JPH07317705A

JPH07317705A - 流体圧アクチュエ−タ

Info

Publication number: JPH07317705A
Application number: JP13656694A
Authority: JP
Inventors: Nobuyuki Oka; 延由記岡; Eiji Nakai; 英二中井
Original assignee: Mazda Motor Corp; Nok Corp
Current assignee: Mazda Motor Corp; Nok Corp
Priority date: 1994-05-26
Filing date: 1994-05-26
Publication date: 1995-12-08

Abstract

(57)【要約】【目的】応答性の向上を図る。【構成】可動部材５により区画形成された流体室４の
うち他方の室６とドレインポート２４とを排出流路２６
にて直結すると共に、流路径の異なる制御弁３１，３２
を流体室４の一方の室７と他方の室６とを連通する連通
流路２７に複数個並列に設けたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えばクラッチの接続
等を行なわせるための流体圧アクチュエータに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種の流体圧アクチュエータと
して、たとえば図５に示すような自動車のマニュアルト
ランスミッションにて実施されるクラッチの断続を電気
的に制御するための油圧アクチュエータがある。図７
は、油圧アクチュエータが用いられるシステム概略図で
ある。すなわち、この油圧アクチュエータ１００は、油
圧シリンダ部１０１と、該油圧シリンダ部１０１を制御
するための制御部１０２と、から構成されており、制御
部１０２により油圧シリンダ部１０１を制御して油圧シ
リンダ部１０１にロッド１０９を介して作動連結された
クラッチ１０３を接続するものである。

【０００３】油圧シリンダ部１０１は、アクチュエータ
本体としての内部中空のボディ１０４と、ボディ１０４
の中空内部に形成された流体室１０５と、該流体室１０
５内を往復動自在に挿入された可動部材としてのピスト
ン１０６と、該ピストン１０６により２室に区画形成さ
れた油室Ａ１０７，油室Ｂ１０８と、ピストン１０６の
油室Ａ１０７側に作動連結されるロッド１０９と、から
構成されている。

【０００４】ボディ１０４の側壁１０４Ａには、流体室
１０５に油圧を供給するための供給ポート１１０と、流
体室１０５内の油圧を排出するためのドレインポート１
１１が設けられている。

【０００５】そして、制御部１０２は、ボディ１０４の
側壁１０４Ａに一体的に設けられている。この制御部１
０２は、供給ポート１１０と油室Ｂ１０８とを連通する
供給流路としての流路Ｃ１１２と、その流路Ｃ１１２を
開閉制御する制御弁としてのノーマルクローズタイプの
ソレノイドバルブＣ１１３と、ドレインポート１１１と
油室Ａ１０７とを連通する排出流路としての流路Ｂ１１
４と、その流路Ｂ１１４を開閉制御する制御弁としての
ノーマルクローズタイプのソレノイドバルブＢ１１５
と、流路Ｂ１１４と流路Ｃ１１２を介して油室Ａ１０７
と油室Ｂ１０８とを連通する連通流路としての流路Ａ１
１６と、その流路Ａ１１６を開閉制御する制御弁として
のノーマルオープンタイプのソレノイドバルブＡ１１７
と、から構成されている。

【０００６】このように構成された油圧アクチュエータ
１００は、図７に示すようなシステムに適用される。こ
のシステム５０は、支点Ｐを中心として揺動する揺動体
５３の一端に油圧アクチュエータ１００のピストン１０
６に作動連結されているロッド１０９の先端が連結さ
れ、揺動体５３の他端にクラッチ１０３が接続されてい
る従動体５４が連結されているもので、クラッチ１０３
がエンジン側Ｅに接続されているときピストン５の０点
で、ピストン５がクラッチスプリング５２のスプリング
力に抗して移動することによってクラッチ１０３が離れ
るようになっている。尚、図７中矢印Ｄはミッション駆
動側である。

