JPH07326041A - Magnetic recording medium and manufacturing method thereof - Google Patents
Magnetic recording medium and manufacturing method thereofInfo
- Publication number
- JPH07326041A JPH07326041A JP11799494A JP11799494A JPH07326041A JP H07326041 A JPH07326041 A JP H07326041A JP 11799494 A JP11799494 A JP 11799494A JP 11799494 A JP11799494 A JP 11799494A JP H07326041 A JPH07326041 A JP H07326041A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lubricant layer
- lubricant
- recording medium
- film
- protective film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Paints Or Removers (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 広範囲な使用環境下においても潤滑機能に優
れ、CSS耐久性の経時的劣化が少ない磁気記録媒体及
びその製造方法を提供すること。
【構成】 基板と、該基板上に設けられた記録膜と、該
記録膜上に設けられた保護膜と、該保護膜上に設けられ
た潤滑剤層とを有し、上記潤滑剤層は、上記保護膜上に
設けられた吸着潤滑剤層と、該吸着潤滑剤層上に設けら
れたフリー潤滑剤層とからなり、上記吸着潤滑剤層は、
構造単位が、−(Cn F2nO)m −(但し、式中nは
1、2又は3を示し、mは1以上の整数を示す)であり
且つ分子末端又は分子鎖中に官能基を有するフッ素化合
物により形成されており、上記フリー潤滑剤層は、下記
〔化1〕の一般式〔1〕で表される化合物、一般式
〔2〕で表される化合物及び一般式〔3〕で表される化
合物からなる群より選択されるパーフルオロアルキルポ
リエーテル系潤滑剤により形成されている磁気記録媒
体。
【化1】
(57) [Summary] [PROBLEMS] To provide a magnetic recording medium having an excellent lubricating function even in a wide range of use environments and having little deterioration in CSS durability over time, and a manufacturing method thereof. A substrate, a recording film provided on the substrate, a protective film provided on the recording film, and a lubricant layer provided on the protective film, wherein the lubricant layer is An adsorption lubricant layer provided on the protective film and a free lubricant layer provided on the adsorption lubricant layer, wherein the adsorption lubricant layer is
Structural unit, - (C n F 2n O ) m - ( where, n in the formula represents 1, 2 or 3, m is 1 or more an integer), and and a molecular end or a molecular chain functional groups in the And the free lubricant layer is formed of a compound represented by the general formula [1], a compound represented by the general formula [2] and a general formula [3]. A magnetic recording medium formed of a perfluoroalkylpolyether lubricant selected from the group consisting of compounds represented by: [Chemical 1]
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、CSS耐久性の経時的
劣化が少ない磁気ディスク等の磁気記録媒体及びその製
造方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic recording medium such as a magnetic disk whose CSS durability is less deteriorated with time and a method for manufacturing the same.
【0002】[0002]
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】一般
に、磁気ディスクや磁気テープ等の磁気記録媒体は、基
板の上に磁性層を形成して作成されるものであるが、こ
のような磁気記録媒体においては、記録再生の際にヘッ
ド/磁気記録媒体界面部の摩擦によりトライボロジー特
性や電磁変換特性の劣化が引き起こされるという問題が
ある。2. Description of the Related Art Generally, a magnetic recording medium such as a magnetic disk or a magnetic tape is prepared by forming a magnetic layer on a substrate. In the medium, there is a problem that tribological characteristics and electromagnetic conversion characteristics are deteriorated due to friction at the head / magnetic recording medium interface during recording and reproduction.
【0003】上記問題に対して、磁気記録媒体表面にお
ける磁性層上にパーフルオロアルキルポリエーテル系の
潤滑剤層を設け、ヘッド/磁気記録媒体界面部に耐磨耗
性(潤滑性)を付与する方法が提案されている(米国特
許第3778308号明細書、米国特許第391971
9号明細書)が、上記方法により得られる磁気記録媒体
では、パーフルオロアルキルポリエーテル系の潤滑剤が
飛散により消失してヘッドが磁気記録媒体に吸着され易
くなるため、経時的な耐久性に劣るという問題がある。In order to solve the above problems, a perfluoroalkylpolyether-based lubricant layer is provided on the magnetic layer on the surface of the magnetic recording medium to impart wear resistance (lubricity) to the head / magnetic recording medium interface. A method has been proposed (US Pat. No. 3,778,308, US Pat. No. 3,919,71).
No. 9)), in the magnetic recording medium obtained by the above method, the perfluoroalkylpolyether-based lubricant is lost by scattering and the head is easily adsorbed to the magnetic recording medium, so that the durability with time is improved. There is a problem of being inferior.
【0004】そこで、このような問題を改善するため、
上記のパーフルオロアルキルポリエーテル系の潤滑剤の
分子末端にヒドロキシル基、カルボキシル基、ピペロニ
ル基等の官能基を導入した潤滑剤を用い、潤滑剤分子と
保護膜表面との結合力を強める方法(米国特許第426
8556号明細書、米国特許第4267238号明細
書、特公昭60−10368号公報)が提案されてい
る。このような潤滑剤を用いて形成された潤滑剤層は、
フッ素系の溶媒による洗浄により洗い落とされない様な
強さでディスク表面に結合した潤滑剤分子(以下、「吸
着潤滑剤」と称する)と、洗い落とされる程度の強さで
結合した潤滑剤分子(以下、「フリー潤滑剤」と称す
る)とよりなることが知られている。Therefore, in order to improve such a problem,
A method of strengthening the binding force between the lubricant molecule and the protective film surface by using a lubricant having a functional group such as a hydroxyl group, a carboxyl group, or a piperonyl group introduced at the molecular end of the above-mentioned perfluoroalkyl polyether lubricant. US Patent 426
No. 8556, U.S. Pat. No. 4,267,238, and Japanese Patent Publication No. 60-10368) are proposed. The lubricant layer formed using such a lubricant is
Lubricant molecules (hereinafter referred to as "adsorbed lubricant") bound to the disk surface with a strength that prevents them from being washed off by washing with a fluorine-based solvent, and lubricant molecules that are bound to the extent that they are washed off ( Hereinafter referred to as "free lubricant").
【0005】本発明者らが詳細な検討を行ったところ、
磁気記録媒体の耐久性として近年最も要求されているコ
ンタクト・スタート・ストップ(CSS)耐久性は、フ
リー潤滑剤分子の量のみにより支配されることが判明し
た(トライボロジー会議予稿集、名古屋1993−1
1、P.427)。As a result of a detailed study by the present inventors,
It has been found that the contact start / stop (CSS) durability, which has been most required in recent years as the durability of magnetic recording media, is controlled only by the amount of free lubricant molecules (tribology conference proceedings, Nagoya 1993-1).
