JPH05223632A - 光パワーメータ校正システム - Google Patents
光パワーメータ校正システムInfo
- Publication number
- JPH05223632A JPH05223632A JP2962892A JP2962892A JPH05223632A JP H05223632 A JPH05223632 A JP H05223632A JP 2962892 A JP2962892 A JP 2962892A JP 2962892 A JP2962892 A JP 2962892A JP H05223632 A JPH05223632 A JP H05223632A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical power
- power meter
- light
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- under test
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- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 光源の光出力が変動する様な場合であって
も、正確な校正を行うことが可能な光パワーメータ校正
システムを提供する。 【構成】 標準器となる光パワーメータ５と被検器とな
る光パワーメータ６とを測定することにより被検器側の
光パワーメータ６の確度及びリニアリティーを測定する
光パワーメータ校正システムにおいて、光源１からの光
を２分割する光分割手段２と、光分割手段２により分割
された２つの光を同時に通過／遮断させるシャッタ手段
３，４と、シャッタ手段３，４を通過した光束をそれぞ
れ受ける標準器側の光パワーメータ５及び被検器側の光
パワーメータ６と、標準器側の光パワーメータ５及び被
検器側の光パワーメータ６で測定された光パワーの確度
の差Ｅ１並びに標準器と被検器とを入れ替えて測定され
た光パワーの確度の差Ｅ２とを参照して、それぞれの確
度の差Ｅ１，Ｅ２の和の半分の値から、被検器の確度を
求める制御手段８とを有することを特徴とする光パワー
メータ校正システム。
も、正確な校正を行うことが可能な光パワーメータ校正
システムを提供する。 【構成】 標準器となる光パワーメータ５と被検器とな
る光パワーメータ６とを測定することにより被検器側の
光パワーメータ６の確度及びリニアリティーを測定する
光パワーメータ校正システムにおいて、光源１からの光
を２分割する光分割手段２と、光分割手段２により分割
された２つの光を同時に通過／遮断させるシャッタ手段
３，４と、シャッタ手段３，４を通過した光束をそれぞ
れ受ける標準器側の光パワーメータ５及び被検器側の光
パワーメータ６と、標準器側の光パワーメータ５及び被
検器側の光パワーメータ６で測定された光パワーの確度
の差Ｅ１並びに標準器と被検器とを入れ替えて測定され
た光パワーの確度の差Ｅ２とを参照して、それぞれの確
度の差Ｅ１，Ｅ２の和の半分の値から、被検器の確度を
求める制御手段８とを有することを特徴とする光パワー
メータ校正システム。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレーザ光のパワーを測定
する光パワーメータ校正する光パワーメータ校正システ
ムに関し、更に詳しくは光源の安定性の改善に関する。
する光パワーメータ校正する光パワーメータ校正システ
ムに関し、更に詳しくは光源の安定性の改善に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の光パワーメータ校正システムと
しては図４の構成のものが良く知られている。また、図
５は受光ヘッド部分の詳細を示す図である。
しては図４の構成のものが良く知られている。また、図
５は受光ヘッド部分の詳細を示す図である。
【０００３】これらの図において、１１はセンサ部Ｓを
形成する受光体であり、内面に光吸収塗料１２が塗布さ
れた筒体１３及びヒータ１４が埋設された伝熱板１５で
構成されている。１６，１６ａは温度差検出素子、１７
は熱電冷却素子であり、これらの素子は同等な性能を有
するペルチェ素子で形成され、伝熱板１５と基準ジャケ
