JPH07308918A - ワイヤーソーのワイヤー洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】ワイヤー架線時あるいはガイドローラ交換時の
作業性を向上させ、かつ洗浄装置本体をコンパクト化で
きるワイヤーソーのワイヤー洗浄装置を提供する。 【構成】装置本体フレーム４７に、一対のガイドレール
６４を上下方向に配設するとともに、装置本体フレーム
４７の下部に、洗浄液７４を貯留した洗浄槽６０を設け
る。このガイドレール６４上には、ガイドレール６４に
沿ってスライドするスライダー６２を設ける。また、ス
ライダー６２には、洗浄液７４内をワイヤー１４が走行
するように案内するガイドローラ１９を設置する。これ
によりガイドローラ１９を上下動可能とした。従って、
ワイヤー架線時あるいはガイドローラ交換時に可動ガイ
ドローラ１９を洗浄槽６０外に出して作業できるので、
作業性を向上することがきる。また、作業スペースを考
慮して大きめの洗浄槽とする必要がないので、洗浄槽６
０を小型化できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の利用分野】本発明はワイヤーソーのワイヤー洗
浄装置に係り、特に円柱状の半導体インゴット、セラッ
ミク、ガラス等の被加工物を、走行するワイヤーで多数
の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーにおいて、
ワイヤーに付着した加工液を洗浄するワイヤーソーのワ
イヤー洗浄装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体インゴット、セラミック、ガラス
等の被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断する切断
装置の一つにワイヤーソーがある。このワイヤーソー
は、ワイヤーが複数の溝付きローラ間に巻掛けられて、
ワイヤー列が形成されると共に、ワイヤーの一方端は一
方のリールに巻回され、他方端は他方のリールに巻回さ
れる。そして、ワイヤーが一方のリールと他方のリール
との間を高速で往復走行する際に、前記ワイヤー列に被
加工物を押し当てると共に、ワイヤー列に砥粒を含む加
工液を供給して砥粒のラッピング作用により被加工物を
多数の薄板状のウェーハに切断するものである。そし
て、ワイヤーの走行路にはワイヤーの洗浄装置が設けら
れ、被加工物に押し当てられたワイヤーは、付着した加
工液を洗浄装置で洗浄してからリールに巻き取るように
なっている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ワイヤーソーのワイヤー洗浄装置は、ワイヤーを洗浄槽
に貯留された洗浄液内を走行させるためのガイドローラ
が、洗浄槽内に固定されているため、ワイヤー架線時、
又はガイドローラ交換時の作業性が悪いという欠点があ
った。更には、ワイヤー架線あるいはガイドローラ交換
における作業スペースを考慮した、大きめな洗浄槽を設
けなければないので、ワイヤーソー装置本体が大型化す
るという欠点があった。

【０００４】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、ワイヤー架線時及びガイドローラー交換時の
作業性を向上させ、かつ洗浄装置本体をコンパクト化で
きるワイヤーソーのワイヤー洗浄装置を提供することを
目的とする。

【０００５】

【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
するために、一方のリールと他方のリールの間を走行す
るワイヤーに被加工物を押し当てると共に、前記ワイヤ
ーに砥粒を含む加工液を供給して被加工物を多数の薄板
状のウェーハに切断するワイヤーソーであって、前記ワ
イヤー走行路に設けられ、前記ワイヤーに付着した加工
液を洗浄するワイヤーソーのワイヤー洗浄装置におい
て、前記ワイヤー洗浄装置は、前記ワイヤーを洗浄する
洗浄液を貯留する洗浄槽と、前記洗浄液内を前記ワイヤ
ーが走行するように案内するガイドローラと、前記ガイ
ドローラを上下方向に移動させる移動機構と、を備えて
いることを特徴とする。

【０００６】

【作用】洗浄液内をワイヤーが走行するように案内する
ガイドローラを、移動機構により上下動可能とした。こ
れにより、ワイヤー架線時及びガイドローラー交換時に
ガイドローラを洗浄槽外に出して作業できるので、作業
性を向上することができる。また、作業スペースを考慮
して大きめの洗浄槽とする必要がないので、洗浄槽を小
型化できる。

【０００７】

【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るワイヤー
ソーのワイヤー洗浄装置の好ましい実施例について詳説
する。本発明のワイヤーソーのワイヤー洗浄装置の実施
例を説明する前に、先ずワイヤーソー１０の全体構成を
図１にしたがって説明する。図１に示すように、一方の
リール１２に巻回されたワイヤー1 ４は、ワイヤー案内
装置１６、複数の固定ガイドローラ１８、１８、ダンサ
ローラ２０を経由して３本の溝付きローラ２２、２２、
２２に順次巻き掛けられてワイヤー列２４を形成した
後、複数の固定ガイドローラ１８、１８、ダンサローラ
２０、ワイヤー案内装置１６を経て他方のリール２６に
巻き取られるワイヤー走行路を形成する。また、ダンサ
ローラ２０には、所定重量の錘４４が吊設され、錘４４
の荷重によりワイヤー走行路を走行するワイヤー１４に
常に所要の張力が付与される。また、ワイヤー走行路の
途中にはワイヤー洗浄装置４６が設けられ、ワイヤーに
付着した加工液４０をワイヤー１４から除去する。ま
た、夫々のリール１２、２６は正逆回転可能な駆動モー
タ２８、３０に連結されると共に、３本のうちの１本の
溝付きローラ２２は正逆回転可能な駆動モータ３２に連
結される。これにより、一方のリール１２から繰り出さ
れたワイヤー１４は、図中実線矢印３４方向に高速走行
（６００ｍ／分以上）しながら他方のリール２６に巻き
取られる。また、他方のリール２６に巻き取られたワイ
ヤー１４は図中破線矢印３６方向に逆走行して一方のリ
ール１２に巻き取られる。即ち、ワイヤー１４は一方の
リール１２と他方のリール２６の間を往復走行する。ま
た、ワイヤー列２４には、砥液貯留タンク３８に貯留さ
れた砥粒（通常、ＧＣ♯６００〜♯１０００程度のもの
が使用される）を含む加工液４０が砥液供給ノズル４２
から供給される。２本の砥液供給ノズル４２を設けた理
由は、ワイヤー１４の往復走行に対応させるためであ
る。

【０００８】また、前記ワイヤー列２４の下方には、ワ
ーク送りテーブル４８が設けられ、このワーク送りテー
ブル４８はモータ５０で回動するネジ桿５２により切断
送り方向（図中Ｙ−Ｙ方向）に移動可能に設けられると
共に、ワーク送りテーブル４８のワイヤー列２４側に
は、被加工物である半導体インゴット５４がワークブロ
ック５６とスライスベース５８を介して支持される。こ
れにより、ワーク送りテーブル４８を切断送り方向（ワ
イヤー列２４側）に移動させると、半導体インゴット５
４は高速走行するワイヤー列２４に押し当てられ、ワイ
ヤー列２４に供給される加工液４０の砥粒によるラッピ
ング作用により半導体インゴット５４を多数の薄板状の
ウェーハに切断する。

【０００９】次に、本発明のワイヤーソーのワイヤー洗
浄装置４６について説明する。ワイヤー洗浄装置４６
は、上記したワイヤーソー１０において、一方のリール
１２と他方のリール２６にワイヤー１４が巻き取られる
前にそれぞれ設置されている。図２、図３、図４に示す
ように、ワイヤーソー１０の本体フレーム４７には、一
対の平行なガイドレール６４、６４が上下方向に配設さ
れ、このガイドレール６４、６４には、ガイドレール６
４、６４に沿ってスライド自在なスライダー６２が設け
られている。また、このスライダー６２の上部両端側に
は、スライダー６２をガイドレール６４、６４の所定位
置で固定するための固定具７２、７２が設けられる。一
方、スライダー６２の下部両端側には、可動ガイドロー
ラ１９、１９の回転軸１９Ａが回動自在に支持される。
また、ガイドレール６４、６４の下部近傍には洗浄液７
４を貯留した洗浄槽６０が設けられ、この洗浄槽６０
は、本体フレーム４７から突出したアームに支持されて
いる。また、この洗浄槽６０の背面には可動ガイドロー
ラ１９、１９を洗浄槽６０内に移動可能なように、Ｕ字
状をした所定長さの切欠き部６１が形成されている。ま
た、洗浄槽６０の上縁には、パッキン６８が固着されて
いる。また、前記本体フレーム４７の下部で、一対のガ
イドローラ６４、６４の間には、可動ガイドローラ１
９、１９が洗浄液７４に浸る位置まで移動した後、それ
以上下方に移動しないようにスライダー６２が当接する
スットパー６６が設けられている。また、可動ガイドロ
ーラ１９、１９の軸受４９、４９には、ほぼ逆Ｌ字型の
飛散防止カバー７０が支持され、可動ガイドローラ１
９、１９が洗浄液に浸る位置に移動した際に、飛散防止
カバー７０で洗浄槽６０の上端開口、および背面に形成
された切欠き部６１を遮蔽するようになっている。ま
た、洗浄槽６０の下部には、洗浄液６２の液面が所定高
さより上に上がらないようにオーバーフロー用の排出穴
７６が設けられている。

【００１０】次に、上記のように構成されたワイヤーソ
ーのワイヤー洗浄装置４６の作用を説明する。ワイヤー
１４の架線を行う場合は、まずスライダー６２を固定し
ていた固定具７２を緩め、ガイドレール６４に沿ってス
ライダー６２を上方に移動させる。この場合、スライダ
ー６２の移動は人力で行うか、あるいは、図示しない駆
動手段（例えば、モータ動力の送りネジ機構）で行うこ
ともできる。可動ガイドローラ１９、１９が固定ガイド
ローラ１８、１８の上方に来るまでスライダー６２を移
動させた後、スライダー６２を再び固定具７２で固定
し、ワイヤー１４を固定ガイドローラ１８、１８に架線
する。架線が終わったら、固定具７２を緩め、スライダ
ー６２をガイドレール６４、６４に沿って下方に移動
し、スライダー６２がストッパー６６に突き当たるまで
スライダー６２を移動した後、スライダー６２を固定具
７２で固定して作業を終了する。

【００１１】また、可動ガイドローラ１９、１９を交換
する場合は、上記同様にスライダー６２を上方に移動さ
せ、可動ガイドローラ１９、１９を交換する。交換作業
終了後、上記同様にスライダー６２がストッパー６６に
突き当たるまで下方に移動させ、スライダー６２を固定
させて作業を終了する。このように、本発明のワイヤー
洗浄装置４６は上記したように可動ガイドローラ１９を
上下動可能にしたので、ワイヤー架線時及びガイドロー
ラー交換時の作業性が向上し、かつ洗浄装置本体をコン
パクト化できる。

【００１２】なお、本実施例では、可動ガイドローラ１
９、１９が洗浄槽６０内に移動可能なように、洗浄槽６
０の背面にＵ字状をした所定長さの切欠き部６１を形成
したが、図５に示すように構成してもよい。即ち、スラ
イダー６２の上部に逆Ｌ字状のアーム部材６５を設け、
そのアーム部材６５の先端部にガイドローラ１９、１９
を回動自在に支持させる。これにより、スライダー６２
が下方に移動した際、可動ガイドローラ１９、１９はア
ーム部材６５により洗浄槽６０の上方から洗浄槽６０内
へ挿入される。

【００１３】また、本実施例では、二個の可動ガイドロ
ーラを用いて説明したが、この数に限定されるものでは
なく、例えば一個でもよい。

【００１４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るワイ
ヤーソーのワイヤー洗浄装置によれば、ガイドローラを
上下動可能とし洗浄槽外に移動できるようにしたので、
ワイヤー架線時又はガイドローラ交換時における作業性
を向上させることができる。また、洗浄槽の大きさもワ
イヤー架線あるいはガイドローラ交換における作業ペー
スを考えずに済み小型化できるので、ワイヤーソー装置
本体もコンパクト化できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、ワイヤーソーの全体構成を説明する説
明図

【図２】図２は、本発明のワイヤーソーのワイヤー洗浄
装置の実施例を説明する正面図

【図３】図３は、本発明のワイヤーソーのワイヤー洗浄
装置の実施例を説明する側面図

【図４】図４は、図２のＡ−Ａ線に沿った断面図

【図５】図５は、可動ガイドローラとスライダーを接続
する別の例を説明する側面図

【符号の説明】

１０…ワイヤーソー １２、２６…リール １４…ワイヤー １８…固定ガイドローラ １９…可動ガイドローラ ２２…溝付きローラ ４０…加工液 ４２…砥液供給ノズル ４８…ワーク送りテーブル ５４…半導体インゴット ６０…洗浄槽 ６２…スライダー ６４…ガイドレール ６６…スットパー ７０…飛散防止カバー ７２…固定具 ７４…洗浄液 ７６…排出穴

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】一方のリールと他方のリールの間を走行す
   るワイヤーに被加工物を押し当てると共に、前記ワイヤ
   ーに砥粒を含む加工液を供給して被加工物を多数の薄板
   状のウェーハに切断するワイヤーソーであって、前記ワ
   イヤー走行路に設けられ、前記ワイヤーに付着した加工
   液を洗浄するワイヤーソーのワイヤー洗浄装置におい
   て、 前記ワイヤー洗浄装置は、 前記ワイヤーを洗浄する洗浄液を貯留する洗浄槽と、 前記洗浄液内を前記ワイヤーが走行するように案内する
   ガイドローラと、 前記ガイドローラを上下方向に移動させる移動機構と、
   を備えていることを特徴とするワイヤーソーのワイヤー
   洗浄装置。