1, P. 427).
【0006】一方、近年、ノートブックパソコンの普及
やレーザープリンター等へのハードディスクドライブの
搭載等により、該ハードディスクドライブの使用環境も
通常環境下のみならず低温低湿下から高温高湿下までと
広範囲になっており、該ハードディスクドライブに用い
られる磁気記録媒体にも広範囲な使用環境下における良
好なCSS耐久性が要求されている。しかし、従来のハ
ードディスクは、磁気記録媒体として、上述の官能基を
導入した潤滑剤により形成された潤滑剤層を有する磁気
記録媒体を用いているため、周囲の環境からディスク表
面に吸着した水分子等が、フリー潤滑剤分子中の官能基
と結合することによりフリー潤滑剤が吸着潤滑剤層へと
変化して、CSS耐久性が劣化し、使用環境の広範囲化
に対応できないことが判明した。On the other hand, in recent years, due to the widespread use of notebook computers and the installation of hard disk drives in laser printers, etc., the operating environment of the hard disk drives is not only in a normal environment but also in a wide range from low temperature low humidity to high temperature high humidity Therefore, the magnetic recording medium used in the hard disk drive is also required to have good CSS durability under a wide range of usage environments. However, since a conventional hard disk uses a magnetic recording medium having a lubricant layer formed of the above-mentioned functional group-containing lubricant as a magnetic recording medium, water molecules adsorbed on the disk surface from the surrounding environment. It has been found that the free lubricant changes to an adsorbed lubricant layer by binding with a functional group in the molecule of the free lubricant, the CSS durability deteriorates, and it is not possible to cope with the widening of the usage environment.
【0007】従って、本発明の目的は、広範囲な使用環
境下においても潤滑機能に優れ、CSS耐久性の経時的
劣化が少ない磁気記録媒体及びその製造方法を提供する
ことにある。Accordingly, it is an object of the present invention to provide a magnetic recording medium which has an excellent lubricating function even in a wide range of use environments and has little deterioration in CSS durability over time, and a method for producing the same.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上述した
耐久性の劣化を解決すべく鋭意検討を行った結果、上記
潤滑剤層が、上記保護膜上に、分子末端又は分子鎖中に
官能基を有する特定のフッ素化合物を用いて形成した吸
着潤滑剤層と、該吸着潤滑剤層上に、特定のパーフルオ
ロアルキルポリエーテル系潤滑剤を用いて形成したフリ
ー潤滑剤層とからなる磁気記録媒体が上記目的を達成し
うることを知見した。Means for Solving the Problems As a result of intensive studies to solve the above-mentioned deterioration of durability, the present inventors have found that the above-mentioned lubricant layer is formed on the above-mentioned protective film at the molecular end or in the molecular chain. And an adsorbent lubricant layer formed by using a specific fluorine compound having a functional group, and a free lubricant layer formed on the adsorbent lubricant layer by using a specific perfluoroalkylpolyether lubricant It has been found that a magnetic recording medium can achieve the above object.
【0009】本発明は、上記知見に基づいてなされたも
のであり、基板と、該基板上に設けられた記録膜と、該
記録膜上に設けられた保護膜と、該保護膜上に設けられ
た潤滑剤層とを有する磁気記録媒体において、上記潤滑
剤層は、上記保護膜上に設けられた吸着潤滑剤層と、該
吸着潤滑剤層上に設けられたフリー潤滑剤層とからな
り、上記吸着潤滑剤層は、構造単位が、−(Cn F
2nO)m −(但し、式中nは1、2又は3を示し、mは
1以上の整数を示す)であり且つ分子末端又は分子鎖中
に官能基を有するフッ素化合物により形成されており、
上記フリー潤滑剤層は、下記〔化2〕(上記〔化1〕と
同じ)の一般式〔1〕で表される化合物、一般式〔2〕
で表される化合物又は一般式〔3〕で表される化合物か
らなる群より選択されるパーフルオロアルキルポリエー
テル系潤滑剤により形成されている、ことを特徴とする
磁気記録媒体を提供するものである。The present invention has been made on the basis of the above findings, and includes a substrate, a recording film provided on the substrate, a protective film provided on the recording film, and an protective film provided on the protective film. In the magnetic recording medium having a lubricant layer formed on the protective film, the lubricant layer includes an adsorption lubricant layer provided on the protective film and a free lubricant layer provided on the adsorption lubricant layer. The structural unit of the adsorptive lubricant layer is-(C n F
2nO ) m- (wherein n represents 1, 2 or 3 and m represents an integer of 1 or more) and is formed by a fluorine compound having a functional group at the molecular end or in the molecular chain. ,
The free lubricant layer is a compound represented by the following general formula [2] (same as the above [chemical formula 1]) and a general formula [2].
A magnetic recording medium comprising a compound represented by or a perfluoroalkylpolyether lubricant selected from the group consisting of compounds represented by the general formula [3]. is there.
【0010】[0010]
【化2】 [Chemical 2]
【0011】また、本発明は、上記磁気記録媒体の好ま
しい製造方法として、基板上に記録膜を設ける工程と、
該記録膜上に保護膜を設ける工程と、該保護膜に対し
て、上記フッ素化合物を該官能基を介して結合させて該
保護膜上に吸着潤滑剤層を形成する工程と、該吸着潤滑
剤層上に上記パーフルオロアルキルポリエーテル系潤滑
剤を塗布してフリー潤滑剤層を形成する工程とを具備す
ることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法を提供する
ものである。The present invention also provides, as a preferred method for producing the above magnetic recording medium, a step of providing a recording film on a substrate,
A step of providing a protective film on the recording film, a step of forming a adsorptive lubricant layer on the protective film by binding the fluorine compound to the protective film through the functional group, and the adsorptive lubrication And a step of forming the free lubricant layer by applying the above-mentioned perfluoroalkylpolyether-based lubricant on the agent layer.
【0012】以下、本発明の磁気記録媒体について更に
詳細に説明する。The magnetic recording medium of the present invention will be described in more detail below.
【0013】本発明の磁気記録媒体としては、磁気ディ
スク、磁気テープ、光磁気ディスクなどが挙げられる。Examples of the magnetic recording medium of the present invention include a magnetic disk, a magnetic tape and a magneto-optical disk.
【0014】本発明において用いられる基板としては、
例えばアルミニウム合金基板、ガラス基板、炭素基板な
どの非磁性基板、プラスチック基板或いはフィルム等が
挙げられる。上記基板の形状及び厚さ等は、用途に応じ
て通常要求される形状及び厚さを適宜選択することがで
きる。The substrate used in the present invention is
Examples thereof include aluminum alloy substrates, glass substrates, non-magnetic substrates such as carbon substrates, plastic substrates or films. Regarding the shape and thickness of the substrate, the shape and thickness usually required can be appropriately selected according to the application.
【0015】上記アルミニウム合金基板は、表面にニッ
ケル・リンなどをメッキ処理したものを用いても良く、
また、ヘッドの浮上特性を改良したり、磁気異方性を制
御するために、基板を回転させながらダイヤモンド砥粒
や研磨テープを押し当てることにより基板上に同心円上
の微細な溝を形成するテクスチャー加工を施したものを
用いても良い。The aluminum alloy substrate may have a surface plated with nickel, phosphorus or the like,
In addition, in order to improve the flying characteristics of the head and control the magnetic anisotropy, the diamond abrasive grains and polishing tape are pressed against the substrate while rotating it to create a concentric minute groove on the substrate. A processed product may be used.
【0016】また、上記ガラス基板は、強酸などの薬品
により表面をエッチングして微細な凹凸を形成し、ヘッ
ドと接触する磁気記録媒体の面積を減らして摺動時の摩
擦力を減少させたものを用いても良い。Further, the glass substrate is one in which the surface is etched with a chemical such as strong acid to form fine irregularities, and the area of the magnetic recording medium that contacts the head is reduced to reduce the frictional force during sliding. May be used.
【0017】また、特に本発明の磁気記録媒体が磁気デ
ィスクである場合、上記基板上には、該記録膜の磁気特
性を良好なものにするため、記録膜を成膜する前にクロ
ムなどからなる下地膜をスパッタ法などにより成膜して
も良い。Further, particularly when the magnetic recording medium of the present invention is a magnetic disk, in order to improve the magnetic characteristics of the recording film on the above-mentioned substrate, chrome or the like is formed before forming the recording film. The underlying film may be formed by a sputtering method or the like.
【0018】本発明において上記基板上に設けられる記
録膜としては、通常磁気記録媒体の記録膜として用いら
れるものであれば特に制限なく用いられるが、例えば、
Co−NiやCo−Crからなる膜、あるいはCo−N
iやCo−CrにPt、Ta、V、Smなどを少量添加
してなる膜等が挙げられる。上記記録膜の厚さは、好ま
しくは15〜80nmである。In the present invention, the recording film provided on the substrate is not particularly limited as long as it can be used as a recording film of a magnetic recording medium.
A film made of Co-Ni or Co-Cr, or Co-N
Examples thereof include a film formed by adding a small amount of Pt, Ta, V, Sm or the like to i or Co-Cr. The thickness of the recording film is preferably 15 to 80 nm.
【0019】本発明において上記記録膜上に設けられる
保護膜としては、SiO2 等の無機酸化物膜や、カーボ
ン系の膜が挙げられるが、カーボン系の膜が好ましく、
中でも特に、ガラス状炭素を用いて形成されてなるカー
ボン系の膜が好ましい。また、例えば、水素化ホウ素と
アンモニアと水素を原料としたプラズマCVD法によっ
て形成される立方晶窒化ホウ素膜などを用いることも可
能である。上記保護膜の厚さは、好ましくは10〜25
nmである。In the present invention, examples of the protective film provided on the recording film include an inorganic oxide film such as SiO 2 and a carbon-based film, and a carbon-based film is preferable.
Above all, a carbon-based film formed using glassy carbon is particularly preferable. It is also possible to use, for example, a cubic boron nitride film formed by a plasma CVD method using borohydride, ammonia and hydrogen as raw materials. The thickness of the protective film is preferably 10 to 25.
nm.
【0020】本発明において上記保護膜上に設けられる
潤滑剤層は、上記保護膜上に、特定のフッ素化合物によ
り形成された吸着潤滑剤層と、該吸着潤滑剤層上に、特
定のパーフルオロアルキルポリエーテル系潤滑剤により
形成されたフリー潤滑剤層とからなる。ここで、上記吸
着潤滑剤層は、「フロン113」等のフッ素系溶剤で洗
浄して除去されない層であり、上記フリー潤滑剤層は、
上記洗浄により除去される層である。また、上記吸着潤
滑剤層の厚さは、好ましくは3〜10Åであり、また、
上記フリー潤滑剤層の厚さは、好ましくは6〜18Åで
ある。In the present invention, the lubricant layer provided on the protective film includes an adsorbent lubricant layer formed of a specific fluorine compound on the protective film, and a specific perfluoro on the adsorbent lubricant layer. And a free lubricant layer formed of an alkyl polyether lubricant. Here, the adsorbed lubricant layer is a layer which is not removed by washing with a fluorine-based solvent such as “CFC113”, and the free lubricant layer is
This layer is removed by the above washing. The thickness of the adsorption lubricant layer is preferably 3 to 10Å, and
The thickness of the free lubricant layer is preferably 6 to 18Å.
【0021】上記吸着潤滑剤層を形成する上記の特定の
フッ素化合物は、構造単位が、−(Cn F2nO)m −
(但し、式中nは1、2又は3を示し、mは1以上の整
数)であり且つ分子末端又は分子鎖中に官能基を有する
フッ素化合物である。また、上記フッ素化合物の平均分
子量は、数平均分子量で1000〜8000であるのが
好ましい。上記フッ素化合物が有する上記官能基として
は、ヒドロキシル基、カルボニル基、ピペロニル基等が
好ましく挙げられる。[0021] The above specific fluorine compounds to form the adsorbent lubricant layer, a structural unit, - (C n F 2n O ) m -
(However, in the formula, n represents 1, 2 or 3, and m is an integer of 1 or more) and is a fluorine compound having a functional group at the molecular end or in the molecular chain. The average molecular weight of the fluorine compound is preferably 1,000 to 8,000 in terms of number average molecular weight. Preferred examples of the functional group contained in the fluorine compound include a hydroxyl group, a carbonyl group and a piperonyl group.
【0022】上記フッ素化合物の具体例としては、下記
する化合物等が挙げられ、また、商品名「Fomblin ZDO
L」(官能基:-CH2OH)、商品名「Fomblin ZDIAC 」
(官能基:-COOH)、商品名「Fomblin AM2001」(官能
基:下記〔化3〕で表される官能基)(以上モンテカチ
ーニ社製);商品名「Demnum SA 」(官能基:-CH2OH)
、商品名「Demnum SH 」(官能基:-COOH)、商品名「D
emnum SP 」、商品名「DemnumSY 」(以上ダイキン工業
製)等の市販品を用いることもできる。Specific examples of the above-mentioned fluorine compound include the following compounds, and the trade name "Fomblin ZDO
L "(functional group: -CH 2 OH), product name" Fomblin ZDIAC "
(Functional group: -COOH), trade name "Fomblin AM2001" (functional group: functional group represented by the following [Chemical Formula 3]) (above manufactured by Montecatini); trade name "Demnum SA" (functional group: -CH 2 OH)
, Product name "Demnum SH" (functional group: -COOH), product name "D
Commercial products such as "emnum SP" and trade name "Demnum SY" (all manufactured by Daikin Industries, Ltd.) can also be used.
【0023】[0023]
【化3】 [Chemical 3]
【0024】上記フッ素化合物の具体例; HOCH2CF2O−(CF2CF2O)m−(CF2O)m−CF2CH2OH HOOCCF2O −(CF2CF2O)m−(CF2O)m−CF2COOH 下記〔化4〕で表される化合物 F(CF2CF2CF2O)m−CF2CF2CH2OH F(CF2CF2CF2O)m−CF2CF2COOHSpecific examples of the above fluorine compound: HOCH 2 CF 2 O- (CF 2 CF 2 O) m- (CF 2 O) m -CF 2 CH 2 OH HOOCCF 2 O-(CF 2 CF 2 O) m- (CF 2 O) m -CF 2 COOH Compound F (CF 2 CF 2 CF 2 O) m -CF 2 CF 2 CH 2 OH F (CF 2 CF 2 CF 2 O) m −CF 2 CF 2 COOH
【0025】[0025]
【化4】 [Chemical 4]
【0026】上記フリー潤滑剤層を形成する上記の特定
のパーフルオロアルキルポリエーテル系潤滑剤は、上記
〔化2〕の一般式〔1〕で表される化合物、一般式
〔2〕で表される化合物又は一般式〔3〕で表される化
合物からなる群より選択されるパーフルオロアルキルポ
リエーテル系潤滑剤である。ここで、上記一般式
〔1〕、〔2〕又は〔3〕中、a、b、c及びdは、そ
れぞれ上記パーフルオロアルキルポリエーテル系潤滑剤
の数平均分子量が2000〜10000を満たすような
整数である。The above-mentioned specific perfluoroalkylpolyether-based lubricant forming the above-mentioned free lubricant layer is represented by the compound represented by the general formula [1] and the general formula [2] of the above [Chemical formula 2]. Or a perfluoroalkylpolyether lubricant selected from the group consisting of compounds represented by the general formula [3]. Here, in the general formula [1], [2] or [3], a, b, c and d are each such that the number average molecular weight of the perfluoroalkyl polyether lubricant satisfies 2000 to 10,000. It is an integer.
【0027】また、上記パーフルオロアルキルポリエー
テル系潤滑剤としては、下記の市販品を用いることもで
きる。上記一般式〔1〕で表されるパーフルオロアルキ
ルポリエーテル系潤滑剤に対応する市販品;「Krytox」
商品名,デュポン(株)製。上記一般式〔2〕で表され
るパーフルオロアルキルポリエーテル系潤滑剤に対応す
る市販品;「Fomblin Z03 」,「Fomblin Z15 」(いず
れも商品名, モンテカチーニ製)等。上記一般式〔3〕
で表されるパーフルオロアルキルポリエーテル系潤滑剤
に対応する市販品;「Demnum S20」, 「Demnum S65」,
「Demnum S100 」(いずれも商品名, ダイキン工業製)
等。Further, the following commercially available products can be used as the perfluoroalkylpolyether type lubricant. "Krytox", a commercial product corresponding to the perfluoroalkyl polyether lubricant represented by the above general formula [1].
Product name, manufactured by DuPont. Commercial products corresponding to the perfluoroalkylpolyether lubricant represented by the above general formula [2]; "Fomblin Z03", "Fomblin Z15" (both are trade names , manufactured by Montecatini) and the like. The above general formula [3]
Commercially available products corresponding to the perfluoroalkyl polyether lubricants represented by: "Demnum S20", "Demnum S65",
"Demnum S100" (Brand name , manufactured by Daikin Industries)
etc.
【0028】〔作用〕本発明の磁気記録媒体は、潤滑剤
層が、保護膜表面に上記フッ素化合物を該フッ素化合物
の有する官能基を介して結合させて形成した上記吸着潤
滑剤層と、該吸着潤滑剤層上に上記パーフルオロアルキ
ルポリエーテル系潤滑剤を上記フッ素化合物との分子間
相互作用力により吸着させて形成した上記フリー潤滑剤
層とからなるので、フリー潤滑剤層におけるフリー潤滑
剤分子が吸着潤滑剤層に移行することがなく、また上記
フリー潤滑剤分子は、分子間相互作用力により上記吸着
潤滑剤層に吸着されているため使用に伴って該フリー潤
滑剤分子が飛散して消失することがない。従って、本発
明の磁気記録媒体は、経時的な耐久性の低下が生じない
ものである。[Operation] In the magnetic recording medium of the present invention, a lubricant layer is formed by bonding the above-mentioned fluorine compound to the surface of the protective film through a functional group of the fluorine compound, and the above-mentioned adsorption lubricant layer, Since the free lubricant layer is formed by adsorbing the perfluoroalkyl polyether lubricant on the adsorption lubricant layer by the intermolecular interaction force with the fluorine compound, the free lubricant in the free lubricant layer The molecules do not migrate to the adsorptive lubricant layer, and the free lubricant molecules are adsorbed to the adsorptive lubricant layer by the intermolecular interaction force, so that the free lubricant molecules scatter with use. It never disappears. Therefore, the magnetic recording medium of the present invention does not cause deterioration in durability over time.
【0029】次に、本発明の磁気記録媒体の好ましい製
造方法について詳細に説明する。本発明の磁気記録媒体
の好ましい製造方法は、上記基板上に上記記録膜を設け
る工程と、該記録膜上に上記保護膜を設ける工程と、該
保護膜に対して、上記フッ素化合物を上記官能基を介し
て結合させて該保護膜上に上記吸着潤滑剤層を形成する
工程と、該吸着潤滑剤層上に上記パーフルオロアルキル
ポリエーテル系潤滑剤を塗布して上記フリー潤滑剤層を
形成する工程とを、順次行うことにより実施することが
できる。Next, a preferable method for manufacturing the magnetic recording medium of the present invention will be described in detail. A preferred method for producing a magnetic recording medium of the present invention is the step of providing the recording film on the substrate, the step of providing the protective film on the recording film, and the fluorine compound being functionalized on the protective film. Forming a adsorption lubricant layer on the protective film by bonding via a base, and applying the perfluoroalkylpolyether lubricant on the adsorption lubricant layer to form the free lubricant layer. And the step of performing can be carried out sequentially.
