JPH07302945A - レーザ出力制御装置 - Google Patents
レーザ出力制御装置Info
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- JPH07302945A JPH07302945A JP6093251A JP9325194A JPH07302945A JP H07302945 A JPH07302945 A JP H07302945A JP 6093251 A JP6093251 A JP 6093251A JP 9325194 A JP9325194 A JP 9325194A JP H07302945 A JPH07302945 A JP H07302945A
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- laser
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明はレーザ出力制御装置のレーザ光検出
器に抵抗温度係数が大きく、熱容量の小さな負特性サー
ミスタまたは負特性サーミスタユニットを使用すること
によるレーザ光検出器の感度の向上および簡素化を図る
ことを目的とする。 【構成】 レーザ光検出用負特性サーミスタ１および温
度補償用負特性サーミスタ２を使用し、負特性サーミス
タユニットにすることにより、レーザ光検出器の感度を
向上させるとともにレーザ光検出器を簡素化したもので
ある。 【効果】 レーザ光検出器の感度が大きくなることによ
り低出力域においても安定したレーザ出力を得ることが
できる。
器に抵抗温度係数が大きく、熱容量の小さな負特性サー
ミスタまたは負特性サーミスタユニットを使用すること
によるレーザ光検出器の感度の向上および簡素化を図る
ことを目的とする。 【構成】 レーザ光検出用負特性サーミスタ１および温
度補償用負特性サーミスタ２を使用し、負特性サーミス
タユニットにすることにより、レーザ光検出器の感度を
向上させるとともにレーザ光検出器を簡素化したもので
ある。 【効果】 レーザ光検出器の感度が大きくなることによ
り低出力域においても安定したレーザ出力を得ることが
できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレーザ装置から出力する
レーザ光を高速度応答で制御するレーザ出力制御装置に
関するものである。
レーザ光を高速度応答で制御するレーザ出力制御装置に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のレーザ出力制御装置のレーザ光検
出器を図８に沿って説明する。すなわち、１５はレーザ
光検出器、１６はサーモパイル等のレーザ光検出用熱電
対、１７は前記レーザ光検出用熱電対１６と同じ特性の
温度補償用熱電対であり、周囲温度の影響を防ぐために
直列に結線されている。１８はレーザ光であり、前記レ
ーザ光１８によりレーザ光検出用熱電対１６と温度補償
用熱電対１７との間には温度差が生じ、この温度差に比
例した熱起電力が発生し、出力端子１９に信号を出力す
る。
出器を図８に沿って説明する。すなわち、１５はレーザ
光検出器、１６はサーモパイル等のレーザ光検出用熱電
対、１７は前記レーザ光検出用熱電対１６と同じ特性の
温度補償用熱電対であり、周囲温度の影響を防ぐために
直列に結線されている。１８はレーザ光であり、前記レ
ーザ光１８によりレーザ光検出用熱電対１６と温度補償
用熱電対１７との間には温度差が生じ、この温度差に比
例した熱起電力が発生し、出力端子１９に信号を出力す
る。
【０００３】図９は従来のレーザ出力制御装置に適用さ
れる均一化器である積分球の動作を示す説明図である。
レーザ光２１は積分球２０の入力ポート２２から入射す
る。積分球２０の内面は、入射されたレーザ光２１を乱
反射させるように凹凸形状に形成されており、金メッキ
等の全反射膜がコーティングされているので、入射され
たレーザ光２１は積分球２０の内面で多数の反射を繰り
返して均一に拡散されるため、積分球２０に微小な孔の
出力ポート２３を設けることにより、入射されたレーザ
光２１に比例し、かつ十分に均一にされたレーザ光２４
を外部に出力することができる。この均一にされたレー
ザ光２４は、入射されたレーザ光２１のビーム径、ビー
ムモード、入射角度、偏光方向等には無関係である。
れる均一化器である積分球の動作を示す説明図である。
レーザ光２１は積分球２０の入力ポート２２から入射す
る。積分球２０の内面は、入射されたレーザ光２１を乱
反射させるように凹凸形状に形成されており、金メッキ
等の全反射膜がコーティングされているので、入射され
たレーザ光２１は積分球２０の内面で多数の反射を繰り
返して均一に拡散されるため、積分球２０に微小な孔の
出力ポート２３を設けることにより、入射されたレーザ
光２１に比例し、かつ十分に均一にされたレーザ光２４
を外部に出力することができる。この均一にされたレー
ザ光２４は、入射されたレーザ光２１のビーム径、ビー
ムモード、入射角度、偏光方向等には無関係である。
【０００４】図１０は従来のガスレーザ発振装置におけ
るレーザ出力制御装置の全体構成を示す。２５はガラス
等の誘電体よりなる放電管、２６，２７はそれぞれ前記
放電管２５の端部に設けられた金属電極、２８は前記金
属電極２６，２７に接続された高圧電源、２９は前記高
圧電源２８の電圧を印加する金属電極２６，２７間に挟
まれた放電管２５内の放電空間、３０は全反射鏡、３１
は部分反射鏡である。この全反射鏡３０、部分反射鏡３
１は前記放電空間２９の両端に固定配置され、光共振器
を形成している。３２は前記部分反射鏡３１より出力さ
れるレーザ光、３３は全反射鏡を透過する検出レーザ
光、３４はレーザガスの流れる方向を示す矢印で、軸流
形レーザ装置の中を循環している。３５は送気管、３
６，３７はそれぞれ前記放電空間２９にて放電およびレ
ーザガスを循環させるための送風機３８により温度上昇
したレーザガスの温度を下げる熱交換器、３９はレーザ
光の出力指令値、４０はレーザ検出器１５の出力と所定
のレーザ光の出力指令値３９を比較して、その誤差信号
を増幅する増幅器である。
るレーザ出力制御装置の全体構成を示す。２５はガラス
等の誘電体よりなる放電管、２６，２７はそれぞれ前記
放電管２５の端部に設けられた金属電極、２８は前記金
属電極２６，２７に接続された高圧電源、２９は前記高
圧電源２８の電圧を印加する金属電極２６，２７間に挟
まれた放電管２５内の放電空間、３０は全反射鏡、３１
は部分反射鏡である。この全反射鏡３０、部分反射鏡３
１は前記放電空間２９の両端に固定配置され、光共振器
を形成している。３２は前記部分反射鏡３１より出力さ
れるレーザ光、３３は全反射鏡を透過する検出レーザ
光、３４はレーザガスの流れる方向を示す矢印で、軸流
形レーザ装置の中を循環している。３５は送気管、３
６，３７はそれぞれ前記放電空間２９にて放電およびレ
ーザガスを循環させるための送風機３８により温度上昇
したレーザガスの温度を下げる熱交換器、３９はレーザ
光の出力指令値、４０はレーザ検出器１５の出力と所定
のレーザ光の出力指令値３９を比較して、その誤差信号
を増幅する増幅器である。
【０００５】以上が従来の軸流形レーザ装置のレーザ出
力制御装置の構成であり、次にその動作について説明す
る。まず一対の金属電極２６，２７に高電圧電源２８か
ら高電圧を印加し、放電空間２９にグロー状の放電を発
生させる。放電空間２９を通過するレーザガスは、この
放電エネルギーを得て励起され、その励起されたレーザ
ガスは全反射鏡３０および部分反射鏡３１により形成さ
れた光共振器で共振状態となり、部分反射鏡３１からレ
ーザ光３２が出力される。このレーザ光３２がレーザ加
工等の用途に用いられる。一方、全反射鏡３０はレーザ
光３２のほとんどを反射するが、約１％程度は透過する
性質を有する。積分球２０の入力ポート２２から入射し
た検出レーザ光３３は、十分に減衰されレーザ検出器１
５により電気信号に変換される。そして、全反射鏡３０
側より出力される検出レーザ光３３はレーザ光３２の強
度に比例するため、このレーザ検出器１５の出力と所定
のレーザ光の出力指令値３９を比較して、その誤差信号
を増幅器４０により増幅し、高電圧電源２８の出力電圧
または出力電流を制御することにより、レーザガスの励
起強度を制御し、これにより、レーザ光３２の強度をほ
ぼ一定に保持することができる。
力制御装置の構成であり、次にその動作について説明す
る。まず一対の金属電極２６，２７に高電圧電源２８か
ら高電圧を印加し、放電空間２９にグロー状の放電を発
生させる。放電空間２９を通過するレーザガスは、この
放電エネルギーを得て励起され、その励起されたレーザ
ガスは全反射鏡３０および部分反射鏡３１により形成さ
れた光共振器で共振状態となり、部分反射鏡３１からレ
ーザ光３２が出力される。このレーザ光３２がレーザ加
工等の用途に用いられる。一方、全反射鏡３０はレーザ
光３２のほとんどを反射するが、約１％程度は透過する
性質を有する。積分球２０の入力ポート２２から入射し
た検出レーザ光３３は、十分に減衰されレーザ検出器１
５により電気信号に変換される。そして、全反射鏡３０
側より出力される検出レーザ光３３はレーザ光３２の強
度に比例するため、このレーザ検出器１５の出力と所定
のレーザ光の出力指令値３９を比較して、その誤差信号
を増幅器４０により増幅し、高電圧電源２８の出力電圧
または出力電流を制御することにより、レーザガスの励
起強度を制御し、これにより、レーザ光３２の強度をほ
ぼ一定に保持することができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来のレーザ出力制御
装置においては、レーザ光検出器に熱電対を用いている
ために感度が小さく低出力域におけるレーザ強度の制御
が困難であった。また、特性の同一なレーザ光検出用熱
電対と温度補償用熱電対の２つを使用しなければなら
ず、実際には同特性の熱電対は存在しないため、狭いレ
ーザ出力範囲でしか使用できず、精度が悪いという問題
点を有していた。また、均一化器に積分球を用いてレー
ザ光の均一拡散を実現しようとしているが、実際にはレ
ーザ光入力ポートと出力ポートの関係により均一拡散は
得られないことが判明しており、特に指向性のあるレー
ザ光の場合、レーザ光の入射条件全てにおいて入力ポー
トと出力ポートの最適の設定箇所を求めることは不可能
であるという問題点を有していた。
装置においては、レーザ光検出器に熱電対を用いている
ために感度が小さく低出力域におけるレーザ強度の制御
が困難であった。また、特性の同一なレーザ光検出用熱
電対と温度補償用熱電対の２つを使用しなければなら
ず、実際には同特性の熱電対は存在しないため、狭いレ
ーザ出力範囲でしか使用できず、精度が悪いという問題
点を有していた。また、均一化器に積分球を用いてレー
ザ光の均一拡散を実現しようとしているが、実際にはレ
ーザ光入力ポートと出力ポートの関係により均一拡散は
得られないことが判明しており、特に指向性のあるレー
ザ光の場合、レーザ光の入射条件全てにおいて入力ポー
トと出力ポートの最適の設定箇所を求めることは不可能
であるという問題点を有していた。
【０００７】本発明は前記従来の問題点を解決するもの
で、レーザ光検出器の感度の向上および簡素化を目的と
する。
で、レーザ光検出器の感度の向上および簡素化を目的と
する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】そのための構成として、
本発明は、レーザ光検出器に、負特性サーミスタまたは
負特性サーミスタユニットを用いたものである。また本
発明はレーザ光を均一にする均一化器に、コーン状の積
分器とレーザ光を多重反射する均一化部を用いたもので
ある。
本発明は、レーザ光検出器に、負特性サーミスタまたは
負特性サーミスタユニットを用いたものである。また本
発明はレーザ光を均一にする均一化器に、コーン状の積
分器とレーザ光を多重反射する均一化部を用いたもので
ある。
【０００９】
【作用】以上の構成によりレーザ光検出器の検出感度お
よび耐入力値が高くなり、低出力域においても安定した
レーザ出力を得ることが可能となる。また、複数以上の
負特性サーミスタを組合せてユニット化することによ
り、レーザ光検出器の簡素化が可能となる。また、レー
ザ光を均一にする均一化器をコーン状の積分器とレーザ
光を多重反射する均一化部で構成することにより、レー
ザ光の均一拡散が十分に行える。
よび耐入力値が高くなり、低出力域においても安定した
レーザ出力を得ることが可能となる。また、複数以上の
負特性サーミスタを組合せてユニット化することによ
り、レーザ光検出器の簡素化が可能となる。また、レー
ザ光を均一にする均一化器をコーン状の積分器とレーザ
光を多重反射する均一化部で構成することにより、レー
ザ光の均一拡散が十分に行える。
【００１０】
【実施例】以下本発明の実施例について、図１〜図７を
参照しながら説明する。
参照しながら説明する。
【００１１】図１は本発明の第１実施例であるレーザ出
力制御装置のレーザ光検出器を示すものである。１はレ
ーザ光検出用負特性サーミスタ、２は周囲温度の影響を
除くための温度補償用負特性サーミスタ、３は前記レー
ザ光検出用負特性サーミスタ１および温度補償用負特性
サーミスタ２に電圧を印加するための定電圧直流電源端
子、４はレーザ光で、受光窓５を通ってレーザ光検出用
負特性サーミスタ１に入射する。このため、レーザ光検
出用負特性サーミスタ１はレーザ光４により温度が上昇
することにより、この温度上昇に比例して抵抗値が変化
するので、出力端子６に信号を出力する。
力制御装置のレーザ光検出器を示すものである。１はレ
ーザ光検出用負特性サーミスタ、２は周囲温度の影響を
除くための温度補償用負特性サーミスタ、３は前記レー
ザ光検出用負特性サーミスタ１および温度補償用負特性
サーミスタ２に電圧を印加するための定電圧直流電源端
子、４はレーザ光で、受光窓５を通ってレーザ光検出用
負特性サーミスタ１に入射する。このため、レーザ光検
出用負特性サーミスタ１はレーザ光４により温度が上昇
することにより、この温度上昇に比例して抵抗値が変化
するので、出力端子６に信号を出力する。
【００１２】図２は本発明の第２実施例であるレーザ出
力制御装置のレーザ光検出器を示すものである。本実施
例では、４つの負特性サーミスタをブリッジ回路構成に
し、出力端子７に不平衡電圧を検出する構成となってい
る。
力制御装置のレーザ光検出器を示すものである。本実施
例では、４つの負特性サーミスタをブリッジ回路構成に
し、出力端子７に不平衡電圧を検出する構成となってい
る。
【００１３】図３は本発明の第３実施例であるレーザ出
力制御装置のレーザ光検出器を示すものである。本実施
例では、ブリッジ回路を構成する温度補償用負特性サー
ミスタ２の一つを可変抵抗８にし、それぞれの温度補償
用負特性サーミスタの抵抗値が異なっても可変抵抗８の
抵抗値を変化させることによりブリッジ回路を平衡状態
にすることができる。
力制御装置のレーザ光検出器を示すものである。本実施
例では、ブリッジ回路を構成する温度補償用負特性サー
ミスタ２の一つを可変抵抗８にし、それぞれの温度補償
用負特性サーミスタの抵抗値が異なっても可変抵抗８の
抵抗値を変化させることによりブリッジ回路を平衡状態
にすることができる。
【００１４】図４は本発明の第４実施例であるレーザ出
力制御装置のレーザ光検出器を示すものである。本実施
例ではブリッジ回路を構成する負特性サーミスタ２つを
レーザ光検出用にすることにより、検出感度を２倍にす
ることができる。
力制御装置のレーザ光検出器を示すものである。本実施
例ではブリッジ回路を構成する負特性サーミスタ２つを
レーザ光検出用にすることにより、検出感度を２倍にす
ることができる。
【００１５】図５は低電圧直流電源端子３からの供給電
圧を変化させた場合の負特性サーミスタおよび負特性サ
ーミスタユニットのレーザ光出力（横軸）とレーザ光検
出信号（縦軸）の関係を示したものである。この図５に
示すように、印加電圧を変化させることにより、レーザ
光出力とレーザ光検出信号の関係が直線的に変化する領
域を制御することができ、使用するレーザ発振装置の出
力に従い容易に最適な検出感度を設定できる。
圧を変化させた場合の負特性サーミスタおよび負特性サ
ーミスタユニットのレーザ光出力（横軸）とレーザ光検
出信号（縦軸）の関係を示したものである。この図５に
示すように、印加電圧を変化させることにより、レーザ
光出力とレーザ光検出信号の関係が直線的に変化する領
域を制御することができ、使用するレーザ発振装置の出
力に従い容易に最適な検出感度を設定できる。
【００１６】図６は受光窓５の大きさＡを変化させた場
合の負特性サーミスタおよび負特性サーミスタユニット
のレーザ光出力（横軸）とレーザ光検出信号（縦軸）の
関係を示したものである。この図６に示すように、受光
窓５の大きさＡを変化させることにより、レーザ光出力
とレーザ光検出信号の関係が直線的に変化する領域を制
御することができ、使用するレーザ発振装置の出力に従
い容易に最適な検出感度を設定できる。
合の負特性サーミスタおよび負特性サーミスタユニット
のレーザ光出力（横軸）とレーザ光検出信号（縦軸）の
関係を示したものである。この図６に示すように、受光
窓５の大きさＡを変化させることにより、レーザ光出力
とレーザ光検出信号の関係が直線的に変化する領域を制
御することができ、使用するレーザ発振装置の出力に従
い容易に最適な検出感度を設定できる。
【００１７】ここで、負特性サーミスタの材料を抵抗温
度係数が大きく、熱容量の小さなセラミックス繊維等の
材料で構成することにより高感度および高速度で応答す
ることが可能である。また、セラミックス繊維は特性の
同一な素子を複数１つのセンサに内蔵することが容易で
あり、前記負特性サーミスタユニットを一つの半導体デ
バイスとすることが可能である。
度係数が大きく、熱容量の小さなセラミックス繊維等の
材料で構成することにより高感度および高速度で応答す
ることが可能である。また、セラミックス繊維は特性の
同一な素子を複数１つのセンサに内蔵することが容易で
あり、前記負特性サーミスタユニットを一つの半導体デ
バイスとすることが可能である。
【００１８】図７は本発明の第４実施例であるレーザ出
力制御装置の均一化器を示す概略断面図である。９は入
射レーザ光で、コーン状の積分器１０の入力ポート１２
から入射する。そして入射レーザ光９は反射を繰り返
し、一定角度折曲され、かつレーザ光を多重反射する均
一化部１１に入り、前記均一化部１１で多数の反射を繰
り返して十分に均一に拡散され、出力ポート１３より均
一なレーザ光１４として外部に出力されるものである。
本実施例ではコーン状の積分器１０と均一化部１１とを
一定角度折曲した方向に配設しているため、入力ポート
１２および出力ポート１３の位置に関係なくレーザ光を
均一化できる。
力制御装置の均一化器を示す概略断面図である。９は入
射レーザ光で、コーン状の積分器１０の入力ポート１２
から入射する。そして入射レーザ光９は反射を繰り返
し、一定角度折曲され、かつレーザ光を多重反射する均
一化部１１に入り、前記均一化部１１で多数の反射を繰
り返して十分に均一に拡散され、出力ポート１３より均
一なレーザ光１４として外部に出力されるものである。
本実施例ではコーン状の積分器１０と均一化部１１とを
一定角度折曲した方向に配設しているため、入力ポート
１２および出力ポート１３の位置に関係なくレーザ光を
均一化できる。
【００１９】なお、前記均一化部１１にレーザ光減衰材
を設けることにより、均一なレーザ光１４を減光するこ
とが可能である。
を設けることにより、均一なレーザ光１４を減光するこ
とが可能である。
【００２０】
【発明の効果】以上のように、本発明によればレーザ光
検出器の検出感度をレーザ光の出力に応じて容易に制御
でき低出力域においても安定したレーザ出力を得ること
ができることや、負特性サーミスタユニットを用いるこ
とにより負特性サーミスタと同じ特性の温度補償用素子
を別途設ける必要がなくレーザ光検出器の簡素化が図れ
ることや均一化器をコーン状の積分器と均一化部で構成
することによりレーザ光の十分な均一拡散が可能となる
優れた効果を奏するものである。
検出器の検出感度をレーザ光の出力に応じて容易に制御
でき低出力域においても安定したレーザ出力を得ること
ができることや、負特性サーミスタユニットを用いるこ
とにより負特性サーミスタと同じ特性の温度補償用素子
を別途設ける必要がなくレーザ光検出器の簡素化が図れ
ることや均一化器をコーン状の積分器と均一化部で構成
することによりレーザ光の十分な均一拡散が可能となる
優れた効果を奏するものである。
【図１】本発明の第１実施例におけるレーザ出力制御装
置のレーザ光検出器の構成図
置のレーザ光検出器の構成図
【図２】本発明の第２実施例におけるレーザ出力制御装
置のレーザ光検出器の構成図
置のレーザ光検出器の構成図
【図３】本発明の第３実施例におけるレーザ出力制御装
置のレーザ光検出器の構成図
置のレーザ光検出器の構成図
【図４】本発明の第４実施例におけるレーザ出力制御装
置のレーザ光検出器の構成図
置のレーザ光検出器の構成図
【図５】サーミスタ印加電圧を変化させた場合のレーザ
光出力とレーザ光検出信号の特性図
光出力とレーザ光検出信号の特性図
【図６】レーザ光受光窓の大きさを変化させた場合のレ
ーザ出力とレーザ光検出信号の特性図
ーザ出力とレーザ光検出信号の特性図
【図７】本発明の実施例におけるレーザ光均一化器の構
成図
成図
【図８】従来のレーザ光検出器の構成図
【図９】積分球を示す説明図
【図１０】従来のガスレーザ発振装置のレーザ出力制御
装置の構成図
装置の構成図
１ レーザ光検出用負特性サーミスタ ２ 温度補償用負特性サーミスタ ３ 定電圧直流電源端子 ４ レーザ光 ５ 受光窓 ６ 出力端子 ７ 出力端子 ８ 可変抵抗 ９ 入射レーザ光 １０ 積分器 １１ 均一化部 １４ 均一なレーザ光
Claims (8)
- 【請求項１】 レーザ光の一部を取り出す手段と、前記
手段より取り出されたレーザ光を均一にする均一化器
と、前記均一化器からのレーザ光の出力を検出するレー
ザ光検出器とを具備し、前記レーザ光検出器の出力に基
づきレーザ光の強度を制御するレーザ出力制御装置であ
って、レーザ光検出器に負特性サーミスタを用いたレー
ザ出力制御装置。 - 【請求項２】 レーザ光の一部を取り出す手段と、前記
手段より取り出されたレーザ光を均一にする均一化器
と、前記均一化器からのレーザ光の出力を検出するレー
ザ光検出器とを具備し、前記レーザ光検出器の出力に基
づきレーザ光の強度を制御するレーザ出力制御装置であ
って、レーザ光検出器に２個以上の負特性サーミスタを
同一パッケージに組合わせた負特性サーミスタユニット
を用いたレーザ出力制御装置。 - 【請求項３】 レーザ光の一部を取り出す手段と、前記
手段より取り出されたレーザ光を均一にする均一化器
と、前記均一化器からのレーザ光の出力を検出するレー
ザ光検出器とを具備し、前記レーザ光検出器の出力に基
づきレーザ光の強度を制御するレーザ出力制御装置であ
って、レーザ光検出器に負特性サーミスタまたは負特性
サーミスタユニットを設け、前記負特性サーミスタまた
は負特性サーミスタユニットに印加する電圧を変化させ
るようにしたレーザ出力制御装置。 - 【請求項４】 レーザ光の一部を取り出す手段と、前記
手段より取り出されたレーザ光を均一にする均一化器
と、前記均一化器からのレーザ光の出力を検出するレー
ザ光検出器とを具備し、前記レーザ光検出器の出力に基
づきレーザ光の強度を制御するレーザ出力制御装置であ
って、レーザ光検出器に負特性サーミスタまたは負特性
サーミスタユニットを設け、前記負特性サーミスタまた
は負特性サーミスタユニットの受光窓の大きさを変化さ
せるようにしたレーザ出力制御装置。 - 【請求項５】 レーザ光の一部を取り出す手段と、前記
手段より取り出されたレーザ光を均一にする均一化器
と、前記均一化器からのレーザ光の出力を検出するレー
ザ光検出器とを具備し、前記レーザ光検出器の出力に基
づきレーザ光の強度を制御するレーザ出力制御装置であ
って、前記均一化器を入射レーザ光が外部へ反射しない
構造のコーン状の積分器と、前記積分器の先端に一定角
度折曲した方向に設けられレーザ光を多重反射する均一
化部から構成したレーザ出力制御装置。 - 【請求項６】 レーザ光の一部を取り出す手段と、前記
手段より取り出されたレーザ光を均一にする均一化器
と、前記均一化器からのレーザ光の出力を検出するレー
ザ光検出器とを具備し、前記レーザ光検出器の出力に基
づきレーザ光の強度を制御するレーザ出力制御装置であ
って、前記均一化器を前記コーン状の積分器とレーザ光
を多重反射する均一化部から構成し、前記レーザ光検出
器に前記負特性サーミスタまたは負特性サーミスタユニ
ットを用いたレーザ出力制御装置。 - 【請求項７】 サーミスタまたはサーミスタユニットの
材質をセラミック繊維等の抵抗温度係数が大きく、熱容
量の小さいものとした請求項１，２，３，４または請求
項６記載のレーザ出力制御装置。 - 【請求項８】 均一化器の均一化部にレーザ光減衰材を
設けた請求項５または６記載のレーザ出力制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6093251A JPH07302945A (ja) | 1994-05-02 | 1994-05-02 | レーザ出力制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6093251A JPH07302945A (ja) | 1994-05-02 | 1994-05-02 | レーザ出力制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07302945A true JPH07302945A (ja) | 1995-11-14 |
Family
ID=14077293
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6093251A Pending JPH07302945A (ja) | 1994-05-02 | 1994-05-02 | レーザ出力制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07302945A (ja) |
-
1994
- 1994-05-02 JP JP6093251A patent/JPH07302945A/ja active Pending
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