JPH0732578B2 - Ｘ−ｙリニヤモ−タ - Google Patents
Ｘ−ｙリニヤモ−タInfo
- Publication number
- JPH0732578B2 JPH0732578B2 JP60250517A JP25051785A JPH0732578B2 JP H0732578 B2 JPH0732578 B2 JP H0732578B2 JP 60250517 A JP60250517 A JP 60250517A JP 25051785 A JP25051785 A JP 25051785A JP H0732578 B2 JPH0732578 B2 JP H0732578B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- linear motor
- coils
- magnet
- movable table
- axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)
- Linear Motors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は例えばＸ−Ｙテーブル等に使用して好適なＸ−
Ｙリニヤモータに関する。
Ｙリニヤモータに関する。
本発明は例えばＸ−Ｙテーブルに使用して好適なＸ−Ｙ
リニヤモータにおいて、マグネットに対向して４個のコ
イルを２行２列に配すると共にマグネット又は４個のコ
イルを移動し得る様にした支持手段を設けたことによ
り、簡単な構造にすると共に４個のコイルに流す電流の
方向を組み合わせることによってマグネット又は４個の
コイルを平面上所望の位置に移動し得る様にし、小型化
及び応答性の向上を図ることができる様にしたものであ
る。
リニヤモータにおいて、マグネットに対向して４個のコ
イルを２行２列に配すると共にマグネット又は４個のコ
イルを移動し得る様にした支持手段を設けたことによ
り、簡単な構造にすると共に４個のコイルに流す電流の
方向を組み合わせることによってマグネット又は４個の
コイルを平面上所望の位置に移動し得る様にし、小型化
及び応答性の向上を図ることができる様にしたものであ
る。
従来、Ｘ−Ｙテーブルに使用して好適なＸ−Ｙリニヤモ
ータとして第５図に示す如きものが提案されている。
ータとして第５図に示す如きものが提案されている。
この第５図に示すＸ−Ｙリニヤモータは、２個のリニヤ
モータ（１）及び（３）を使用し一方のリニヤモータ
（１）の可動テーブル（２）に他方のリニヤモータ
（３）をその長手方向が一方のリニヤモータ（１）の長
手方向と直交する様に固定することによって構成されて
いる。尚、（４）は他方のリニヤモータ（３）の可動テ
ーブルである。
モータ（１）及び（３）を使用し一方のリニヤモータ
（１）の可動テーブル（２）に他方のリニヤモータ
（３）をその長手方向が一方のリニヤモータ（１）の長
手方向と直交する様に固定することによって構成されて
いる。尚、（４）は他方のリニヤモータ（３）の可動テ
ーブルである。
この場合、一方のリニヤモータ（１）は第６図及び第７
図に示す如く、断面状の筐体（５）と、この筐体
（５）の上面開口（６）に筐体長手方向すなわち第５図
に示す矢印ａ及びｂの方向に可摺動に取付けられた上述
の可動テーブル（２）と、筐体（５）内に設けられたセ
ンタヨーク（７）及びサイドヨーク（８）（９）を有す
るヨーク（10）と、このヨーク（10）のサイドヨーク
（８）（９）に夫々センタヨーク（７）を挟んでＮ極同
志が対向するように配されたマグネット（11）及び（1
2）と、可動テーブル（２）に固定され且つセンタヨー
ク（７）に移動可能に巻装されたコイル（13）を設ける
如くして構成されている。この様に構成された一方のリ
ニヤモータ（１）においては、コイル（13）に例えば時
計方向の電流を流すことによって、所謂フレミングの左
手の法則に従った力Ｆが発生し、コイル（13）に従って
可動テーブル（２）をその力Ｆによって第５図に示す矢
印ａの方向に駆動させることができる。またコイル（1
3）に流す電流方向を反対方向にすることによって第５
