JPH0730281A - 磁気シールド材 - Google Patents

磁気シールド材

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JPH0730281A
JPH0730281A JP5195451A JP19545193A JPH0730281A JP H0730281 A JPH0730281 A JP H0730281A JP 5195451 A JP5195451 A JP 5195451A JP 19545193 A JP19545193 A JP 19545193A JP H0730281 A JPH0730281 A JP H0730281A
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JP
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magnetic shield
powder
base material
sheet
magnetic
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JP5195451A
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Takanori Endo
貴則 遠藤
Masami Miyake
政美 三宅
Hiroyuki Imai
浩之 今井
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Mitsubishi Materials Corp
Original Assignee
Mitsubishi Materials Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 シールド効果に優れた磁気シールド材の
提供 【構成】 少なくとも1対のシート状基材が一体に積層
された基材積層体からなり、該基材表面には磁気シール
ド粉末を均一に付着してなる粉末層が形成されており、
該基材は上記粉末層を互いに向い合わせにして積層され
ており、相対面する上記粉末層が接着剤を介せずに相互
に接触していることを特徴とする磁気シールド材。 【効果】 磁気シールド粉末の間に樹脂や接着剤が介在
しないので、粉末相互の接触が妨げられず、優れた磁気
シールド効果が得られる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は磁気シールド材に関し、
より詳しくは、磁気シールド粉末相互の接触が樹脂や粘
着剤に妨げられない優れた磁気シールド効果を有する磁
気シールド材に関する。近年、電子機器の急速な普及に
伴い、磁気が原因の誤動作や相互干渉の問題が増加し、
広い分野において磁気シールドが必要とされている。例
えば電磁調理器の底面部材、高圧線近傍の建築物の壁
材、病院の磁気断層写真室の壁材や床材、自動車の電子
回路ボックス、小型モータのケーシング材、リニアモー
ターカの壁材や床材などは磁気による影響を与えないよ
うに、または外部から磁気の影響を受けないように磁気
ノイズをシールドする必要がある。本発明はこれらの磁
気シールドに最適なシールド材を提供するものである。
【0002】
【従来の技術とその課題】従来、磁気シールド材として
パーマロイ合金板やフェライトなどが用いられている。
ところがパーマロイ合金板は折り曲げや絞り加工または
切断加工などを施すと、加工部分の合金組織が歪み磁気
シールド特性が極端に低下する。これを元に戻すには加
工品を1000℃以上で焼鈍した後に非酸化性雰囲気下で徐
冷しなければならず、製造に手間がかかり大幅なコスト
高になるなど加工性に問題がある。またフェライト焼結
体は強磁場中で発熱しないが硬く脆いので加工性に劣
る。
【0003】これを改善するために、パーマロイ合金粉
末やセンダスト合金粉末などの金属系軟磁性磁気シール
ド粉末を樹脂に混合した磁気シールド材やフェライト粉
末などの酸化物系軟磁性粉末を樹脂に混合した磁気シー
ルド材が知られている。ところが、この種の磁気シール
ド材は、樹脂中に軟磁性粉末が分散されるために樹脂量
が多いと磁気シールド粉末相互の接触が分断されて磁気
抵抗が増し、充分な磁気シールド効果を得ることができ
ず、他方、磁気シールド効果を高めるために磁気シール
ド粉末の配合量を増すと、配合量が75重量%以上では
シールド材の弾性が失われ、薄い磁気シールド材を得る
ことができない問題がある。また磁気シールド粉末を樹
脂に混練する製造設備が必要であるため製造が限られ
る。
【0004】また、樹脂フィルム等の表面に磁気シール
ド粉末をバインダーと共にコーテングして磁気シールド
層を形成した磁気シールド材も知られている(特開平1-
261897号公報、同1-184202号公報、同2-42798 号公報
等)。とろがこの磁気シールド材においても、磁気シー
ルド粉末の接着強度を高めるためにバインダーの量を増
すと、磁気シールド粉末相互の間に介在するバインダー
が磁気抵抗となりシールド効果が低下する問題がある。
【0005】
【発明の解決課題】本発明は、従来の磁気シールド材に
おける上記課題を解決したものであり、磁気シールド粉
末相互の接触が樹脂や粘着剤に妨げられず、従って磁気
シールド効果に優れた磁気シールド材を提供することを
目的とする。
【0006】
【課題の解決手段】本発明によれば以下の磁気シールド
材が提供される。 (1) 少なくとも1対のシート状基材が一体に積層さ
れた基材積層体からなり、該基材表面には磁気シールド
粉末を均一に付着してなる粉末層が形成されており、該
基材は上記粉末層を互いに向い合わせにして積層されて
おり、相対面する上記粉末層が接着剤を介せずに相互に
接触していることを特徴とする磁気シールド材。 (2) 上記基材積層体が保護フィルムによって覆わ
れ、熱圧着された保護フィルムによって上記基材積層体
が一体に形成されている上記(1)の磁気シールド材。 (3) 上記基材積層体を形成するシート状基材の周縁
部に磁気シールド粉末を有しない接合部が形成されてお
り、該接合部でシート状基材を相互に接合することによ
り上記基材積層体が一体に形成されている上記(1) の磁
気シールド材。 (4) 相対面する磁気シールド粉末層の間に接着剤を
有しない磁気シールド粉末層が介在され、これらの磁気
シールド粉末層が接着剤を介せずに相互に接触している
上記(1) 〜(3) の何れかの磁気シールド材。 (5) 上記基材積層体が多数のシート状基材によって
形成されており、最上層のシート状基材と最下層のシー
ト状基材の間に位置する内側のシート状基材の両面に上
記粉末層が形成されている上記(1) 〜(4) の何れかの磁
気シールド材。 (6) 上記磁気シールド粉末によって形成された磁気
シールド粉末層と共に、該磁気シールド粉末に代えて導
電性粉末によって形成された導電性粉末層が設けられて
いる上記(1) 〜(5) の磁気シールド材。
【0007】
【発明の具体的な説明】以下、図面を参照して本発明を
詳細に説明する。図1ないし図3は本発明に係る磁気シ
ールド材の積層構造を示す模式断面図であり、図4はそ
の模式的な平面図である。また図5は本発明に係る磁気
シールド材を長手方向に接合する例を示す説明図であ
り、図6および図7は本発明に係る磁気シールド材の多
層構造の模式断面図である。
【0008】図示するように、本発明の磁気シールド材
は、少なくとも1対のシート状基材10が互いに積層さ
れてなる基材積層体20によって形成されている。該シ
ート状基材10の表面には磁気シールド粉末が均一に付
着してなる粉末層が形成されている。すなわち、該基材
積層体20を形成するシート状基材10の表面には接着
剤11が薄く塗布されており、該接着剤11を介して磁
気シールド粉末12が均一に分散し互いに接触して基材
表面に付着された磁気シールド粉末層が形成されてい
る。該シート状基材10はこの磁気シールド粉末層を向
い合わせにして積層されており、一方の基材の粉末層と
他方の基材の粉末層の間には接着剤や樹脂が介在せず、
該磁気シールド粉末が直接に接触している。また相対面
する一方の基材の粉末層と他方の基材の粉末層の間には
接着剤を有しない磁気シールド粉末層13を介在させて
も良い。この場合にも、基材表面の磁気シールド粉末層
と接着剤を有しない磁気シールド粉末層が互いに接着剤
や樹脂を介せずに直接に接触する。
【0009】このように形成された上記基材積層体20
においては、該積層体の相対面する磁気シールド粉末層
の間に接着剤や樹脂が介在せず磁気シールド粉末相互の
接触がこれらに妨げられないので、粉末全体の磁気抵抗
が極めて小さく、高い磁気シールド効果を得ることがで
きる。
【0010】上記基材積層体20は熱圧着(融着)、真
空圧着、接着剤による接合など適宜の手段で一体に密着
して形成される。その具体例を図2〜図4に示す。図2