ット１８に挾まれた状態で固定されている。なお、基準
ジャケット１８の外周は温度を安定化するために図５の
ように中間ジャケット１９と外部ジャケット２０で囲ま
れていて、センサ部Ｓが三重のジャケットで囲まれた受
光ヘッドＡとして構成されている。なお、筒体１３を含
む伝熱板１５の熱容量と基準ジャケット１８の熱容量
は、1:1000程度で基準ジャケット１８の方が大きくなっ
ている。
形成する受光体であり、内面に光吸収塗料１２が塗布さ
れた筒体１３及びヒータ１４が埋設された伝熱板１５で
構成されている。１６，１６ａは温度差検出素子、１７
は熱電冷却素子であり、これらの素子は同等な性能を有
するペルチェ素子で形成され、伝熱板１５と基準ジャケ
ット１８に挾まれた状態で固定されている。なお、基準
ジャケット１８の外周は温度を安定化するために図５の
ように中間ジャケット１９と外部ジャケット２０で囲ま
れていて、センサ部Ｓが三重のジャケットで囲まれた受
光ヘッドＡとして構成されている。なお、筒体１３を含
む伝熱板１５の熱容量と基準ジャケット１８の熱容量
は、1:1000程度で基準ジャケット１８の方が大きくなっ
ている。
【０００４】２１は熱電冷却素子１７に接続された定電
流源である。２２は温度差検出素子１６，１６ａからの
出力より等温制御のためのヒータパワーを求めるフィー
ドバックアンプである。このフィードバックアンプ２２
の出力は、ヒータ１４に印加されると共に、入射した光
パワーを求めるため外部に出力される。尚、フィードバ
ックアンプ２２は、プリアンプ２３及びＰＩＤアンプ２
４で構成されている。
流源である。２２は温度差検出素子１６，１６ａからの
出力より等温制御のためのヒータパワーを求めるフィー
ドバックアンプである。このフィードバックアンプ２２
の出力は、ヒータ１４に印加されると共に、入射した光
パワーを求めるため外部に出力される。尚、フィードバ
ックアンプ２２は、プリアンプ２３及びＰＩＤアンプ２
４で構成されている。
【０００５】上記構成において、測定光が入力されてい
ない場合、基準ジャケット１８は室温とされ、ペルチェ
素子からなる熱電冷却素子１７には定電流源２１から一
定な値ＩA の電流が常時加えられ、伝熱板１５側を常に
冷却している。この場合、基準ジャケット１８側は加熱
されることになるが、この基準ジャケット１８の熱容量
は大きく、熱電冷却素子１７の加熱量は僅かである。従
って、図４に示す装置では、熱電冷却素子１７と定電流
源２１により、常時受光体２１側の温度を低める方向に
作用している。
ない場合、基準ジャケット１８は室温とされ、ペルチェ
素子からなる熱電冷却素子１７には定電流源２１から一
定な値ＩA の電流が常時加えられ、伝熱板１５側を常に
冷却している。この場合、基準ジャケット１８側は加熱
されることになるが、この基準ジャケット１８の熱容量
は大きく、熱電冷却素子１７の加熱量は僅かである。従
って、図４に示す装置では、熱電冷却素子１７と定電流
源２１により、常時受光体２１側の温度を低める方向に
作用している。
【０００６】一方、温度差検出素子１６，１６ａはこの
温度差（基準ジャケット１８と伝熱板１５の温度差：ｎ
Ｖレベル）を検出し、プリアンプ２３はその出力を（ｍ
Ｖレベル）に増幅し、ＰＩＤアンプ２４に加える。そし
て、ＰＩＤアンプ２４で所定の演算（この演算は伝熱板
１５と基準ジャケット１８の温度が速く一致するように
制御するための公知のＰＩＤ演算）が施される。このＰ
ＩＤアンプ２４の出力はヒータ１４に加えられてヒータ
１４の温度を上昇させ、温度差検出素子１６ａ，１６ｂ
の出力が零になるように制御する。
温度差（基準ジャケット１８と伝熱板１５の温度差：ｎ
Ｖレベル）を検出し、プリアンプ２３はその出力を（ｍ
Ｖレベル）に増幅し、ＰＩＤアンプ２４に加える。そし
て、ＰＩＤアンプ２４で所定の演算（この演算は伝熱板
１５と基準ジャケット１８の温度が速く一致するように
制御するための公知のＰＩＤ演算）が施される。このＰ
ＩＤアンプ２４の出力はヒータ１４に加えられてヒータ
１４の温度を上昇させ、温度差検出素子１６ａ，１６ｂ
の出力が零になるように制御する。
【０００７】従って、図４の装置では、熱電冷却素子１
７と定電流源２１の作用により冷却された伝熱板１５に
対してＰＩＤアンプ２４から電圧（電流Ｉ）をヒータ１
