JPH07304175A - Nozzle plate manufacturing method - Google Patents
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 インク滴を安定して噴射させることの出来る
ノズルプレートの製造方法を提示すること。
【構成】 エキシマレーザビームにより基板１にノズル
加工を行い、基板１のインク噴射側面に、撥水性液を塗
布して撥水性膜３を形成する。次に、ノズル２内に進入
したり、ノズル２を塞いだ撥水性膜３を、微小固体を衝
突させて表面加工を行うブラスト加工と呼ばれる方法を
用いて取り除く。即ち、ブラスト装置１５より、微小固
体である平均粒子形２μｍのＡｌ2Ｏ3粉末が混入された
圧縮空気が吹き付けられる。この圧縮空気の吹き付けに
よって微小固体が衝突して、ノズル２内に進入したり、
ノズル２を塞いだ撥水性膜３が取り除かれる。
(57) [Summary] [Objective] To provide a method for manufacturing a nozzle plate capable of stably ejecting ink droplets. [Structure] Nozzle processing is performed on a substrate 1 by an excimer laser beam, and a water-repellent liquid is applied to the ink ejection side surface of the substrate 1 to form a water-repellent film 3. Next, the water-repellent film 3 that has entered the nozzle 2 or blocked the nozzle 2 is removed by a method called blasting in which a fine solid is collided to perform surface processing. That is, compressed air mixed with Al 2 O 3 powder having an average particle size of 2 μm, which is a fine solid, is blown from the blasting device 15. By this compressed air blowing, minute solids collide and enter the nozzle 2,
The water-repellent film 3 blocking the nozzle 2 is removed.
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、インクが噴射されるノ
ズルが形成される基板と、前記基板のノズルが形成され
る位置の周囲に形成される撥水性膜とを有するノズルプ
レートの製造方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a nozzle plate having a substrate on which nozzles for ejecting ink are formed and a water-repellent film formed on the substrate around the positions where the nozzles are formed. It is about.
【０００２】[0002]
【従来の技術】インクを噴射するヘッドでは、ノズルの
周囲表面にインクの濡れができるとインク滴の飛翔方向
にズレが生じたり、さらに濡れがひどくなるとインク滴
が飛ばないといった問題がおきる。このような問題に対
して、特開昭５５−６５５６４号公報あるいは特開平２
−５５１４０号公報には、ノズルが形成されたノズルプ
レートの表面に撥水性膜を設けて濡れが生じるのを抑え
るようにした技術が示されている。2. Description of the Related Art In a head for ejecting ink, there is a problem that when the ink is wetted on the peripheral surface of the nozzle, a deviation occurs in the flight direction of the ink droplet, and when the wetness becomes severe, the ink droplet does not fly. To solve such a problem, Japanese Patent Laid-Open No. 55-65564 or Japanese Patent Laid-Open No.
Japanese Patent Laid-Open No. 55140 discloses a technique in which a water-repellent film is provided on the surface of a nozzle plate on which nozzles are formed to prevent the occurrence of wetting.
【０００３】ところが、プレートにノズルを形成した
後、プレートの表面に撥水性液を塗布すると、撥水性液
の一部がノズル内部に不均一に回り込んだり、またはノ
ズルを塞いでしまったりする。その結果、ノズルで形成
されるインクのメニスカスがノズル毎に異なって、イン
クの噴射タイミングにばらつきが生じたり、インクが噴
射しないといった不都合が生じる。However, if the water-repellent liquid is applied to the surface of the plate after the nozzles are formed on the plate, a part of the water-repellent liquid will spread unevenly inside the nozzle or block the nozzle. As a result, the meniscus of the ink formed by the nozzles varies from nozzle to nozzle, which causes inconveniences such as variations in the ink ejection timing and no ink ejection.
【０００４】このため、ノズルの内部に被覆材を完全に
埋め込んだ後、ノズルプレートの表面に撥水性膜を形成
することも考えられているが、ノズルの内部に被覆材を
完全に埋め込むことが非常に難しく、実用的でない。ま
た、特開昭６３−１２２５５７号公報には、ノズルに気
体を送風させながら、ノズルプレートの表面に撥水性液
を塗布して撥水性膜を形成するといった提案がなされて
いる。For this reason, it has been considered to form a water-repellent film on the surface of the nozzle plate after completely embedding the coating material inside the nozzle, but it is possible to completely embed the coating material inside the nozzle. Very difficult and impractical. Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-122557 proposes to form a water-repellent film by applying a water-repellent liquid on the surface of a nozzle plate while blowing gas through the nozzle.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
たノズルに気体を送風させながら撥水性膜を形成する方
法においては、撥水性液が乾燥するまで気体を送風し続
けなければならないので、時間がかかる。また、ノズル
周りの撥水性液は、乾燥するまで気体の流れの影響を受
けるため、乾燥後のノズル周りのスムーズさにかける。
さらには、表面張力の低い撥水性液を用いると、ノズル
に気体を送風しても、ノズル内に撥水性液が進入してし
まうと言った問題があった。However, in the above-described method of forming a water-repellent film while blowing gas through the nozzle, it is necessary to continue blowing the gas until the water-repellent liquid is dried, which takes time. . Further, since the water-repellent liquid around the nozzle is affected by the flow of gas until it is dried, the water-repellent liquid is not smooth enough around the nozzle after drying.
Furthermore, when a water repellent liquid having a low surface tension is used, there is a problem that the water repellent liquid enters the nozzle even if gas is blown to the nozzle.
【０００６】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、良好にインクを噴射することが
できるノズルプレートの製造方法を提示することを目的
とする。The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a nozzle plate which can eject ink well.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の請求項１では、インクが噴射されるノズルが
形成される基板と、前記基板のノズルが形成される位置
の周囲に形成される撥水性膜とを有するノズルプレート
の製造方法であって、前記基板にノズルを加工する工程
と、前記基板の一方の面において、少なくともノズルが
加工された位置の周囲に撥水性膜を形成する工程と、前
記基板の前記撥水性膜が形成された面の裏側から、前記
ノズルに微小固体を衝突させることにより、ノズル部分
の撥水性膜を取り除く工程とからなることを特徴とす
る。In order to achieve this object, in a first aspect of the present invention, a substrate on which a nozzle for ejecting ink is formed and a substrate is formed around a position where the nozzle is formed. A method of manufacturing a nozzle plate having a water-repellent film formed on the substrate, the method comprising: forming a nozzle on the substrate; and forming a water-repellent film on at least a position where the nozzle is formed on one surface of the substrate. And a step of removing the water-repellent film on the nozzle portion by colliding fine solids with the nozzle from the back side of the surface of the substrate on which the water-repellent film is formed.
【０００８】請求項２では、前記微小固体を衝突させた
後、加熱することを特徴とする。According to a second aspect of the present invention, heating is performed after the minute solids are collided with each other.
【０００９】請求項３では、前記基板は、樹脂で形成さ
れ、前記撥水性膜は、フッ素系またはシリコン系の材料
で形成されることを特徴とする。According to a third aspect of the present invention, the substrate is made of resin, and the water-repellent film is made of fluorine-based or silicon-based material.
【００１０】請求項４では、前記ノズルは、エキシマレ
ーザビームによって加工されることを特徴とする。According to a fourth aspect of the present invention, the nozzle is processed by an excimer laser beam.
【００１１】請求項５では、前記微小固体は、前記基板
の前記撥水性膜が形成された面の裏側の全面及びノズル
内面に衝突させることを特徴とする。According to a fifth aspect of the present invention, the fine solids collide with the entire surface of the substrate on the back side of the surface on which the water-repellent film is formed and the inner surface of the nozzle.
【００１２】[0012]
【作用】上記の構成を有する本発明のノズルプレートの
製造方法では、前記基板にノズルが加工された後、前記
基板の一方の面において、少なくともノズルが加工され
た位置の周囲に撥水性膜が形成され、前記基板の前記撥
水性膜が形成された面の裏側から、前記ノズルに微小固
体が衝突することにより、ノズル部分の撥水性膜が取り
除かれる。In the method for manufacturing a nozzle plate of the present invention having the above structure, after the nozzles are processed on the substrate, a water-repellent film is formed on at least one surface of the substrate around the position where the nozzles are processed. The water-repellent film on the nozzle portion is removed by colliding minute solids with the nozzle from the back side of the surface of the substrate on which the water-repellent film is formed.
【００１３】[0013]
【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例を図面を
参照して詳細に説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.
【００１４】図１は、基板１にノズル２の加工を行う説
明図である。レーザ発振器１４より出たエキシマレーザ
ビーム１１を、所望する加工形状と相似系のマスク１２
を通し、レンズ１３によりマスク形状をノズルプレート
を構成する基板１上に結像させてノズル加工を行う。こ
こで、本実施例においては、エキシマレーザビーム１１
は２４８ｎｍの波長をもつＫｒＦエキシマレーザビーム
である。また、マスク１２およびレンズ１３はノズル形
状やレーザ加工条件等によって適切に設定する。本実施
例では、１／５の縮小レンズ１３および直径３００μｍ
の穴を開けたマスク１２を用いた。FIG. 1 is an explanatory diagram for processing the nozzle 2 on the substrate 1. An excimer laser beam 11 emitted from a laser oscillator 14 is used to form a mask 12 having a desired processing shape and a similar system.
Through, the lens 13 forms an image of the mask shape on the substrate 1 forming the nozzle plate, and nozzle processing is performed. Here, in the present embodiment, the excimer laser beam 11
Is a KrF excimer laser beam having a wavelength of 248 nm. Further, the mask 12 and the lens 13 are appropriately set depending on the nozzle shape, laser processing conditions, and the like. In the present embodiment, the demagnification lens 13 of 1/5 and the diameter of 300 μm are used.
The mask 12 with the holes in FIG.
【００１５】本実施例では、基板１としてポリイミド樹
脂を用いた。このポリイミド樹脂は、融点がなく非常に
熱的特性の優れた樹脂である。尚、基板１として、エキ
シマレーザビーム１１で加工可能な他の樹脂、例えばポ
リサルホン樹脂等を用いても差し支えない。In this embodiment, a polyimide resin is used as the substrate 1. This polyimide resin has no melting point and is extremely excellent in thermal characteristics. It should be noted that the substrate 1 may be made of another resin that can be processed by the excimer laser beam 11, such as polysulfone resin.
【００１６】次に、図２に示すように、ノズル２を加工
した基板１のインク噴射側面に、撥水性液を塗布して撥
水性膜３を形成する。この撥水性液は、多少なりともノ
ズル２内に進入したり、ノズル２を塞ぐことがある。撥
水性膜３は、本実施例においては４フッ化エチレン−６
フッ化プロプレン共重合樹脂（以下ＦＥＰ樹脂と称す）
液を約１μｍ程度に塗布し、成膜したものである。ここ
で、ＦＥＰ樹脂の軟化点（融点）は、２５０℃〜２８０
℃である。Next, as shown in FIG. 2, a water-repellent liquid is applied to the ink jetting side surface of the substrate 1 on which the nozzle 2 has been processed to form a water-repellent film 3. This water repellent liquid may enter the nozzle 2 or block the nozzle 2 to some extent. The water-repellent film 3 is tetrafluoroethylene-6 in this embodiment.
Fluorinated propylene copolymer resin (hereinafter referred to as FEP resin)
The liquid is applied to a thickness of about 1 μm to form a film. Here, the softening point (melting point) of the FEP resin is 250 ° C. to 280.
℃.
【００１７】この撥水性膜３形成前において、基板１の
撥水性液を塗布する面または全面に、微小な固体を衝突
させるブラスト加工等を行なって、微細な凹凸形成加工
を施すことによって、撥水性膜３の基板１への付着力を
上げるのが望ましい。Before the water-repellent film 3 is formed, the surface or the whole surface of the substrate 1 to which the water-repellent liquid is applied is subjected to a blast process or the like in which a minute solid is made to collide, and a fine concavo-convex forming process is performed to thereby repel the water-repellent film. It is desirable to increase the adhesion of the aqueous film 3 to the substrate 1.
【００１８】尚、本実施例に於いては、前記凹凸形成加
工にブラスト加工方法を用いたが、他に溶剤等による化
学エッチングでの凹凸形成でも一向に差し支えない。In the present embodiment, the blasting method is used for the above-mentioned concavo-convex forming process. However, concavo-convex formation by chemical etching with a solvent or the like may be used.