の例では、上記基材積層体20が保護フィルム17によ
って覆われ、熱圧着によって一体に押圧され保護フィル
ム17の端部が融着して接合されることにより全体が一
体に形成されている。また該基材10は磁気シールド粉
末面を向い合わせにして積層されるので、図3および図
4に示すように、上記粉末面15と共に基材10の周辺
部に磁気シールド粉末12を有しない接合部14を設
け、接着剤によって上下のシート状基材10をこの部分
14で相互に接合して一体に形成しても良い。さらに、
基材10はその磁気シールド粉末付着面を向い合わせに
して積層されるので、図5に示すように、基材10の側
端に磁気シールド粉末12を有しない接着剤塗布部16
を設け、基材10の位置を互いに側方にずらして積層
し、一方の基材10の接着剤部分16を他方の基材10
の磁気シールド粉末12に接合すれば、磁気シールド粉
末12を介して上下の基材10を一体に接合することが
でき、必要に応じて磁気シールド材の長さおよび幅を延
ばすことができる。
【0011】以上のように本発明の磁気シールド材は、
少なくとも1対のシート状基材からなる基材積層体によ
って形成されるが、上記基材積層体20は多数のシート
状基材10を積層して形成したものでも良い。図6およ
び図7は5枚のシート状基材を積層した例を示す。図示
する多層構造の磁気シールド材においては、内側のシー
ト状基材、即ち、最上層の基材10と最下層の基材10
の間に位置するシート状基材10aは、その両面に磁気
シールド粉末層が形成されており、これらの粉末が接着
剤を介せずに直接に相互に接触している。基材の積層数
はシールド材全体の柔軟性が失われない程度が好まし
く、例えば、粒径の大きな磁気シールド粉末(粒径:2〜
3cm )を用いた場合には3〜5層が適当であり、粒径の
小さな磁気シールド粉末(粒径:15 μm 程度)を用いた
場合には10層以上積層することができる。これらの積
層体は、図2の場合と同様に、その全体が保護フィルム
17によって覆われ、熱圧着(融着)、真空圧着、接着
剤による接合など適宜の手段によって一体に形成され
る。図6に熱圧着により一体化した例を示す。本例は図
2の場合と同様に基材積層体全体が保護フィルム17に
よって覆われ、全体が押圧された状態で保護フィルム1
7の端部が融着されて一体に形成されている。また図3
の場合と同様に、最も外側に位置する上下のシート状基
材10の周縁部に磁気シールド粉末が付着しない接合部
14が各々設けられ、両シート状基材の接合部分14が
接着剤などによって相互に一体に接合されることによっ
て磁気シールド材全体が一体に形成される。この例を図
7に示す。
【0012】磁気シールド粉末としては高飽和磁化およ
び低保磁力を有する軟磁性粉末が用いられる。ここで高
飽和磁化と低保磁力を有するとは、従来の磁気シールド
粉末と同等かそれを上回る飽和磁化を有し、同等かそれ
以下の保磁力を有することを言う。該軟磁性粉末として
は、例えば、硅素鋼、センダスト合金、パーマロイ合金
またはCo系ないしFe系非晶質合金の粉末および絶縁
性のフェライト系酸化物粉末が挙げられる。代表的なこ
れらの軟磁性材の保磁力は10Oe以下であり、磁気シー
ルド粉末として用いるには保磁力は少なくとも10Oe以
下、好ましくは1.0Oe以下のものが適当である。また
図6、図7に示す多層構造の磁気シールド材において
は、層ごとに異なった種類の磁気シールド粉末を用いる
ことができる。一例として、遮蔽対象の磁束に面する側
の外層付近の粉末層には比較的保磁力が大きく安価な粉
末を用い、内側の粉末層には保磁力の小さな粉末を用い
ることによって、高い磁気シールド効果を維持しながら
経済性に優れた磁気シールド材を得ることができる。
【0013】上記磁気シールド粉末の平均粒径は100 μ
m 〜3cmの範囲が好ましい。平均粒径が100 μm 未満で
あると、粉末相互の接触点が増え、多数の接触点のため
に全体の磁気抵抗が増し、透磁率が低くなるので磁気シ
ールド効果が低下する。平均粒径が3cmより大きいと基
材表面に均一に分散させるのが難しく、また積層体全体
の柔軟性が失われるので基材を多層積層することができ
ない。磁気シールド粉末の形状は、粉末相互の接触密度
を高めるには偏平状粉末が好ましい。特にアスペクト比
5以上の偏平粉が好ましい。ここでアスペクト比とは偏
平粉において偏平面の平均直径に対する厚さの比(平均
直径/厚さ)を云う。このような偏平粉はアトマイズ法
などによって得た球状粒子をボールミル等によって加工
し、あるいは溶融金属を偏平状に加工して得られる。
【0014】磁気シールド粉末には上記粉末に導電性金
属を被覆したものを用いることができる。また上記多層
構造の磁気シールド材においては、図8に示すように磁
気シールド粉末によって形成された粉末層の間に、磁気
シールド粉末12、13に代えて導電性粉末21からな
る導電性粉末層を設けたものでも良い。該導電性粉末層
は磁気シールド粉末層と同様に基材表面に導電性粉末を
均一に付着して形成され、あるいは相対面する粉末層の
間に導電性粉末を介在して形成される。このように導電
性金属が介在するものは該金属粉末による電磁波シール
ド効果と磁性粉末による磁気シールド効果を併せて有す
るので、静磁場や低周波域から高周波域に至る広い周波
数帯域の電磁波に対して優れたシールド効果を発揮する
ことができる。上記導電性粉末も偏平状の粉末が好まし
い。
【0015】基材10としては樹脂シートが一般的であ
り、高抵抗の絶縁性樹脂を用いれば、交流電流による強
い磁界内で使用されても磁気シールド材内部における渦
電流の発生が防止されるので磁気シールド材が発熱しな
い。従って、電磁誘導加熱を利用した調理器や炊飯器の
磁気シールド材として好適である。この他に基材10と
して不織布などの布材を用いても良い。
【0016】基材表面に磁気シールド粉末を均一に付着
させる方法としては、基材表面に接着剤を塗布し、この
接着面に磁気シールド粉末を散布または吹付けて付着さ
せる方法、磁気シールド粉末を溜めた中に接着剤を塗布
した基材を通過させる方法、通気性の樹脂シートを用
い、シートの裏側から吸引して該粉末を付着させる方法
(吸引法)などを利用することができる。
【0017】図9および図10は乾式吸引法による製造
装置の概略断面図である。図示するように該装置は気密
な槽30を有し、該槽30には槽内を塞ぐ支持板31が
設けられており、該支持板31には多数の通気孔32が
穿設されている。支持板31より上側の側壁には送風ダ
クト33が設けられており、蓋34には排気口を兼ねる
粉末供給口35が設けられている。送風ダクト33は槽
30の外周に環状に設けられており、槽内に向かって多
数の吹込み孔が槽内を囲むように穿設されている。一
方、槽30の底部には排気手段36が接続しており、該
排気手段36によって槽内が吸引排気される。基材10
として多数の小孔41を有しかつ表面に薄く粘着剤を塗
布した樹脂シート40を用いる。なお多孔質樹脂シート
に粘着剤を刷子塗りすると小孔が詰まるので、グラビア
コートなどの方法によって微細なドット状あるいはスト
ライブ状に粘着剤をコーテイングすれば小孔の詰まりを
生じないので好ましい。この樹脂シート40を上記支持
板31に載置し、磁気シールド粉末42を粉末供給口3
5から槽内に供給した直後あるいは供給と同時に送風ダ
クト33を通じて空気を送り、吹出し孔から空気を噴出
させて上記粉末を流動化し、槽内を流動層の状態にす
る。次いで送風を止めると同時に排気手段36によって
槽内を排気し、流動化した粉末を樹脂シート表面に吸引
して付着させる。ここで、偏平な磁気シールド粉末を用
いると、該粉末はこの吸引力により偏平面に沿って基板
表面に配向する。また吸引力は樹脂シート40の表面に
粉末が付着して小孔41が塞がれるに従って弱くなるの
で、未接着の部分にも順次粉末が吸引されて付着するの
で最終的に表面全体に均一に粉末が付着する。
【0018】
【実施例および比較例】以下に本発明の実施例を比較例
と共に示す、なお本実施例は例示であり本発明の範囲を
限定するものではない。
【0019】実施例1 図9に示す装置を用い、多数の小孔を有する樹脂シート
(孔径3 〜5 μm 、厚さ30〜40μm )の表面に粘着剤を
グラビアコート法によって微細な斑点状に薄く塗布した
ものを支持板31に載置し、偏平状のCo系非晶質軟磁性
合金粉末(平均長径1.5cm 、平均短径5.0mm 、平均厚さ
160 μm )を排気口を兼ねる粉末供給口35から槽内に
入れ、同時に送風口33から空気を導入して槽内を流動
槽の状態にした。次に送風を止めると同時に排気手段3
6によって槽内を排気し、流動化した粉末を上記樹脂シ
ート表面に吸引して付着させた。このようにして片面に
粉末層を形成したシート状基材を一対用い、粉末層を上
向きにした一方のシート状基材の粉末層の上に接着剤を
有しない同種の粉末を均一に供給して未接着の粉末層を
