JPH07304175A - ノズルプレートの製造方法 - Google Patents
ノズルプレートの製造方法Info
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- JPH07304175A JPH07304175A JP9888394A JP9888394A JPH07304175A JP H07304175 A JPH07304175 A JP H07304175A JP 9888394 A JP9888394 A JP 9888394A JP 9888394 A JP9888394 A JP 9888394A JP H07304175 A JPH07304175 A JP H07304175A
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Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 インク滴を安定して噴射させることの出来る
ノズルプレートの製造方法を提示すること。 【構成】 エキシマレーザビームにより基板１にノズル
加工を行い、基板１のインク噴射側面に、撥水性液を塗
布して撥水性膜３を形成する。次に、ノズル２内に進入
したり、ノズル２を塞いだ撥水性膜３を、微小固体を衝
突させて表面加工を行うブラスト加工と呼ばれる方法を
用いて取り除く。即ち、ブラスト装置１５より、微小固
体である平均粒子形２μｍのＡｌ2Ｏ3粉末が混入された
圧縮空気が吹き付けられる。この圧縮空気の吹き付けに
よって微小固体が衝突して、ノズル２内に進入したり、
ノズル２を塞いだ撥水性膜３が取り除かれる。
ノズルプレートの製造方法を提示すること。 【構成】 エキシマレーザビームにより基板１にノズル
加工を行い、基板１のインク噴射側面に、撥水性液を塗
布して撥水性膜３を形成する。次に、ノズル２内に進入
したり、ノズル２を塞いだ撥水性膜３を、微小固体を衝
突させて表面加工を行うブラスト加工と呼ばれる方法を
用いて取り除く。即ち、ブラスト装置１５より、微小固
体である平均粒子形２μｍのＡｌ2Ｏ3粉末が混入された
圧縮空気が吹き付けられる。この圧縮空気の吹き付けに
よって微小固体が衝突して、ノズル２内に進入したり、
ノズル２を塞いだ撥水性膜３が取り除かれる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクが噴射されるノ
ズルが形成される基板と、前記基板のノズルが形成され
る位置の周囲に形成される撥水性膜とを有するノズルプ
レートの製造方法に関するものである。
ズルが形成される基板と、前記基板のノズルが形成され
る位置の周囲に形成される撥水性膜とを有するノズルプ
レートの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】インクを噴射するヘッドでは、ノズルの
周囲表面にインクの濡れができるとインク滴の飛翔方向
にズレが生じたり、さらに濡れがひどくなるとインク滴
が飛ばないといった問題がおきる。このような問題に対
して、特開昭５５−６５５６４号公報あるいは特開平２
−５５１４０号公報には、ノズルが形成されたノズルプ
レートの表面に撥水性膜を設けて濡れが生じるのを抑え
るようにした技術が示されている。
周囲表面にインクの濡れができるとインク滴の飛翔方向
にズレが生じたり、さらに濡れがひどくなるとインク滴
が飛ばないといった問題がおきる。このような問題に対
して、特開昭５５−６５５６４号公報あるいは特開平２
−５５１４０号公報には、ノズルが形成されたノズルプ
レートの表面に撥水性膜を設けて濡れが生じるのを抑え
るようにした技術が示されている。
【０００３】ところが、プレートにノズルを形成した
後、プレートの表面に撥水性液を塗布すると、撥水性液
の一部がノズル内部に不均一に回り込んだり、またはノ
ズルを塞いでしまったりする。その結果、ノズルで形成
されるインクのメニスカスがノズル毎に異なって、イン
クの噴射タイミングにばらつきが生じたり、インクが噴
射しないといった不都合が生じる。
後、プレートの表面に撥水性液を塗布すると、撥水性液
の一部がノズル内部に不均一に回り込んだり、またはノ
ズルを塞いでしまったりする。その結果、ノズルで形成
されるインクのメニスカスがノズル毎に異なって、イン
クの噴射タイミングにばらつきが生じたり、インクが噴
射しないといった不都合が生じる。
【０００４】このため、ノズルの内部に被覆材を完全に
埋め込んだ後、ノズルプレートの表面に撥水性膜を形成
することも考えられているが、ノズルの内部に被覆材を
完全に埋め込むことが非常に難しく、実用的でない。ま
た、特開昭６３−１２２５５７号公報には、ノズルに気
体を送風させながら、ノズルプレートの表面に撥水性液
を塗布して撥水性膜を形成するといった提案がなされて
いる。
埋め込んだ後、ノズルプレートの表面に撥水性膜を形成
することも考えられているが、ノズルの内部に被覆材を
完全に埋め込むことが非常に難しく、実用的でない。ま
た、特開昭６３−１２２５５７号公報には、ノズルに気
体を送風させながら、ノズルプレートの表面に撥水性液
を塗布して撥水性膜を形成するといった提案がなされて
いる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
たノズルに気体を送風させながら撥水性膜を形成する方
法においては、撥水性液が乾燥するまで気体を送風し続
けなければならないので、時間がかかる。また、ノズル
周りの撥水性液は、乾燥するまで気体の流れの影響を受
けるため、乾燥後のノズル周りのスムーズさにかける。
さらには、表面張力の低い撥水性液を用いると、ノズル
に気体を送風しても、ノズル内に撥水性液が進入してし
まうと言った問題があった。
たノズルに気体を送風させながら撥水性膜を形成する方
法においては、撥水性液が乾燥するまで気体を送風し続
けなければならないので、時間がかかる。また、ノズル
周りの撥水性液は、乾燥するまで気体の流れの影響を受
けるため、乾燥後のノズル周りのスムーズさにかける。
さらには、表面張力の低い撥水性液を用いると、ノズル
に気体を送風しても、ノズル内に撥水性液が進入してし
まうと言った問題があった。
【０００６】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、良好にインクを噴射することが
できるノズルプレートの製造方法を提示することを目的
とする。
になされたものであり、良好にインクを噴射することが
できるノズルプレートの製造方法を提示することを目的
とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の請求項１では、インクが噴射されるノズルが
形成される基板と、前記基板のノズルが形成される位置
の周囲に形成される撥水性膜とを有するノズルプレート
の製造方法であって、前記基板にノズルを加工する工程
と、前記基板の一方の面において、少なくともノズルが
加工された位置の周囲に撥水性膜を形成する工程と、前
記基板の前記撥水性膜が形成された面の裏側から、前記
ノズルに微小固体を衝突させることにより、ノズル部分
の撥水性膜を取り除く工程とからなることを特徴とす
る。
に本発明の請求項１では、インクが噴射されるノズルが
形成される基板と、前記基板のノズルが形成される位置
の周囲に形成される撥水性膜とを有するノズルプレート
の製造方法であって、前記基板にノズルを加工する工程
と、前記基板の一方の面において、少なくともノズルが
加工された位置の周囲に撥水性膜を形成する工程と、前
記基板の前記撥水性膜が形成された面の裏側から、前記
ノズルに微小固体を衝突させることにより、ノズル部分
の撥水性膜を取り除く工程とからなることを特徴とす
る。
【０００８】請求項２では、前記微小固体を衝突させた
後、加熱することを特徴とする。
後、加熱することを特徴とする。
【０００９】請求項３では、前記基板は、樹脂で形成さ
れ、前記撥水性膜は、フッ素系またはシリコン系の材料
で形成されることを特徴とする。
れ、前記撥水性膜は、フッ素系またはシリコン系の材料
で形成されることを特徴とする。
【００１０】請求項４では、前記ノズルは、エキシマレ
ーザビームによって加工されることを特徴とする。
ーザビームによって加工されることを特徴とする。
【００１１】請求項５では、前記微小固体は、前記基板
の前記撥水性膜が形成された面の裏側の全面及びノズル
内面に衝突させることを特徴とする。
の前記撥水性膜が形成された面の裏側の全面及びノズル
内面に衝突させることを特徴とする。
【００１２】
【作用】上記の構成を有する本発明のノズルプレートの
製造方法では、前記基板にノズルが加工された後、前記
基板の一方の面において、少なくともノズルが加工され
た位置の周囲に撥水性膜が形成され、前記基板の前記撥
水性膜が形成された面の裏側から、前記ノズルに微小固
体が衝突することにより、ノズル部分の撥水性膜が取り
除かれる。
製造方法では、前記基板にノズルが加工された後、前記
基板の一方の面において、少なくともノズルが加工され
た位置の周囲に撥水性膜が形成され、前記基板の前記撥
水性膜が形成された面の裏側から、前記ノズルに微小固
体が衝突することにより、ノズル部分の撥水性膜が取り
除かれる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例を図面を
参照して詳細に説明する。
参照して詳細に説明する。
【００１４】図１は、基板１にノズル２の加工を行う説
明図である。レーザ発振器１４より出たエキシマレーザ
ビーム１１を、所望する加工形状と相似系のマスク１２
を通し、レンズ１３によりマスク形状をノズルプレート
を構成する基板１上に結像させてノズル加工を行う。こ
こで、本実施例においては、エキシマレーザビーム１１
は２４８ｎｍの波長をもつＫｒＦエキシマレーザビーム
である。また、マスク１２およびレンズ１３はノズル形
状やレーザ加工条件等によって適切に設定する。本実施
例では、１／５の縮小レンズ１３および直径３００μｍ
の穴を開けたマスク１２を用いた。
明図である。レーザ発振器１４より出たエキシマレーザ
ビーム１１を、所望する加工形状と相似系のマスク１２
を通し、レンズ１３によりマスク形状をノズルプレート
を構成する基板１上に結像させてノズル加工を行う。こ
こで、本実施例においては、エキシマレーザビーム１１
は２４８ｎｍの波長をもつＫｒＦエキシマレーザビーム
である。また、マスク１２およびレンズ１３はノズル形
状やレーザ加工条件等によって適切に設定する。本実施
例では、１／５の縮小レンズ１３および直径３００μｍ
の穴を開けたマスク１２を用いた。
【００１５】本実施例では、基板１としてポリイミド樹
脂を用いた。このポリイミド樹脂は、融点がなく非常に
熱的特性の優れた樹脂である。尚、基板１として、エキ
シマレーザビーム１１で加工可能な他の樹脂、例えばポ
リサルホン樹脂等を用いても差し支えない。
脂を用いた。このポリイミド樹脂は、融点がなく非常に
熱的特性の優れた樹脂である。尚、基板１として、エキ
シマレーザビーム１１で加工可能な他の樹脂、例えばポ
リサルホン樹脂等を用いても差し支えない。
【００１６】次に、図２に示すように、ノズル２を加工
した基板１のインク噴射側面に、撥水性液を塗布して撥
水性膜３を形成する。この撥水性液は、多少なりともノ
ズル２内に進入したり、ノズル２を塞ぐことがある。撥
水性膜３は、本実施例においては４フッ化エチレン−６
フッ化プロプレン共重合樹脂（以下ＦＥＰ樹脂と称す）
液を約１μｍ程度に塗布し、成膜したものである。ここ
で、ＦＥＰ樹脂の軟化点（融点）は、２５０℃〜２８０
℃である。
した基板１のインク噴射側面に、撥水性液を塗布して撥
水性膜３を形成する。この撥水性液は、多少なりともノ
ズル２内に進入したり、ノズル２を塞ぐことがある。撥
水性膜３は、本実施例においては４フッ化エチレン−６
フッ化プロプレン共重合樹脂（以下ＦＥＰ樹脂と称す）
液を約１μｍ程度に塗布し、成膜したものである。ここ
で、ＦＥＰ樹脂の軟化点（融点）は、２５０℃〜２８０
℃である。
【００１７】この撥水性膜３形成前において、基板１の
撥水性液を塗布する面または全面に、微小な固体を衝突
させるブラスト加工等を行なって、微細な凹凸形成加工
を施すことによって、撥水性膜３の基板１への付着力を
上げるのが望ましい。
撥水性液を塗布する面または全面に、微小な固体を衝突
させるブラスト加工等を行なって、微細な凹凸形成加工
を施すことによって、撥水性膜３の基板１への付着力を
上げるのが望ましい。
【００１８】尚、本実施例に於いては、前記凹凸形成加
工にブラスト加工方法を用いたが、他に溶剤等による化
学エッチングでの凹凸形成でも一向に差し支えない。
工にブラスト加工方法を用いたが、他に溶剤等による化
学エッチングでの凹凸形成でも一向に差し支えない。
【００１９】次に、図３に示すように、ノズル２内に進
入したり、ノズル２を塞いだ撥水性膜３を、微小固体を
衝突させて表面加工を行うブラスト加工と呼ばれる方法
を用いて取り除く。このブラスト加工は、ブラスト装置
１５より、微小固体である平均粒子形２μｍのＡｌ2Ｏ3
粉末が混入された圧縮空気が、圧力２Ｋｇ／ｃｍ2でノ
ズル２の撥水性膜３が形成された面の裏面に５秒間吹き
付けられることによって行なわれる。この５秒間の微小
固体の衝突により、ノズル２内に進入したり、ノズル２
を塞いだ撥水性膜３が取り除かれる。この時、インクジ
ェットヘッドのインク流路側となる基板１の前記裏面及
びノズル内面に、前記微小固体が衝突して、微小な凹凸
が形成される。ここで、本実施例では、圧縮空気の圧力
２Ｋｇ／ｃｍ2で５秒間のブラスト加工を行ったが、圧
縮空気の圧力が大きい場合や加工時間が長い場合には、
撥水性膜３のみならず基板１およびノズル２内面を削り
取ることがあるので、これら加工条件には注意を要す
る。
入したり、ノズル２を塞いだ撥水性膜３を、微小固体を
衝突させて表面加工を行うブラスト加工と呼ばれる方法
を用いて取り除く。このブラスト加工は、ブラスト装置
１５より、微小固体である平均粒子形２μｍのＡｌ2Ｏ3
粉末が混入された圧縮空気が、圧力２Ｋｇ／ｃｍ2でノ
ズル２の撥水性膜３が形成された面の裏面に５秒間吹き
付けられることによって行なわれる。この５秒間の微小
固体の衝突により、ノズル２内に進入したり、ノズル２
を塞いだ撥水性膜３が取り除かれる。この時、インクジ
ェットヘッドのインク流路側となる基板１の前記裏面及
びノズル内面に、前記微小固体が衝突して、微小な凹凸
が形成される。ここで、本実施例では、圧縮空気の圧力
２Ｋｇ／ｃｍ2で５秒間のブラスト加工を行ったが、圧
縮空気の圧力が大きい場合や加工時間が長い場合には、
撥水性膜３のみならず基板１およびノズル２内面を削り
取ることがあるので、これら加工条件には注意を要す
る。
【００２０】また、本実施例では、噴射エネルギー源と
して圧縮空気を用いたが、水蒸気等他の気体や水等液体
でも同様の効果が得られる。さらに、Ａｌ2Ｏ3粉末の代
わりにＳｉＣ、ＺｒＯ2、Ｓｉ3Ｎ4や硝子粉末等を用い
ても一向に差し支えないが、粒径がノズル２の内径の少
なくとも１／５以下のものが好ましい。
して圧縮空気を用いたが、水蒸気等他の気体や水等液体
でも同様の効果が得られる。さらに、Ａｌ2Ｏ3粉末の代
わりにＳｉＣ、ＺｒＯ2、Ｓｉ3Ｎ4や硝子粉末等を用い
ても一向に差し支えないが、粒径がノズル２の内径の少
なくとも１／５以下のものが好ましい。
【００２１】ここで、ノズル２内に進入したり、ノズル
２を塞いだ撥水性膜３はブラスト加工により取り除くこ
とが出来るが、本実施例で用いたＦＥＰ樹脂は柔らかく
伸延性があるため、微小固体の粒子形が大きいとノズル
周縁部がシャープに加工できない場合があり、バリとし
て残ることがある。
２を塞いだ撥水性膜３はブラスト加工により取り除くこ
とが出来るが、本実施例で用いたＦＥＰ樹脂は柔らかく
伸延性があるため、微小固体の粒子形が大きいとノズル
周縁部がシャープに加工できない場合があり、バリとし
て残ることがある。
【００２２】そこで、ノズル２内に進入したり、ノズル
２を塞いだ撥水性膜３をブラスト加工により取り除いた
ノズルプレートでも、撥水性膜３の小さなバリ４が残る
ため、このバリ４を取り除くために熱加工を行う。すな
わち、バリ４を軟化溶融させて消滅させるために、ノズ
ルプレートを３００℃の温度下で１時間放置した。その
結果、図４に示すように、撥水性膜３のバリ４が軟化
し、バリ４の無いノズルプレートが形成される。尚、本
実施例では、塗布したＦＥＰ樹脂の溶融温度の関係から
熱処理温度を３００℃としたが、処理温度が撥水性膜３
の溶融温度よりかなり高い場合は、撥水性膜３がノズル
２内に流れ込む恐れがあるため、温度管理には注意を要
する。
２を塞いだ撥水性膜３をブラスト加工により取り除いた
ノズルプレートでも、撥水性膜３の小さなバリ４が残る
ため、このバリ４を取り除くために熱加工を行う。すな
わち、バリ４を軟化溶融させて消滅させるために、ノズ
ルプレートを３００℃の温度下で１時間放置した。その
結果、図４に示すように、撥水性膜３のバリ４が軟化
し、バリ４の無いノズルプレートが形成される。尚、本
実施例では、塗布したＦＥＰ樹脂の溶融温度の関係から
熱処理温度を３００℃としたが、処理温度が撥水性膜３
の溶融温度よりかなり高い場合は、撥水性膜３がノズル
２内に流れ込む恐れがあるため、温度管理には注意を要
する。
【００２３】本実施例に於いては、ブラスト加工の条件
や撥水性膜３の材質により、ノズル２部分の撥水性膜３
に、噴射に悪影響を及ぼすバリ等が形成されたため、こ
のようなバリ等を除く処理を行ったが、加工条件の適正
化や他の撥水性膜を用いてバリ等の形成を防いだ場合
は、このような処理は行う必要はない。
や撥水性膜３の材質により、ノズル２部分の撥水性膜３
に、噴射に悪影響を及ぼすバリ等が形成されたため、こ
のようなバリ等を除く処理を行ったが、加工条件の適正
化や他の撥水性膜を用いてバリ等の形成を防いだ場合
は、このような処理は行う必要はない。
【００２４】このようにして得られたノズル２をもつノ
ズルプレートを用いてインクジェットヘッドを作製しイ
ンク噴射を行った結果、噴射方向が均一で安定した飛翔
速度のインク滴を吐出させることが確認された。また、
ノズルプレートのノズル２の内面及びインク流路側の面
が前記ブラスト加工により凹凸となっているので、イン
クに対して親水化されている。このため、気泡の巻き込
みが防止され、噴射方向が均一で安定した飛翔速度のイ
ンク滴が吐出されることを確認した。また、気泡がイン
ク流路内に発生しても容易に除去することができた。
ズルプレートを用いてインクジェットヘッドを作製しイ
ンク噴射を行った結果、噴射方向が均一で安定した飛翔
速度のインク滴を吐出させることが確認された。また、
ノズルプレートのノズル２の内面及びインク流路側の面
が前記ブラスト加工により凹凸となっているので、イン
クに対して親水化されている。このため、気泡の巻き込
みが防止され、噴射方向が均一で安定した飛翔速度のイ
ンク滴が吐出されることを確認した。また、気泡がイン
ク流路内に発生しても容易に除去することができた。
【００２５】上述したように、本実施例では、基板１に
ノズル２を加工した後、撥水性膜３を形成できるため、
撥水性膜３がエキシマレーザビーム１１で加工しにくい
材質であってもきれいなノズル２が形成できる。また、
例えばノズル２を射出成形で作製した場合等の、どうし
ても撥水性膜３をノズル加工後に形成しなければならな
い場合にも対応できる。
ノズル２を加工した後、撥水性膜３を形成できるため、
撥水性膜３がエキシマレーザビーム１１で加工しにくい
材質であってもきれいなノズル２が形成できる。また、
例えばノズル２を射出成形で作製した場合等の、どうし
ても撥水性膜３をノズル加工後に形成しなければならな
い場合にも対応できる。
【００２６】尚、本発明は上述した実施例にのみ限定さ
れるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において
種々の変更を加えても一向に差し支えない。
れるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において
種々の変更を加えても一向に差し支えない。
【００２７】例えば、本実施例では、基板１としてポリ
イミド樹脂を用いていたが、上述バリ取りを熱加工方法
で行う場合は、熱硬化性樹脂の軟化温度が、撥水性膜と
して用いた材料より比較的高い樹脂であれば一向に問題
無い。また、熱加工方法以外のバリ取り方法やノズル加
工で、バリのでない加工方法を用いた場合は、熱処理を
行なわなくてよいので、基板１としては用いるインクに
侵されないものであればどのような樹脂でも差し支えな
い。
イミド樹脂を用いていたが、上述バリ取りを熱加工方法
で行う場合は、熱硬化性樹脂の軟化温度が、撥水性膜と
して用いた材料より比較的高い樹脂であれば一向に問題
無い。また、熱加工方法以外のバリ取り方法やノズル加
工で、バリのでない加工方法を用いた場合は、熱処理を
行なわなくてよいので、基板１としては用いるインクに
侵されないものであればどのような樹脂でも差し支えな
い。
【００２８】また、本実施例では、インク噴射に最適で
ある１０μｍから数十μｍ程度のノズルが精度良く加工
するために、エキシマレーザ加工を用いたが、例えば打
ち抜き加工やドリル加工を用いてもよく、その場合に
は、基板１は、これらの加工で加工可能な材料であり、
例えば金属材料であっても一向に差し支えない。
ある１０μｍから数十μｍ程度のノズルが精度良く加工
するために、エキシマレーザ加工を用いたが、例えば打
ち抜き加工やドリル加工を用いてもよく、その場合に
は、基板１は、これらの加工で加工可能な材料であり、
例えば金属材料であっても一向に差し支えない。
【００２９】さらに、本実施例では、撥水性膜２として
ＦＥＰ樹脂を用いていたが、ポリ４フッ化エチレン樹脂
（ＰＴＦＥ樹脂）、４フッ化エチレン−パーフルオロア
ルコキシエチレン共重合樹脂（ＰＦＡ樹脂）、３フッ化
塩化エチレン樹脂（ＰＣＴＦＥ樹脂）、４フッ化エチレ
ン−エチレン共重合樹脂（ＥＴＦＥ樹脂）、フッ化ビニ
リデン樹脂、フッ化ビニル樹脂等のフッ素系の樹脂、さ
らにはフッ素原子を含んだ表面改質剤やコーティング材
例えばサイトップ（商品名：旭ガラス）、ＫＰ８０１Ｍ
（商品名：信越化学）、ＡＦ１６００（商品名：デュポ
ン）、ＤＥＦＥＮＮＳＡ７７７０２（光ラジカル重合型
樹脂：大日本インキ化学工業）、ＦＳ−１１６（商品
名：ダイキン）、フロラード（商品名：住友３Ｍ）等を
用いてもよい。これらフッ素系の樹脂およびフッ素原子
を含んだ表面改質剤やコーティング材は、特にインク溶
剤に対する撥水特性、耐溶剤性が優れている。また、用
いるインク溶剤によっては、シリコン系樹脂等でも問題
無い。
ＦＥＰ樹脂を用いていたが、ポリ４フッ化エチレン樹脂
（ＰＴＦＥ樹脂）、４フッ化エチレン−パーフルオロア
ルコキシエチレン共重合樹脂（ＰＦＡ樹脂）、３フッ化
塩化エチレン樹脂（ＰＣＴＦＥ樹脂）、４フッ化エチレ
ン−エチレン共重合樹脂（ＥＴＦＥ樹脂）、フッ化ビニ
リデン樹脂、フッ化ビニル樹脂等のフッ素系の樹脂、さ
らにはフッ素原子を含んだ表面改質剤やコーティング材
例えばサイトップ（商品名：旭ガラス）、ＫＰ８０１Ｍ
（商品名：信越化学）、ＡＦ１６００（商品名：デュポ
ン）、ＤＥＦＥＮＮＳＡ７７７０２（光ラジカル重合型
樹脂：大日本インキ化学工業）、ＦＳ−１１６（商品
名：ダイキン）、フロラード（商品名：住友３Ｍ）等を
用いてもよい。これらフッ素系の樹脂およびフッ素原子
を含んだ表面改質剤やコーティング材は、特にインク溶
剤に対する撥水特性、耐溶剤性が優れている。また、用
いるインク溶剤によっては、シリコン系樹脂等でも問題
無い。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したことから明かなように、本
発明のノズルプレートの製造方法によれば、前記基板に
ノズルを加工した後、前記基板の一方の面において、少
なくともノズルが加工された位置の周囲に撥水性膜を形
成し、前記基板の前記撥水性膜が形成された面の裏側か
ら、前記ノズルに微小固体を衝突させるので、ノズル内
に進入した撥水性膜またはノズルを塞いだ撥水性膜をノ
ズル部分より取り除くことが出来る。このようにして得
られたノズルプレートは噴射方向が均一で安定した飛翔
速度のインク滴を吐出させることが出来る。さらに製造
方法が簡単で、製造コストも低い。
発明のノズルプレートの製造方法によれば、前記基板に
ノズルを加工した後、前記基板の一方の面において、少
なくともノズルが加工された位置の周囲に撥水性膜を形
成し、前記基板の前記撥水性膜が形成された面の裏側か
ら、前記ノズルに微小固体を衝突させるので、ノズル内
に進入した撥水性膜またはノズルを塞いだ撥水性膜をノ
ズル部分より取り除くことが出来る。このようにして得
られたノズルプレートは噴射方向が均一で安定した飛翔
速度のインク滴を吐出させることが出来る。さらに製造
方法が簡単で、製造コストも低い。
【図１】本発明の一実施例のノズル加工を示す説明図で
ある。
ある。
【図２】前記本実施例の撥水性膜を塗布作成した直後を
示す説明図である。
示す説明図である。
【図３】前記本実施例のノズル部分の撥水性膜の除去を
示す説明図である。
示す説明図である。
【図４】前記本実施例のによって得られたノズル部分を
示す断面図である。
示す断面図である。
１ 基板 ２ ノズル ３ 撥水性膜 １５ ブラスト装置 １６ 微小固体
Claims (5)
- 【請求項１】 インクが噴射されるノズルが形成される
基板と、前記基板のノズルが形成される位置の周囲に形
成される撥水性膜とを有するノズルプレートの製造方法
であって、 前記基板にノズルを加工する工程と、 前記基板の一方の面において、少なくともノズルが加工
された位置の周囲に撥水性膜を形成する工程と、 前記基板の前記撥水性膜が形成された面の裏側から、前
記ノズルに微小固体を衝突させることにより、ノズル部
分の撥水性膜を取り除く工程とからなることを特徴とす
るノズルプレートの製造方法。 - 【請求項２】 前記微小固体を衝突させた後、加熱する
ことを特徴とする請求項１記載のノズルプレートの製造
方法。 - 【請求項３】 前記基板は、樹脂で形成され、前記撥水
性膜は、フッ素系またはシリコン系の材料で形成される
ことを特徴とする請求項１記載のノズルプレートの製造
方法。 - 【請求項４】 前記ノズルは、エキシマレーザビームに
よって加工されることを特徴とする請求項１記載のノズ
ルプレートの製造方法。 - 【請求項５】 前記微小固体は、前記基板の前記撥水性
膜が形成された面の裏側の全面及びノズル内面に衝突さ
せることを特徴とする請求項１記載のノズルプレートの
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9888394A JPH07304175A (ja) | 1994-05-12 | 1994-05-12 | ノズルプレートの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9888394A JPH07304175A (ja) | 1994-05-12 | 1994-05-12 | ノズルプレートの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07304175A true JPH07304175A (ja) | 1995-11-21 |
Family
ID=14231553
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9888394A Pending JPH07304175A (ja) | 1994-05-12 | 1994-05-12 | ノズルプレートの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07304175A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008119908A (ja) * | 2006-11-10 | 2008-05-29 | Kyushu Institute Of Technology | インクジェット式液滴ノズル |
| US7526860B2 (en) | 2005-02-23 | 2009-05-05 | Fujifilm Corporation | Method of manufacturing nozzle plate, liquid ejection head, and image forming apparatus comprising liquid ejection head |
-
1994
- 1994-05-12 JP JP9888394A patent/JPH07304175A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7526860B2 (en) | 2005-02-23 | 2009-05-05 | Fujifilm Corporation | Method of manufacturing nozzle plate, liquid ejection head, and image forming apparatus comprising liquid ejection head |
| JP2008119908A (ja) * | 2006-11-10 | 2008-05-29 | Kyushu Institute Of Technology | インクジェット式液滴ノズル |
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