図に示す矢印ｂの方向に移動させることができる。また
他方のリニヤモータ（３）においても、一方のリニヤモ
ータ（１）と同様に構成され、その可動テーブル（４）
を矢印ｅ及びｆの方向に移動することができる如くされ
ている。
図に示す如く、断面状の筐体（５）と、この筐体
（５）の上面開口（６）に筐体長手方向すなわち第５図
に示す矢印ａ及びｂの方向に可摺動に取付けられた上述
の可動テーブル（２）と、筐体（５）内に設けられたセ
ンタヨーク（７）及びサイドヨーク（８）（９）を有す
るヨーク（10）と、このヨーク（10）のサイドヨーク
（８）（９）に夫々センタヨーク（７）を挟んでＮ極同
志が対向するように配されたマグネット（11）及び（1
2）と、可動テーブル（２）に固定され且つセンタヨー
ク（７）に移動可能に巻装されたコイル（13）を設ける
如くして構成されている。この様に構成された一方のリ
ニヤモータ（１）においては、コイル（13）に例えば時
計方向の電流を流すことによって、所謂フレミングの左
手の法則に従った力Ｆが発生し、コイル（13）に従って
可動テーブル（２）をその力Ｆによって第５図に示す矢
印ａの方向に駆動させることができる。またコイル（1
3）に流す電流方向を反対方向にすることによって第５
図に示す矢印ｂの方向に移動させることができる。また
他方のリニヤモータ（３）においても、一方のリニヤモ
ータ（１）と同様に構成され、その可動テーブル（４）
を矢印ｅ及びｆの方向に移動することができる如くされ
ている。
この様な一方及び他方のリニヤモータ（１）及び（３）
によって構成された従来のＸ−Ｙリニヤモータにおい
て、Ｘ−Ｙ平面上所望の位置（x,y）に他方のリニヤモ
ータ（３）の可動テーブル（４）の中心を移動させる場
合には、先ず第８図に示す如くＸ−Ｙ平面の原点（0,
0）に一方のリニヤモータ（１）の中心を一致させ一方
のリニヤモータ（１）の可動テーブル（２）の中心がＸ
軸上を矢印ａ及びｂの方向に移動し得る様にする。この
場合、他方のリニヤモータ（３）はその長手方向及び一
方のリニヤモータ（１）の長手方向と直角になる如く一
方のリニヤモータ（１）の可動テーブル（２）に固定さ
れているので、この他方のリニヤモータ（３）の可動テ
ーブル（４）をＹ軸に平行な方向すなわち矢印ｅ及びｆ
の方向に移動させることができる。そこで、一方のリニ
ヤモータ（１）の可動テーブル（２）をＸ軸上（x,0）
の位置に移動させると共に他方のリニヤモータ（３）の
可動テーブル（４）をＹ軸と平行に移動させ所望の位置
（x,y）に移動させることができる。
によって構成された従来のＸ−Ｙリニヤモータにおい
て、Ｘ−Ｙ平面上所望の位置（x,y）に他方のリニヤモ
ータ（３）の可動テーブル（４）の中心を移動させる場
合には、先ず第８図に示す如くＸ−Ｙ平面の原点（0,
0）に一方のリニヤモータ（１）の中心を一致させ一方
のリニヤモータ（１）の可動テーブル（２）の中心がＸ
軸上を矢印ａ及びｂの方向に移動し得る様にする。この
場合、他方のリニヤモータ（３）はその長手方向及び一
方のリニヤモータ（１）の長手方向と直角になる如く一
方のリニヤモータ（１）の可動テーブル（２）に固定さ
れているので、この他方のリニヤモータ（３）の可動テ
ーブル（４）をＹ軸に平行な方向すなわち矢印ｅ及びｆ
の方向に移動させることができる。そこで、一方のリニ
ヤモータ（１）の可動テーブル（２）をＸ軸上（x,0）
の位置に移動させると共に他方のリニヤモータ（３）の
可動テーブル（４）をＹ軸と平行に移動させ所望の位置
（x,y）に移動させることができる。
しかしながら、斯る従来のＸ−Ｙリニヤモータにおいて
は、２つのリニヤモータ（１）（３）を用いるため構造
が複雑となり、且つ小型化することができないという不
都合があった。また一方のリニヤモータ（１）で他方の
リニヤモータ（３）を駆動しなければならず、負荷が大
きいため、応答性が無いという不都合があった。
は、２つのリニヤモータ（１）（３）を用いるため構造
が複雑となり、且つ小型化することができないという不
都合があった。また一方のリニヤモータ（１）で他方の
リニヤモータ（３）を駆動しなければならず、負荷が大