形成し、さらにこの上に、粉末層を下向きにした他方の
シート状基材を重ね、この積層体を保護フィルムで覆
い、熱圧着によって一体に形成することにより磁気シー
ルド材(試料A1 )を得た。この試料A1 の粉末量は50
0g/m2 であり、基材の間に介在された未接着粉末と基材
表面に付着された粉末の割合は重量比で1:3、磁気シ
ールド材の厚さは0.8 mmである。上記Co系粉末に代えて
偏平状のFe系非晶質軟磁性合金粉末(平均長径1.7cm 、
平均短径5.2mm 、平均厚さ215 μm )を用い、上記方法
によって磁気シールド材(試料A2 )を得た。また、上
記Co系粉末に代えて偏平状のセンダスト粉末(平均長径
1.1cm 、平均短径3.0mm 、平均厚さ125 μm )を用い、
上記方法によって磁気シールド材(試料A3 )を得た。
この試料A1 、A2 の粉末量は何れも500g/m2 であり、
厚さは0.8 mmである。
【0020】上記試料A1,A2,A3 を用い、図11に示
す測定装置60によってその磁気シールド効果を測定し
た。該装置60は載置台62を有し、該載置台62の容
器63に強度既知の磁石64が装入されており、また磁
気強度検出器70の検知端71がスタンドのアーム65
に上下動自在に支持されており、その先端が上記磁石6
4に臨むように設置されている。試料72は容器63に
載せられ、試料72によって遮蔽された磁気強度を測定
する。本実施例では、試料72を設置しない状態で検知
端71が感知する初期強度が各々100G, 80G,60G,40G,20
G の磁石を用い、この位置に検知端71を設定し、各試
料について上記磁石を入替え、試料によって遮蔽された
磁気強度を測定した。この結果を表1に示した。
【0021】実施例2 実施例1と同一のCo系、Fe系合金粉末およびセンダスト
粉末を用い、シート状基材に粘着剤をコーテングした後
に基材周縁部1cmをテープで覆った他は実施例1と同様
にして片面に磁気シールド粉末を付着したシート状基材
を得た。この一対の基材を粉末層を向い合せにして実施
例1と同様に積層し、該基材周縁部のテープを剥離して
上下の基材を相互に接合することにより一体に形成して
磁気シールド材(試料B1,B2,B3 )を得た。この試料
B1,B2,B3 の粉末量は何れも500g/m2 であり、厚さは
0.6 mmである。この試料B1,B2,B3 について実施例1
と同様の方法で磁気シールド効果を測定した。この結果
を表1に示した。
【0022】比較例1 偏平状のCo系非晶質軟磁性合金粉末(平均長径1.5cm 、
平均短径5.0mm 、平均厚さ160 μm )70wt%とウレタ
ン系有機結合剤(武田薬品社製、商品名タケネート)3
0wt%に、この粉末と結合剤の合計量に対して2倍量の
有機溶媒(メチルエチルケトン40wt%、トルエン40wt
%、シクロヘキサン20wt%)を加えて磁気シールド塗料
を調製した。この塗料を塩化ビニルシート上にバーコー
タとアプリケータを用いて塗布し乾燥して塗膜を形成し
た。塗膜形成を繰り返し、単位面積あたりの粉末量が実
施例1と同一(500g/m2 )の磁気シールド膜を有する厚
さ0.26mmの磁気シールド材(試料C1 )を得た。実施例
1と同様のFe系粉末およびセンダスト粉末を用いた他は
同様の方法で磁気シールド材(試料C2,C3 )を得た。
この試料C1,C2,C3 について実施例1と同様の方法で
磁気シールド効果を測定した。この結果を表1に示し
た。
【0023】実施例3 実施例1と同様の方法で一対のシート状基材を積層して
積層体を形成し、この積層体の外面に粘着剤を塗布し、
積層体をさらに3層重ね(シート状基材6層)全体を保
護フィルムで覆い、熱圧着により一体にラミネートした
磁気シールド材(試料D1,D2,D3 )を得た。該試料D
1,D2,D3 の粉末量は何れも1500g/m 2であり、厚さは
2mmである。この試料D1,D2,D3 について実施例1と
同様の方法で磁気シールド効果を測定した。この結果を
表2に示した。
【0024】比較例2 比較例1で得た成形体(試料D1,D2,D3 )の各々につ
いて、接着剤を用いて該成形体を3層積層した磁気シー
ルド材(試料E1,E2,E3 )を得た。この試料E1,E2,
E3 の粉末量は何れも1500g/m 2 であり実施例3と同一
である。この試料E1,E2,E3 について実施例1と同様
の方法で磁気シールド効果を測定した。この結果を表2
に示した。
【0025】
【表1】
【0026】
【表2】
【0027】表1および表2に示されるように、同種の
磁気シールド粉末を用いた試料について本実施例と従来
の比較例を比べると、磁気シールド粉末の使用量が同一
でも本発明の磁気シールド材は、粉末と樹脂を混合して
用いた従来の磁気シールド材よりも格段に優れた磁気シ
ールド効果を有している。
【0028】
【発明の効果】本発明の磁気シールド材は磁気シールド
粉末相互の接触が樹脂や粘着剤に妨げられないために優
れた磁気シールド効果を有する。また柔軟性に富むので
凹凸の多い部分にも用いることができる。さらに製造が
容易であり、各種の電気機器はもとより室内あるいは車
内の磁気シールド材として好適である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る磁気シールド材の基材積層体を示
す模式断面図。
【図2】本発明に係る磁気シールド材の積層構造を示す
模式断面図であり、保護フィルムを有する例を示す。
【図3】本発明に係る磁気シールド材の積層構造を示す
模式断面図であり、基材周縁部によって一体に接合され
た例を示す。
【図4】図3の場合の磁気シールド材の模式的な平面
図。
【図5】本発明に係る磁気シールド材を長手方向に接合
する例を示す説明図。
【図6】本発明に係る多層構造の磁気シールド材の模式
断面図であり、保護フィルムを有する例を示す。
【図7】本発明に係る多層構造の磁気シールド材の模式
断面図であり、外側の基材周縁部によって一体に接合さ
れた例を示す。
【図8】本発明に係る磁気シールド材の模式断面図であ
り、導電性粉末を有する例を示す。
【図9】本発明に係る磁気シールド材の製造装置の模式
縦断面図。
【図10】図9の装置の模式横断面図。
【図11】磁気シールド効果の測定装置の構成図。
【符号の説明】
10、10a−シート状基材 11−接着剤 12、13−磁気シールド粉末 14−周縁部 15−磁気シールド粉末面 20−基材積層体 21−導電性粉末

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 少なくとも1対のシート状基材が一体に
    積層された基材積層体からなり、該基材表面には磁気シ
    ールド粉末を均一に付着してなる粉末層が形成されてお
    り、該基材は上記粉末層を互いに向い合わせにして積層
    されており、相対面する上記粉末層が接着剤を介せずに
    相互に接触していることを特徴とする磁気シールド材。
  2. 【請求項2】 上記基材積層体が保護フィルムによって
    覆われ、熱圧着された保護フィルムによって上記基材積
    層体が一体に形成されている請求項1の磁気シールド
    材。
  3. 【請求項3】 上記基材積層体を形成するシート状基材
    の周縁部に磁気シールド粉末を有しない接合部が形成さ
    れており、該接合部でシート状基材を相互に接合するこ
    とにより上記基材積層体が一体に形成されている請求項
    1の磁気シールド材。
  4. 【請求項4】 相対面する磁気シールド粉末層の間に接
    着剤を有しない磁気シールド粉末層が介在され、これら
    の磁気シールド粉末層が接着剤を介せずに相互に接触し
    ている請求項1〜3の何れかの磁気シールド材。
  5. 【請求項5】 上記基材積層体が多数のシート状基材に
    よって形成されており、最上層のシート状基材と最下層
    のシート状基材の間に位置する内側のシート状基材の両
    面に上記粉末層が形成されている請求項1〜4の何れか
    の磁気シールド材。
  6. 【請求項6】 上記磁気シールド粉末によって形成され
    た磁気シールド粉末層と共に、該磁気シールド粉末に代
    えて導電性粉末によって形成された導電性粉末層が設け
    られている請求項1〜5の磁気シールド材。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11191982A (ja) * 1997-12-26 1999-07-13 Asmo Co Ltd 超音波モータの駆動回路
JP2023100948A (ja) * 2019-03-11 2023-07-19 ニコベンチャーズ トレーディング リミテッド エアロゾル供給デバイス

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