【0030】上記記録膜を設ける工程は、通常用いられ
ている、スパッタ法や蒸着法等の乾式メッキ手段、及び
湿式メッキ手段を適宜採用して行うことができる。The step of providing the recording film can be carried out by appropriately adopting a dry plating means such as a sputtering method or a vapor deposition method and a wet plating means which are usually used.
【0031】上記保護膜を設ける工程は、形成する保護
膜の種類によって種々の方法を適宜採用し得るが、例え
ば、カーボン系保護膜を形成する場合には、下記方法
〜等により形成することができる。 方法:ガラス状炭素で構成された対向ターゲットを用
い、導入ガスとして不活性ガスを使用した2mTorr
以下のガス圧でのスパッタリングにより上記記録膜上に
ガラス状炭素の膜を形成する方法。 方法:炭素源としてガラス状炭素を用い、そして3極
直流グロー放電スパッタリング、2極高周波グロー放電
スパッタリングあるいはマグネトロンスパッタリングな
どの手段により上記記録膜上にガラス状炭素の膜を形成
する方法。 方法:真空雰囲気下において炭素電極間に電圧を掛け
て放電を引き起こして発生した炭素原子や炭素イオンを
上記記録膜上に被着させ、グラファイト状炭素やダイモ
ンド状炭素の膜を形成する方法。 方法:グラファイトをターゲットとした、不活性ガス
中又は不活性ガスとメタン等の炭化水素ガスとの混合ガ
ス中でのスパッタリングにより上記記録膜上に炭素系の
膜を形成する方法、 方法:炭化水素ガス、アルコール、アセトンなどの有
機化合物を単独あるいは水素ガス、不活性ガス等と混合
し、プラズマCVDにより上記記録膜上に炭素系の膜を
形成する方法。 方法:有機化合物をイオン化し、これに電圧をかけて
加速し、基板の上記記録膜上に衝突させて炭素系の膜を
形成する方法。In the step of providing the protective film, various methods can be appropriately adopted depending on the kind of the protective film to be formed. For example, in the case of forming a carbon-based protective film, it may be formed by the following methods. it can. Method: 2mTorr using an opposing target composed of glassy carbon and an inert gas as an introduction gas
A method of forming a glassy carbon film on the recording film by sputtering under the following gas pressure. Method: A method in which glassy carbon is used as a carbon source, and a glassy carbon film is formed on the recording film by means such as three-pole direct current glow discharge sputtering, two-pole high-frequency glow discharge sputtering, or magnetron sputtering. Method: A method of forming a graphite-like carbon film or a diamond-like carbon film by applying a voltage between carbon electrodes in a vacuum atmosphere to cause a carbon atom or a carbon ion generated by causing a discharge to adhere to the recording film. Method: A method for forming a carbon-based film on the recording film by sputtering with a target of graphite in an inert gas or a mixed gas of an inert gas and a hydrocarbon gas such as methane, Method: hydrocarbon A method of forming a carbon-based film on the recording film by plasma CVD by mixing an organic compound such as gas, alcohol or acetone alone or with hydrogen gas, an inert gas or the like. Method: A method of forming a carbon-based film by ionizing an organic compound, accelerating it by applying a voltage thereto, and colliding it with the recording film on the substrate.
【0032】また、上記保護膜として上記立方晶窒化ホ
ウ素膜を形成する場合には、例えば水素化ホウ素とアン
モニアと水素とを原料としたプラズマCVD法等によっ
て形成することができる。When the cubic boron nitride film is formed as the protective film, it can be formed, for example, by a plasma CVD method using boron hydride, ammonia and hydrogen as raw materials.
【0033】上記吸着潤滑剤層を形成する工程は、上記
保護膜上に上記フッ素化合物を塗布することにより行う
ことができる。上記塗布は、通常のスピンコート法、デ
ィップコート法、スプレー法等により行うことができ、
この際の温度は、室温で行うことができる。また、上記
塗布終了後、保護膜表面に結合していない未反応のフッ
素化合物分子を除去するための洗浄や、上記の未反応の
フッ素化合物分子を上記保護膜に結合させるための熱処
理等を行うのが好ましい。上記洗浄は、「フロン1,
1,3」(商品名,住友3M製)、「フロリナートPF
5080」(商品名,住友3M製)等のフッ素系溶剤を
用いて、磁気記録媒体の洗浄方法として通常用いられて
いる方法により行うことができる。また、上記熱処理
は、100〜180℃で1〜5時間処理することにより
行うことができる。また、上記塗布終了後に、室温下に
長時間(24〜300時間)放置することによっても、
上記熱処理を行った場合と同様の効果を得ることができ
る。The step of forming the adsorption lubricant layer can be carried out by applying the fluorine compound on the protective film. The above-mentioned application can be carried out by a usual spin coating method, a dip coating method, a spray method or the like,
The temperature at this time can be room temperature. Further, after the coating is completed, cleaning for removing unreacted fluorine compound molecules not bound to the protective film surface, heat treatment for binding the unreacted fluorine compound molecules to the protective film, and the like are performed. Is preferred. The above cleaning is performed using "Flon 1,
1, 3 "(trade name, made by Sumitomo 3M)," Fluorinert PF
5080 "(trade name, manufactured by Sumitomo 3M) or the like, and can be performed by a method usually used as a method for cleaning a magnetic recording medium. Moreover, the said heat processing can be performed by processing at 100-180 degreeC for 1 to 5 hours. In addition, by leaving at room temperature for a long time (24 to 300 hours) after the above application,
It is possible to obtain the same effect as when the above heat treatment is performed.
【0034】また、上記フリー潤滑剤層を形成する工程
は、上記パーフルオロアルキルポリエーテル系潤滑剤を
そのまま又は「フロリナートPF5080」等の溶剤に
溶解した溶液を塗布することによって行うことができ
る。上記塗布は、通常のスピンコート法、ディップコー
ト法、スプレー法等により行うことができ、この際の温
度は、室温で行うことができる。The step of forming the free lubricant layer can be carried out by applying the perfluoroalkyl polyether lubricant as it is or by dissolving a solution such as "Fluorinert PF5080" in a solvent. The above-mentioned application can be carried out by a usual spin coating method, a dip coating method, a spraying method or the like, and the temperature at this time can be room temperature.
【0035】[0035]
【実施例】以下、実施例を挙げて本発明を更に具体的に
説明するが本発明はこれらに限定されるものではない。The present invention will be described in more detail below with reference to examples, but the present invention is not limited thereto.
【0036】実施例1 Ni−Pメッキされたアルミニウム基板を研磨しテクス
チャー処理して中心線平均表面粗さRaが4nmである
基板を得た。得られた基板上に、DCマグネトロンスパ
ッタリングによりArガス雰囲気中で50nm厚さのC
r下地膜を形成し、次いで該下地層上に40nm厚さの
CoCrTa系磁性膜し、記録膜を設けた。Example 1 A Ni-P plated aluminum substrate was polished and textured to obtain a substrate having a center line average surface roughness Ra of 4 nm. On the obtained substrate, DC magnetron sputtering was carried out in an Ar gas atmosphere with a thickness of 50 nm of C.
An underlayer film was formed, and then a 40 nm thick CoCrTa-based magnetic film was formed on the underlayer to provide a recording film.
【0037】次いで、対向ターゲット型のスパッタ装置
を用いたスパッタ法にろい上記記録膜上に保護膜を設け
た。この際、ターゲットとしてはガラス状炭素で構成さ
れたターゲットを用い、またガス圧は、スパッタ装置の
室内を排気した後、Arガスを導入し、2mTorrの
ガス圧としてスパッタリングを行った。得られた保護膜
(ガラス状炭素膜)の膜厚は、150Åであった。Then, a protective film was provided on the above recording film by a sputtering method using a facing target type sputtering apparatus. At this time, a target made of glassy carbon was used as the target, and the gas pressure was such that after exhausting the chamber of the sputtering apparatus, Ar gas was introduced and the gas pressure was 2 mTorr for sputtering. The thickness of the obtained protective film (glassy carbon film) was 150Å.
【0038】次に、ディップコーティング法と、フッ素
系溶媒(「フロリナートPF5080」)による洗浄を
組み合わせることにより、末端に官能基(ピペロニル
基)を有する「Fomblin AM2001」(商品名,モンテカチ
ーニ製、数平均分子量2600)を保護膜上に塗布して
結合させ、膜厚5Åの吸着潤滑剤層を形成した。更に、
数平均分子量4000の官能基を分子中に有さない「Fo
mblin Z03 」(商品名,モンテカチーニ製)をディップ
コーティング法で上記吸着潤滑剤層上に塗布し、膜厚1
5Åのフリー潤滑剤層を形成して、本発明の磁気記録媒
体としての磁気ディスクを得た。尚、上記フリー潤滑剤
層の厚さ及び上記吸着潤滑剤層の厚さは、X線光電子分
光法(XPS)により求めたものである。Next, by combining the dip coating method and the washing with a fluorine-based solvent ("Fluorinate PF5080"), "Fomblin AM2001" (trade name, manufactured by Montecatini, number average) having a functional group (piperonyl group) at the end is combined. A molecular weight of 2600) was applied on the protective film and bonded to form an adsorption lubricant layer having a film thickness of 5Å. Furthermore,
"Fo which does not have functional group of number average molecular weight 4000 in the molecule"
mblin Z03 "(trade name, made by Montecatini) is applied on the above-mentioned adsorption lubricant layer by dip coating method to obtain a film thickness of 1
A 5Å free lubricant layer was formed to obtain a magnetic disk as a magnetic recording medium of the present invention. The thickness of the free lubricant layer and the thickness of the adsorption lubricant layer are obtained by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS).
【0039】実施例2 実施例1と同様にして保護膜まで形成したディスクに、
ディップコーティング法と熱処理(120℃、1時間)
とを組み合わせることにより、末端に官能基を有する
「Fomblin AM2001」(商品名,モンテカチーニ製、数平
均分子量2600)を保護膜上に塗布し結合させて、膜
厚10Åの吸着潤滑剤層を形成した。更に、数平均分子
量4000の官能基を分子中に有さない「Fomblin Z03
」(商品名,モンテカチーニ製)をディップコーティ
ング法で上記吸着潤滑剤層上に塗布し、膜厚15Åのフ
リー潤滑剤層を形成して、本発明の磁気記録媒体として
の磁気ディスクを得た。Example 2 A disk having a protective film formed in the same manner as in Example 1 was
Dip coating method and heat treatment (120 ° C, 1 hour)
By combining and, "Fomblin AM2001" (trade name, made by Montecatini, number average molecular weight 2600) having a functional group at the end was applied onto the protective film and bonded to form an adsorption lubricant layer with a film thickness of 10 Å. . Furthermore, "Fomblin Z03" which does not have a functional group with a number average molecular weight of 4000 in the molecule
(Trade name, manufactured by Montecatini) was applied on the adsorption lubricant layer by a dip coating method to form a free lubricant layer having a film thickness of 15Å to obtain a magnetic disk as a magnetic recording medium of the present invention.
【0040】実施例3 実施例1と同様にして保護膜まで形成したディスクに、
ディップコーティング法とフッ素系溶媒(「フロン11
3」)による洗浄とを組み合わせることにより、末端に
官能基を有する「Demnum SA 」(官能基;-CH2OH)(商
品名,ダイキン工業製、数平均分子量3500)を保護
膜上に塗布し結合させて、膜厚6Åの吸着潤滑剤層を形
成した。更に、数平均分子量4500の官能基を分子中
に有さない「Demnum S65」(商品名,ダイキン工業製)
をディップコーティング法で上記吸着潤滑剤層上に塗布
し、膜厚15Åのフリー潤滑剤層を形成して、本発明の
磁気記録媒体としての磁気ディスクを得た。Example 3 A disk having a protective film formed in the same manner as in Example 1 was
Dip coating method and fluorinated solvent (“CFC 11
3)) and combined with washing with “Demnum SA” (functional group; —CH 2 OH) having a functional group at the end (trade name, manufactured by Daikin Industries, Ltd., number average molecular weight 3500) is applied on the protective film. The layers were combined to form an adsorption lubricant layer having a film thickness of 6Å. Furthermore, "Demnum S65" (trade name, manufactured by Daikin Industries, Ltd.) does not have a functional group with a number average molecular weight of 4,500 in the molecule.
Was coated on the above-mentioned adsorption lubricant layer by a dip coating method to form a free lubricant layer having a film thickness of 15Å to obtain a magnetic disk as a magnetic recording medium of the present invention.
【0041】比較例1 Ni−Pメッキされたアルミニウム基板を研磨しテクス
チャー処理して中心線平均表面粗さRaが4nmである
基板を得た。得られた基板上に、DCマグネトロンスパ
ッタリングによりArガス雰囲気中で50nm厚さのC
r下地膜を形成し、次いで該下地層上に40nm厚さの
CoCrTa系磁性膜を形成し記録膜を設けた。次い
で、対向ターゲット型のスパッタ装置を用いたスパッタ
法により上記記録膜上に保護膜を設けた。この際、ター
ゲットとしてはガラス状炭素で構成されたターゲットも
のを用い、また、ガス圧はスパッタ装置の室内を排気し
た後Arガスを導入し、2mTorrとしてスパッタリ
ングを行った。得られた保護膜(ガラス状炭素膜)の膜
厚は、150Åであった。次に、数平均分子量4000
の分子中に官能基を有さない「Fomblin Z03 」(商品
名,モンテカチーニ社製)をディップコーティング法で
15Åの厚さに相当するよう塗布して、上記保護膜上に
潤滑剤層が形成された磁気記録媒体としての磁気ディス
クを得た。Comparative Example 1 A Ni-P plated aluminum substrate was polished and textured to obtain a substrate having a center line average surface roughness Ra of 4 nm. On the obtained substrate, DC magnetron sputtering was carried out in an Ar gas atmosphere with a thickness of 50 nm of C.
An underlayer film was formed, and then a 40 nm thick CoCrTa-based magnetic film was formed on the underlayer to form a recording film. Then, a protective film was provided on the recording film by a sputtering method using a facing target type sputtering device. At this time, a target made of glassy carbon was used as the target, and the gas pressure was set to 2 mTorr by introducing Ar gas after exhausting the chamber of the sputtering apparatus and performing sputtering. The thickness of the obtained protective film (glassy carbon film) was 150Å. Next, the number average molecular weight 4000
"Fomblin Z03" (trade name, manufactured by Montecatini Co.), which has no functional group in the molecule, was applied by the dip coating method to a thickness of 15Å to form a lubricant layer on the protective film. A magnetic disk as a magnetic recording medium was obtained.
【0042】比較例2 比較例1と同様にして、保護膜まで形成したディスク
に、数平均分子量4000の分子中に官能基を有さない
「Fomblin Z03 」(商品名,モンテカチーニ社製)をデ
ィップコーティング法で30Åの厚さに相当するよう塗
布して、上記保護膜上に潤滑剤層が形成された磁気記録
媒体としての磁気ディスクを得た。Comparative Example 2 In the same manner as in Comparative Example 1, "Fomblin Z03" (trade name, manufactured by Montecatini Co.) having no functional group in the molecule having a number average molecular weight of 4000 was dipped on a disk having a protective film formed thereon. The coating method was applied to a thickness of 30Å to obtain a magnetic disk as a magnetic recording medium having a lubricant layer formed on the protective film.
【0043】比較例3 比較例1と同様にして、保護膜まで形成したディスク、
数平均分子量2500の末端に官能基を有する「Fombli
n AM2001」(商品名,モンテカチーニ社製)をディップ
コーティング法で40Åの厚さに相当するよう塗布し
て、上記保護膜上に潤滑剤層が形成された磁気記録媒体
としての磁気ディスクを得た。Comparative Example 3 A disk having a protective film formed in the same manner as in Comparative Example 1,
"Fombli having a functional group at the end with a number average molecular weight of 2500"
n AM2001 ”(trade name, manufactured by Montecatini) was applied by a dip coating method so as to have a thickness of 40 Å to obtain a magnetic disk as a magnetic recording medium having a lubricant layer formed on the protective film. .
【0044】試験例 実施例1〜3及び比較例1〜3で得られた磁気ディスク
について、下記試験を行い性能を評価した。 〔試験〕上記各例で得られた磁気ディスクについて、C
SSテスト〔スライダー材にAl2 O3 とTiCとの焼
結体からなる薄膜ヘッド(米国GLIDE/WRITE
社製)を用い、ヘッド荷重6g、ヘッド浮上量0.1μ
m、3600rpmで15秒稼働−15秒停止サイク
ル〕を所定回数行い、該所定回数終了後の耐CSS特性
(摩擦係数及び吸着の有無)をディスク摩擦・磨耗試験
機「PT101」(商品名,パティーテック社製)で調
べた。また、温度30℃/湿度80%の環境下で1ヶ月
放置した時の吸着潤滑剤層の膜厚の変化を調べた。以上
の結果をそれぞれ〔表1〕に示す。Test Examples The magnetic disks obtained in Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 3 were subjected to the following tests to evaluate the performance. [Test] For the magnetic disks obtained in the above examples, C
SS test [Thin film head made of sintered body of Al 2 O 3 and TiC for slider material (US GLIDE / WRITE
Head load 6g, head flying height 0.1μ
m, 3600 rpm for 15 seconds-stop for 15 seconds] a predetermined number of times, and the CSS resistance characteristics (friction coefficient and presence / absence of adsorption) after the predetermined number of times are determined by a disc friction / wear tester "PT101" (trade name, Patty). (Manufactured by Tech Co.). Further, the change in the film thickness of the adsorbent lubricant layer when left for 1 month in an environment of temperature 30 ° C./humidity 80% was examined. The above results are shown in [Table 1].
【0045】[0045]
【表1】 [Table 1]
【0046】〔表1〕に示す結果から明らかなように、
実施例1〜3の磁気ディスク(本発明の磁気記録媒体)
は耐久性が著しく富んでいるのに対して、官能基を有さ
ないパーフルオロアルキルポリエーテル潤滑剤のみで潤
滑剤層を形成したに過ぎない比較例2の磁気ディスクで
はヘッドの吸着が生じ、また、官能基を有するパーフル
オロアルキルポリエーテル潤滑剤のみで潤滑剤層を形成
しただけの比較例3では吸着潤滑剤厚が変化するという
問題が生じる。As is clear from the results shown in [Table 1],
Magnetic disks of Examples 1 to 3 (magnetic recording medium of the present invention)
Has extremely high durability, whereas the magnetic disk of Comparative Example 2 in which the lubricant layer was formed only with the perfluoroalkyl polyether lubricant having no functional group caused head adsorption. Further, in Comparative Example 3 in which the lubricant layer is formed only with the perfluoroalkyl polyether lubricant having the functional group, there is a problem that the thickness of the adsorbed lubricant changes.
【0047】[0047]
【発明の効果】本発明の磁気記録媒体は、広範囲な使用
環境下においても潤滑機能に優れ、CSS耐久性の経時
的劣化が少ないものである。更に詳細には、本発明の磁
気記録媒体は、分子中に極性基を有しないパーフルオロ
アルキルポリエーテル系潤滑剤からなるフリー潤滑剤層
と保護膜との間に、該パーフルオロアルキルポリエーテ
ル系潤滑剤の分子骨格と類似の構造を有するフッ素化合
物からなる吸着潤滑剤層が介在しているので、潤滑剤層
と保護膜表面との相互作用力が強く耐久性に富み、また
上述の構造を採用しているので、吸着潤滑剤層の厚みが
経時的に変化せず安定した耐久性が得られるものであ
り、しかも分子中に極性基を持たないパーフルオロアル
キルポリエーテル潤滑剤により磁気記録媒体の最外表面
に位置するフリー潤滑剤層を形成しているので、使用環
境からの水分子の磁気記録媒体に対する吸着を抑制で
き、ヘッド吸着が発生しづらいものである。The magnetic recording medium of the present invention has an excellent lubricating function even in a wide range of use environments and has little deterioration in CSS durability over time. More specifically, the magnetic recording medium of the present invention is characterized in that the perfluoroalkylpolyether-based lubricant is provided between a protective film and a free lubricant layer comprising a perfluoroalkylpolyether-based lubricant having no polar group in the molecule. Since an adsorbing lubricant layer made of a fluorine compound having a structure similar to the molecular skeleton of the lubricant is interposed, the interaction force between the lubricant layer and the surface of the protective film is strong, and the durability is high. Since it is used, the thickness of the adsorption lubricant layer does not change with time and stable durability can be obtained, and the magnetic recording medium is a perfluoroalkyl polyether lubricant that does not have a polar group in the molecule. Since the free lubricant layer located on the outermost surface of the magnetic recording medium is formed, adsorption of water molecules from the use environment to the magnetic recording medium can be suppressed, and head adsorption is less likely to occur.
Claims (3)
と、該記録膜上に設けられた保護膜と、該保護膜上に設
けられた潤滑剤層とを有する磁気記録媒体において、 上記潤滑剤層は、上記保護膜上に設けられた吸着潤滑剤
層と、該吸着潤滑剤層上に設けられたフリー潤滑剤層と
からなり、 上記吸着潤滑剤層は、構造単位が、−(Cn F2nO)m
−(但し、式中nは1、2又は3を示し、mは1以上の
整数を示す)であり且つ分子末端又は分子鎖中に官能基
を有するフッ素化合物により形成されており、 上記フリー潤滑剤層は、下記〔化1〕の一般式〔1〕で
表される化合物、一般式〔2〕で表される化合物及び一
般式〔3〕で表される化合物からなる群より選択される
パーフルオロアルキルポリエーテル系潤滑剤により形成
されている、 ことを特徴とする磁気記録媒体。 【化1】 1. A magnetic recording medium having a substrate, a recording film provided on the substrate, a protective film provided on the recording film, and a lubricant layer provided on the protective film, The lubricant layer is composed of an adsorbent lubricant layer provided on the protective film and a free lubricant layer provided on the adsorbent lubricant layer, and the adsorbent lubricant layer has a structural unit of − (C n F 2n O) m
-(Wherein n represents 1, 2 or 3 and m represents an integer of 1 or more) and is formed by a fluorine compound having a functional group at the molecular end or in the molecular chain, and the above-mentioned free lubrication The agent layer is selected from the group consisting of a compound represented by the following general formula [1], a compound represented by the general formula [2], and a compound represented by the general formula [3]. A magnetic recording medium formed of a fluoroalkyl polyether lubricant. [Chemical 1]
ニル基又はピペロニル基であることを特徴とする請求項
1記載の磁気記録媒体。2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the functional group is a hydroxyl group, a carbonyl group or a piperonyl group.
であって、 基板上に記録膜を設ける工程と、該記録膜上に保護膜を
設ける工程と、該保護膜に対して、上記フッ素化合物を
該官能基を介して結合させて該保護膜上に吸着潤滑剤層
を形成する工程と、該吸着潤滑剤層上に上記パーフルオ
ロアルキルポリエーテル系潤滑剤を塗布してフリー潤滑
剤層を形成する工程とを具備することを特徴とする磁気
記録媒体の製造方法。3. The method of manufacturing a magnetic recording medium according to claim 1, wherein a step of providing a recording film on a substrate, a step of providing a protective film on the recording film, and A step of forming a adsorptive lubricant layer on the protective film by binding a fluorine compound through the functional group, and a free lubricant by applying the above-mentioned perfluoroalkylpolyether lubricant on the adsorptive lubricant layer A method of manufacturing a magnetic recording medium, comprising the step of forming a layer.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11799494A JPH07326041A (en) | 1994-05-31 | 1994-05-31 | Magnetic recording medium and manufacturing method thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11799494A JPH07326041A (en) | 1994-05-31 | 1994-05-31 | Magnetic recording medium and manufacturing method thereof |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07326041A true JPH07326041A (en) | 1995-12-12 |
Family
ID=14725408
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11799494A Pending JPH07326041A (en) | 1994-05-31 | 1994-05-31 | Magnetic recording medium and manufacturing method thereof |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07326041A (en) |
-
1994
- 1994-05-31 JP JP11799494A patent/JPH07326041A/en active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7597973B2 (en) | Magnetic disk and method of producing the same | |
| JP3651681B2 (en) | Magnetic disk and manufacturing method thereof | |
| JP4654339B2 (en) | Magnetic disk | |
| JP5743438B2 (en) | Lubricant for magnetic disk, magnetic disk and manufacturing method thereof | |
| JP5465454B2 (en) | Magnetic disk and manufacturing method thereof | |
| JP5631604B2 (en) | Manufacturing method of magnetic disk | |
| JP2010250929A (en) | Lubricant compound for magnetic disk, magnetic disk and manufacturing method thereof | |
| JPWO2008038799A1 (en) | Lubricant for magnetic disk, method for producing the same, and magnetic disk | |
| JP3294760B2 (en) | Magnetic recording media | |
| JP3223238B2 (en) | Magnetic recording media | |
| JPH11172268A (en) | Liquid lubricant, magnetic recording medium using the same, and method of manufacturing the same | |
| JP4297461B2 (en) | Magnetic recording medium and method for manufacturing the same | |
| JP2001052328A (en) | Magnetic recording medium and magnetic recording device | |
| JP3755765B2 (en) | Manufacturing method of magnetic disk | |
| WO2009123037A1 (en) | Magnetic disc and method for manufacturing the same | |
| US8064165B2 (en) | Electronic information storage apparatus with non-lubricated media | |
| JPS63281218A (en) | Magnetic recording medium | |
| JP4150418B2 (en) | Magnetic disk and manufacturing method thereof | |
| JP2001052327A (en) | Magnetic recording medium and magnetic recording device | |
| JP4220529B2 (en) | Lubricant composition for magnetic disk and method for producing the same | |
| JPH0863739A (en) | Magnetic recording medium | |
| JPH0863738A (en) | Magnetic recording medium | |
| JPH0836744A (en) | Magnetic recording medium | |
| JPH09312012A (en) | Magnetic recording medium | |
| JPH08161736A (en) | Method of manufacturing magnetic recording medium |