JPH07318311A - 計測装置 - Google Patents
計測装置Info
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- JPH07318311A JPH07318311A JP13659694A JP13659694A JPH07318311A JP H07318311 A JPH07318311 A JP H07318311A JP 13659694 A JP13659694 A JP 13659694A JP 13659694 A JP13659694 A JP 13659694A JP H07318311 A JPH07318311 A JP H07318311A
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- 239000003550 marker Substances 0.000 claims abstract description 34
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 16
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 4
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 claims description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 2
- 239000003973 paint Substances 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、計測精度を向上させることを目的
とする。 【構成】 本発明の計測装置は、１次元、或いは２次元
の運動を行うテーブル１と、テーブル１上に載置される
被計測物２と、面上に座標，寸法，角度等の測定単位の
マーカ４Ａを有し、テーブル１との間に相対的変位を生
じずにテーブル１と共通の運動を行うと共に、光，磁気
等の測定媒体を通過させるマーカ板４と、運動を行うテ
ーブル１上の被計測物の任意の点と共通の運動を行うマ
ーカ板４のマーカ４Ａの任意の点に対応する値を測定媒
体によって読み取る読取手段３より構成されている。
とする。 【構成】 本発明の計測装置は、１次元、或いは２次元
の運動を行うテーブル１と、テーブル１上に載置される
被計測物２と、面上に座標，寸法，角度等の測定単位の
マーカ４Ａを有し、テーブル１との間に相対的変位を生
じずにテーブル１と共通の運動を行うと共に、光，磁気
等の測定媒体を通過させるマーカ板４と、運動を行うテ
ーブル１上の被計測物の任意の点と共通の運動を行うマ
ーカ板４のマーカ４Ａの任意の点に対応する値を測定媒
体によって読み取る読取手段３より構成されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は計測装置に関し、特に、
計測精度を向上させた計測装置に関する。
計測精度を向上させた計測装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の計測装置として、例えば、図３，
及び図４に示されるものがある。この計測装置は、ベー
ス上でＸ，Ｙ方向の運動を行うＸＹテーブル１と、ＸＹ
テーブル１上に載置された被計測物２と、ＸＹテーブル
１上に配置され、被計測物２の任意の点を可視光等の計
測媒体によって読み取るＣＣＤカメラ等の読取装置３よ
り構成されている。
及び図４に示されるものがある。この計測装置は、ベー
ス上でＸ，Ｙ方向の運動を行うＸＹテーブル１と、ＸＹ
テーブル１上に載置された被計測物２と、ＸＹテーブル
１上に配置され、被計測物２の任意の点を可視光等の計
測媒体によって読み取るＣＣＤカメラ等の読取装置３よ
り構成されている。
【０００３】以上の構成を有する計測装置において、読
取装置１に対して被計測物２が載置されたＸＹテーブル
１がＸ，Ｙ方向に運動すると、読取装置１が被計測物２
の任意の点を可視光等の計測媒体によって読み取る。こ
のとき、ＸＹテーブル１の移動量を別途、光学的に読み
取ることにより、被計測物２の座標，寸法等を計測する
ことができる。
取装置１に対して被計測物２が載置されたＸＹテーブル
１がＸ，Ｙ方向に運動すると、読取装置１が被計測物２
の任意の点を可視光等の計測媒体によって読み取る。こ
のとき、ＸＹテーブル１の移動量を別途、光学的に読み
取ることにより、被計測物２の座標，寸法等を計測する
ことができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の計測装
置によると、ＸＹテーブルとベースに取り付けられたス
ケールを読み取っているため、計測値に誤差が生じ、計
測精度を低下させるという不都合がある。
置によると、ＸＹテーブルとベースに取り付けられたス
ケールを読み取っているため、計測値に誤差が生じ、計
測精度を低下させるという不都合がある。
【０００５】従って、本発明の目的は計測精度を向上さ
せることができる計測装置を提供することである。
せることができる計測装置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点に鑑
み、計測精度を向上させるため、１次元、或いは２次元
の運動を行うテーブルと、テーブル上に載置される被計
測物と、面上に座標，寸法，角度等の測定単位のマーカ
を有し、テーブルとの間に相対的変位を生じずにテーブ
ルと共通の運動を行うと共に、光，磁気等の測定媒体を
通過させるマーカ板と、運動を行うテーブル上の被計測
物の任意の点と共通の運動を行うマーカ板のマーカの任
意の点に対応する値を測定媒体によって読み取る読取手
段より構成した計測装置を提供するものである。
み、計測精度を向上させるため、１次元、或いは２次元
の運動を行うテーブルと、テーブル上に載置される被計
測物と、面上に座標，寸法，角度等の測定単位のマーカ
を有し、テーブルとの間に相対的変位を生じずにテーブ
ルと共通の運動を行うと共に、光，磁気等の測定媒体を
通過させるマーカ板と、運動を行うテーブル上の被計測
物の任意の点と共通の運動を行うマーカ板のマーカの任
意の点に対応する値を測定媒体によって読み取る読取手
段より構成した計測装置を提供するものである。
【０００７】また、テーブル１とマーカ板を運動させる
代わりに、テーブルとマーカ板を固定しておき、読取装
置を運動させるようにしても良い。
代わりに、テーブルとマーカ板を固定しておき、読取装
置を運動させるようにしても良い。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の計測装置について添付図面を
参照しながら詳細に説明する。
参照しながら詳細に説明する。
【０００９】図１，及び図２には、本発明の計測装置の
一実施例が示されている。この計測装置は、Ｘ，Ｙ方向
の運動を行うＸＹテーブル１と、ＸＹテーブル１上に載
置される被計測物２（打抜きパンチ，リードフレーム等
のワークピース）と、被計測物２の任意の点と後述する
マーカ板４のマーカ４Ａの値を可視光等によって読み取
るＣＣＤカメラ等の読取装置３と、ＸＹテーブル１と読
取装置３との間に配置され、ＸＹテーブル１と共通の運
動を行うマーカ板４より構成されている。
一実施例が示されている。この計測装置は、Ｘ，Ｙ方向
の運動を行うＸＹテーブル１と、ＸＹテーブル１上に載
置される被計測物２（打抜きパンチ，リードフレーム等
のワークピース）と、被計測物２の任意の点と後述する
マーカ板４のマーカ４Ａの値を可視光等によって読み取
るＣＣＤカメラ等の読取装置３と、ＸＹテーブル１と読
取装置３との間に配置され、ＸＹテーブル１と共通の運
動を行うマーカ板４より構成されている。
【００１０】マーカ板４は、面上に座標，寸法，角度等
の測定単位（本実施例では、座標）のマーカ４Ａを有
し、可視光等の測定媒体を通過させる材質、例えば、ガ
ラス等より構成されている。
の測定単位（本実施例では、座標）のマーカ４Ａを有
し、可視光等の測定媒体を通過させる材質、例えば、ガ
ラス等より構成されている。
【００１１】読取装置３は、ＸＹテーブル１上の被計測
物２の任意の点と、ＸＹテーブル１と共通の運動を行う
マーカ板４のマーカ４Ａの被計測物２の任意の点に対応
する値を可視光等によって読み取るように構成されてい
る。読取装置３の読取値は演算装置５によって演算され
る。
物２の任意の点と、ＸＹテーブル１と共通の運動を行う
マーカ板４のマーカ４Ａの被計測物２の任意の点に対応
する値を可視光等によって読み取るように構成されてい
る。読取装置３の読取値は演算装置５によって演算され
る。
【００１２】以上の構成を有する計測装置において、読
取装置１に対して被計測物２が載置されたＸＹテーブル
１をＸ，Ｙ方向に運動させると、読取装置１が被計測物
２の任意の点と、この点と対応するマーカ板４のマーカ
４Ａの値を可視光等によって読み取る、つまり、１つの
読取装置３によって被計測物２とＸＹテーブルの移動量
を同時に読み取るようになっている。このため、ＸＹテ
ーブルに変形等があっても、被計測物２の任意の点と座
標値を直接、関連づけて読み取るため、計測値に誤差が
生じることがなく、計測精度を向上させることができ
る。
取装置１に対して被計測物２が載置されたＸＹテーブル
１をＸ，Ｙ方向に運動させると、読取装置１が被計測物
２の任意の点と、この点と対応するマーカ板４のマーカ
４Ａの値を可視光等によって読み取る、つまり、１つの
読取装置３によって被計測物２とＸＹテーブルの移動量
を同時に読み取るようになっている。このため、ＸＹテ
ーブルに変形等があっても、被計測物２の任意の点と座
標値を直接、関連づけて読み取るため、計測値に誤差が
生じることがなく、計測精度を向上させることができ
る。
【００１３】なお、以上の実施例では、ＸＹテーブル１
とマーカ板４を運動させるようにしたが、ＸＹテーブル
１とマーカ板４を固定しておき、読取装置３を運動させ
ても良い。また、読取装置３は、被測定物２を光学的に
読み取るＣＣＤセンサと、磁気目盛によって構成される
マーカ板４を読み取る磁気センサとの組み合せによって
構成されても良い。
とマーカ板４を運動させるようにしたが、ＸＹテーブル
１とマーカ板４を固定しておき、読取装置３を運動させ
ても良い。また、読取装置３は、被測定物２を光学的に
読み取るＣＣＤセンサと、磁気目盛によって構成される
マーカ板４を読み取る磁気センサとの組み合せによって
構成されても良い。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の計測装置
によると、１次元、或いは２次元の運動を行うテーブル
と、テーブル上に載置される被計測物と、面上に座標，
寸法，角度等の測定単位のマーカを有し、テーブルとの
間に相対的変位を生じずにテーブルと共通の運動を行う
と共に、光，磁気等の測定媒体を通過させるマーカ板
と、運動を行うテーブル上の被計測物の任意の点と共通
の運動を行うマーカ板のマーカの任意の点に対応する値
を測定媒体によって読み取る読取手段より構成したた
め、計測精度を向上させることができる。
によると、１次元、或いは２次元の運動を行うテーブル
と、テーブル上に載置される被計測物と、面上に座標，
寸法，角度等の測定単位のマーカを有し、テーブルとの
間に相対的変位を生じずにテーブルと共通の運動を行う
と共に、光，磁気等の測定媒体を通過させるマーカ板
と、運動を行うテーブル上の被計測物の任意の点と共通
の運動を行うマーカ板のマーカの任意の点に対応する値
を測定媒体によって読み取る読取手段より構成したた
め、計測精度を向上させることができる。
【図１】本発明の一実施例を示す側面図。
【図２】本発明の一実施例を示す上面図。
【図３】従来の計測装置を示す側面図。
【図４】従来の計測装置を示す上面図。
１ ＸＹテーブル ２ 被計測物 ３ 読取装置 ４ マーカ板 ４Ａ マーカ ５ 演算装置
Claims (2)
- 【請求項１】 １次元、或いは２次元の運動を行うテー
ブルと、 前記テーブル上に載置される被計測物と、 面上に座標，寸法，角度等の測定単位のマーカを有し、
前記テーブルとの間に相対的変位を生じずに前記テーブ
ルと共通の運動を行うと共に、光，磁気等の測定媒体を
通過させるマーカ板と、 前記運動を行う前記テーブル上の前記被計測物の任意の
点と前記共通の運動を行う前記マーカ板の前記マーカの
前記任意の点に対応する値を前記測定媒体によって読み
取る読取手段とから構成されることを特徴とする計測装
置。 - 【請求項２】 被測定物を載置するテーブルと、 面上に座標，寸法，角度等の測定単位のマーカを有し、
前記テーブルとの間に相対的変位を生じずに、光，磁気
等の測定媒体を通過させるマーカ板と、 １次元、或いは２次元の運動を行い、前記テーブル上の
前記被計測物の任意の点と前記マーカ板の前記マーカの
前記任意の点に対応する値を前記測定媒体によって読み
取る読取手段とから構成されることを特徴とする計測装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13659694A JPH07318311A (ja) | 1994-05-26 | 1994-05-26 | 計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13659694A JPH07318311A (ja) | 1994-05-26 | 1994-05-26 | 計測装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07318311A true JPH07318311A (ja) | 1995-12-08 |
Family
ID=15179001
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13659694A Pending JPH07318311A (ja) | 1994-05-26 | 1994-05-26 | 計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07318311A (ja) |
-
1994
- 1994-05-26 JP JP13659694A patent/JPH07318311A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20040107 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |