４のフランジ接続部２０，３０が、対
向するフランジ部２１，２２のフランジ面２１ａ，２２
ａ間に配置された環状で断面がＳ字状の耐熱金属製のシ
ール部材２３と、このシール部材２３を位置決めする位
置決め部材２４と、前記フランジ部２１，２２同士を締
付ける締付機構２５とを具備しているため、対向するフ
ランジ部２１，２２のフランジ面２１ａ，２２ａ間で前
記シール部材２３を所定の弱い挟圧力で正確に挟圧して
気密性を確保することができ、石英製処理ガス配管１
３，１４のフランジ部２１，２２の気密性及び耐久性の
向上が図れる。更に、このようにフランジ接続部２０，
３０の気密性を確保することができるので、所定の熱処
理を安定して行うことができると共に、処理ガスが可燃
性或いは毒性を有する場合でも安全に熱処理を行うこと
ができる。
【００２２】図５は本発明の変形例を示すフランジ接続
部の拡大断面図である。この実施例において、前記実施
例と同一部分には同一参照符号を付してその部分の説明
を省略する。この実施例におけるフランジ部２１，２２
の内周部にはその内径よりも若干大きい内径の環状凹部
３１が形成され、これら凹部３１に跨がって石英製の円
筒状カバー部材３２が収容されている。従って、このカ
バー部材３２により処理ガスがシール部材２３に直接接
触することを防止でき、シール部材２３の耐久性の向上
等が図れる。
部の拡大断面図である。この実施例において、前記実施
例と同一部分には同一参照符号を付してその部分の説明
を省略する。この実施例におけるフランジ部２１，２２
の内周部にはその内径よりも若干大きい内径の環状凹部
３１が形成され、これら凹部３１に跨がって石英製の円
筒状カバー部材３２が収容されている。従って、このカ
バー部材３２により処理ガスがシール部材２３に直接接
触することを防止でき、シール部材２３の耐久性の向上
等が図れる。
【００２３】なお、本発明は、前記実施例に限定される
ものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施
が可能である。例えば、前記実施例では本発明を処理ガ
ス配管の接続部に適用した場合について説明されている
が、本発明は処理ガス配管の接続部だけでなく、例えば
炉内パージガスの供給管接続部、或いは反応管３の炉口
４のフランジ部５と蓋体（被接続部）９の接続部等にも
適用可能である。また、本発明は、酸化処理を行う熱処
理装置だけでなく、例えば拡散、ＣＶＤ、ＰＶＤ等、各
種の処理を行う熱処理装置にも適用可能である。更に、
被処理体としては、半導体ウエハ以外に、例えばＬＣＤ
基板等が適用可能である。
ものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施
が可能である。例えば、前記実施例では本発明を処理ガ
ス配管の接続部に適用した場合について説明されている
が、本発明は処理ガス配管の接続部だけでなく、例えば
炉内パージガスの供給管接続部、或いは反応管３の炉口
４のフランジ部５と蓋体（被接続部）９の接続部等にも
適用可能である。また、本発明は、酸化処理を行う熱処
理装置だけでなく、例えば拡散、ＣＶＤ、ＰＶＤ等、各
種の処理を行う熱処理装置にも適用可能である。更に、
被処理体としては、半導体ウエハ以外に、例えばＬＣＤ
基板等が適用可能である。
【００２４】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果が得られる。
な優れた効果が得られる。
【００２５】（１）請求項１記載の熱処理装置によれ
ば、被接続部とフランジ部の間に環状で断面がＳ字状の
耐熱金属製のシール部材を介設したので、このシール部
材の弾性により弱い挟圧力で被接続部とフランジ部との
間の気密性を確保することができ、石英製フランジ部の
気密性確保に好適であると共に、前記シール部材が耐熱
金属製であることからＯリングと異なり冷却手段を必要
としないで高温部に使用することができる。
ば、被接続部とフランジ部の間に環状で断面がＳ字状の
耐熱金属製のシール部材を介設したので、このシール部
材の弾性により弱い挟圧力で被接続部とフランジ部との
間の気密性を確保することができ、石英製フランジ部の
気密性確保に好適であると共に、前記シール部材が耐熱
金属製であることからＯリングと異なり冷却手段を必要
としないで高温部に使用することができる。
【００２６】（２）請求項２記載の熱処理装置によれ
ば、石英製の処理ガス配管のフランジ接続部が、対向す
るフランジ部のフランジ面間に配置された環状で断面が
Ｓ字状の耐熱金属製のシール部材と、このシール部材を
位置決めする位置決め部材と、前記フランジ部同士を締
付ける締付機構とを具備しているため、対向するフラン
ジ部のフランジ面間で前記シール部材を所定の弱い挟圧
力で正確に挟圧して気密性を確保することができ、石英
製処理ガス配管のフランジ部の気密性及び耐久性の向上
が図れる。
ば、石英製の処理ガス配管のフランジ接続部が、対向す
るフランジ部のフランジ面間に配置された環状で断面が
Ｓ字状の耐熱金属製のシール部材と、このシール部材を
位置決めする位置決め部材と、前記フランジ部同士を締
付ける締付機構とを具備しているため、対向するフラン
ジ部のフランジ面間で前記シール部材を所定の弱い挟圧
力で正確に挟圧して気密性を確保することができ、石英
製処理ガス配管のフランジ部の気密性及び耐久性の向上
が図れる。
【００２７】（３）請求項３記載の熱処理装置によれ
ば、前記締付機構によるフランジ部同士の締付けにより
前記シール部材の少なくとも外周縁部が一方のフランジ
面に圧接し、前記シール部材の少なくとも内周縁部が他
方のフランジ面に圧接してフランジ面間を気密にするよ
うに構成されているので、フランジ面間の気密性を簡単
な構造でしかも弱い挟圧力で充分に確保することができ
る。
ば、前記締付機構によるフランジ部同士の締付けにより
前記シール部材の少なくとも外周縁部が一方のフランジ
面に圧接し、前記シール部材の少なくとも内周縁部が他
方のフランジ面に圧接してフランジ面間を気密にするよ
うに構成されているので、フランジ面間の気密性を簡単
な構造でしかも弱い挟圧力で充分に確保することができ
る。
【図１】本発明の一実施例を示す熱処理装置の断面図で
ある。
ある。
【図２】図１のフランジ接続部の詳細を示す拡大断面図
である。
である。
【図３】図２のフランジ接続部に使用されているシール
部材の拡大断面図である。
部材の拡大断面図である。
【図４】締付機構を示す正面図である。
【図５】本発明の変形例を示すフランジ接続部の拡大断
面図である。
面図である。
１ 熱処理装置 Ｗ 半導体ウエハ（被処理体） ３ 反応管（熱処理炉） １３，１４ 処理ガス配管 ２０，３０ フランジ接続部 ２１ フランジ部 ２２ フランジ部（被接続部） ２１ａ，２２ａ フランジ面 ２３ シール部材 ２３ａ 外周縁部 ２３ｃ 内周縁部 ２４ 位置決め部材 ２５ 締付機構
Claims (3)
- 【請求項１】 被接続部に気密に接続されるフランジ部
を有する熱処理炉に被処理体を収容して処理ガス雰囲気
下で熱処理する熱処理装置において、前記被接続部とフ
ランジ部の間に環状で断面がＳ字状の耐熱金属製のシー
ル部材を介設したことを特徴とする熱処理装置。 - 【請求項２】 フランジ接続された石英製の処理ガス配
管を有する熱処理炉に被処理体を収容して処理ガス雰囲
気下で熱処理する熱処理装置において、前記処理ガス配
管のフランジ接続部が、対向するフランジ部のフランジ
面間に配置された環状で断面がＳ字状の耐熱金属製のシ
ール部材と、このシール部材を位置決めする位置決め部
材と、前記フランジ部同士を締付ける締付機構とを具備
したことを特徴とする熱処理装置。 - 【請求項３】 前記締付機構によるフランジ部同士の締
付けにより前記シール部材の少なくとも外周縁部が一方
のフランジ面に圧接し、前記シール部材の少なくとも内
周縁部が他方のフランジ面に圧接してフランジ面間を気
密にするように構成されていることを特徴とする請求項
２記載の熱処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11358494A JPH07302790A (ja) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | 熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11358494A JPH07302790A (ja) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | 熱処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07302790A true JPH07302790A (ja) | 1995-11-14 |
Family
ID=14615931
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11358494A Pending JPH07302790A (ja) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | 熱処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07302790A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09283512A (ja) * | 1996-04-15 | 1997-10-31 | Taiwan Moseki Denshi Kofun Yugenkoshi | 半導体用炉管の構造 |
| JP2005332916A (ja) * | 2004-05-19 | 2005-12-02 | Ushio Inc | 光加熱装置 |
| JP2012151115A (ja) * | 2003-04-16 | 2012-08-09 | Mks Instruments Inc | トロイダル低電場反応性気体および誘電真空槽を有するプラズマ源 |
| KR101471004B1 (ko) * | 2013-05-07 | 2014-12-09 | (주)티티에스 | 인젝터 및 이를 포함하는 기판처리장치 |
-
1994
- 1994-04-28 JP JP11358494A patent/JPH07302790A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09283512A (ja) * | 1996-04-15 | 1997-10-31 | Taiwan Moseki Denshi Kofun Yugenkoshi | 半導体用炉管の構造 |
| JP2012151115A (ja) * | 2003-04-16 | 2012-08-09 | Mks Instruments Inc | トロイダル低電場反応性気体および誘電真空槽を有するプラズマ源 |
| JP2005332916A (ja) * | 2004-05-19 | 2005-12-02 | Ushio Inc | 光加熱装置 |
| KR101471004B1 (ko) * | 2013-05-07 | 2014-12-09 | (주)티티에스 | 인젝터 및 이를 포함하는 기판처리장치 |
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