きいため、応答性が無いという不都合があった。
本発明は、斯る点に鑑み、簡単な構造にし小型化するこ
とができると共に早い応答性を得ることができる様にし
たＸ−Ｙリニヤモータを提供することを目的とする。
とができると共に早い応答性を得ることができる様にし
たＸ−Ｙリニヤモータを提供することを目的とする。
本発明に依るＸ−Ｙリニヤモータは、第１図及び第２図
に示す如く、マグネット（20）に対向して４個のコイル
（21）（22）（23）（24）を２行２列に配すると共にマ
グネット（20）又は４個のコイル（21）（22）（23）
（24）を移動し得る様にした支持手段（25）（26a）（2
6b）（27a）（27b）（28）を設けたものである。
に示す如く、マグネット（20）に対向して４個のコイル
（21）（22）（23）（24）を２行２列に配すると共にマ
グネット（20）又は４個のコイル（21）（22）（23）
（24）を移動し得る様にした支持手段（25）（26a）（2
6b）（27a）（27b）（28）を設けたものである。
斯る本発明に依れば、マグネット（20）に対向して４個
のコイル（21）（22）（23）（24）が２行２列に配され
ているので、マグネット（20）により磁束は４個のコイ
ル（21）（22）（23）（24）を鎖交する。従って、４個
のコイル（21）（22）（23）（24）に電流を流すことに
よってマグネット（20）及び４個のコイル（21）（22）
（23）（24）に平面方向の推力が生ずるが、この場合、
４個のコイル（21）（22）（23）（24）に流す電流の方
向を変化させることによって推力の方向を変化させるこ
とができる。そして本発明においてはマグネット（20）
又は４個のコイル（21）（22）（23）（24）を移動し得
る様にした支持手段（25）（26a）（26b）（27a）（27
b）（28）が設けられているので、コイル（21）（22）
（23）（24）に所定の電流を流すことによって生ずる推
力でマグネット（20）又は４個のコイル（21）（22）
（23）（24）を平面上所望の位置に移動させることがで
きる。
のコイル（21）（22）（23）（24）が２行２列に配され
ているので、マグネット（20）により磁束は４個のコイ
ル（21）（22）（23）（24）を鎖交する。従って、４個
のコイル（21）（22）（23）（24）に電流を流すことに
よってマグネット（20）及び４個のコイル（21）（22）
（23）（24）に平面方向の推力が生ずるが、この場合、
４個のコイル（21）（22）（23）（24）に流す電流の方
向を変化させることによって推力の方向を変化させるこ
とができる。そして本発明においてはマグネット（20）
又は４個のコイル（21）（22）（23）（24）を移動し得
る様にした支持手段（25）（26a）（26b）（27a）（27
b）（28）が設けられているので、コイル（21）（22）
（23）（24）に所定の電流を流すことによって生ずる推
力でマグネット（20）又は４個のコイル（21）（22）
（23）（24）を平面上所望の位置に移動させることがで
きる。
以下、第１図〜第４図を参照して本発明Ｘ−Ｙリニヤモ
ータの一実施例につき説明しよう。
ータの一実施例につき説明しよう。
この第１図において（25）は鉄製のコイル固定用部材を
示し、このコイル固定用部材（25）上に同一形状の第
１、第２、第３及び第４のヨーク（29）（30）（31）及
び（32）を２行２列になる如く配する。この場合、之等
第１、第２、第３及び第４のヨーク（29）（30）（31）
及び（32）の頭部（29a）（30a）（31a）及び（32a）を
正方形にすると共に胴部（29b）（30b）（31b）及び（3
2b）を円柱形状にする。また、この場合、ヨーク（29）
（30）（31）（32）の頭部（29a）（30a）（31a）（32
a）間で漏れ磁束が生じない様な距離の空隙を設ける如
くする。
示し、このコイル固定用部材（25）上に同一形状の第
１、第２、第３及び第４のヨーク（29）（30）（31）及
び（32）を２行２列になる如く配する。この場合、之等
第１、第２、第３及び第４のヨーク（29）（30）（31）
及び（32）の頭部（29a）（30a）（31a）及び（32a）を
正方形にすると共に胴部（29b）（30b）（31b）及び（3
2b）を円柱形状にする。また、この場合、ヨーク（29）
（30）（31）（32）の頭部（29a）（30a）（31a）（32
a）間で漏れ磁束が生じない様な距離の空隙を設ける如
くする。
また第１、第２、第３及び第４のヨーク（29）（30）
（31）及び（32）の夫々に巻方向及び巻数を同一にした
第１、第２、第３及び第４のコイル（21）（22）（23）
及び（24）を装着する如くする。
（31）及び（32）の夫々に巻方向及び巻数を同一にした
第１、第２、第３及び第４のコイル（21）（22）（23）
及び（24）を装着する如くする。
またコイル固定用部材（25）にガイドローラ用支軸（26
a）（26b）を設け、之等ガイドローラ用支軸（26a）（2
6b）にガイドローラ（27a）（27b）を配し、之等ガイド
ローラ（27a）（27b）が矢印ｇ及びｈの方向に回転する
と共に矢印ｊ及びｋの方向に摺動し得る様にする。
a）（26b）を設け、之等ガイドローラ用支軸（26a）（2
6b）にガイドローラ（27a）（27b）を配し、之等ガイド
ローラ（27a）（27b）が矢印ｇ及びｈの方向に回転する
と共に矢印ｊ及びｋの方向に摺動し得る様にする。
またガイドローラ（27a）（27b）上に鉄製の可動テーブ
ル（28）を配し、この可動テーブル（28）の下面中央部
に厚み方向にＮ極及びＳ極が着磁され且つ一辺の長さｌ
がヨーク（29）（30）（31）（32）の中心間距離ｔより
も大きい正方形の板状マグネット（20）をヨーク（29）
（30）（31）（32）に対向する側がＮ極となる様に固定
する。この場合、板状マグネット（20）とヨーク（29）
（30）（31）（32）との間隙をなるべく狭くして、板状
マグネット（20）が移動した場合においても、この間隙
における板状マグネット（20）による磁束密度Ｂが変化
しないものとみなせる様にする。
ル（28）を配し、この可動テーブル（28）の下面中央部
に厚み方向にＮ極及びＳ極が着磁され且つ一辺の長さｌ
がヨーク（29）（30）（31）（32）の中心間距離ｔより
も大きい正方形の板状マグネット（20）をヨーク（29）
（30）（31）（32）に対向する側がＮ極となる様に固定
する。この場合、板状マグネット（20）とヨーク（29）
（30）（31）（32）との間隙をなるべく狭くして、板状
マグネット（20）が移動した場合においても、この間隙
における板状マグネット（20）による磁束密度Ｂが変化
しないものとみなせる様にする。
この様に構成された本例のＸ−Ｙリニヤモータにおいて
は、第２図に示す如く、板状マグネット（20）のＮ極か
らヨーク（29）（30）（31）（32）、コイル固定用部材
（25）及び可動テーブル（28）を通り、板状マグネット
（20）のＳ極に戻る磁束のループが形成される。
は、第２図に示す如く、板状マグネット（20）のＮ極か
らヨーク（29）（30）（31）（32）、コイル固定用部材
（25）及び可動テーブル（28）を通り、板状マグネット
（20）のＳ極に戻る磁束のループが形成される。
そこで本例において第３図に示す如くＸ軸及びＹ軸で表
示されるＸ−Ｙ平面を設定し、板状マグネット（20）の
中心点ＰがこのＸ−Ｙ平面上（x,y）の位置にある場合
の夫々のヨーク（29）（30）（31）及び（32）を通過す
る夫々の磁束φ1,φ2,φ３及びφ４を板状マグネット
（20）とヨーク（29）（30）（31）（32）との空隙にお
ける磁束密度をＢとして求めると、 となる。
示されるＸ−Ｙ平面を設定し、板状マグネット（20）の
中心点ＰがこのＸ−Ｙ平面上（x,y）の位置にある場合
の夫々のヨーク（29）（30）（31）及び（32）を通過す
る夫々の磁束φ1,φ2,φ３及びφ４を板状マグネット
（20）とヨーク（29）（30）（31）（32）との空隙にお
ける磁束密度をＢとして求めると、 となる。
そこで、之等夫々のヨーク（29）（30）（31）及び（3
2）を通過する磁束φ1,φ2,φ３及びφ４のx,yに対する
変化量 を求めると、 となる。
2）を通過する磁束φ1,φ2,φ３及びφ４のx,yに対する
変化量 を求めると、 となる。
この様に夫々のヨーク（29）（30）（31）及び（32）を
通過する磁束φ1,φ2,φ３及びφ４にｘ方向及びｙ方向
の勾配 があるので、夫々のコイル（21）（22）（23）及び（2
4）に電流i1,i2,i3,i4を流すと、板状マグネット（20）
は夫々のコイル（21）（22）（23）及び（24）から次式
に示す如きＸ軸方向及びＹ軸方向の推力F1x,F1y,F2x,F2
y,F3x,F3y,F4x,F4yを受ける。尚、次式においてＮは夫
々のコイル（21）（22）（23）及び（24）の巻数であ
る。
通過する磁束φ1,φ2,φ３及びφ４にｘ方向及びｙ方向
の勾配 があるので、夫々のコイル（21）（22）（23）及び（2
4）に電流i1,i2,i3,i4を流すと、板状マグネット（20）
は夫々のコイル（21）（22）（23）及び（24）から次式
に示す如きＸ軸方向及びＹ軸方向の推力F1x,F1y,F2x,F2
y,F3x,F3y,F4x,F4yを受ける。尚、次式においてＮは夫
々のコイル（21）（22）（23）及び（24）の巻数であ
る。
ここで板状マグネット（25）が夫々のコイル（21）（2
2）（23）（24）から受けるＸ軸方向の推力の総和Fx及
びＹ軸方向の推力の総和Fyを求めると、 となる。
2）（23）（24）から受けるＸ軸方向の推力の総和Fx及
びＹ軸方向の推力の総和Fyを求めると、 となる。
そこで夫々のコイル（21）（22）（23）（24）に流す電
流i1,i2,i3,i4の絶対値を等しく、即ち|i1|＝|i2|＝|i3
|＝|i4|＝ｉ〔Ａ〕とし、第３図において電流を時計方
向に流す場合を正方向と、反時計方向に流す場合を負方
向と設定し、i1,i2,i3,i4の電流方向を夫々変化させた
場合における推力Ｆの大きさ及びその方向を求めてみ
る。
流i1,i2,i3,i4の絶対値を等しく、即ち|i1|＝|i2|＝|i3
|＝|i4|＝ｉ〔Ａ〕とし、第３図において電流を時計方
向に流す場合を正方向と、反時計方向に流す場合を負方
向と設定し、i1,i2,i3,i4の電流方向を夫々変化させた
場合における推力Ｆの大きさ及びその方向を求めてみ
る。
先ず、i1＝−i,i2＝i,i3＝−i,i4＝ｉとした場合には
（１）式及び（２）式は となり、板状マグネット（20）はＸ軸に平行な正の推力
を受けるのみであるから、板状マグネット（20）はＸ軸
に平行な正の方向に移動する。
（１）式及び（２）式は となり、板状マグネット（20）はＸ軸に平行な正の推力
を受けるのみであるから、板状マグネット（20）はＸ軸
に平行な正の方向に移動する。
またi1＝i,i2＝−i,i3＝i,i4＝−ｉとした場合には
（１）式及び（２）式は となり、板状マグネット（20）はＸ軸に平行な負の推力
を受けるのみであるから、板状マグネット（20）はＸ軸
に平行な負の方向に移動する。
（１）式及び（２）式は となり、板状マグネット（20）はＸ軸に平行な負の推力
を受けるのみであるから、板状マグネット（20）はＸ軸
に平行な負の方向に移動する。
またi1＝i,i2＝i,i3＝−i,i4＝−ｉとした場合には
（１）式及び（２）式は となり、板状マグネット（20）はＹ軸に平行な正の推力
を受けるのみであるから、板状マグネット（20）はＹ軸
に平行な正の方向に移動する。
（１）式及び（２）式は となり、板状マグネット（20）はＹ軸に平行な正の推力
を受けるのみであるから、板状マグネット（20）はＹ軸
に平行な正の方向に移動する。
またi1＝−i,i2＝−i,i3＝i,i4＝ｉとした場合には、
（１）式及び（２）式は となり、板状マグネット（20）はＹ軸に平行な負の推力
を受けるのみであるから、板状マグネット（20）はＹ軸
に平行な負の方向に移動する。
（１）式及び（２）式は となり、板状マグネット（20）はＹ軸に平行な負の推力
を受けるのみであるから、板状マグネット（20）はＹ軸
に平行な負の方向に移動する。
この様にして本例においては、４個のコイル（21）（2
2）（23）（24）に流す電流の方向を組み合わせること
によって、板状マグネット（20）のＸ−Ｙ平面上の位置
に関係なく、この板状マグネット（20）をＸ軸方向及び
Ｙ軸方向に移動させることができるので、Ｘ−Ｙテーブ
ル等に適用することができる。
2）（23）（24）に流す電流の方向を組み合わせること
によって、板状マグネット（20）のＸ−Ｙ平面上の位置
に関係なく、この板状マグネット（20）をＸ軸方向及び
Ｙ軸方向に移動させることができるので、Ｘ−Ｙテーブ
ル等に適用することができる。
尚、第４図に示す図表は、上述したコイル（21）（22）
（23）（24）に流す電流ｉの方向と板状マグネット（2
0）が受ける推力の大きさ及び方向との関係を整理した
ものである。
（23）（24）に流す電流ｉの方向と板状マグネット（2
0）が受ける推力の大きさ及び方向との関係を整理した
ものである。
斯る本実施例に依れば、コイル固定用部材（25）に配し
たヨーク（29）（30）（31）（32）にコイル（21）（2
2）（23）（24）を装着し、可動テーブル（28）に板状
マグネット（20）を配し、コイル（21）（22）（23）
（24）に流す電流の方向を組み合わせることによって可
動テーブル（28）を所望の位置に移動させ得るので、極
めて構造の簡単なＸ−Ｙリニヤモータとすることができ
ると共に小型化を図ることができるという利益がある。
たヨーク（29）（30）（31）（32）にコイル（21）（2
2）（23）（24）を装着し、可動テーブル（28）に板状
マグネット（20）を配し、コイル（21）（22）（23）
（24）に流す電流の方向を組み合わせることによって可
動テーブル（28）を所望の位置に移動させ得るので、極
めて構造の簡単なＸ−Ｙリニヤモータとすることができ
ると共に小型化を図ることができるという利益がある。
また第５図従来例に示す如く一方のリニヤモータ（１）
で他方のリニヤモータ（３）を移動させる必要もないの
で、負荷が小さく早い応答性をもって可動テーブル（2
8）を移動させることができるという利益がある。
で他方のリニヤモータ（３）を移動させる必要もないの
で、負荷が小さく早い応答性をもって可動テーブル（2
8）を移動させることができるという利益がある。
尚、上述実施例においてはヨーク（29）（30）（31）
（32）を用いた場合につき述べたが、本発明はこの上述
実施例に限らず、ヨーク（29）（30）（31）（32）を用
いない場合にも適用でき、この場合にも上述同様の作用
効果を得ることができることは容易に理解できよう。
（32）を用いた場合につき述べたが、本発明はこの上述
実施例に限らず、ヨーク（29）（30）（31）（32）を用
いない場合にも適用でき、この場合にも上述同様の作用
効果を得ることができることは容易に理解できよう。
また本例においては、可動テーブル（28）に板状マグネ
ット（20）を配し、コイル固定用部材（25）にコイル
（21）（22）（23）（24）を配した場合につき述べた
が、この代りに、可動テーブル（28）にコイル（21）
（22）（23）（24）を配し、コイル固定用部材（25）に
板状マグネット（20）を配することもでき、この場合に
も上述同様の作用効果を得ることができることは容易に
理解できよう。
ット（20）を配し、コイル固定用部材（25）にコイル
（21）（22）（23）（24）を配した場合につき述べた
が、この代りに、可動テーブル（28）にコイル（21）
（22）（23）（24）を配し、コイル固定用部材（25）に
板状マグネット（20）を配することもでき、この場合に
も上述同様の作用効果を得ることができることは容易に
理解できよう。
更に本発明は上述実施例に限らず、本発明の要旨を逸脱
することなくその他種々の構成が取り得ることは勿論で
ある。
することなくその他種々の構成が取り得ることは勿論で
ある。
本発明に依れば、マグネットに対向して４個のコイルを
２行２列に配すると共にマグネット又は４個のコイルを
移動し得る様にした支持手段を設け、４個のコイルに流
す電流の方向を組み合わせることによってマグネット又
は４個のコイルが平面上所望の位置に移動する様にされ
ているので、構造を簡単にし、小型化を図ることができ
ると共に応答性を向上させることができるという利益が
ある。
２行２列に配すると共にマグネット又は４個のコイルを
移動し得る様にした支持手段を設け、４個のコイルに流
す電流の方向を組み合わせることによってマグネット又
は４個のコイルが平面上所望の位置に移動する様にされ
ているので、構造を簡単にし、小型化を図ることができ
ると共に応答性を向上させることができるという利益が
ある。
第１図は本発明Ｘ−Ｙリニヤモータに一実施例を示す斜
視図、第２図は第１図のＡ−Ａ′線断面図、第３図及び
第４図は本発明の説明に供する線図、第５図は従来のＸ
−Ｙリニヤモータを示す斜視図、第６図は第５図のＢ−
Ｂ′線断面図、第７図は第６図のＣ−Ｃ′線断面図、第
８図は第５図例の説明に供する線図である。 （20）は板状マグネット、（21）（22）（23）及び（2
4）は夫々コイル、（25）はコイル固定用部材、（26a）
及び（26b）は夫々ガイドローラ用支軸、（27a）及び
（27b）は夫々ガイドローラ、（28）は可動テーブル、
（29）（30）（31）及び（32）は夫々ヨークである。
視図、第２図は第１図のＡ−Ａ′線断面図、第３図及び
第４図は本発明の説明に供する線図、第５図は従来のＸ
−Ｙリニヤモータを示す斜視図、第６図は第５図のＢ−
Ｂ′線断面図、第７図は第６図のＣ−Ｃ′線断面図、第
８図は第５図例の説明に供する線図である。 （20）は板状マグネット、（21）（22）（23）及び（2
4）は夫々コイル、（25）はコイル固定用部材、（26a）
及び（26b）は夫々ガイドローラ用支軸、（27a）及び
（27b）は夫々ガイドローラ、（28）は可動テーブル、
（29）（30）（31）及び（32）は夫々ヨークである。
Claims (1)
- 【請求項１】１個のマグネットに対向してヨークに巻回
された４個のコイルを１平面に沿って２列２行に配列す
ることによって構成された４個の磁気閉回路と、上記１
個のマグネット又は上記４個の磁気閉回路を上記１平面
に平行に移動し得るように支持する支持手段と、を有す
るＸ−Ｙリニヤモータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60250517A JPH0732578B2 (ja) | 1985-11-08 | 1985-11-08 | Ｘ−ｙリニヤモ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60250517A JPH0732578B2 (ja) | 1985-11-08 | 1985-11-08 | Ｘ−ｙリニヤモ−タ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62110469A JPS62110469A (ja) | 1987-05-21 |
| JPH0732578B2 true JPH0732578B2 (ja) | 1995-04-10 |
Family
ID=17209065
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60250517A Expired - Fee Related JPH0732578B2 (ja) | 1985-11-08 | 1985-11-08 | Ｘ−ｙリニヤモ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0732578B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011072184A (ja) * | 2009-09-22 | 2011-04-07 | Asml Netherlands Bv | アクチュエータ、位置決めシステム、およびリソグラフィ装置 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008271742A (ja) * | 2007-04-24 | 2008-11-06 | Sanyo Electric Co Ltd | 振動装置および振動装置を含む携帯電話機 |