【０００７】図６には上記油圧アクチュエータ１００に
おける流体回路図が示されている。

【０００８】また、図８（ａ），（ｂ）には変速時の作
動特性を示しており、図８（ａ）はソレノイドバルブＡ
１１７，Ｂ１１５，Ｃ１１３の制御タイミング図であ
り、図８（ｂ）は図８（ａ）に示す制御タイミングによ
るピストンストローク線図である。尚、ピストンストロ
ーク線図の縦軸はピストン１０６のストローク（ｍ
ｍ）、横軸は時間（ｓｅｃ）となっている。

【０００９】ここで、図８（ｂ）に示すピストンストロ
ーク線図は、図８（ａ）に示すソレノイドバルブ制御タ
イミング図と図７のシステム概略図とを参照すると、実
線で示されているようにピストン１０６をストロークさ
せ、クラッチ１０３をクラッチスプリング５２のスプリ
ング力に抗してフルストローク（６ｍｍ位置）した後、
戻す途中３ｍｍで半クラッチとしてから接続するように
なっている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来技術の場合には、図８（ｂ）のピストンストロー
ク線図から、図８（ａ）のソレノイドバルブ制御タイミ
ングに対するピストンストロークの応答が遅いことがわ
かる。これにより、制御が難しいという欠点があった。
そこで、図８（ｂ）のピストンストローク線図に点線で
示すように応答性（ピストンスピード）を上げるために
は、ソレノイドバルブＡ１１７，Ｂ１１５，Ｃ１１３の
油路径の拡大が考えられたが、流体室１０５への供給圧
力とソレノイドバルブＡ１１７，Ｂ１１５，Ｃ１１３の
吸引力の関係から、現状以上（実線）は不可能であっ
た。

【００１１】しかし、図８（ｂ）のピストンストローク
線図において、フルストローク位置への立ち上がり部分
のＡ部のみに関しては、ソレノイドバルブＢ１１５を廃
止すると共にその廃止した部分に盲栓をして油室Ａ１０
７とドレインポート１１１を直結することにより、点線
で示す応答とすることが可能であった。しかしながら、
フルストローク位置から半クラッチ位置を介して元の接
続位置への戻り部分のＢ部は応答性を上げることができ
なかった。

【００１２】また、図９（ａ），（ｂ），（ｃ）には発
進時の作動特性を示しており、図９（ａ）はソレノイド
バルブＡ１１７，Ｂ１１５，Ｃ１１３の制御タイミング
図であり、図９（ｂ）は図９（ａ）に示す制御タイミン
グによるピストンストローク線図である。尚、ピストン
ストローク線図の縦軸はピストン１０６のストローク
（ｍｍ）、横軸は時間（ｓｅｃ）となっている。

【００１３】この発進時の制御においては、半クラッチ
とするピストン１０６のストローク時にソレノイドバル
ブＡ１１７を図９（ａ）に示すようにデューティ（ＤＵ
ＴＹ）制御することによってピストン１０５のスピード
をＤＵＴＹ制御しているため、実際は点線で示すように
階段状となり、これを滑らかに（細かく）することも前
記と同様の供給圧力とソレノイドバルブＡ１１７，Ｂ１
１５，Ｃ１１３の吸引力の関係により不可能であった。

【００１４】本発明は上記した従来技術の課題を解決す
るためになされたもので、その目的とするところは、応
答性の向上を図り得る流体圧アクチュエータを提供する
ことにある。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明にあっては、中空のアクチュエータ本体の内
部に形成された流体室内を往復移動する可動部材を有
し、該可動部材により区画形成されたそれぞれの室の流
体圧を制御して可動部材を作動させるもので、前記区画
形成された室のうちどちらか一方の室に圧力源からの流
体圧を供給流路を介して供給する供給ポートと、他方の
室から流体圧を排出流路を介して排出するドレインポー
トと、一方の室と他方の室を連通する連通流路と、該連
通流路を開閉制御する制御弁と、を有する流体圧アクチ
ュエータにおいて、前記他方の室と前記ドレインポート
とを前記排出流路にて直結すると共に、流路径の異なる
前記制御弁を前記連通流路に複数個並列に設けたことを
特徴とする。

【００１６】

【作用】上記構成の油圧アクチュエータにあっては、流
体室が可動部材により区画形成されたそれぞれの室のう
ち他方の室とドレインポートとが排出流路にて直結して
いるので、その室内の流体圧が速く排出されることにな
り、可動部材のフルストローク位置までの立ち上り部分
での応答が向上すると共に、一方の室とドレイポートを
連通する連通流路間に複数個並列に流路径の異なる制御
弁を設けたことにより、流路径が拡大されることにな
り、一方の室からドレインポートへの流体圧の排出を速
くでき、フルストローク位置から元の位置までの戻り部
分の可動部材の応答が向上する。

【００１７】また、連通流路間に並列に設けた流路径の
異なる制御弁を複数設けたことにより、流路径の小さい
制御弁にて、ＤＵＴＹ制御すれば、ＤＵＴＹ周期が短く
なり、またＤＵＴＹ比率も小さくなるため、ＤＵＴＹ回
数が多くなると共に、流量が小さくなるので、細かく制
御可能となり、滑らかに制御することができる。

【００１８】

【実施例】以下に本発明を図示の実施例に基づいて説明
する。図１及び図２に本発明の一実施例に係る流体圧ア
クチュエータとしての油圧アクチュエータを示す。この
油圧アクチュエータ１は、従来技術と同様に自動車のマ
ニュアルトランスミッションにて実施されるクラッチの
断続を電気的に制御するためのものである。図１及び図
２において、１は油圧アクチュエータを示しており、こ
の油圧アクチュエータ１の概略構成は、油圧シリンダ部
２と、該油圧シリンダ部２を制御するための制御部３
と、から構成されており、制御部３により油圧シリンダ
部２を制御して油圧シリンダ部２に作動連結されたクラ
ッチ５１を接続するものである。

【００１９】油圧シリンダ部２は、アクチュエータ本体
としての内部中空のボディ８と、中空内部に形成された
流体室４と、該流体室４内を往復動自在に挿入された可
動部材としてのピストン５と、該ピストン５により区画
形成された油室Ａ６，油室Ｂ７と、ピストン５の油室Ａ
６側に作動連結されるロッド９と、から構成されてい
る。

【００２０】ボディ８は、一端が開口する内径が同軸的
に大径部８１と小径部１８とから成る中空部と、中空部
の小径部１８と同軸的に連通して他端に開口する貫通孔
１７とを有している。そして、大径部８１の開口端部に
は断面略コ字形状のスリーブ１０が中空部内に挿入固定
され、このスリーブ１０と、中空部の大径部８１と小径
部１８とから流体室４が形成されている。

【００２１】そして、流体室４の大径部８１内にピスト
ン５が往復動自在に挿入され、ピストン５により流体室
４が油室Ａ６と油室Ｂ７とに区画形成されている。この
油室Ａ６は貫通孔１７側で、油室Ｂ７はスリーブ１０側
となっている。尚、油室Ａの小径部１８内部は、後に示
すロッド９をピストン５に固定するためのナット１９
が、ピストン５のストローク時に入り込むようになって
いる。

【００２２】ピストン５の油室Ａ６側には、ロッド９の
一端がピストン５と同軸的にナット１９を介して螺合固
定されており、油室Ｂ７側には、スリーブ１０内を軸受
Ａ１２及びシール部材であるパッキンＡ１４を介して摺
動自在に挿入される突出部５Ａが一体的に設けられてい
る。

【００２３】また、スリーブ１０の底部には孔１０Ａを
有しており、その孔１０Ａを介してボディ８の端面にピ
ストン５のストロークセンサー１１が固定されている。
このストロークセンサー１１は、ピストン５の突出部５
Ａの端面に臨んで設けられている。

【００２４】そして、ロッド９は貫通孔１７内に軸受Ｂ
１６を介して往復動自在となっている。

【００２５】尚、ピストン５外周及びボディ８の貫通孔
１７の外側端面内周縁には、それぞれシ−ル部材として
のパッキンＢ，Ｃ１５，１３がそれぞれ装着されてい
る。

【００２６】一方、ボディ８の側壁８Ａには、流体室４
に油圧を供給するための供給ポート２３と、流体室４内
の油圧を排出するためのドレインポート２４が設けられ
ている。

【００２７】そして、制御部３はボディ８の側壁８Ａに
一体的に設けられている。この制御部３には、供給ポー
ト２３と油室Ｂ７とを連通する供給流路としての流路Ｃ
２５と、ドレインポート２４と油室Ａ６とを直結して連
通する排出流路としての流路Ｄ２６と、流路Ｃ２５，流
路Ｄ２６を介して油室Ａ６と油室Ｂ７とを連通する連通
流路としての流路Ｅ２７と、を有しており、流路Ｅ２７
は、流路Ａ２８と流路Ｂ２９とに並列に分かれている。

【００２８】流路Ｃ２５には、その流路Ｃ２５を開閉制
御する制御弁としてのノーマルクローズタイプのソレノ
イドバルブＣ３０が設けられている。

【００２９】また、流路Ｅ２７には、その流路Ｅ２７を
開閉制御する制御弁としてのノーマルオープンタイプの
ソレノイドバルブＡ３１と、ノーマルオープンタイプの
ソレノイドバルブＢ３２が並列に設けられている。すな
わち、ソレノイドバルブＡ３１は流路Ａ２８を開閉制御
するようになっており、ソレノイドバルブＢ３２は流路
Ｂ２９を開閉制御するようになっている。そして、ソレ
ノイドバルブＡ３１の油路径は従来技術のソレノイドバ
ルブＡ１１７とほぼ同じで、ソレノイドバルブＢ３２の
油路径はソレノイドバルブＡ３１より小さく設定されて
いる。

【００３０】上記構成の油圧アクチュエータ１の流体回
路図は、図２に示す流体回路図の右側のブロックに示さ
れている。一方、図２の流体回路の左側のブロックは、
供給ポート２３へ導入流路３３を介して油圧を供給する
ための回路図であり、該回路図は、タンク３４と、タン
ク３４内の作動油を導入流路３３，供給ポート２３を介
して流体室４に導入するための電動ポンプ３５と、逆流
を防ぐチェックバルブ３６と、流体回路中の油圧を制御
するリリーフバルブ３７と、電動ポンプ３５と供給ポー
ト２３間に接続されるアキュームレータ３８とから成っ
ている。

【００３１】そして、上記構成の油圧アクチュエータ１
は、従来技術で示したシステム５０に適用されるもので
（図７参照）、クラッチ５１がエンジン側Ｅに接続され
ているときピストン５のストローク０点（図１参照）
で、ピストン５がストローク（図示右側に移動）するこ
とによってクラッチ５１がクラッチスプリング５２のス
プリング力に抗して離れるようになっている。

【００３２】尚、図中６０は鋼球で、ボディ８の側壁８
Ａに各流路を形成した際に、開口した端部を閉塞させる
ためのもので、この鋼球６０は、開口端部に圧入した後
にかしめて変形させ、抜けないようになっている。

【００３３】次に、上記構成の油圧アクチュエータ１
の、変速時の作動特性を、図３（ａ）に示すソレノイド
バルブＡ３１，Ｂ３２，Ｃ３０の制御タイミング図によ
り制御を行なうときについて説明する。

【００３４】初期状態はソレノイドバルブＡ３１，Ｂ３
２，Ｃ３０何れもＯＦＦであることから、ソレノイドバ
ルブＡ３１，Ｂ３２が開で、ソレノイドバルブＣ３０が
閉となり、油圧は供給されず、クラッチスプリング５２
のスプリング力によりピストン５が図中左側に移動さ
れ、クラッチ５１側の接続位置で決まるストローク０点
で止まっている。

【００３５】次に、ソレノイドバルブＡ３１，Ｂ３２，
Ｃ３０何れもＯＮとすると、ソレノイドバルブＣ３０が
開で、ソレノイドバルブＡ３１，Ｂ３２が閉となり、圧
力源からの油圧が供給ポート２４，流路Ｃ２５を介して
油室Ｂ７に供給され、また油室Ａ６は流路Ｄ２６を介し
てドレインポート２４と直結して油圧が０kgf/cm² であ
るため、ピストン５はストロークし、フルストローク
（６ｍｍ位置）した後、ソレノイドバルブＣ３０をＯＦ
Ｆにする。これにより、フルストローク位置が維持され
る。

【００３６】そして、所定時間経過後、ソレノイドバル
ブＡ３１，Ｂ３２をＯＦＦとし、何れも開とすると、油
室Ｂ７内の油圧が流路Ｃ２５，流路Ａ２８及び流路Ｂ２
９を介してドレインポート２４よりほとんど排出される
ため（尚、若干ではあるが流路Ｄ２６を介して油室Ａに
供給される。）、クラッチスプリング５２のスプリング
力によってピストン５が元のストローク０点の位置に戻
ることになり、クラッチ５１が接続される。この戻す途
中（３ｍｍ位置）で、ソレノイドバルブＡ３１，Ｂ３２
を一端ＯＮ・ＯＦＦして半クラッチとしてから接続して
いる。

【００３７】このようにピストン５のストロークは図３
（ｂ）のピストンストローク線図に示す点線の作動特性
となる。尚、図中実線は上記従来技術の作動特性であ
る。

【００３８】上記構成の油圧アクチュエータにあって
は、油室Ａ６とドレインポート２４とを流路Ｄ２６にて
直結しているので、従来技術と比べて油室Ａ６内の油圧
が速く排出されることになり、従来技術のフルストロー
ク位置までの立ち上り部分のＡ部（図３（ｂ）参照）で
のピストン５の応答が向上すると共に、油室Ｂ７とドレ
イポート２４を連通する流路Ｅ２７間に２個並列にソレ
ノイドバルブＡ３１，Ｂ３２を設けたので、ソレノイド
バルブＡ３１，Ｂ３２の開時、油路径が拡大されること
になり、油室Ｂ７からドレインポート２４への油圧の排
出が速くなり、フルストローク位置からクラッチ５１の
接続位置までの戻り部分のＢ部（図３（ｂ）参照）での
ピストン５の応答が向上することになる。これにより、
従来技術の作動特性と比べてＡ部，Ｂ部の両方において
応答性（ピストンスピード）が向上する。

【００３９】次に、発進時の作動特性を、図４（ａ）に
示すようなソレノイドバルブＡ３１，Ｂ３２，Ｃ３０の
制御タイミング図により制御を行なったときについて説
明する。

【００４０】初期状態はソレノイドバルブＡ３１，Ｂ３
２，Ｃ３０何れもＯＦＦであることから、ソレノイドバ
ルブＡ３１，Ｂ３２が開で、ソレノイドバルブＣ３０が
閉となり、油圧は供給されず、クラッチスプリング５２
のスプリング力によりピストン５が図中左側に移動さ
れ、クラッチ５１側の接続位置で決まるストローク０点
で止まっている。

【００４１】次に、ソレノイドバルブＡ３１，Ｂ３２，
Ｃ３０何れもＯＮとすると、ソレノイドバルブＣ３０が
開で、ソレノイドバルブＡ３１，Ｂ３２が閉となり、圧
力源からの油圧が供給ポート２４，流路Ｃ２５を介して
油室Ｂ７に供給され、また油室Ａ６は流路Ｄ２６を介し
てドレインポート２４と直結して油圧が０kgf/cm² であ
るため、ピストン５はストロークし、フルストローク
（６ｍｍ位置）した後、ソレノイドバルブＣ３０をＯＦ
Ｆにする。これにより、フルストローク位置が維持され
る。

【００４２】そして、所定時間経過後、ソレノイドバル
ブＢ３２のみをＤＵＴＹ制御とし、開閉を繰り返すと、
開時は油室Ｂ７内の油圧が流路Ｃ２５及び流路Ｂ２９を
介してドレインポート２４より排出されるため、クラッ
チスプリング５２のスプリング力によってピストン５が
徐々に半クラッチ位置（３ｍｍ）にストロークする。こ
の半クラッチ位置になった時点でソレノイドバルブＢ３
２を一端ＯＮとし、そのＯＮの所定時間経過後、ソレノ
イドバルブＡ３１と共にＯＦＦとし、何れも開とする
と、油室Ｂ７内の油圧が流路Ｃ２５，流路Ａ２８及び流
路Ｂ２９を介してドレインポート２４より上記半クラッ
チ状態のときよりも速く排出されるため、半クラッチま
でのスピードより速いスピードでピストン５がストロー
クし、元のストローク０点の位置に戻り、クラッチ５１
が接続される。

【００４３】このようにピストン５のストロークは図４
（ｂ）のピストンストローク線図に示す作動特性とな
る。

【００４４】尚、上記のように発進時等、クラッチ５１
をゆっくりつなぐためにピストン５のストロークのスピ
ードを遅くする際、図５に示す従来技術の場合、ノーマ
ルオープンタイプのソレノイドバルブＡ１１７をＤＵＴ
Ｙ制御して行なうが、そのソレノイドバルブＡ１１７の
油路径の大きさにより、そのソレノイドバルブＡ１１７
の応答性及び流路が決まるためにピストン１０６のスト
ロークのスピードに対するＤＵＴＹ周期Ｐ２及びＤＵＴ
Ｙ比率Ｒ２が決まってしまい、ＤＵＴＹ回数を増やして
滑らかにつなぐことが不可能であった。

【００４５】そこで、上記構成の油圧アクチュエータに
あっては、油室Ｂ７とドレイポート２４を連通する流路
Ｅ２７間に２個並列に設けたソレノイドバルブＡ３１，
Ｂ３２のうち、一方のソレノイドバルブＢ３２の方の油
路径を小さくしており、この一個の油路径の小さいソレ
ノイドバルブＢ３２にて、ＤＵＴＹ制御しているので、
ＤＵＴＹ周期Ｐ１は、従来技術のＤＵＴＹ周期Ｐ２に比
べて短くなり、ＤＵＴＹ比率Ｒ１は、従来技術のＤＵＴ
Ｙ比率Ｒ２に比べて小さくなる（図４（ａ），（ｃ）及
び図９（ａ），（ｃ）参照）。これにより、ＤＵＴＹ回
数が従来技術と比べて多くなると共に、流量が従来技術
と比べて小さくなるので、細かく制御可能となり、滑ら
かにクラッチ５１をつなぐことができ、発進時のクラッ
チ５１の接続のフィーリングが向上する。

【００４６】尚、上記実施例では、流体圧として油圧を
例にとって説明したが、油圧に限るものではなく、その
他空気圧等の流体圧でも同様に適用するものである。

【００４７】

【発明の効果】本発明は、以上の構成および作用を有す
るもので、流体室が可動部材により区画形成されたそれ
ぞれの室のうち他方の室とドレインポートとの排出流路
を直結したので、その室内の流体圧が速く排出されるこ
とになり、可動部材のフルストローク位置までの立ち上
り部分での応答が向上すると共に、一方の室とドレイポ
ートを連通する連通流路間に複数個並列に流路径の異な
る制御弁を設けたので、流路径が拡大されることにな
り、一方の室からドレインポートへの流体圧の排出を速
くでき、フルストローク位置から元の位置までの戻り部
分の可動部材の応答が向上する。このように、立ち上が
り部分及び戻り部分の両方の応答が向上するため、応答
性の向上が図られる。

【００４８】また、連通流路間に並列に設けた流路径の
異なる制御弁を複数設けたので、流路径の小さい制御弁
にて、ＤＵＴＹ制御すれば、ＤＵＴＹ周期が短くなり、
またＤＵＴＹ比率も小さくなるため、ＤＵＴＹ回数が多
くなると共に、流量が小さくなるので、細かく制御可能
となり、滑らかに制御することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本発明の一実施例に係る流体圧アクチュ
エータとしての油圧アクチェータの断面図である。

【図２】図２は本発明の一実施例に係る流体圧アクチュ
エータとしての油圧アクチュエータの流体回路図であ
る。

【図３】図３は図１及び図２の油圧アクチュエータの変
速時の作動特性を示すもので、同図（ａ）はソレノイド
バルブ制御タイミング図で、同図（ｂ）はピストンスト
ローク線図である。

【図４】図４は図１及び図２の油圧アクチュエータの発
進時の作動特性を示すもので、同図（ａ）はソレノイド
バルブ制御タイミング図で、同図（ｂ）はピストンスト
ローク線図で、同図（ｃ）は同図（ａ）のＤＵＴＹ制御
部の拡大図である。

【図５】図５は従来の流体圧アクチュエータとしての油
圧アクチェータの断面図である。

【図６】図６は従来の流体圧アクチュエータとしての油
圧アクチュエータの流体回路図である。

【図７】図７はシステム概略図である。

【図８】図８は図５及び図６の油圧アクチュエータの変
速時の作動特性を示すもので、同図（ａ）はソレノイド
バルブ制御タイミング図で、同図（ｂ）はピストンスト
ローク線図である。

【図９】図９は図５及び図６の油圧アクチュエータの発
進時の作動特性を示すもので、同図（ａ）はソレノイド
バルブ制御タイミング図で、同図（ｂ）はピストンスト
ローク線図で、同図（ｃ）は同図（ａ）のＤＵＴＹ制御
部の拡大図である。

【符号の説明】

１油圧アクチュエータ（流体圧アクチュエータ）２油圧シリンダ部３制御部４流体室５ピストン（可動部材）５Ａ突出部６油室Ａ７油室Ｂ８ボディ（アクチュエータ本体）８Ａ側壁８１大径部９ロッド１０スリーブ１０Ａ孔１１ストロークセンサー１２軸受Ａ１３パッキンＣ１４パッキンＡ１５パッキンＢ１６軸受Ｂ１７貫通孔１８小径部１９ナット２３供給ポート２４ドレインポート２５流路Ｃ（供給流路）２６流路Ｄ（排出流路）２７流路Ｅ（連通流路）２８流路Ａ２９流路Ｂ３０ソレノイドバルブＣ３１ソレノイドバルブＡ（制御弁）３２ソレノイドバルブＢ（制御弁）３３導入流路３４タンク３５電動ポンプ３６チェックバルブ３７リリーフバルブ３８アキュームレータ５０システム５１クラッチ５２クラッチスプリング５３揺動体５４従動体６０鋼球

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】中空のアクチュエータ本体の内部に形成
された流体室内を往復移動する可動部材を有し、該可動
部材により区画形成されたそれぞれの室の流体圧を制御
して可動部材を作動させるもので、前記区画形成された室のうちどちらか一方の室に圧力源
からの流体圧を供給流路を介して供給する供給ポート
と、他方の室から流体圧を排出流路を介して排出するド
レインポートと、一方の室と他方の室を連通する連通流
路と、該連通流路を開閉制御する制御弁と、を有する流
体圧アクチュエータにおいて、前記他方の室と前記ドレインポートとを前記排出流路に
て直結すると共に、流路径の異なる前記制御弁を前記連
通流路に複数個並列に設けたことを特徴とする流体圧ア
クチュエータ。