【００１９】次に、図３に示すように、ノズル２内に進
入したり、ノズル２を塞いだ撥水性膜３を、微小固体を
衝突させて表面加工を行うブラスト加工と呼ばれる方法
を用いて取り除く。このブラスト加工は、ブラスト装置
１５より、微小固体である平均粒子形２μｍのＡｌ2Ｏ3
粉末が混入された圧縮空気が、圧力２Ｋｇ／ｃｍ2でノ
ズル２の撥水性膜３が形成された面の裏面に５秒間吹き
付けられることによって行なわれる。この５秒間の微小
固体の衝突により、ノズル２内に進入したり、ノズル２
を塞いだ撥水性膜３が取り除かれる。この時、インクジ
ェットヘッドのインク流路側となる基板１の前記裏面及
びノズル内面に、前記微小固体が衝突して、微小な凹凸
が形成される。ここで、本実施例では、圧縮空気の圧力
２Ｋｇ／ｃｍ2で５秒間のブラスト加工を行ったが、圧
縮空気の圧力が大きい場合や加工時間が長い場合には、
撥水性膜３のみならず基板１およびノズル２内面を削り
取ることがあるので、これら加工条件には注意を要す
る。Next, as shown in FIG. 3, the water repellent film 3 that has entered the nozzle 2 or blocked the nozzle 2 is subjected to a surface treatment by colliding a minute solid with a method called blasting. remove. This blasting is performed by the blasting device 15 as a fine solid having an average particle size of 2 μm of Al 2 O 3
The compressed air mixed with the powder is blown for 5 seconds at a pressure of 2 Kg / cm 2 on the back surface of the nozzle 2 on which the water-repellent film 3 is formed. By the collision of the minute solids for 5 seconds, the fine solids enter the nozzle 2 or the nozzle 2
The water-repellent film 3 that has blocked the film is removed. At this time, the minute solids collide with the back surface of the substrate 1 and the inner surface of the nozzle, which are on the ink flow path side of the inkjet head, to form minute unevenness. Here, in this embodiment, blasting was performed for 5 seconds at a compressed air pressure of 2 Kg / cm 2 , but when the compressed air pressure is high or the processing time is long,
Since not only the water-repellent film 3 but also the inner surface of the substrate 1 and the nozzle 2 may be scraped off, caution is required in these processing conditions.
【００２０】また、本実施例では、噴射エネルギー源と
して圧縮空気を用いたが、水蒸気等他の気体や水等液体
でも同様の効果が得られる。さらに、Ａｌ2Ｏ3粉末の代
わりにＳｉＣ、ＺｒＯ2、Ｓｉ3Ｎ4や硝子粉末等を用い
ても一向に差し支えないが、粒径がノズル２の内径の少
なくとも１／５以下のものが好ましい。Further, in this embodiment, compressed air is used as the injection energy source, but the same effect can be obtained by using other gas such as water vapor or liquid such as water. Further, SiC, ZrO 2 , Si 3 N 4 , glass powder or the like may be used in place of the Al 2 O 3 powder, but it is preferable that the particle diameter is at least ⅕ or less of the inner diameter of the nozzle 2.
【００２１】ここで、ノズル２内に進入したり、ノズル
２を塞いだ撥水性膜３はブラスト加工により取り除くこ
とが出来るが、本実施例で用いたＦＥＰ樹脂は柔らかく
伸延性があるため、微小固体の粒子形が大きいとノズル
周縁部がシャープに加工できない場合があり、バリとし
て残ることがある。Here, the water-repellent film 3 that has entered the nozzle 2 or blocked the nozzle 2 can be removed by blasting, but since the FEP resin used in this embodiment is soft and extensible, it is very small. If the particle shape of the solid is large, the peripheral portion of the nozzle may not be sharply processed, and may remain as burrs.
【００２２】そこで、ノズル２内に進入したり、ノズル
２を塞いだ撥水性膜３をブラスト加工により取り除いた
ノズルプレートでも、撥水性膜３の小さなバリ４が残る
ため、このバリ４を取り除くために熱加工を行う。すな
わち、バリ４を軟化溶融させて消滅させるために、ノズ
ルプレートを３００℃の温度下で１時間放置した。その
結果、図４に示すように、撥水性膜３のバリ４が軟化
し、バリ４の無いノズルプレートが形成される。尚、本
実施例では、塗布したＦＥＰ樹脂の溶融温度の関係から
熱処理温度を３００℃としたが、処理温度が撥水性膜３
の溶融温度よりかなり高い場合は、撥水性膜３がノズル
２内に流れ込む恐れがあるため、温度管理には注意を要
する。Therefore, even in the nozzle plate in which the water-repellent film 3 that has entered the nozzle 2 or blocks the nozzle 2 has been removed by blasting, a small burr 4 of the water-repellent film 3 remains, so that the burr 4 is removed. Heat processing. That is, the nozzle plate was left at a temperature of 300 ° C. for 1 hour in order to soften and melt the burr 4 to make it disappear. As a result, as shown in FIG. 4, the burr 4 of the water-repellent film 3 is softened and a nozzle plate without the burr 4 is formed. In this example, the heat treatment temperature was set to 300 ° C. in consideration of the melting temperature of the applied FEP resin, but the treatment temperature was set to the water repellent film 3.
If the melting temperature is much higher than the melting temperature, the water-repellent film 3 may flow into the nozzle 2, so that temperature control needs to be careful.
【００２３】本実施例に於いては、ブラスト加工の条件
や撥水性膜３の材質により、ノズル２部分の撥水性膜３
に、噴射に悪影響を及ぼすバリ等が形成されたため、こ
のようなバリ等を除く処理を行ったが、加工条件の適正
化や他の撥水性膜を用いてバリ等の形成を防いだ場合
は、このような処理は行う必要はない。In the present embodiment, the water-repellent film 3 in the nozzle 2 portion depends on the blasting conditions and the material of the water-repellent film 3.
Since burr that adversely affects jetting was formed on the above, processing was performed to remove such burr, but if the formation of burr etc. was prevented by optimizing the processing conditions or using another water-repellent film. It is not necessary to perform such processing.
【００２４】このようにして得られたノズル２をもつノ
ズルプレートを用いてインクジェットヘッドを作製しイ
ンク噴射を行った結果、噴射方向が均一で安定した飛翔
速度のインク滴を吐出させることが確認された。また、
ノズルプレートのノズル２の内面及びインク流路側の面
が前記ブラスト加工により凹凸となっているので、イン
クに対して親水化されている。このため、気泡の巻き込
みが防止され、噴射方向が均一で安定した飛翔速度のイ
ンク滴が吐出されることを確認した。また、気泡がイン
ク流路内に発生しても容易に除去することができた。An ink jet head was produced using the nozzle plate having the nozzles 2 thus obtained, and ink was ejected. As a result, it was confirmed that ink droplets were ejected with a uniform ejection direction and a stable flight velocity. It was Also,
Since the inner surface of the nozzle 2 of the nozzle plate and the surface on the ink flow path side are made uneven by the blast processing, they are made hydrophilic to the ink. Therefore, it was confirmed that the entrainment of bubbles was prevented, and the ink droplets were ejected with a uniform flight direction and a stable flight speed. Further, even if bubbles were generated in the ink flow path, they could be easily removed.
【００２５】上述したように、本実施例では、基板１に
ノズル２を加工した後、撥水性膜３を形成できるため、
撥水性膜３がエキシマレーザビーム１１で加工しにくい
材質であってもきれいなノズル２が形成できる。また、
例えばノズル２を射出成形で作製した場合等の、どうし
ても撥水性膜３をノズル加工後に形成しなければならな
い場合にも対応できる。As described above, in this embodiment, since the water repellent film 3 can be formed after the nozzle 2 is processed on the substrate 1,
Even if the water-repellent film 3 is made of a material that is difficult to process with the excimer laser beam 11, a clean nozzle 2 can be formed. Also,
For example, the case where the water-repellent film 3 must be formed after the nozzle processing, such as the case where the nozzle 2 is manufactured by injection molding, can be dealt with.
【００２６】尚、本発明は上述した実施例にのみ限定さ
れるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において
種々の変更を加えても一向に差し支えない。The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications may be made without departing from the spirit of the present invention.
【００２７】例えば、本実施例では、基板１としてポリ
イミド樹脂を用いていたが、上述バリ取りを熱加工方法
で行う場合は、熱硬化性樹脂の軟化温度が、撥水性膜と
して用いた材料より比較的高い樹脂であれば一向に問題
無い。また、熱加工方法以外のバリ取り方法やノズル加
工で、バリのでない加工方法を用いた場合は、熱処理を
行なわなくてよいので、基板１としては用いるインクに
侵されないものであればどのような樹脂でも差し支えな
い。For example, although the polyimide resin is used as the substrate 1 in this embodiment, when the above-mentioned deburring is performed by the thermal processing method, the softening temperature of the thermosetting resin is higher than that of the material used as the water repellent film. There is no problem if the resin is relatively high. Further, when a deburring method other than the thermal processing method or a nozzle processing method that does not have burrs is used, heat treatment does not have to be performed. Resin can be used.
【００２８】また、本実施例では、インク噴射に最適で
ある１０μｍから数十μｍ程度のノズルが精度良く加工
するために、エキシマレーザ加工を用いたが、例えば打
ち抜き加工やドリル加工を用いてもよく、その場合に
は、基板１は、これらの加工で加工可能な材料であり、
例えば金属材料であっても一向に差し支えない。Further, in the present embodiment, excimer laser processing is used in order to accurately process a nozzle of about 10 μm to several tens of μm, which is optimum for ink ejection, but punching or drilling may also be used. Well, in that case, the substrate 1 is a material that can be processed by these processes,
For example, even a metal material can be used.
【００２９】さらに、本実施例では、撥水性膜２として
ＦＥＰ樹脂を用いていたが、ポリ４フッ化エチレン樹脂
（ＰＴＦＥ樹脂）、４フッ化エチレン−パーフルオロア
ルコキシエチレン共重合樹脂（ＰＦＡ樹脂）、３フッ化
塩化エチレン樹脂（ＰＣＴＦＥ樹脂）、４フッ化エチレ
ン−エチレン共重合樹脂（ＥＴＦＥ樹脂）、フッ化ビニ
リデン樹脂、フッ化ビニル樹脂等のフッ素系の樹脂、さ
らにはフッ素原子を含んだ表面改質剤やコーティング材
例えばサイトップ（商品名：旭ガラス）、ＫＰ８０１Ｍ
（商品名：信越化学）、ＡＦ１６００（商品名：デュポ
ン）、ＤＥＦＥＮＮＳＡ７７７０２（光ラジカル重合型
樹脂：大日本インキ化学工業）、ＦＳ−１１６（商品
名：ダイキン）、フロラード（商品名：住友３Ｍ）等を
用いてもよい。これらフッ素系の樹脂およびフッ素原子
を含んだ表面改質剤やコーティング材は、特にインク溶
剤に対する撥水特性、耐溶剤性が優れている。また、用
いるインク溶剤によっては、シリコン系樹脂等でも問題
無い。Further, in this embodiment, the FEP resin was used as the water-repellent film 2, but polytetrafluoroethylene resin (PTFE resin), tetrafluoroethylene-perfluoroalkoxyethylene copolymer resin (PFA resin). Fluorine-based resins such as trifluoroethylene chloride resin (PCTFE resin), tetrafluoroethylene-ethylene copolymer resin (ETFE resin), vinylidene fluoride resin, vinyl fluoride resin, and a surface containing a fluorine atom. Modifiers and coating materials such as CYTOP (trade name: Asahi Glass), KP801M
(Product name: Shin-Etsu Chemical), AF1600 (Product name: DuPont), DEFENSA77702 (Photo radical polymerization type resin: Dainippon Ink and Chemicals), FS-116 (Product name: Daikin), Florard (Product name: Sumitomo 3M), etc. May be used. These fluorine-based resins and surface modifiers and coating materials containing fluorine atoms are particularly excellent in water repellency and solvent resistance to ink solvents. In addition, depending on the ink solvent used, there is no problem even with a silicone resin or the like.
【００３０】[0030]
【発明の効果】以上説明したことから明かなように、本
発明のノズルプレートの製造方法によれば、前記基板に
ノズルを加工した後、前記基板の一方の面において、少
なくともノズルが加工された位置の周囲に撥水性膜を形
成し、前記基板の前記撥水性膜が形成された面の裏側か
ら、前記ノズルに微小固体を衝突させるので、ノズル内
に進入した撥水性膜またはノズルを塞いだ撥水性膜をノ
ズル部分より取り除くことが出来る。このようにして得
られたノズルプレートは噴射方向が均一で安定した飛翔
速度のインク滴を吐出させることが出来る。さらに製造
方法が簡単で、製造コストも低い。As is apparent from the above description, according to the method of manufacturing a nozzle plate of the present invention, after processing the nozzles on the substrate, at least the nozzles are processed on one surface of the substrate. A water-repellent film is formed around the position, and fine solids are made to collide with the nozzle from the back side of the surface of the substrate on which the water-repellent film is formed, so the water-repellent film or nozzle that has entered the nozzle is blocked. The water-repellent film can be removed from the nozzle part. The nozzle plate thus obtained can eject ink droplets having a uniform ejection direction and a stable flight velocity. Further, the manufacturing method is simple and the manufacturing cost is low.
【図１】本発明の一実施例のノズル加工を示す説明図で
ある。FIG. 1 is an explanatory diagram showing nozzle processing according to an embodiment of the present invention.
【図２】前記本実施例の撥水性膜を塗布作成した直後を
示す説明図である。FIG. 2 is an explanatory view showing immediately after the water repellent film of the present embodiment is formed by coating.
【図３】前記本実施例のノズル部分の撥水性膜の除去を
示す説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram showing the removal of the water-repellent film in the nozzle portion of the present embodiment.
【図４】前記本実施例のによって得られたノズル部分を
示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing a nozzle portion obtained according to the present embodiment.
１ 基板 ２ ノズル ３ 撥水性膜 １５ ブラスト装置 １６ 微小固体 1 Substrate 2 Nozzle 3 Water-repellent film 15 Blasting device 16 Micro solid
Claims (5)
基板と、前記基板のノズルが形成される位置の周囲に形
成される撥水性膜とを有するノズルプレートの製造方法
であって、 前記基板にノズルを加工する工程と、 前記基板の一方の面において、少なくともノズルが加工
された位置の周囲に撥水性膜を形成する工程と、 前記基板の前記撥水性膜が形成された面の裏側から、前
記ノズルに微小固体を衝突させることにより、ノズル部
分の撥水性膜を取り除く工程とからなることを特徴とす
るノズルプレートの製造方法。1. A method of manufacturing a nozzle plate, comprising: a substrate on which nozzles for ejecting ink are formed; and a water-repellent film formed around a position of the substrate on which the nozzles are formed. A step of forming a water repellent film around at least the position where the nozzle is formed on one surface of the substrate, and from the back side of the surface of the substrate on which the water repellent film is formed. And a step of removing a water-repellent film on the nozzle portion by colliding a minute solid with the nozzle, the method for manufacturing a nozzle plate.
ことを特徴とする請求項１記載のノズルプレートの製造
方法。2. The method for manufacturing a nozzle plate according to claim 1, wherein heating is performed after the minute solids are collided with each other.
性膜は、フッ素系またはシリコン系の材料で形成される
ことを特徴とする請求項１記載のノズルプレートの製造
方法。3. The method for manufacturing a nozzle plate according to claim 1, wherein the substrate is made of resin, and the water-repellent film is made of a fluorine-based or silicon-based material.
よって加工されることを特徴とする請求項１記載のノズ
ルプレートの製造方法。4. The method of manufacturing a nozzle plate according to claim 1, wherein the nozzle is processed by an excimer laser beam.
膜が形成された面の裏側の全面及びノズル内面に衝突さ
せることを特徴とする請求項１記載のノズルプレートの
製造方法。5. The method of manufacturing a nozzle plate according to claim 1, wherein the fine solid is made to collide with the entire surface of the substrate on the back side of the surface on which the water repellent film is formed and the inner surface of the nozzle.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9888394A JPH07304175A (en) | 1994-05-12 | 1994-05-12 | Nozzle plate manufacturing method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9888394A JPH07304175A (en) | 1994-05-12 | 1994-05-12 | Nozzle plate manufacturing method |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07304175A true JPH07304175A (en) | 1995-11-21 |
Family
ID=14231553
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9888394A Pending JPH07304175A (en) | 1994-05-12 | 1994-05-12 | Nozzle plate manufacturing method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07304175A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008119908A (en) * | 2006-11-10 | 2008-05-29 | Kyushu Institute Of Technology | Inkjet droplet nozzle |
| US7526860B2 (en) | 2005-02-23 | 2009-05-05 | Fujifilm Corporation | Method of manufacturing nozzle plate, liquid ejection head, and image forming apparatus comprising liquid ejection head |
-
1994
- 1994-05-12 JP JP9888394A patent/JPH07304175A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7526860B2 (en) | 2005-02-23 | 2009-05-05 | Fujifilm Corporation | Method of manufacturing nozzle plate, liquid ejection head, and image forming apparatus comprising liquid ejection head |
| JP2008119908A (en) * | 2006-11-10 | 2008-05-29 | Kyushu Institute Of Technology | Inkjet droplet nozzle |
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