| WO2016114383A1 (ja) * | 2015-01-16 | 2016-07-21 | 日本電産コパル株式会社 | リニア振動モータ |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5499907A (en) * | 1978-01-25 | 1979-08-07 | Hitachi Ltd | Dc servomotor for biaxial control |
| DD146525B1 (de) * | 1979-10-17 | 1982-07-28 | Furchert Hans Juergen | Zweikoordinatenschrittmotor |
-
1985
- 1985-11-08 JP JP60250517A patent/JPH0732578B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011072184A (ja) * | 2009-09-22 | 2011-04-07 | Asml Netherlands Bv | アクチュエータ、位置決めシステム、およびリソグラフィ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62110469A (ja) | 1987-05-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5240543B2 (ja) | 可動コイル型リニアモータの組立方法 | |
| JP5194472B2 (ja) | リニアモータおよびそれを備えた工具移動装置 | |
| JP5387570B2 (ja) | 多自由度アクチュエータおよびステージ装置 | |
| EP2390991A1 (en) | Moving member and linear motor | |
| JPH10174418A (ja) | リニアモータ | |
| JPH07131966A (ja) | ２次元リニアモータ | |
| RU2037944C1 (ru) | Линейный двигатель и позицирующее устройство, содержащее по меньшей мере один линейный двигатель | |
| JP2003333823A (ja) | ボイスコイル形リニアモータ | |
| US7482716B2 (en) | Linear motor with claw-pole armature units | |
| JPH02246762A (ja) | リニアモータ | |
| JPS62110469A (ja) | Ｘ−ｙリニヤモ−タ | |
| JPS6055852A (ja) | 有極形リニアパルスモ−タ | |
| JPH0116384Y2 (ja) | ||
| JP2010246334A (ja) | 多自由度アクチュエータ | |
| JPH05168219A (ja) | リニアモータ | |
| JP3296890B2 (ja) | 有極リニヤアクチュエータ | |
| JP3268101B2 (ja) | 位置決め装置 | |
| JP3159336B2 (ja) | サーフェースパルスモータ | |
| JPS62262648A (ja) | 永久磁石形サ−フエイスパルスモ−タ | |
| JP2024006584A (ja) | リニアモータ | |
| JPS626863Y2 (ja) | ||
| JPH0972975A (ja) | Ｘｙ駆動ステージ | |
| JP6299392B2 (ja) | テーブル装置 | |
| JP2016019315A (ja) | リニアモータ、及びそれを用いた駆動システム | |
| JPS6110961A (ja) | 可動コイル型リニア直流モ−タ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |