JPH07307598A - 電子部品実装装置及び電子部品実装方法 - Google Patents
電子部品実装装置及び電子部品実装方法Info
- Publication number
- JPH07307598A JPH07307598A JP6097235A JP9723594A JPH07307598A JP H07307598 A JPH07307598 A JP H07307598A JP 6097235 A JP6097235 A JP 6097235A JP 9723594 A JP9723594 A JP 9723594A JP H07307598 A JPH07307598 A JP H07307598A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electronic component
- nozzles
- transfer head
- component mounting
- electronic
- Prior art date
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- Pending
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- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 タクトタイムを短縮する。
【構成】 基板4を位置決めする位置決め手段と、基板
4に実装すべき電子部品A〜Dを供給するパーツフィー
ダ5と、パーツフィーダ5から電子部品A〜Dをピック
アップして位置決め手段に位置決めされた基板4に電子
部品A〜Dを実装し、かつ電子部品A〜Dを吸着する複
数のノズルN1〜N4を備えた移載ヘッド10と、基板
4と移載ヘッド10とを相対的に移動させる移動手段と
を有し、移載ヘッド10に備えられた複数のノズルN1
〜N4又はこれらのノズルN1〜N4に吸着された電子
部品A〜Dの一方又は双方の像を一括して撮像する撮像
手段を有する。
4に実装すべき電子部品A〜Dを供給するパーツフィー
ダ5と、パーツフィーダ5から電子部品A〜Dをピック
アップして位置決め手段に位置決めされた基板4に電子
部品A〜Dを実装し、かつ電子部品A〜Dを吸着する複
数のノズルN1〜N4を備えた移載ヘッド10と、基板
4と移載ヘッド10とを相対的に移動させる移動手段と
を有し、移載ヘッド10に備えられた複数のノズルN1
〜N4又はこれらのノズルN1〜N4に吸着された電子
部品A〜Dの一方又は双方の像を一括して撮像する撮像
手段を有する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、タクトタイムを短縮で
きるようにした電子部品実装装置及び電子部品実装方法
に関するものである。
きるようにした電子部品実装装置及び電子部品実装方法
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】基板に電子部品を自動実装するための装
置として、電子部品実装装置が広く用いられている。そ
して電子部品実装装置では、実装を開始してから実装が
終了するまでのタクトタイムを極力短縮することが求め
られている。
置として、電子部品実装装置が広く用いられている。そ
して電子部品実装装置では、実装を開始してから実装が
終了するまでのタクトタイムを極力短縮することが求め
られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の電子
部品実装装置においては、移載ヘッドに複数のノズルを
備えるものもあるが、この従来の電子部品実装装置にお
ける実装動作は次のようになっていた。即ち第1に、複
数のノズルのうち今回使用する1本のノズルに電子部品
をパーツフィーダから吸着する。第2に、電子部品を吸
着したノズルがカメラなどの撮像手段の視野に入るよう
に移載ヘッドを移動する。第3に、撮像手段により1個
の電子部品の像を取込む。第4に、取込んだ像から電子
部品の理想位置に対する位置ずれを求め、補正量を算出
する。第5に、この補正量による位置補正を施し、基板
に電子部品を実装する。このように、従来の電子部品実
装装置では、電子部品1つ1つに対してパーツフィーダ
→撮像手段→基板というように移動させていた。ここ
で、この移動に要する時間は無視できるものではなく、
それだけタクトタイムが長くなるという問題点があっ
た。
部品実装装置においては、移載ヘッドに複数のノズルを
備えるものもあるが、この従来の電子部品実装装置にお
ける実装動作は次のようになっていた。即ち第1に、複
数のノズルのうち今回使用する1本のノズルに電子部品
をパーツフィーダから吸着する。第2に、電子部品を吸
着したノズルがカメラなどの撮像手段の視野に入るよう
に移載ヘッドを移動する。第3に、撮像手段により1個
の電子部品の像を取込む。第4に、取込んだ像から電子
部品の理想位置に対する位置ずれを求め、補正量を算出
する。第5に、この補正量による位置補正を施し、基板
に電子部品を実装する。このように、従来の電子部品実
装装置では、電子部品1つ1つに対してパーツフィーダ
→撮像手段→基板というように移動させていた。ここ
で、この移動に要する時間は無視できるものではなく、
それだけタクトタイムが長くなるという問題点があっ
た。
【0004】そこで本発明は、タクトタイムを短縮でき
る電子部品実装装置及び電子部品実装方法を提供するこ
とを目的とする。
る電子部品実装装置及び電子部品実装方法を提供するこ
とを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明の電子部品実装装
置は、基板を位置決めする位置決め手段と、基板に実装
すべき電子部品を供給するパーツフィーダと、パーツフ
ィーダから電子部品をピックアップして位置決め手段に
位置決めされた基板に電子部品を実装し、かつ電子部品
を吸着する複数のノズルを備えた移載ヘッドと、基板と
移載ヘッドとを相対的に移動させる移動手段とを有し、
移載ヘッドに備えられた複数のノズル又はこれらのノズ
ルに吸着された電子部品の一方又は双方の像を一括して
撮像する撮像手段を有する。
置は、基板を位置決めする位置決め手段と、基板に実装
すべき電子部品を供給するパーツフィーダと、パーツフ
ィーダから電子部品をピックアップして位置決め手段に
位置決めされた基板に電子部品を実装し、かつ電子部品
を吸着する複数のノズルを備えた移載ヘッドと、基板と
移載ヘッドとを相対的に移動させる移動手段とを有し、
移載ヘッドに備えられた複数のノズル又はこれらのノズ
ルに吸着された電子部品の一方又は双方の像を一括して
撮像する撮像手段を有する。
【0006】
【作用】上記構成により、複数のノズル又はこれらのノ
ズルに吸着された電子部品の像が一括して撮像される。
ここで従来手段においては、電子部品の個数分、パーツ
フィーダ→撮像手段→基板間の移動が行われていたもの
であるが、本発明によればこの移動は一回行えば良いの
で、それだけ移動に要する時間を節約することができ、
タクトタイムを短縮できる。
ズルに吸着された電子部品の像が一括して撮像される。
ここで従来手段においては、電子部品の個数分、パーツ
フィーダ→撮像手段→基板間の移動が行われていたもの
であるが、本発明によればこの移動は一回行えば良いの
で、それだけ移動に要する時間を節約することができ、
タクトタイムを短縮できる。
【0007】
【実施例】次に図面を参照しながら本発明の一実施例を
説明する。図1は本発明の一実施例における電子部品実
装装置の斜視図である。図1中、1は基台、2,3は基
台1上に平行に設けられ基板4をX方向に搬送したり、
位置決めしたりするガイドレールであり、これらガイド
レール2,3は、位置決め手段に対応する。5は基台1
の側部に設けられ、種々の品種の電子部品を供給するパ
ーツフィーダである。ここで本実施例のパーツフィーダ
には、図1に示したテープフィーダの他、チューブフィ
ーダ、トレイフィーダなどが含まれる。また、6,7は
基台1の両縁部にY方向に向けて設けられた門形のYフ
レーム、8はYフレーム6,7にその両端部がスライド
自在に案内され、Yモータ41(図3参照)によりY方
向に移動するYテーブル、9はYテーブル8とX方向ス
ライド自在に係合し、Xモータ40(図3参照)により
X方向に移動するXテーブル、10はXテーブル9に設
けられた移載ヘッド(詳細は後述する)である。即ち、
Xモータ40、Yモータ41を駆動すると、基板4に対
し移載ヘッド10をXY方向相対的に移動させることが
でき、Xテーブル9、Yテーブル8は移動手段に対応す
る。11は、移載ヘッド10に備えられた4本のノズル
N1〜N4に吸着された電子部品A,B,C,Dの像を
一括して撮像する撮像手段としてのカメラである。本実
施例において、カメラ11は、図1に示すように基板4
とパーツフィーダ5の中間の位置に配設されている。こ
のように配設することは、パーツフィーダ5とカメラ1
1との距離、カメラ11と基板4との距離、即ち移載ヘ
ッド9の移動距離を極力小さくできる点で好ましい。ま
た撮像手段としては、ラインイメージセンサを用いても
良い。
説明する。図1は本発明の一実施例における電子部品実
装装置の斜視図である。図1中、1は基台、2,3は基
台1上に平行に設けられ基板4をX方向に搬送したり、
位置決めしたりするガイドレールであり、これらガイド
レール2,3は、位置決め手段に対応する。5は基台1
の側部に設けられ、種々の品種の電子部品を供給するパ
ーツフィーダである。ここで本実施例のパーツフィーダ
には、図1に示したテープフィーダの他、チューブフィ
ーダ、トレイフィーダなどが含まれる。また、6,7は
基台1の両縁部にY方向に向けて設けられた門形のYフ
レーム、8はYフレーム6,7にその両端部がスライド
自在に案内され、Yモータ41(図3参照)によりY方
向に移動するYテーブル、9はYテーブル8とX方向ス
ライド自在に係合し、Xモータ40(図3参照)により
X方向に移動するXテーブル、10はXテーブル9に設
けられた移載ヘッド(詳細は後述する)である。即ち、
Xモータ40、Yモータ41を駆動すると、基板4に対
し移載ヘッド10をXY方向相対的に移動させることが
でき、Xテーブル9、Yテーブル8は移動手段に対応す
る。11は、移載ヘッド10に備えられた4本のノズル
N1〜N4に吸着された電子部品A,B,C,Dの像を
一括して撮像する撮像手段としてのカメラである。本実
施例において、カメラ11は、図1に示すように基板4
とパーツフィーダ5の中間の位置に配設されている。こ
のように配設することは、パーツフィーダ5とカメラ1
1との距離、カメラ11と基板4との距離、即ち移載ヘ
ッド9の移動距離を極力小さくできる点で好ましい。ま
た撮像手段としては、ラインイメージセンサを用いても
良い。
【0008】次に図2、図5を参照しながら移載ヘッド
10について説明する。図2は本発明の一実施例におけ
る電子部品実装装置の移載ヘッドの斜視図、図5は本発
明の一実施例における電子部品実装装置の移載ヘッドの
断面図である。図2において、12はXテーブル9と一
体的なブラケット、13はブラケット12に対しZ方向
昇降自在に支持され、Zモータ14が駆動されることに
より昇降するL字状をなすZテーブル、13aはZテー
ブル13の水平部である。またZテーブル13の中段に
は水平なプレート15が設けられている。そして図5に
示すように、水平部13aには4本のノズルN1,N
2,N3,N4(但し、ノズルN2,N4は図にあらわ
れていない)が昇降自在に挿入されている。以下ノズル
N2,N4はノズルN1,N3と同様な支持構造を持つ
(但し、吸着する電子部品の品種に応じてノズル自体の
形状が異なる)ので、ノズルN1,N3についてのみ説
明する。さて、ノズルN1,N3の頂部には、放射状に
突片16,17が突設されている。18,19はノズル
N1,N3を使用するか使用しないか選択するためのシ
リンダであり、プレート15に固定されている。20,
21はシリンダ18,19のロッド、22,23はロッ
ド20,21の下端部に固定され、突片16,17にそ
れぞれ係合する係止爪である。また突片16,17の反
対側には、突片24,25が設けられ、これらの突片2
4,25には、水平部13aに下端部が固定されたばね
26,27の上端部が固定されており、ノズルN1,N
3はばね26,27により下方に付勢されている。また
ノズルN1,N3には、その中段に昇降自在かつ一体的
に回転するように、スプライン28,29が装着されて
いる。30はプレート15にその出力軸31が下方を向
くように固定されたθテーブルであり、32は出力軸3
1の下端部に固着され、スプライン28,29に螺合す
るスプラインである。したがって、θモータ30を駆動
し、出力軸31を原点位置からΔθだけ回転させると、
スプライン32,28,29の歯数に応じた角度だけ、
ノズルN1,N3を回転させることができる。さらに、
ノズルN3を使用してノズルN3に吸着された電子部品
Cを基板4に実装する際には、シリンダ19を駆動して
ロッド21を突出させ、係止爪23を図5の鎖線で示す
位置へ下降させる(矢印M1)ことにより、電子部品C
を矢印M2のように下降させ、さらにZモータ14を駆
動して矢印M3で示すように、Zテーブル13を小距離
下降させるものである。なお33,34はノズルN1,
N3の内孔に負圧又は正圧の圧力を加える空気圧調整装
置(図示せず)を接続するための配管、35は図2に示
すように、カメラ11で撮像する際に、電子部品A,B
などの背景を明るくして像のコントラストを明瞭にする
ための光拡散板である。
10について説明する。図2は本発明の一実施例におけ
る電子部品実装装置の移載ヘッドの斜視図、図5は本発
明の一実施例における電子部品実装装置の移載ヘッドの
断面図である。図2において、12はXテーブル9と一
体的なブラケット、13はブラケット12に対しZ方向
昇降自在に支持され、Zモータ14が駆動されることに
より昇降するL字状をなすZテーブル、13aはZテー
ブル13の水平部である。またZテーブル13の中段に
は水平なプレート15が設けられている。そして図5に
示すように、水平部13aには4本のノズルN1,N
2,N3,N4(但し、ノズルN2,N4は図にあらわ
れていない)が昇降自在に挿入されている。以下ノズル
N2,N4はノズルN1,N3と同様な支持構造を持つ
(但し、吸着する電子部品の品種に応じてノズル自体の
形状が異なる)ので、ノズルN1,N3についてのみ説
明する。さて、ノズルN1,N3の頂部には、放射状に
突片16,17が突設されている。18,19はノズル
N1,N3を使用するか使用しないか選択するためのシ
リンダであり、プレート15に固定されている。20,
21はシリンダ18,19のロッド、22,23はロッ
ド20,21の下端部に固定され、突片16,17にそ
れぞれ係合する係止爪である。また突片16,17の反
対側には、突片24,25が設けられ、これらの突片2
4,25には、水平部13aに下端部が固定されたばね
26,27の上端部が固定されており、ノズルN1,N
3はばね26,27により下方に付勢されている。また
ノズルN1,N3には、その中段に昇降自在かつ一体的
に回転するように、スプライン28,29が装着されて
いる。30はプレート15にその出力軸31が下方を向
くように固定されたθテーブルであり、32は出力軸3
1の下端部に固着され、スプライン28,29に螺合す
るスプラインである。したがって、θモータ30を駆動
し、出力軸31を原点位置からΔθだけ回転させると、
スプライン32,28,29の歯数に応じた角度だけ、
ノズルN1,N3を回転させることができる。さらに、
ノズルN3を使用してノズルN3に吸着された電子部品
Cを基板4に実装する際には、シリンダ19を駆動して
ロッド21を突出させ、係止爪23を図5の鎖線で示す
位置へ下降させる(矢印M1)ことにより、電子部品C
を矢印M2のように下降させ、さらにZモータ14を駆
動して矢印M3で示すように、Zテーブル13を小距離
下降させるものである。なお33,34はノズルN1,
N3の内孔に負圧又は正圧の圧力を加える空気圧調整装
置(図示せず)を接続するための配管、35は図2に示
すように、カメラ11で撮像する際に、電子部品A,B
などの背景を明るくして像のコントラストを明瞭にする
ための光拡散板である。
【0009】図3は本発明の一実施例における電子部品
実装装置のブロック図である。図3中、42,43はノ
ズルN2,N4の使用/不使用を選択するためのシリン
ダであり、シリンダ18,19と同様のものである。4
4はXモータ40、Yモータ41を駆動するドライバか
らなるXYテーブル駆動部、45はZモータ14、θモ
ータ30、・・・、シリンダ43を駆動するドライバか
らなる移載ヘッド駆動部、46はカメラ11が出力する
像から部品の位置、サイズなどを認識するモジュールか
らなる部品認識部、47は後述する角度補正量など必要
な情報を一時記憶するRAM(ランダムアクセスメモ
リ)などからなる記憶部、48は各構成要素を制御する
CPU(中央処理装置)及び図4に沿う制御プログラム
を記憶するROM(リードオンリーメモリ)からなる制
御部である。
実装装置のブロック図である。図3中、42,43はノ
ズルN2,N4の使用/不使用を選択するためのシリン
ダであり、シリンダ18,19と同様のものである。4
4はXモータ40、Yモータ41を駆動するドライバか
らなるXYテーブル駆動部、45はZモータ14、θモ
ータ30、・・・、シリンダ43を駆動するドライバか
らなる移載ヘッド駆動部、46はカメラ11が出力する
像から部品の位置、サイズなどを認識するモジュールか
らなる部品認識部、47は後述する角度補正量など必要
な情報を一時記憶するRAM(ランダムアクセスメモ
リ)などからなる記憶部、48は各構成要素を制御する
CPU(中央処理装置)及び図4に沿う制御プログラム
を記憶するROM(リードオンリーメモリ)からなる制
御部である。
【0010】次に図4を参照しながら、本実施例の電子
部品実装方法の各過程を説明する。図4は本発明の一実
施例における電子部品実装方法を示すフローチャートで
ある。まずステップ1〜4において、移載ヘッド10を
パーツフィーダ5に接近させ、移載ヘッド10に備えら
れた4本のノズルN1〜N4に順次電子部品A〜Dを吸
着し、ピックアップ動作を行う。次に一回だけカメラ1
1上に移載ヘッド10を移動し、電子部品A〜Dの像を
1回の撮像動作で取込む(ステップ5)。すると部品認
識部46が各電子部品A〜Dについて認識処理を行い、
結果を制御部48へ出力する。制御部48は、記憶部4
7から理想位置等の情報を読出し、各電子部品の位置補
正量ΔX,ΔY及び角度補正量Δθを算出し、記憶部4
7へ書込む(ステップ6〜9)。そして制御部48は位
置補正量ΔX,ΔYに基いてXYテーブル駆動部44に
命じてXテーブル9、Yテーブル8を駆動し基板4の位
置をXY方向について補正させる。そして制御部48は
移載ヘッド10を基板4上へ移動させ、角度補正量Δθ
に基いて移載ヘッド駆動部45に命じて該当するノズル
の角度補正を行った上で基板4に順次電子部品A〜Dを
実装させる(ステップ10〜13)。勿論実装時には、
実装するノズル上のシリンダを駆動してこのノズルを使
用状態とする。
部品実装方法の各過程を説明する。図4は本発明の一実
施例における電子部品実装方法を示すフローチャートで
ある。まずステップ1〜4において、移載ヘッド10を
パーツフィーダ5に接近させ、移載ヘッド10に備えら
れた4本のノズルN1〜N4に順次電子部品A〜Dを吸
着し、ピックアップ動作を行う。次に一回だけカメラ1
1上に移載ヘッド10を移動し、電子部品A〜Dの像を
1回の撮像動作で取込む(ステップ5)。すると部品認
識部46が各電子部品A〜Dについて認識処理を行い、
結果を制御部48へ出力する。制御部48は、記憶部4
7から理想位置等の情報を読出し、各電子部品の位置補
正量ΔX,ΔY及び角度補正量Δθを算出し、記憶部4
7へ書込む(ステップ6〜9)。そして制御部48は位
置補正量ΔX,ΔYに基いてXYテーブル駆動部44に
命じてXテーブル9、Yテーブル8を駆動し基板4の位
置をXY方向について補正させる。そして制御部48は
移載ヘッド10を基板4上へ移動させ、角度補正量Δθ
に基いて移載ヘッド駆動部45に命じて該当するノズル
の角度補正を行った上で基板4に順次電子部品A〜Dを
実装させる(ステップ10〜13)。勿論実装時には、
実装するノズル上のシリンダを駆動してこのノズルを使
用状態とする。
【0011】図6は本発明の一実施例における電子部品
実装装置による像の例示図である。図6中、S1〜S3
は電子部品A〜Cの像である。なおノズルN4は吸着ミ
ス(又は不使用)の状態にあり電子部品Dの像ではなく
ノズルN4の像が得られている。このように本実施例で
は、ノズルの全部を使用する場合に限定されるものでは
ない。
実装装置による像の例示図である。図6中、S1〜S3
は電子部品A〜Cの像である。なおノズルN4は吸着ミ
ス(又は不使用)の状態にあり電子部品Dの像ではなく
ノズルN4の像が得られている。このように本実施例で
は、ノズルの全部を使用する場合に限定されるものでは
ない。
【0012】
【発明の効果】本発明は、基板を位置決めする位置決め
手段と、基板に実装すべき電子部品を供給するパーツフ
ィーダと、パーツフィーダから電子部品をピックアップ
して位置決め手段に位置決めされた基板に電子部品を実
装し、かつ電子部品を吸着する複数のノズルを備えた移
載ヘッドと、基板と移載ヘッドとを相対的に移動させる
移動手段とを有し、移載ヘッドに備えられた複数のノズ
ル又はこれらのノズルに吸着された電子部品の一方又は
双方の像を一括して撮像する撮像手段を有するので、撮
像手段へ移載ヘッドが移動する時間を節約して、タクト
タイムを短縮することができる。
手段と、基板に実装すべき電子部品を供給するパーツフ
ィーダと、パーツフィーダから電子部品をピックアップ
して位置決め手段に位置決めされた基板に電子部品を実
装し、かつ電子部品を吸着する複数のノズルを備えた移
載ヘッドと、基板と移載ヘッドとを相対的に移動させる
移動手段とを有し、移載ヘッドに備えられた複数のノズ
ル又はこれらのノズルに吸着された電子部品の一方又は
双方の像を一括して撮像する撮像手段を有するので、撮
像手段へ移載ヘッドが移動する時間を節約して、タクト
タイムを短縮することができる。
【図1】本発明の一実施例における電子部品実装装置の
斜視図
斜視図
【図2】本発明の一実施例における電子部品実装装置の
移載ヘッドの斜視図
移載ヘッドの斜視図
【図3】本発明の一実施例における電子部品実装装置の
ブロック図
ブロック図
【図4】本発明の一実施例における電子部品実装方法を
示すフローチャート
示すフローチャート
【図5】本発明の一実施例における電子部品実装装置の
移載ヘッドの断面図
移載ヘッドの断面図
【図6】本発明の一実施例における電子部品実装装置に
よる像の例示図
よる像の例示図
2 ガイドレール 3 ガイドレール 4 基板 5 パーツフィーダ 8 Yテーブル 9 Xテーブル 10 移載ヘッド 11 カメラ N1 ノズル N2 ノズル N3 ノズル N4 ノズル A 電子部品 B 電子部品 C 電子部品 D 電子部品
Claims (2)
- 【請求項1】基板を位置決めする位置決め手段と、基板
に実装すべき電子部品を供給するパーツフィーダと、前
記パーツフィーダから電子部品をピックアップして前記
位置決め手段に位置決めされた基板に電子部品を実装
し、かつ電子部品を吸着する複数のノズルを備えた移載
ヘッドと、基板と前記移載ヘッドとを相対的に移動させ
る移動手段とを有し、 前記移載ヘッドに備えられた複数のノズル又はこれらの
ノズルに吸着された電子部品の一方又は双方の像を一括
して撮像する撮像手段を有することを特徴とする電子部
品実装装置。 - 【請求項2】移載ヘッドに備えられた複数のノズルにパ
ーツフィーダから複数の電子部品を吸着してピックアッ
プするステップと、前記複数のノズルに吸着された複数
の電子部品の像を一括して撮像するステップと、得られ
た像に基いて位置補正を行い基板に電子部品を実装する
ステップとを含むことを特徴とする電子部品実装方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6097235A JPH07307598A (ja) | 1994-05-11 | 1994-05-11 | 電子部品実装装置及び電子部品実装方法 |
| JP2000110305A JP3652213B2 (ja) | 1994-05-11 | 2000-04-12 | 電子部品実装装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6097235A JPH07307598A (ja) | 1994-05-11 | 1994-05-11 | 電子部品実装装置及び電子部品実装方法 |
Related Child Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000110305A Division JP3652213B2 (ja) | 1994-05-11 | 2000-04-12 | 電子部品実装装置 |
| JP2000110306A Division JP3301429B2 (ja) | 1994-05-11 | 2000-04-12 | 電子部品実装装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07307598A true JPH07307598A (ja) | 1995-11-21 |
Family
ID=14186963
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6097235A Pending JPH07307598A (ja) | 1994-05-11 | 1994-05-11 | 電子部品実装装置及び電子部品実装方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07307598A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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1994
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