４へ加えて伝熱板１５を加熱し、受光体１１の温度と温
度基準ジャケット１８の温度が一致するように制御して
いる。
７と定電流源２１の作用により冷却された伝熱板１５に
対してＰＩＤアンプ２４から電圧（電流Ｉ）をヒータ１
４へ加えて伝熱板１５を加熱し、受光体１１の温度と温
度基準ジャケット１８の温度が一致するように制御して
いる。
【０００８】このような状態で、測定すべきレーザ光Ｌ
ａが筒体１３の上部から入射されると受光体１１が光を
吸収し、その光パワーに応じて温度が上昇する。その熱
は伝熱板１５に伝導され、温度平衡状態にあった伝熱板
１５と基準ジャケット１８間に温度差が発生する。この
温度差を温度差検出素子１６ａ，１６ｂが検出し、ＰＩ
Ｄアンプ２４はヒータ１４に送出していた電圧値を減少
させる。従って、ヒータ１４の温度は低下し、伝熱板１
５と基準ジャケット１８の温度は再び一致する。
ａが筒体１３の上部から入射されると受光体１１が光を
吸収し、その光パワーに応じて温度が上昇する。その熱
は伝熱板１５に伝導され、温度平衡状態にあった伝熱板
１５と基準ジャケット１８間に温度差が発生する。この
温度差を温度差検出素子１６ａ，１６ｂが検出し、ＰＩ
Ｄアンプ２４はヒータ１４に送出していた電圧値を減少
させる。従って、ヒータ１４の温度は低下し、伝熱板１
５と基準ジャケット１８の温度は再び一致する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】以上のような等温制御
形カロリメータを比較，校正する場合を考える。このよ
うな場合、光源からの光束を２分割し、予め校正された
標準測定用のカロリメータ（標準器）と未だ校正が完了
していない被測定用のカロリメータ（被検器）とで校正
を行う。そして、光源からの光束を受けた２つのカロリ
メータ（標準器と被検器）で、交互に測定を繰り返すこ
とにより、被検器の校正を行うようにしている。
形カロリメータを比較，校正する場合を考える。このよ
うな場合、光源からの光束を２分割し、予め校正された
標準測定用のカロリメータ（標準器）と未だ校正が完了
していない被測定用のカロリメータ（被検器）とで校正
を行う。そして、光源からの光束を受けた２つのカロリ
メータ（標準器と被検器）で、交互に測定を繰り返すこ
とにより、被検器の校正を行うようにしている。
【００１０】このようにして、被検器の校正を行った場
合、光源の安定性が校正精度に大きな影響を与えること
がある。すなわち、標準器で測定を行っている時と、被
検器で測定，校正を行っている時とで、光源の光出力が
変動すると校正精度（測定確度及びリニアリティ）が著
しく低下することになる。
合、光源の安定性が校正精度に大きな影響を与えること
がある。すなわち、標準器で測定を行っている時と、被
検器で測定，校正を行っている時とで、光源の光出力が
変動すると校正精度（測定確度及びリニアリティ）が著
しく低下することになる。
【００１１】本発明はこのような点に着目してなされた
ものであり、その目的は、正確な校正を行うことが可能
な光パワーメータ校正システムを提供することにある。
ものであり、その目的は、正確な校正を行うことが可能
な光パワーメータ校正システムを提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明は、標準器となる光パワーメータと被検器となる光パ
ワーメータとを測定することにより被検器側の光パワー
メータの確度及びリニアリティーを測定する光パワーメ
ータ校正システムにおいて、光源からの光を２分割する
光分割手段と、光分割手段により分割された２つの光を
同時に通過／遮断させるシャッタ手段と、シャッタ手段
を通過した光束をそれぞれ受ける標準器側の光パワーメ
ータ及び被検器側の光パワーメータと、標準器側の光パ
ワーメータ及び被検器側の光パワーメータで測定された
光パワーの確度の差Ｅ１並びに標準器と被検器とを入れ
替えて測定された光パワーの確度の差Ｅ２とを参照し
て、それぞれの確度の差（Ｅ１，Ｅ２）の和の半分の値
から、被検器の確度を求める制御手段とを有することを
特徴とするものである。
明は、標準器となる光パワーメータと被検器となる光パ
ワーメータとを測定することにより被検器側の光パワー
メータの確度及びリニアリティーを測定する光パワーメ
ータ校正システムにおいて、光源からの光を２分割する
光分割手段と、光分割手段により分割された２つの光を
同時に通過／遮断させるシャッタ手段と、シャッタ手段
を通過した光束をそれぞれ受ける標準器側の光パワーメ
ータ及び被検器側の光パワーメータと、標準器側の光パ
ワーメータ及び被検器側の光パワーメータで測定された
光パワーの確度の差Ｅ１並びに標準器と被検器とを入れ
替えて測定された光パワーの確度の差Ｅ２とを参照し
て、それぞれの確度の差（Ｅ１，Ｅ２）の和の半分の値
から、被検器の確度を求める制御手段とを有することを
特徴とするものである。
【００１３】
【作用】本発明において、光分割手段により分割された
光束はシャッタ手段により同時に遮断／通過が制御され
ており、このシャッタ手段を通過した光束を標準器及び
被検器で受けてそれぞれの確度の差を求める。制御手段
はそれぞれの確度の差の和の半分の値から、被検器の確
度を求める。このため、光源の不安定性の影響を受ける
ことがなくなる。
光束はシャッタ手段により同時に遮断／通過が制御され
ており、このシャッタ手段を通過した光束を標準器及び
被検器で受けてそれぞれの確度の差を求める。制御手段
はそれぞれの確度の差の和の半分の値から、被検器の確
度を求める。このため、光源の不安定性の影響を受ける
ことがなくなる。
【００１４】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。図１は本発明の一実施例の校正を示す構成
図である。この図において、１はＨｅＮｅレーザ等の光
源、２は反射率及び透過率が可変のハーフミラー、３は
光源１からの光束を透過／遮断するための第一のシャッ
タ、４は光源１からの光束を透過／遮断するための第二
のシャッタ、５は標準器としてのカロリメータ、６は被
検器としてのカロリメータ、７は光源１からの光パワー
を制御する可変式のハーフミラー、８はカロリメータを
制御する制御部本体である。また、図２はシャッタ３及
び４の開閉タイミングを示したタイミング図、図３はハ
ーフミラー２での光パワーの分割比率を示す説明図であ
る。
に説明する。図１は本発明の一実施例の校正を示す構成
図である。この図において、１はＨｅＮｅレーザ等の光
源、２は反射率及び透過率が可変のハーフミラー、３は
光源１からの光束を透過／遮断するための第一のシャッ
タ、４は光源１からの光束を透過／遮断するための第二
のシャッタ、５は標準器としてのカロリメータ、６は被
検器としてのカロリメータ、７は光源１からの光パワー
を制御する可変式のハーフミラー、８はカロリメータを
制御する制御部本体である。また、図２はシャッタ３及
び４の開閉タイミングを示したタイミング図、図３はハ
ーフミラー２での光パワーの分割比率を示す説明図であ
る。
【００１５】このように構成した本実施例装置の動作は
以下のとおりである。光源１から照射されたレーザ光の
光束はハーフミラー７によりあるレベルまで減衰され、
更にハーフミラー２で２方向に分割される。この分割の
際に光量が１：１になるように予め設定しておく。そし
て、制御部本体８からの指示によりシャッタ３及び４を
同時に開閉し、光束を標準器５及び被検器６に導く。そ
して、標準器５及び被検器６で同時に光源１からの光パ
ワーを測定する。
以下のとおりである。光源１から照射されたレーザ光の
光束はハーフミラー７によりあるレベルまで減衰され、
更にハーフミラー２で２方向に分割される。この分割の
際に光量が１：１になるように予め設定しておく。そし
て、制御部本体８からの指示によりシャッタ３及び４を
同時に開閉し、光束を標準器５及び被検器６に導く。そ
して、標準器５及び被検器６で同時に光源１からの光パ
ワーを測定する。
【００１６】そして、図２に示すように、シャッタ３及
び４を同時に開閉することで、標準器５及び被検器６で
同時タイミングのレーザ光のパワーを測定することがで
きる。この場合、光源１の光パワーに変動があっても、
同一時刻の測定であるために、光源の不安定性を除去す
ることができる。
び４を同時に開閉することで、標準器５及び被検器６で
同時タイミングのレーザ光のパワーを測定することがで
きる。この場合、光源１の光パワーに変動があっても、
同一時刻の測定であるために、光源の不安定性を除去す
ることができる。
【００１７】標準器５と被検器６との確度の差εには、
２分割された光束のパワーの不均等の影響が含まれてい
る。そこで、この測定結果からεを正確に求めるには、
標準器５と被検器６との場所を交換して再度測定する必
要がある。ここで、ハーフミラー２により分割された光
パワーが、図３に示すように、９０度反射方向にＰ＋Δ
Ｐ［ｍＷ］、直進方向にＰ［ｍＷ］であるとする。１回
目の測定で得られた標準器と被検器との測定値をＰ，ｐ
１、位置交換後の２回目の測定で得られた測定値をＰ＋
ΔＰ，ｐ２とする。
２分割された光束のパワーの不均等の影響が含まれてい
る。そこで、この測定結果からεを正確に求めるには、
標準器５と被検器６との場所を交換して再度測定する必
要がある。ここで、ハーフミラー２により分割された光
パワーが、図３に示すように、９０度反射方向にＰ＋Δ
Ｐ［ｍＷ］、直進方向にＰ［ｍＷ］であるとする。１回
目の測定で得られた標準器と被検器との測定値をＰ，ｐ
１、位置交換後の２回目の測定で得られた測定値をＰ＋
ΔＰ，ｐ２とする。
【００１８】この場合の１回目の（被検器）−（標準
器）の差Ｅ１は、 Ｅ１＝ｐ１−Ｐ、 この場合の２回目の（被検器）−（標準器）の差Ｅ２
は、 Ｅ２＝ｐ２＋δ（Ｐ／（２Ｐ＋ΔＰ））−Ｐ−ΔＰ−δ
（（Ｐ＋ΔＰ）／（２ＰΔＰ）） である。ここで、δ
の項は光パワーの１回目と２回目との間の変動であり、
相殺されてほぼ無視できる値になる。求めたいε（ε＝
（被検器）−（標準器））の値は、 １回目：ε＝ｐ１−Ｐ ２回目：ε＝ｐ２−Ｐ−ΔＰ で表せるから、 ε＝１／２（ｐ１＋ｐ２−ΔＰ−２Ｐ） ＝１／２（Ｅ１＋Ｅ２） となる。すなわち、１回目と
２回目との確度の差の和を２で割ることにより、標準器
５と被検器６との確度の差εを求めることができる。
器）の差Ｅ１は、 Ｅ１＝ｐ１−Ｐ、 この場合の２回目の（被検器）−（標準器）の差Ｅ２
は、 Ｅ２＝ｐ２＋δ（Ｐ／（２Ｐ＋ΔＰ））−Ｐ−ΔＰ−δ
（（Ｐ＋ΔＰ）／（２ＰΔＰ）） である。ここで、δ
の項は光パワーの１回目と２回目との間の変動であり、
相殺されてほぼ無視できる値になる。求めたいε（ε＝
（被検器）−（標準器））の値は、 １回目：ε＝ｐ１−Ｐ ２回目：ε＝ｐ２−Ｐ−ΔＰ で表せるから、 ε＝１／２（ｐ１＋ｐ２−ΔＰ−２Ｐ） ＝１／２（Ｅ１＋Ｅ２） となる。すなわち、１回目と
２回目との確度の差の和を２で割ることにより、標準器
５と被検器６との確度の差εを求めることができる。
【００１９】このように、制御部本体８が以上のような
手順に従って演算を行い、確度の差εを求める。これに
より、光源の不安定性の影響を受けることなく精度の高
い測定を行うことができる。
手順に従って演算を行い、確度の差εを求める。これに
より、光源の不安定性の影響を受けることなく精度の高
い測定を行うことができる。
【００２０】以上のように本実施例によれば、光パワー
測定装置の確度とリニアリティの測定をする際に、光源
の不安定性の影響を受けることが殆ど無くなり、精度を
向上させることが可能になる。
測定装置の確度とリニアリティの測定をする際に、光源
の不安定性の影響を受けることが殆ど無くなり、精度を
向上させることが可能になる。
【００２１】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、光源の光出力が変動する様な場合であっても、正
確な校正を行うことが可能な光パワーメータ校正システ
ムを提供することができる。
れば、光源の光出力が変動する様な場合であっても、正
確な校正を行うことが可能な光パワーメータ校正システ
ムを提供することができる。
【図１】本発明の一実施例の構成を示す構成図である。
【図２】本発明の一実施例にかかる装置の測定状態を示
す説明図である。
す説明図である。
【図３】本発明の一実施例にかかる装置の測定状態を示
す説明図である。
す説明図である。
【図４】従来の光パワーメータの構成を示す説明図であ
る。
る。
【図５】従来の光パワーメータの主要部の構成を示す構
成図である。
成図である。
【符号の説明】 １ 光源 ２ ハーフミラー ３，４ シャッタ ５ 標準器 ６ 被検器 ７ ハーフミラー ８ 制御部本体
Claims (1)
- 【請求項１】 標準器となる光パワーメータ（５）と被
検器となる光パワーメータ（６）とを測定することによ
り被検器側の光パワーメータ（６）の確度及びリニアリ
ティーを測定する光パワーメータ校正システムにおい
て、 光源（１）からの光を２分割する光分割手段（２）と、 光分割手段（２）により分割された２つの光を同時に通
過／遮断させるシャッタ手段（３，４）と、 シャッタ手段（３，４）を通過した光束をそれぞれ受け
る標準器側の光パワーメータ（５）及び被検器側の光パ
ワーメータ（６）と、 標準器側の光パワーメータ（５）及び被検器側の光パワ
ーメータ（６）で測定された光パワーの確度の差Ｅ１並
びに標準器と被検器とを入れ替えて測定された光パワー
の確度の差Ｅ２とを参照して、それぞれの確度の差（Ｅ
１，Ｅ２）の和の半分の値から、被検器の確度を求める
制御手段（８）とを有することを特徴とする光パワーメ
ータ校正システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2962892A JPH05223632A (ja) | 1992-02-17 | 1992-02-17 | 光パワーメータ校正システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2962892A JPH05223632A (ja) | 1992-02-17 | 1992-02-17 | 光パワーメータ校正システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05223632A true JPH05223632A (ja) | 1993-08-31 |
Family
ID=12281356
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2962892A Pending JPH05223632A (ja) | 1992-02-17 | 1992-02-17 | 光パワーメータ校正システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05223632A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102818623A (zh) * | 2012-08-31 | 2012-12-12 | 广东威创视讯科技股份有限公司 | 一种亮色度计的校准方法和系统 |
| CN102890423A (zh) * | 2011-07-20 | 2013-01-23 | 上海微电子装备有限公司 | 光电探测器校准装置及其校准方法 |
| RU2687303C1 (ru) * | 2018-09-28 | 2019-05-13 | Федеральное государственное унитарное предприятие "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ" (ФГУП "ВНИИОФИ") | Способ калибровки/поверки средств измерения мощности лазерного излучения |
| RU2757471C1 (ru) * | 2021-01-28 | 2021-10-18 | Федеральное государственное унитарное предприятие "ВСЕРОССИЙСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ОПТИКО-ФИЗИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ" (ФГУП "ВНИИОФИ") | Способ калибровки/поверки средства измерений мощности лазерного излучения |
-
1992
- 1992-02-17 JP JP2962892A patent/JPH05223632A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102890423A (zh) * | 2011-07-20 | 2013-01-23 | 上海微电子装备有限公司 | 光电探测器校准装置及其校准方法 |
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