JPH07307380A - キャリアボックス - Google Patents
キャリアボックスInfo
- Publication number
- JPH07307380A JPH07307380A JP12437194A JP12437194A JPH07307380A JP H07307380 A JPH07307380 A JP H07307380A JP 12437194 A JP12437194 A JP 12437194A JP 12437194 A JP12437194 A JP 12437194A JP H07307380 A JPH07307380 A JP H07307380A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- box
- side wall
- lid
- upper lid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Casings For Electric Apparatus (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 キャリアボックスからウエ−ハキャリアを取
り出しこれを加工装置へ装着するまでの作業性を向上す
る。 【構成】 キャリアボックス１は上蓋２と下蓋３により
構成され、下蓋３の一側壁部分１９は、他の側壁部分１
８に対して回動自在となるように形成される。側壁部分
１９は上蓋２によって回動規制され、キャリア取り出し
のため上蓋２を除去された時に始めて回動可能となる。
下蓋側壁に開口部を形成可能としたことで、キャリアに
対して側方からのハンドルアクセスが可能となり、キャ
リアを側方支持した状態でハンドルを替えることなくそ
のまま加工装置に挿入可能となる。
り出しこれを加工装置へ装着するまでの作業性を向上す
る。 【構成】 キャリアボックス１は上蓋２と下蓋３により
構成され、下蓋３の一側壁部分１９は、他の側壁部分１
８に対して回動自在となるように形成される。側壁部分
１９は上蓋２によって回動規制され、キャリア取り出し
のため上蓋２を除去された時に始めて回動可能となる。
下蓋側壁に開口部を形成可能としたことで、キャリアに
対して側方からのハンドルアクセスが可能となり、キャ
リアを側方支持した状態でハンドルを替えることなくそ
のまま加工装置に挿入可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はウェーハを保持するウェ
ーハキャリア（以下、キャリアと呼ぶ）を収納するキャ
リアボックスに関し、特にボックス内部に対するキャリ
アの出し入れを容易とするキャリアボックスに関するも
のである。
ーハキャリア（以下、キャリアと呼ぶ）を収納するキャ
リアボックスに関し、特にボックス内部に対するキャリ
アの出し入れを容易とするキャリアボックスに関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】一般に半導体ウェーハの処理工程では、
ウェーハに接触することなく取り扱うことが原則であ
り、例えばウェーハ加工時には、ウェーハを互いに隔て
た状態で複数保持するキャリアが用いられ、一括してウ
ェーハ加工装置にセッティング、リリースを行ってい
る。また、ウェーハ加工前の段階では、ウェーハを保護
するという観点から、キャリアを収納してこれを外界か
ら遮断するためのキャリアボックスが使用されており、
キャリアボックスからのキャリアの出し入れや加工装置
へのセッティング、リリース時にはそれ専用のキャリア
ハンドルを用いて、取り扱うようにしている。
ウェーハに接触することなく取り扱うことが原則であ
り、例えばウェーハ加工時には、ウェーハを互いに隔て
た状態で複数保持するキャリアが用いられ、一括してウ
ェーハ加工装置にセッティング、リリースを行ってい
る。また、ウェーハ加工前の段階では、ウェーハを保護
するという観点から、キャリアを収納してこれを外界か
ら遮断するためのキャリアボックスが使用されており、
キャリアボックスからのキャリアの出し入れや加工装置
へのセッティング、リリース時にはそれ専用のキャリア
ハンドルを用いて、取り扱うようにしている。
【０００３】図５は、現在使用されているキャリアボッ
クスおよびその取り扱いに使用されるキャリアハンドル
の外観を示したものである。同図（ａ）にその正面外観
を示すキャリアボックス１は、箱状の上蓋２と、これを
載置する下蓋３とから成り、これらによって画成される
内部空間には、ウェーハ４を多数保持するキャリア５が
収納される。また同図（ｂ）に示す工具は、このキャリ
アボックス１からキャリア５を取り出したり、キャリア
５を収納させる際に使用されるキャリア出入用ハンドル
６であり、同図（ｃ）はキャリアボックス１から出され
たキャリア５を、更に加工装置に装着、解放するための
セット・リリース用ハンドル７である。図６は、上記ハ
ンドル６、７を用いてキャリアボックス１から取り出さ
れたキャリア５を加工装置に装着する過程を示したもの
である。その過程はまず、図６（ａ）に示すようにキャ
リアボックス１の上蓋をとった後、同図（ｂ）のように
キャリアボックス１の前方からキャリア出入用ハンドル
６をキャリア５にアクセスし、キャリア５の両側に設け
られた肩部５ａをハンドル６のアーム部分６ａで下方支
持しながら持ち上げる。このようにしてキャリアボック
ス１からキャリア５が取り出されたならば、次に、作業
者は同図（ｃ）に示すようにセット・リリース用ハンド
ル７に持ち替え、取り出されたキャリア５を側方より把
持する。このセット・リリース用ハンドル７は、キャリ
ア出入用ハンドル６と異なり、ハンドルを上にした状態
でキャリア５を吊り下げてもキャリア５が脱落しないよ
うに、キャリア５の側部に係止可能な爪７ａを備えてい
る。このため、加工装置Ｍにセットするにあたっては、
同図（ｄ）に示すように、キャリア内ウェーハ４が脱落
することなく装置上方からキャリア５をセットすること
ができるようになっている。
クスおよびその取り扱いに使用されるキャリアハンドル
の外観を示したものである。同図（ａ）にその正面外観
を示すキャリアボックス１は、箱状の上蓋２と、これを
載置する下蓋３とから成り、これらによって画成される
内部空間には、ウェーハ４を多数保持するキャリア５が
収納される。また同図（ｂ）に示す工具は、このキャリ
アボックス１からキャリア５を取り出したり、キャリア
５を収納させる際に使用されるキャリア出入用ハンドル
６であり、同図（ｃ）はキャリアボックス１から出され
たキャリア５を、更に加工装置に装着、解放するための
セット・リリース用ハンドル７である。図６は、上記ハ
ンドル６、７を用いてキャリアボックス１から取り出さ
れたキャリア５を加工装置に装着する過程を示したもの
である。その過程はまず、図６（ａ）に示すようにキャ
リアボックス１の上蓋をとった後、同図（ｂ）のように
キャリアボックス１の前方からキャリア出入用ハンドル
６をキャリア５にアクセスし、キャリア５の両側に設け
られた肩部５ａをハンドル６のアーム部分６ａで下方支
持しながら持ち上げる。このようにしてキャリアボック
ス１からキャリア５が取り出されたならば、次に、作業
者は同図（ｃ）に示すようにセット・リリース用ハンド
ル７に持ち替え、取り出されたキャリア５を側方より把
持する。このセット・リリース用ハンドル７は、キャリ
ア出入用ハンドル６と異なり、ハンドルを上にした状態
でキャリア５を吊り下げてもキャリア５が脱落しないよ
うに、キャリア５の側部に係止可能な爪７ａを備えてい
る。このため、加工装置Ｍにセットするにあたっては、
同図（ｄ）に示すように、キャリア内ウェーハ４が脱落
することなく装置上方からキャリア５をセットすること
ができるようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこの装着
法は、上述したようにキャリア５を装着するまでの間に
２つのハンドル６、７を使用しなければならず、また作
業者はハンドル７によってキャリア５を把持する際に、
キャリア５自体が動かないように一方の端部を押さえて
いなければならず、その作業は手間のかかるものであっ
た。加えて、この装着法は、ハンドル６からハンドル７
の持ち替えの際にウェーハ４に誤って触れてしまう可能
性を含んでおり、ウェーハ表面の品質を損なう恐れがあ
る。
法は、上述したようにキャリア５を装着するまでの間に
２つのハンドル６、７を使用しなければならず、また作
業者はハンドル７によってキャリア５を把持する際に、
キャリア５自体が動かないように一方の端部を押さえて
いなければならず、その作業は手間のかかるものであっ
た。加えて、この装着法は、ハンドル６からハンドル７
の持ち替えの際にウェーハ４に誤って触れてしまう可能
性を含んでおり、ウェーハ表面の品質を損なう恐れがあ
る。
【０００５】本発明はかかる問題に鑑みなされたもので
あって、キャリアボックスからのキャリア取り出しから
加工装置への装着までの作業性を向上できるとともに、
ウェーハ表面に誤って触れてしまう可能性を低くできる
ようなキャリアボックスを提供することを目的とする。
あって、キャリアボックスからのキャリア取り出しから
加工装置への装着までの作業性を向上できるとともに、
ウェーハ表面に誤って触れてしまう可能性を低くできる
ようなキャリアボックスを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、第１の発明によるキャリアボックスは、箱状上蓋お
よび箱状下蓋から成り、係合された上蓋と下蓋によりそ
の内部に、複数のウェーハを保持するキャリアを収容す
る空間を画成するものであって、前記箱状下蓋を形成す
る一側壁の少なくとも一部を、下蓋底壁との接続部分を
中心に回動自在に形成したことを特徴としている。
め、第１の発明によるキャリアボックスは、箱状上蓋お
よび箱状下蓋から成り、係合された上蓋と下蓋によりそ
の内部に、複数のウェーハを保持するキャリアを収容す
る空間を画成するものであって、前記箱状下蓋を形成す
る一側壁の少なくとも一部を、下蓋底壁との接続部分を
中心に回動自在に形成したことを特徴としている。
【０００７】また、同一目的のため、更に第２の発明と
して、箱状上蓋および箱状下蓋から成り、係合された上
蓋と下蓋によりその内部に、複数のウェーハを保持する
キャリアを収容する空間を画成するキャリアボックスに
おいて、前記箱状下蓋の一側部に開口部を設けるととも
に、前記箱状上蓋に、上蓋と下蓋の係合時、前記開口部
を閉塞する側壁部材を一体化させたキャリアボックスも
提供される。
して、箱状上蓋および箱状下蓋から成り、係合された上
蓋と下蓋によりその内部に、複数のウェーハを保持する
キャリアを収容する空間を画成するキャリアボックスに
おいて、前記箱状下蓋の一側部に開口部を設けるととも
に、前記箱状上蓋に、上蓋と下蓋の係合時、前記開口部
を閉塞する側壁部材を一体化させたキャリアボックスも
提供される。
【０００８】
【作用】第１の発明では、下蓋の一側壁の少なくとも一
部を、下蓋底壁との接続部分を中心に回動自在にするこ
とで、下蓋側部が開口可能となり、この開口部を介して
キャリアが出し入れでき、これまでのキャリアを上に持
ち上げるためのハンドルを省略できる。
部を、下蓋底壁との接続部分を中心に回動自在にするこ
とで、下蓋側部が開口可能となり、この開口部を介して
キャリアが出し入れでき、これまでのキャリアを上に持
ち上げるためのハンドルを省略できる。
【０００９】また、第２の発明では、下蓋の一側部に開
口部を設け、この開口部を上蓋に一体化された側壁部材
で閉塞可能としたことにより、同様に開口部を介してキ
ャリアが出し入れでき、また上蓋・下蓋係合時は、側壁
部材によって閉塞され内部空間と外部を遮断できる。
口部を設け、この開口部を上蓋に一体化された側壁部材
で閉塞可能としたことにより、同様に開口部を介してキ
ャリアが出し入れでき、また上蓋・下蓋係合時は、側壁
部材によって閉塞され内部空間と外部を遮断できる。
【００１０】
【実施例】図面を参照しながら本発明によるキャリアボ
ックスの各実施例を以下、説明する。図１〜３は本発明
の第１実施例としてのキャリアボックスに関するもので
あり、図１はその外観、図２は要部拡大、図３はその使
用方法を示している。
ックスの各実施例を以下、説明する。図１〜３は本発明
の第１実施例としてのキャリアボックスに関するもので
あり、図１はその外観、図２は要部拡大、図３はその使
用方法を示している。
【００１１】図１に示すように、キャリアボックス１
は、箱状の上蓋２と、これを載置する下蓋３とから成
り、これらによって画成される内部空間Ｓには、ウェー
ハ４（図３）を多数保持するキャリア５が収納可能とな
っている。上蓋２は、直方体の上蓋本体８と、上蓋本体
８の下端周縁に形成されたフランジ９とによって構成さ
れ、内部空間Ｓにキャリア５を収納した状態でその上部
を覆うものである。一方、この上蓋２に係合可能な下蓋
３は、４枚の側壁１０〜１３と１枚の底壁１４とからな
る箱状体として構成され、更に底壁１４の底面には台座
１５が設けられる。各側壁１０〜１３の上部は、図示す
るように上方に突出するフランジ１６を備えて階段状に
形成され、フランジ１６は上蓋２を被せた際、上蓋本体
８の内壁に適合して、完全密閉された内部空間Ｓを画成
するようになっている。なお、上蓋２と下蓋３との係合
時、上蓋２周縁のフランジ９は、下蓋側フランジ１６周
りの上端面１７によって支承される。
は、箱状の上蓋２と、これを載置する下蓋３とから成
り、これらによって画成される内部空間Ｓには、ウェー
ハ４（図３）を多数保持するキャリア５が収納可能とな
っている。上蓋２は、直方体の上蓋本体８と、上蓋本体
８の下端周縁に形成されたフランジ９とによって構成さ
れ、内部空間Ｓにキャリア５を収納した状態でその上部
を覆うものである。一方、この上蓋２に係合可能な下蓋
３は、４枚の側壁１０〜１３と１枚の底壁１４とからな
る箱状体として構成され、更に底壁１４の底面には台座
１５が設けられる。各側壁１０〜１３の上部は、図示す
るように上方に突出するフランジ１６を備えて階段状に
形成され、フランジ１６は上蓋２を被せた際、上蓋本体
８の内壁に適合して、完全密閉された内部空間Ｓを画成
するようになっている。なお、上蓋２と下蓋３との係合
時、上蓋２周縁のフランジ９は、下蓋側フランジ１６周
りの上端面１７によって支承される。
【００１２】以上のように構成されるキャリアボックス
１において、本実施例によれば、下蓋３の一側壁１０
は、他の側壁１１、１２と一体なる側壁部分１８と、底
壁１４との接続部分を中心にその前方に回動可能な側壁
部分１９とによって構成される。
１において、本実施例によれば、下蓋３の一側壁１０
は、他の側壁１１、１２と一体なる側壁部分１８と、底
壁１４との接続部分を中心にその前方に回動可能な側壁
部分１９とによって構成される。
【００１３】図２は、図１の円Ａ、Ｂ、Ｃの拡大断面を
それぞれ示しており、図２（ａ）は、回動されていない
状態での下蓋側側壁部分１８との連結部分Ａの上視図、
同図（ｂ）は接続部分Ｂの側方図、同図（ｃ）は上蓋２
を載せた状態での側壁部分１９の上部断面図である。
それぞれ示しており、図２（ａ）は、回動されていない
状態での下蓋側側壁部分１８との連結部分Ａの上視図、
同図（ｂ）は接続部分Ｂの側方図、同図（ｃ）は上蓋２
を載せた状態での側壁部分１９の上部断面図である。
【００１４】図２（ａ）に示すように、側壁部分１９の
周縁は階段状に形成される。これは、側壁部分１８と係
合した状態では、側壁部分１９の内部空間Ｓ側への更な
る回動を規制するためである。また回動中心となる接続
部分Ｂの近傍では、同図（ｂ）に示すように、側壁部分
１９は他の部分よりも薄肉化され、その回動を容易にす
る配慮がなされている。側壁部分１９は、下蓋３に対し
て上蓋２を載せた状態では、同図（ｃ）に示すように上
蓋本体８によって回動できないようになっており、上蓋
２を取って初めて回動が可能となる。
周縁は階段状に形成される。これは、側壁部分１８と係
合した状態では、側壁部分１９の内部空間Ｓ側への更な
る回動を規制するためである。また回動中心となる接続
部分Ｂの近傍では、同図（ｂ）に示すように、側壁部分
１９は他の部分よりも薄肉化され、その回動を容易にす
る配慮がなされている。側壁部分１９は、下蓋３に対し
て上蓋２を載せた状態では、同図（ｃ）に示すように上
蓋本体８によって回動できないようになっており、上蓋
２を取って初めて回動が可能となる。
【００１５】以上のように構成されたキャリアボックス
１を使用法を図３を参照して説明する。キャリアボック
ス１に収納されたキャリア５を取り出し、加工装置８に
装着するためには、まず、図３（ａ）に示すようにキャ
リアボックス１から上蓋２を取り外し、側壁部分１９を
回動可能にする。その後、同図（ｂ）のように側壁部分
１９を手前側に倒してボックス側壁を開口させ、このキ
ャリアボックス１の前方からセット・リリース用ハンド
ル７をキャリア５に対してアクセスし、キャリア５の一
側部をそのハンドルの爪７ａで把持する。このセット・
リリース用ハンドル７は、爪７ａとキャリア５との係合
によって、ハンドル取っ手を上にした状態でキャリア５
を吊り下げてもキャリア５が脱落しないようなってい
る。このため、加工装置Ｍにセットするにあたっては、
図３（ｃ）に示すように、キャリア内ウェーハ４が脱落
することなく装置Ｍの上方からそのままキャリア５を挿
入することが可能となる。そして装着後はハンドル７の
爪７ａをキャリア５から外し、装着作業が終了する。こ
のように、本実施例によれば下蓋２を構成する側壁部分
１９を回動自在にすることで、側方からのハンドルアク
セスのための開口部分を形成でき、この開口部を介して
直接ハンドル７を用いてキャリア５を側方支持すること
ができ、キャリアを上に持ち上げるため作業（図６
（ｂ））およびそれ専用のハンドル６（図５（ｂ））を
省略できる。
１を使用法を図３を参照して説明する。キャリアボック
ス１に収納されたキャリア５を取り出し、加工装置８に
装着するためには、まず、図３（ａ）に示すようにキャ
リアボックス１から上蓋２を取り外し、側壁部分１９を
回動可能にする。その後、同図（ｂ）のように側壁部分
１９を手前側に倒してボックス側壁を開口させ、このキ
ャリアボックス１の前方からセット・リリース用ハンド
ル７をキャリア５に対してアクセスし、キャリア５の一
側部をそのハンドルの爪７ａで把持する。このセット・
リリース用ハンドル７は、爪７ａとキャリア５との係合
によって、ハンドル取っ手を上にした状態でキャリア５
を吊り下げてもキャリア５が脱落しないようなってい
る。このため、加工装置Ｍにセットするにあたっては、
図３（ｃ）に示すように、キャリア内ウェーハ４が脱落
することなく装置Ｍの上方からそのままキャリア５を挿
入することが可能となる。そして装着後はハンドル７の
爪７ａをキャリア５から外し、装着作業が終了する。こ
のように、本実施例によれば下蓋２を構成する側壁部分
１９を回動自在にすることで、側方からのハンドルアク
セスのための開口部分を形成でき、この開口部を介して
直接ハンドル７を用いてキャリア５を側方支持すること
ができ、キャリアを上に持ち上げるため作業（図６
（ｂ））およびそれ専用のハンドル６（図５（ｂ））を
省略できる。
【００１６】図４に第２実施例としてのキャリアボック
ス外観を示す。なお、図４において先の実施例と構成要
素と同様な構成要素は同じ参照番号を付す。
ス外観を示す。なお、図４において先の実施例と構成要
素と同様な構成要素は同じ参照番号を付す。
【００１７】この実施例では、キャリア出入用開口部を
形成するための側壁部分１９は下蓋３より分離され、そ
のまま上蓋２に一体化された形となる。このため下蓋３
の側壁部分１８には、上蓋２および下蓋３が係合された
状態において、上蓋２の側壁部分１９によって閉塞され
る開口部Ｐが形成される。
形成するための側壁部分１９は下蓋３より分離され、そ
のまま上蓋２に一体化された形となる。このため下蓋３
の側壁部分１８には、上蓋２および下蓋３が係合された
状態において、上蓋２の側壁部分１９によって閉塞され
る開口部Ｐが形成される。
【００１８】以上のように形成された本キャリアボック
ス１の使用法については、先の実施例によるキャリアボ
ックス１の場合と同様であるが、本実施例の場合、上蓋
２の取り外しと同時に開口部Ｐができ、即座にハンドル
７（図６）のアクセスが可能となる。
ス１の使用法については、先の実施例によるキャリアボ
ックス１の場合と同様であるが、本実施例の場合、上蓋
２の取り外しと同時に開口部Ｐができ、即座にハンドル
７（図６）のアクセスが可能となる。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、第１の発明によれ
ば下蓋の側壁部分を回動自在とすることにより、また第
２の発明では下蓋の側壁部分を上蓋と一体化すること
で、それぞれ下蓋の側壁に開口部を形成することがで
き、この開口部を介してキャリアを側方から支持でき、
１種類のハンドルのみで加工装置などへの装着が可能と
なる。これにより、キャリア取り出しから装着までの動
作が円滑化され、作業性が改善されるとともにキャリア
内のウェーハに接触する可能性を低くできる。
ば下蓋の側壁部分を回動自在とすることにより、また第
２の発明では下蓋の側壁部分を上蓋と一体化すること
で、それぞれ下蓋の側壁に開口部を形成することがで
き、この開口部を介してキャリアを側方から支持でき、
１種類のハンドルのみで加工装置などへの装着が可能と
なる。これにより、キャリア取り出しから装着までの動
作が円滑化され、作業性が改善されるとともにキャリア
内のウェーハに接触する可能性を低くできる。
【図１】 本発明の第１実施例によるキャリアボックス
の外観斜視図である。
の外観斜視図である。
【図２】 図１の部分Ａ、Ｂ、Ｃの拡大図である。
【図３】 図１のキャリアボックスを使用した加工装置
へのキャリア装着手順を示す図である。
へのキャリア装着手順を示す図である。
【図４】 本発明の第２実施例によるキャリアボックス
の外観斜視図である。
の外観斜視図である。
【図５】 従来のキャリアボックスおよびキャリア出入
に用いられるハンドルを示した図である。
に用いられるハンドルを示した図である。
【図６】 従来のキャリアボックスの使用した加工装置
へのキャリア装着手順を示す図である。
へのキャリア装着手順を示す図である。
１…キャリアボックス ２…上蓋 ３…下蓋 ４…ウエ−ハ ５…ウエ−ハキャリア ６，７…ハンドル １０，１１，１２，１３…側壁 １９…側壁部分 Ｓ…内部空間 Ｐ…開口部
Claims (5)
- 【請求項１】 箱状上蓋および箱状下蓋から成り、係合
された上蓋と下蓋によりその内部に、複数のウェーハを
保持するキャリアを収容する空間を画成するキャリアボ
ックスにおいて、 前記箱状下蓋を形成する一側壁の少なくとも一部を、下
蓋底壁との接続部分を中心に回動自在に形成したことを
特徴とするキャリアボックス。 - 【請求項２】 回動自在な前記側壁部分の周縁は、階段
状に形成されたことを特徴とする請求項１に記載のキャ
リアボックス。 - 【請求項３】 前記接続部分は、回動する側壁部分の他
の部分に比較して薄肉化されたことを特徴とする請求項
２に記載のキャリアボックス。 - 【請求項４】 前記側壁部分は、階段状に形成されたそ
の上部周縁と前記箱状上蓋と係合により回動規制された
ことを特徴とする請求項２または請求項３に記載のキャ
リアボックス。 - 【請求項５】 箱状上蓋および箱状下蓋から成り、係合
された上蓋と下蓋によりその内部に、複数のウェーハを
保持するキャリアを収容する空間を画成するキャリアボ
ックスにおいて、 前記箱状下蓋の一側部に開口部を設けるとともに、前記
箱状上蓋に、上蓋と下蓋の係合時、前記開口部を閉塞す
る側壁部材を一体化させたことを特徴とするキャリアボ
ックス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12437194A JPH07307380A (ja) | 1994-05-12 | 1994-05-12 | キャリアボックス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12437194A JPH07307380A (ja) | 1994-05-12 | 1994-05-12 | キャリアボックス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07307380A true JPH07307380A (ja) | 1995-11-21 |
Family
ID=14883750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12437194A Pending JPH07307380A (ja) | 1994-05-12 | 1994-05-12 | キャリアボックス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07307380A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999039994A1 (fr) * | 1998-02-06 | 1999-08-12 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Receptacle support de feuille |
| US6474474B2 (en) | 1998-02-06 | 2002-11-05 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Sheet support container |
| US6491177B1 (en) | 1999-04-06 | 2002-12-10 | Kakizaki Manufacturing Co., Ltd. | Thin-plate accommodating/transporting container |
| KR100432975B1 (ko) * | 1995-07-27 | 2004-10-22 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 반도체웨이퍼의수납·인출장치및이것에이용되는반도체웨이퍼의운반용기 |
-
1994
- 1994-05-12 JP JP12437194A patent/JPH07307380A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100432975B1 (ko) * | 1995-07-27 | 2004-10-22 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 반도체웨이퍼의수납·인출장치및이것에이용되는반도체웨이퍼의운반용기 |
| WO1999039994A1 (fr) * | 1998-02-06 | 1999-08-12 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Receptacle support de feuille |
| US6474474B2 (en) | 1998-02-06 | 2002-11-05 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Sheet support container |
| US6491177B1 (en) | 1999-04-06 | 2002-12-10 | Kakizaki Manufacturing Co., Ltd. | Thin-plate accommodating/transporting container |
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