JPH07329305A - 液体噴射記録ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 インク流路等の高さを部分的に変化させるこ
とが可能で安価な精密であり、信頼性も高い高解像度の
液体噴射記録ヘッドの製造方法を提供する。 【構成】 基板上にアルカリ現像可能な第１及び第２感
光性樹脂層で形成する液体噴射記録ヘッドの製造方法に
おいて、前記第１感光性樹脂層のアルカリ現像液の強度
が第２感光性樹脂層のアルカリ現像液よりも強いことを
特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録方
式に用いる記録液小滴を発生するための液体噴射記録ヘ
ッドの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェット記録方式（液体噴射記録
方式）に適用される液体噴射記録ヘッドは、一般に微細
な記録液吐出口（以下オリフィスと呼ぶ）、液流路及び
該液流路の一部に設けられる液体吐出エネルギー発生部
とを備えている。従来、このような液体噴射記録ヘッド
を作製する方法として、例えば、ガラスや金属等の板を
用い、該板に切削やエッチング等の加工手段によって微
細な溝を形成した後、該溝を形成した板を他の適当な板
と接合して液流路の形成を行なう方法が知られている。

【０００３】しかしながら、斯かる従来法によって作製
される液体噴射記録ヘッドでは、切削加工される液流路
内壁面の荒れが大き過ぎたり、エッチング率の差から液
流路に歪が生じたりして、流路抵抗の一定した液流路が
得難く、製作後の液体噴射記録ヘッドの記録特性にバラ
ツキが出易いといった問題があった。また、切削加工の
際に、板の欠けや割れが生じ易く、製造歩留りが悪いと
いう欠点もあった。また、エッチング加工を行なう場合
には、製造工程が多く、製造コストの上昇も招くという
不利もあった。更には、上記従来法に共通する欠点とし
て、液流路を形成した溝付き板と、記録液小滴を吐出さ
せる為の吐出エネルギーを発生する、圧電素子や電気熱
変換素子等の駆動素子が設けられた蓋板とを貼り合わせ
る際に、これら板の位置合わせが困難であり、量産性に
欠けるといった問題もあった。

【０００４】また、液体噴射記録ヘッドは、通常その使
用環境下にあっては、記録液（一般には、水を主体とし
多くの場合中性ではないインク液、あるいは有機溶剤を
主体とするインク液等）と常時接触している。それ故、
液体噴射記録ヘッドを構成するヘッド構造材料は、記録
液からの影響を受けて強度低下を起こすことがなく、ま
た逆に記録液中に、記録液適性を低下させるような有害
成分を与えることの無いものが望まれるが、上記従来法
においては、加工方法等の制約もあって、必ずしもこれ
ら目的にかなった材料を選択することができなかった。

【０００５】これら問題を解決する為、特開昭５７−２
０８２５５，特開昭５７−２０８２５６に記載される、
感光性樹脂材料を使用してインク吐出圧力発生素子が形
成された基板上にインク流路およびオリフィス部からな
るノズルをパターン形成して、この上にガラス板等の蓋
を接合する方法が考案された。

【０００６】しかしながら、該方法に於いては下記に記
載する問題点を有している。 （１）天板を接着する為の接着部材がインク流路にたれ
込んで、流路形状を変形する。 （２）インク吐出口を形成する為に該基板を切断する際
に、インク流路に切断屑が入り込み、インク吐出を不安
定にする。 （３）インク流路が形成された空洞部を有する基板を切
断する為、切断によって形成されるインク吐出口の一部
にカケが生じる。

【０００７】これら問題によって、液体噴射記録ヘッド
の製造の歩留りは低下すると共に、更に微細なインク流
路構造、長尺にて多数のインク吐出口を有する液体噴射
記録ヘッドの製造を困難なものとしている。

【０００８】これら問題を回避する方法として、特開昭
６１−１５４９４７に記載される発明が挙げられる。該
発明は、溶解可能な樹脂にてインク流路部を形成し、該
パターンをエポキシ樹脂等にて被覆、硬化し、基板を切
断後に溶解可能な樹脂パターンを溶出除去するものであ
る。

【０００９】該発明によれば、前述の特開昭５７−２０
８２５５、特開昭５７−２０８２５６に記載された方法
の問題点を解決できる。しかしながら、特開昭６１−１
５４９４７の方法ではインク流路の高さは溶解可能な樹
脂層の設置手段（例えばドライフィルムの厚さ）によっ
て一義的に決定されるため、インク流路の高さを部分的
に変化させることは困難であった。

【００１０】一方、特開昭５ー１１６２９２は、インク
流路の高さを部分的に変化させることで吐出する液滴の
体積や速度を安定化し、またサテライトが少なく、更に
スプラッシュやミスト等の発生を抑え、画像上の地汚れ
や装置内の汚れを防ぐと共に吐出の効率を向上させ、高
品位な画像を印字可能な液体噴射記録ヘッドおよび液体
噴射記録方法を開示している。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記の諸点に
鑑み成されたものであって、特開昭６１−１５４９４７
等を発展、改良したもので、インク流路等の高さを部分
的に変化させることが可能な安価、精密であり、また信
頼性も高い高解像度（ノズルが高密度にて実装された）
の液体噴射記録ヘッドの製造方法を提供することを目的
とする。

【００１２】また、液流路が精度良く正確に、且つ歩留
り良く微細加工された構成を有する液体噴射記録ヘッド
を供給することが可能な新規な液体噴射記録ヘッドの製
造方法を提供することも目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記目的は、インク吐出
圧力発生素子が形成された基板上にアルカリ現像可能な
第１感光性樹脂層を形成し、流路を形成するための光照
射を行い、アルカリ現像を行う工程と前記第１感光性樹
脂層で形成された流路パターン上に更にアルカリ現像可
能な第２感光性樹脂層を形成し、流路を形成するための
光照射を行い、アルカリ現像を行う工程と前記第１およ
び第２感光性樹脂層で形成された流路パターンを被覆す
る樹脂層を形成する工程と前記第１感光性樹脂層または
第１および第２感光性樹脂層が前記被覆樹脂層で被覆さ
れた部分を切断することにより吐出口を形成する工程と
前記第１および第２感光性樹脂層で形成された流路パタ
ーンを基体上より除去する工程とを少なくとも含む液体
噴射記録ヘッドの製造方法において前記第１感光性樹脂
層のアルカリ現像液の強度が第２感光性樹脂層のアルカ
リ現像液よりも強いことを液体噴射記録ヘッドの製造方
法によって達成される。即ち、第２感光性樹脂層の現像
時に第１感光性樹脂層により形成されたパターンが変化
しないように第１および第２感光性樹脂層のアルカリ現
像液に対する強度を設定することで達成される。

【００１４】一般にアルカリ現像可能な感光性樹脂は、
所定の水素イオン濃度（ＰＨ）のアルカリ性水溶液にて
現像が可能であり、良好なパターン形成を行なうために
は適性化されたＰＨの現像液にて現像する必要がある。
適性化されたＰＨより強い現像液にて現像を行なった場
合、未露光部の膜減りが甚だしく良好なパターンは形成
されない。また弱い現像液を使用した場合には、現像に
極めて長い時間を要するか、あるいは現像が成されない
等の問題が生じる。本発明にて記載される現像液の強度
とは、前記したように良好なパターン形成が適正な時間
にて行なわれる最適な現像液のＰＨを示すものであっ
て、現像強度が強いとはより高いＰＨのアルカリ水溶液
を示すものである。

【００１５】更にこのことは、パターン解像度に優れる
ポジ型レジストを第１感光性樹脂層に用いることを可能
にする、つまり第２感光性樹脂層の光照射時に第１感光
性樹脂層もある程度感光することは避けられず、第１感
光性樹脂層がポジ型レジストの場合光照射によってアル
カリ可溶性に変化するが、ここで第１感光性樹脂層のア
ルカリ現像液に対する強度と第２感光性樹脂層のアルカ
リ現像液に対する強度に差をつけておけば、第２感光性
樹脂層の現像時に第１感光性樹脂層の感光部分が現像さ
れることなく設計値どうりのパターンを得ることができ
る。

【００１６】以下に、必要に応じて図面を参照しつつ、
本発明を詳細に説明する。

【００１７】図１から図１３は、本発明の基本的な態様
を示すための模式図であり、図１から図１１の夫々に
は、本発明の方法に係わる液体噴射記録ヘッドの構成と
その製作手順の一例が示されている。尚、本例では、２
つのオリフィスを有する液体噴射記録ヘッドが示される
が、もちろんこれ以上のオリフィスを有する高密度マル
チアレイ液体噴射記録ヘッドの場合でも同様であること
は、言うまでもない。

【００１８】まず、本態様においては、例えば図１に示
されるような、ガラス、セラミックス、プラスチックあ
るいは金属等からなる基板１が用いられる。尚、図１は
感光性材料層形成前の基板の模式的斜視図である。

【００１９】このような基板１は、液流路構成部材の一
部として機能し、また後述の感光性材料層の支持体とし
て機能し得るものであれば、その形状、材質等、特に限
定されることなく使用できる。上記基板１上には、電気
熱変換素子あるいは圧電素子等の液体吐出エネルギー発
生素子２が所望の個数配置される（図１では２個にて例
示）。このような、液体吐出エネルギー発生素子２によ
って記録液小滴を吐出させるための吐出エネルギーがイ
ンク液に与えられ、記録が行なわれる。因に、例えば、
上記液体吐出エネルギー発生素子２として電気熱変換素
子が用いられるときには、この素子が近傍の記録液を加
熱することにより、吐出エネルギーを発生する。また、
例えば、圧電素子が用いられるときは、この素子の機械
的振動によって、吐出エネルギーが発生される。

【００２０】尚、これらの素子２には、これら素子を動
作させるための制御信号入力用電極（図示せず）が接続
されている。また、一般にはこれら吐出エネルギー発生
素子の耐用性の向上を目的として、保護層等の各種機能
層が設けられるが、もちろん本発明に於いてもこの様な
機能層を設けることは一向に差しつかえない。

【００２１】次いで図２に示すように、基板上に第１感
光性樹脂層３を形成する。該材料層の形成の方法として
は、該感光性材料を溶解した溶液を、ソルベントコート
法によって塗布しても良いし、また該感光性材料を塗布
したドライフィルムを作製し、ラミネートによって基板
上に形成しても良い。また、液体噴射記録ヘッドの製造
に於いては、厚膜のパターニングが必要である。一般的
にはスピンコート法は、２０〜３０μｍ程度の膜厚にお
いては有効な被膜形成手段であるが、３０μｍを越える
厚膜の形成は困難を来す。即ち、レジスト液の固形分濃
度を高め、粘度が高くなると、気泡を抱込んだり、また
液の広がりが良好に行なわれなくなる。またロールコー
ト法やワイヤーバーによる塗布に於いても、高粘度のレ
ジスト液の塗布は、気泡の抱込みや、溶剤の蒸発により
膜にピンホールが発生する弊害を起こす。

【００２２】一方、ドライフィルムによるラミネート
は、複数回のラミネートによって、原理的には如何なる
膜厚の感光層でも形成可能である。この為、本発明によ
る感光性樹脂を使用した液体噴射記録ヘッドの製造に於
いては、如何なる厚膜の感光性樹脂層をも形成でき、イ
ンク流路高さの高い液体噴射記録ヘッドが製造できる。

【００２３】勿論、該レジスト被膜の形成に於いては、
スピンコート法およびドライフィルムによるラミネーシ
ョンを用いることは作製する液体噴射記録ヘッドの形状
および寸法等により自由に選択して構わない。

【００２４】前記手段により形成された第１感光性樹脂
材料層とは、光照射により極性変化することでアルカリ
現像可能なもので、前述のごとく第２感光性樹脂層より
もアルカリ現像液に対して耐性を持つように設計され
る。この様な樹脂層としては、基本的にアルカリ可溶性
樹脂と感光剤および必要に応じてアルカリ可溶性高分子
化合物が添加される系で構成され、感光剤の種類により
ポジ型にもネガ型にも適用される。アルカリ可溶性樹脂
としてはフェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラ
ック樹脂（オルソまたはメタ）、ポリ−Ｐ−ヒドロキシ
スチレン、ポリ−ｏ−ヒドロキシスチレン、あるいはＰ
−およびｏ−ヒドロキシスチレンと（メタ）アクリル系
モノマーもしくは（メタ）アクリル酸の炭素数１〜４の
アルキルエステル（アクリル酸メチル、アクリル酸エチ
ル、アクリル酸プロピル、アクリル酸ブチル）の共重合
体が挙げられるが、アルカリに対する耐性を考慮する
と、ノボラック系樹脂、ヒドロキシスチレンと（メタ）
アクリル系モノマーの共重合体が好ましい。一般的にノ
ボラック系の樹脂は、ポリ−ヒドロキシスチレン系の樹
脂よりもアルカリに対する耐性が高く、またヒドロキシ
スチレンは（メタ）アクリル系モノマーと共重合するこ
とでアルカリに対する耐性が上がる傾向にある。しかし
ながら、共重合させる（メタ）アクリル系モノマーの種
類によっては（２−ヒドロキシエチルメタクリレート
等）、ポリヒドロキシスチレンよりアルカリ耐性が低下
する場合もあり必ずしも前記範囲に限定する必要はな
い。

【００２５】感光剤としては、ポジ型として用いる場合
にはナフトキノンジアジド化合物が有効であり、具体的
にはナフトキノン（１，２）ジアジド（２）−５−スル
フォニックアシドのナトリウム塩、オルトおよびパラク
レゾールのエステル、ビスフェノールＡおよびビスフェ
ノールＳのエステル、トリヒドロキシベンゾフェノンの
エステル等が挙げられる。

【００２６】また、ネガ型として用いる場合には感光剤
としてモノアジド、ビスアジドなどのアジド化合物が有
効であり、具体的には４，４′−ジアジドスチルベン−
２，２′ジスフォン酸ナトリウム、１，５−ジアジドナ
フタレン−３，７−ジスフォン酸ナトリウム、４，４′
−ジアジドベンゾフェノン、４，４′−ジアジドフェニ
ルメタン、４，４′−ジアジドスチルベン、４，４′−
ジアジドフェニルスルフォン、４，４′−ジアジドカル
コン、４，４′−ジアジドベンザルアセトン、２，６−
ジ（４′−アジドベンザル）シクロヘキサノン等のビス
アジドが挙げられる。更に４−アジドスチルベン、４−
アジドベンゾフェノン、４−アジドフェニルメタン、４
−アジドフェニルスルフォン、４−アジドカルコン、４
−アジドベンザルアセトンなどのモノアジド化合物が挙
げられる。これら感光剤の添加量はナフトキノンジアジ
ド化合物の場合、およそ５％〜３０％であり、アジド化
合物の場合およそ１％〜２０％である。

【００２７】また、アルカリ可溶性高分子とは、厚膜パ
ターン形成時のクラック防止、ドライフィルム化した時
の粘着性付与剤、およびアルカリ耐性の調整等の目的で
使用されるもので、具体的にはポリ（メタ）アクリル
酸、ポリ（メタ）アクリル酸アルキルエステル、ポリア
ルキルビニルエーテル、ポリヒドロキシアルキル（メ
タ）アクリレート、イソブチレン−マレイン酸共重合体
等が挙げられる。

【００２８】これらアルカリ可溶性高分子はおよそ３０
％以下の添加量でその目的を達成できる。無論、本発明
は前記具体例に限定されるものではなく、アルカリ現像
可能でかつ第２感光性樹脂層よりアルカリ耐性が高く設
定できればどのようなものを用いても構わない。また、
第１感光性樹脂層と第２感光性樹脂層のプリベーク温度
を適宜設定することにより（即ち第１感光性樹脂層のプ
リベーク温度を第２感光性樹脂層のプリベーク温度より
高く設定する）第１感光性樹脂層と第２感光性樹脂層の
アルカリ耐性のコントラストを高めることも可能であ
る。

【００２９】次に、図３に示すように液流路のパターン
露光を行なう。本露光手段としては、フォトマスク４を
介しての一括露光方式が有効である。露光波長として
は、感光剤の吸収波長にもよるが、水銀輝線のｉ，ｈ，
ｇ−線が好適である。また、感光剤としてアジド化合物
を使用する場合、一般的に市販されるアジド化合物の吸
収ピークは３６５ｎｍのｉ−線附近に存在し、またその
吸光係数は高くブリーチングも起こりにくい為、厚膜で
のパターニングに際しては、光がレジスト表面のみにて
吸収されてしまい、パターンがオーバーハング構造とな
ってしまう場合がある。このような弊害が生じた場合に
於いては、フィルターにてｉ−線の比率を低め、ｈ−線
やｇ−線を主体として露光を行なうことが望ましい場合
も生じる。第１感光性樹脂層の現像に於いては、一般的
に市販されるポジ型フォトレジスト用のアルカリ現像液
が使用できる。アルカリ現像液は、最も好適なレジスト
パターンが得られるように脱イオン水等にて希釈しても
構わない。また、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等
の水溶液を使用しても構わない。

【００３０】レジストの現像は、ディップ現像の他、ス
プレーやパドル等何れの手段を用いても構わない。更
に、必要に応じてポストリンスを行い、図４に示す第１
感光性樹脂層からなるパターンを形成する。（図３，４
は、第１感光性樹脂層としてポジ型を使った例で示して
いる。） 次に、第１感光性樹脂層で形成されたインク流路上に、
図５に示すように第２感光性樹脂層５を形成する。第２
感光性樹脂層の形成手段としては、ドライフィルムによ
るラミネートが最も好ましい。勿論、第２感光性樹脂層
を有機溶剤に溶かしてスピンコート法によって形成して
も構わないが、その際には塗布溶剤によって第１感光性
樹脂層が影響を受けないように考慮する必要がある。

【００３１】第２感光性樹脂層としては、第１感光性樹
脂層に使用する材料が使用可能であるが、第１感光性樹
脂層よりもアルカリ耐性が低く設定される。つまり、第
２感光性樹脂層の現像時に第１感光性樹脂層で形成され
たパターンが影響を受けないように設定される。以上の
点から、アルカリ可溶性樹脂としては、ポリ−ヒドロキ
シスチレンおよびその誘導体が好適に用いられる。更
に、感光剤としてナフトキノンジアジドを用いる場合
は、前記物質はアルカリ溶解抑制機能をもつためその添
加量を調整することでアルカリ耐性を弱めることも可能
である。またアルカリ可溶度の高いアルカリ可溶性高分
子を併用することで第２感光性樹脂層のアルカリ耐性を
弱めることも可能である。

【００３２】従って第１感光性樹脂層がフェノールノボ
ラック、クレゾールノボラック等のアルカリ可溶性ノボ
ラック樹脂を含有し、第２感光性樹脂層がポリ−Ｐ−ヒ
ドロキシスチレン或はＰ−ヒドロキシスチレンと（メ
タ）アクリル系モノマーとの共重合体を含有するように
してもよいし、第１感光性樹脂層がＰ−ヒドロキシスチ
レンと（メタ）アクリル酸の炭素数１〜４のアルキルエ
ステルの共重合体を含有し、第２感光性樹脂層がポリ−
Ｐ−ヒドロキシスチレンを含有するようにしてもよい。
また第１及び第２感光性樹脂層がともにアルカリ可溶性
ノボラックまたはポリ−Ｐ−ヒドロキシスチレン誘導体
を含有し、第１感光性樹脂層が含有するアルカリ可溶性
ノボラックまたはポリ−Ｐ−ヒドロキシスチレン誘導体
の分子量が第２感光性樹脂層が含有するアルカリ可溶性
ノボラックまたはポリ−Ｐ−ヒドロキシスチレン誘導体
の分子量より高くすることによっても第１感光性樹脂層
のアルカリ耐性を第２感光性樹脂層よりも高く設定する
ことが可能である。

【００３３】前記のようにして形成された第２感光性樹
脂層は図６に示すように、マスク６を介して第１感光性
樹脂層の場合と同様に露光される。（図６に於いては、
第２感光性樹脂層としてポジ型を用いオリフィス部にヒ
サシ構造を持たせる例を示している。勿論第２感光性樹
脂層のマスクを変えることでインク流路の高さを部分的
に変化させられることは言うまでもない。）次に第２感
光性樹脂層は、アルカリ現像液により第１感光性樹脂層
と同様に現像される。この際、第１感光性樹脂層で形成
されたパターンは、アルカリ耐性が第２感光性樹脂層よ
り強く設定されているため全く影響を受けず、図７に示
すパターンが形成される。

【００３４】こうして得られたパターン上に、新たな樹
脂層８を被覆する。（図８） この被覆樹脂層は、液体噴射記録ヘッドのインク流路壁
およびインク供給孔を形成する構造材料として使用され
る材料にて構成される。この為、インク液に侵されな
い、インク液中に不純物を溶出しない等の特性、基板と
の密着性、強度、耐熱性等が要求される。また該被覆樹
脂層は、溶解可能なレジストパターンにて形成されたイ
ンク流路パターンの細部に渡って被覆する必要があると
共に、インク供給孔等の成型加工も施される必要があ
る。

【００３５】インク供給孔等の成型加工を施す手段とし
て、具体例の一部を図９（ａ）（ｂ）（ｃ）、図９
（ｄ）（ｅ）（ｆ）（ｇ）、図９（ｈ）（ｉ）に記載す
る。

【００３６】図９（ａ）（ｂ）（ｃ）に於いては、液体
状の光硬化性樹脂を被覆せしめた後、インク供給孔を形
成した天板を貼り合わせ、光照射によって被覆樹脂層を
硬化する方法の一例を図示した。図９（ａ）は液体状硬
化性樹脂をレジストパターンを形成した基板上に塗布す
る工程の模式図を示した。

【００３７】液体状の光硬化性の被覆樹脂としては、レ
ジストパターンを溶解せずに被覆を行なえて光硬化が可
能であれば何れの樹脂も使用できる。一般的に使用され
るアクリル系不飽和二重結合を有するモノマー、オリゴ
マー等を含有する感光性樹脂は、レジストパターンを溶
解してしまう為に適用できない場合が多い。最も好適な
樹脂としては、オニウム塩とエポキシ樹脂とを少なくと
も含有するエポキシ系光硬化性樹脂が挙げられる。また
ジアリルフタレート樹脂やゴム系樹脂とビスアジドとの
混合系からなる光硬化性樹脂も使用できる。被覆樹脂の
塗布は、ロールコート、ワイヤーバーによるコーティン
グ、スピンコート、ディスペンサーによる塗布等、何れ
の手段を用いても構わない。

【００３８】次いで、図９（ｂ）に示すように、天板９
を貼り合わせてインク流路を形成する為の光照射を行な
う。

【００３９】天板は露光に使用する波長の光が透過すれ
ば、何れの材料も使用できる。例えば、ガラス、アクリ
ル、エポキシ、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリ
スルフォン等の樹脂を使用することが可能である。また
インクを天板側より供給する場合に於いては、天板にイ
ンク供給孔１０を貫通せしめておく必要がある。天板の
貼り合わせに於いては、気泡の入り込みを防止する為、
必要に応じて真空中にて行なっても構わない。

【００４０】光硬化性樹脂の露光は、紫外線および遠紫
外線、Ｘ−線等何れの露光手段を使用しても構わない。
被覆樹脂の光硬化に使用するマスクとしては、通常使用
されるクロムマスク１１を天板上に設置して光照射する
ことが可能である。更には、天板の裏面側にマスクとな
る部材を形成した後に天板を貼り合わせ、該マスクを用
いて露光を行なえば、より解像性の高い液室パターンを
形成できる。例えば、天板としてガラスを使用する場合
に於いては、インク供給孔を形成したガラス上に、アル
ミやクロム膜等を蒸着やスパッタリングにて作製し、該
金属膜上にドライフィルムによるラミネーションにてレ
ジスト層を設け、レジストをパターニングした後金属膜
をエッチングすることにより液室マスクパターンを形成
することができる。レジストは剥離液にて剥離しても構
わないしまた、そのまま残存しておいても構わない。

【００４１】さらに簡便な方法としては、光を透過しな
いインク等をスクリーン印刷法等によりガラス面にパタ
ーン塗布することによってもマスクパターンを天板上に
作製できる。

【００４２】このようにして作製した天板をマスク面を
被覆樹脂層側にして基板と貼り合わせることにより、光
の回析による液室パターンのボケを防止することが可能
となる。

【００４３】次いで、図９（ｃ）に示すように、光硬化
性被覆樹脂を現像することによって、インク供給孔、イ
ンク液室を形成する。現像に際しては、被覆樹脂を溶解
できる溶剤の何れをも使用できるが、インク流路を形成
するレジストパターンを溶解しない溶剤を使用して現像
することがより好適である。即ち、本発明による液体噴
射記録ヘッドの製造に於いては、天板、被覆樹脂層、レ
ジストパターンおよび基板を一括して切断することによ
ってインク吐出孔を形成するが、該切断工程に於いて
は、インク吐出孔にレジストが存在した方が、切断屑が
インク流路に侵入せず、液体噴射記録ヘッドの目詰りを
防止することが可能である。この為、該被覆樹脂層の現
像工程に於いては、レジストパターンを残存せしめて現
像することが好ましい場合が多い。

【００４４】図９（ｄ）（ｅ）（ｆ）（ｇ）に於いて
は、被覆樹脂として感光性樹脂を使用し、該感光性樹脂
溶液をレジストパターンを形成した基板上にソルベント
コート法にて塗布した後、該感光性樹脂を光硬化せしめ
た後に天板を貼り合わせて被覆樹脂層を形成する手段の
一例を記載した。

【００４５】本被覆樹脂層の形成方法に於いては、天板
と被覆樹脂層間に更なる接着部材が必要となるが、被覆
樹脂層の露光後の現像時に天板が存在しない為、感光性
樹脂から成る被覆樹脂層現像工程に通常のディッピング
やスプレー等の現像法が使用できると共に、現像時に発
生する現像残渣やスカムを除去できる。即ち、ゴミ詰り
の原因と成り得るこれらの微細なゲル分を十分な洗浄や
プラズマアッシング等によって除去することによって液
体噴射記録ヘッド製造の歩留りを高めることが可能であ
る。

【００４６】図９（ａ）はレジストパターン上に被覆樹
脂層を形成する工程の模式図を示す。被覆樹脂層を形成
する感光性樹脂材料としては、一般的に使用される分子
構造中に不飽和二重結合を有するモノマー、オリゴマー
およびポリマーを含有する感光性組成物、エポキシ系組
成物等何れも使用できる。これら感光性組成物は常温に
於いては固体状であり、溶剤に溶解せしめるか、あるい
は熱溶融せしめてレジストパータンを被覆することが望
ましい。溶剤に溶解して塗布するソルベントコート法に
於いては、溶剤はレジストパータンを溶解しない溶剤を
選択する必要がある。例えば、ベンゼン、トルエン、キ
シレン等の芳香族系溶剤、あるいはトリクロルエタン、
トリクロルエチレン、クロルベンゼン、ジクロルベンゼ
ン等の塩素系溶剤が好適である。

【００４７】被覆樹脂の一例としては、アクリル型不飽
和二重結合を有するモノマーとバインダーおよび光重合
開始剤とを少なくとも含有する光重合性組成物を挙げる
ことができる。モノマーとしては、エチレングリコール
ジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレー
ト、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタ
エリトリトールトリアクリレート等が挙げられる。バイ
ンターとしては、メチルメタクリレート、エチルメタク
リレート、ブチルメタクリレート等のアクリル樹脂や該
樹脂の側鎖に不飽和二重結合を付与した高分子化合物を
挙げることができる。光重合開始剤としては、チオキサ
ントン、ベンゾフェノン、ミヒラーケトン等の開始剤を
使用できる。また、感度を高める為にアミンを添加した
り、基板との密着性を向上する為にシランカップリング
剤等を添加しても構わない。

【００４８】これら成分より形成される光重合性組成物
を前記したようにトルエンやキシレンおよびクロルベン
ゼン等に溶解して被覆樹脂溶液を作製する。

【００４９】またエポキシ系被覆樹脂としては、通常の
ビスフェノールエポキシ樹脂やノボラックエポキシ等何
れも使用できる。これらのエポキシ樹脂としては、エピ
コート１００１やエピコート１００４（油化シェルエポ
キシ社）等の常温にて固体状のものが好ましい。また光
カチオン重合開始剤としては、ジフェニルヨードニウム
ヘキサフルオロアンチモネート等のオニウム塩を使用す
ることができる。更には、エポキシ樹脂の可とう性を高
める為にポリオキシ変性エポキシ樹脂等を混合したり、
基板との密着性を向上する為にシランカップリング剤等
を添加しても構わない。これらエポキシ系被覆樹脂は、
クロルベンゼンやジクロルベンゼン、ジクロルエタン等
の塩素系溶剤やトルエン、キシレン等の芳香族系溶剤に
溶解して使用することが好ましい。

【００５０】これら被覆樹脂溶液は、スピンコート法や
バーコート法およびロールコート法等によりレジストパ
ータン上に塗布し、溶剤を除去する為ベーキングを行
う。ベーキングは、レジストパータンが軟化しない温度
にて行うことが必要である。

【００５１】また、被覆樹脂の軟化温度が低い場合に於
いては、溶剤を使用せずに、熱溶融して塗布するホトメ
ルト等の手段にてレジストパータンを被覆しても構わな
い。

【００５２】次いで図９（ｂ）に示すように、被覆樹脂
上にマスク１２を装着しインク液室のパターン露光を行
う。露光は、紫外線や遠紫外線等何れの手段を用いても
良い。また、被覆樹脂の種類によっては、酸素の反応疎
害を受けて硬化しない樹脂もあるが、この場合は窒素ガ
スを被覆樹脂表面に吹き付けたり、窒素中にて露光する
等の手段が有効である。

【００５３】次いで図９（ｃ）に示すように被覆樹脂層
の現像を行う。現像はトルエンやキシレン等の芳香族系
溶剤やクロルベンゼン、ジクロルベンゼン等の塩素系溶
剤が好ましい。現像方法としては、ディッピングやスプ
レー、パドル等何れを使用しても構わない。

【００５４】一般的なネガ型特性を示す感光性組成物
は、基板からの反射光の影響によって、スカム等が発生
しやすいが、本露光に於いては、レジストパターン上に
て被覆樹脂層の硬化を行う為、反射光の影響を受け難く
スカムの発生は低減できる。また、スカムや現像残渣が
存在する場合に於いては、酸素プラズマ等によってアッ
シングを行っても構わない。

【００５５】次いで図９（ｄ）に示すように天板１３を
貼り合わせる。天板は、ガラス等のセラミックス、金
属、樹脂等いずれの部材でも構わない。該天板には、イ
ンクを供給する為のインク供給孔が形成されており、ま
た貼り合わせの為の接着剤が塗布されている。勿論、接
着剤は被覆樹脂パターン上に塗布しても構わない。接着
剤の塗布はロールコート法やスクリーン印刷が有効な手
段である。また接着剤としては、通常使用されるアクリ
ル系接着剤、エポキシ系接着剤等何れを使用しても構わ
ないし、また常温硬化、熱硬化あるいは光硬化の硬化す
る接着剤の何れを使用しても構わない。

【００５６】図９（ｈ）（ｉ）はトランスファーモール
ド法により被覆樹脂層を形成する手段を模式的に示し
た。

【００５７】図９（ｈ）に於いては、レジストパターン
を形成した基板上にモールド型１４が圧着され、該型に
モールド樹脂１５を熱溶融して挿入することによって被
覆樹脂層が形成される工程の模式図を示した。射出成型
温度は通常１２０〜１６０℃であり、モールド樹脂はエ
ポキシ樹脂やジアリールフタレート樹脂等が使用され
る。モールド樹脂には離型剤、フィラー、シランカップ
リング剤等を添加しても構わない。被覆樹脂はそのまま
射出成型温度にて１〜２分間保持されて熱硬化が施され
る。

【００５８】次いで図９（ｉ）に示すように、モールド
型を取除くと被覆樹脂層が形成されて残存する。

【００５９】該トランスファーモールド法に於いては、
レジストの耐熱性は極めて重要であり、射出成型温度に
てレジストパターンが軟化したり溶融しないように考慮
する必要がある。

【００６０】以上図９（ａ）〜（ｉ）に記載した手段に
よって被覆樹脂層の形成とインク液室の加工を行った
後、図１０に示すように基板の切断を行う。切断はイン
ク吐出圧力発生素子前方のインク流路を切断し吐出孔を
形成する切断と、基板を各吐出エレメントに分離する切
断を行う。切断はダイシングソー等の機械的手法によっ
ても構わないし、またレーザー等の光加工に依っても構
わない。また、切断後に切断面を研削、研磨し、インク
吐出口とインク吐出圧力発生素子間の距離精度を向上し
ても構わない。本発明に於いては、インク流路となる箇
所にはレジストが存在している為、切断屑、研磨剤等が
インク流路部に入り込むことがなく、ゴミ詰りによる歩
留りの低下を防止することが可能である。またインク流
路部となる箇所には、感光性樹脂が存在している為、切
断時に基板等にカケが生じる等の問題も生じることがな
く、良好な形状のインク吐出口が形成できる。

【００６１】最後に図１１に示すように、インク流路部
を形成するレジストを溶出し、インク流路を形成する。
レジストの溶出は、レジストを溶解するものであれば、
何れの溶剤でも構わない。例えば、エタノールやプロパ
ノール等のアルコール、アセトンや２−ブタノン、メチ
ルイソブチルケトン等のケトン、酢酸エチル、酢酸ブチ
ル等の酢酸エステル更には水酸化ナトリウム等のアルカ
リ水溶液等が挙げられる。レジストの洗い出しに於いて
は、超音波等の補助的手段を併用することにより、より
短時間にて溶出が可能となる。

【００６２】以上説明したように、本発明によれば従来
の液体噴射記録ヘッドの製造に於ける問題を、感光性樹
脂の現像工程を切断工程後に移行せしめるのみの操作に
よって、極めて安定的に液体噴射記録ヘッドの製造が可
能となる。

【００６３】以上の手段にて作製した液体噴射記録ヘッ
ドは、インク吐出圧力発生素子を駆動する為の電気実装
およびインクを供給する部材を装着して液体噴射記録装
置に装着される。図１２は電気実装およびインク供給部
材を装着した液体噴射記録ヘッドの概略図である。電気
実装に於いては、ワイヤーボンディングやＴＡＢ等何れ
の手段を用いても構わない。また必要に応じて、インク
供給部材中にフィルターを設けたり、あるいは液体噴射
記録ヘッドに放熱板を設置しても構わない。

【００６４】本発明は、特に液体噴射記録（インクジェ
ット記録）方式の中でも、バブルジェット方式の記録ヘ
ッド、記録装置において優れた効果をもたらすものであ
る。

【００６５】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されている。基本的な原理を用い
て行うものが好ましい。この方式は所謂オンデマンド
型、コンチィニュアス型の何れにも適用可能であるが、
特にオンデマンド型の場合には、液体噴射記録ヘッド
（インク）が保持されているシートや液路に対応して配
置された電気熱変換素子に、記録情報に対応した少なく
とも一つの駆動信号を印加することによって、電気熱変
換体に核沸騰を越える急激な温度上昇を与える熱エネル
ギーを発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に核沸騰を起
こさせ、結果的にこの駆動信号に一対一に対応した気泡
を液体（インク）内に形成できるので有効である。この
気泡の成長、収縮により吐出孔を介して液体（インク）
を吐出させて、少なくとも一つの滴を形成する。

【００６６】この駆動信号をパルス形状とすると、即時
適切に気泡の成長収縮が行われるので、特に応答性に優
れた液体（インク）の吐出が達成でき、より好ましい。
このパルス形状の駆動信号としては、米国特許第４４６
３３５９号明細書、同第４３４５２６２号明細書に記載
されているようなものが適している。なお、上記熱作用
面の温度上昇率に関する発明として米国特許第４３１３
１２４号明細書に記載されている条件を採用すると、更
に優れた記録を行うことができる。

【００６７】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出孔、液流路、電気熱変換
体素子の組合せ構成（直線状液流路または直角状液流
路）の他に熱作用部が屈曲する領域に配置されている構
成を開示する米国特許第４５５８３３３号明細書、米国
特許第４４５９６００号明細書を用いた構成も本発明に
含まれるものである。加えて、複数の電気熱変換体素子
に対して、共通するスリットを電気熱変換体素子の吐出
部とする構成を開示する特開昭５９年第１２３６７０号
公報や熱エネルギーの圧力波を吸収する開孔を吐出孔に
対応させる構成を開示する特開昭５９年第１３８４６１
号公報に基ずいた構成にしても本発明は有効である。

【００６８】更に、記録紙の全幅にわたり同時に記録が
できるフルラインタイプの記録ヘッドとしては、上述し
た明細書に開示されているような複数記録ヘッドの組合
せによって、その長さを満たす構成や、一体的に形成さ
れた一個の記録ヘッドとしての構成の何れでも良いが、
本発明は、上述した効果を一層有効に発揮することがで
きる。

【００６９】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカートリッ
ジタイプの記録ヘッドにおいても本発明は有効である。
また、記録装置に記録ヘッドに対する回復手段や予備的
な補助手段等を付加することは、本発明により得られる
記録ヘッドの効果を一層安定できるので、好ましいもの
である。これらを具体的に挙げれば、記録ヘッドに対し
ての、キャッピング手段、クリーニング手段、加圧ある
いは吸引手段、電気熱変換体素子あるいはこれとは別の
加熱素子、あるいはこれらの組合せによる予備加熱手
段、記録とは別の吐出を行う予備吐出モードを行う手段
等を付加することも安定した記録を行うために有効であ
る。

【００７０】更に、記録装置の記録モードとしては黒色
等の主流色のみを記録するモードでけではなく、記録ヘ
ッドを一体的に構成した、又は複数個を組合せて構成し
た何れでもよいが、異なる色の複色カラー又は、混色に
よるフルカラーの少なくとも一つを備えた装置の記録ヘ
ッドにも本発明は極めて有効である。

【００７１】また、本発明により得られる記録ヘッド
は、インクが液体でなくとも、室温やそれ以下で固化す
るインクであって、室温で軟化もしくは液体となるも
の、あるいは、インクジェットにおいて一般的に行われ
ている温度調整範囲である３０℃以上７０℃以下で軟化
もしくは液体となるものにも適用できる。即ち、記録信
号付与時にインクが液状をなすものであれば良い。加え
て、積極的にエネルギーによる昇温を、インクの固体状
態から液体状態への態変換のエネルギーとして吸収せし
めることで防止するか、又は、インクの蒸発防止を目的
として放置状態で固化するインクを用いるかして、いず
れにしても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によっ
てインクが液化してインク状態として吐出するものや記
録媒体に到達する時点ではすでに固化し始めるもの等の
ような、熱エネルギーによって初めて液化する性質のイ
ンク使用も本発明に係わる記録ヘッドには適用可能であ
る。

【００７２】このような場合インクは、特開昭５４−５
６６８４７号公報あるいは特開昭６０−７１２６０号公
報に記載されているような、多孔質シート凹部または貫
通孔に液状又は固形物として保持された状態で、電気熱
変換体素子に対して対向するような形態としても良い。
本発明においては、上述した各インクに対して最も有効
なものは、上述した膜沸騰方式を実行するものである。

【００７３】図１３は本発明により得られた液体噴射記
録ヘッドをインクジェットカートリッジ（ＩＪＣ）とし
て装着したインクジェット記録装置（ＩＪＲＡ）の一例
を示す外観斜視図である。

【００７４】図において、２０はプラテン２４上に送紙
されてきた記録紙の記録面に対向してインク吐出を行う
ノズル群を備えたインクジェットカートリッジ（ＩＪ
Ｃ）である。１６はＩＪＣ２０を保持するキャリッジＨ
Ｃであり、駆動モーター１７の駆動力を伝達する駆動ベ
ルト１８の一部と連結し、互いに平行に配設された２本
のガイドシャフト１９Ａおよび１９Ｂとしゅう動可能と
することによりＪＩＣ２０の記録紙の全幅にわたる往復
移動が可能となる。

【００７５】２６はヘッド回復装置であり、ＩＪＣ２０
の移動経路の一端、例えばホームポジションと対向する
位置に配設される。伝動機構２３を介したモーター２２
の駆動力によって、ヘッド回復装置２６を動作せしめ、
ＩＪＣ２０のキャッピングを行う。このヘッド回復装置
２６のキャップ部２６ＡによるＩＪＣ２０へのキャッピ
ングに関連させて、ヘッド回復装置２６内に設けた適宜
の吸引手段によるインクの吸引もしくはＩＪＣ２０への
インク供給経路に設けられた適宜の加圧手段によるイン
ク圧送を行い、インクを吐出孔より強制的に排出させる
ことによりノズル内の増粘インクを除去する等の吐出回
復処理を行う。また、記録終了等にキャッピングを施す
ことによりＩＪＣ２０が保護される。

【００７６】３０はヘッド回復装置２６の側面に配設さ
れ、シリコンゴムで形成されるワイピング部材としての
ブレードである。ブレード３０はブレード保持部材３０
Ａにカンチレバー形態で保持され、ヘッド回復装置２６
と同様、モーター２２および伝動機構２３によって動作
し、ＩＪＣ２０の吐出面との係合が可能となる。これに
より、ＩＪＣ２０の記録動作に於ける適切なタイミング
で、あるいはヘッド回復装置２６を用いた吐出回復処理
後に、ブレード３０をＩＪＣ２０の移動経路中に突出さ
せ、ＩＪＣ２０の移動動作に伴ってＩＪＣ２０の吐出面
に於ける結露、濡れあるいは塵等をふきとるものであ
る。

【００７７】

【実施例】以下に実施例を示し、本発明を更に詳細に説
明する。 実施例１ 図１から図８に示す操作手順に準じて、図６の構成の液
体噴射記録ヘッドを作製した。本実施例は図４に記載し
た手段にてインク液室の形成を行った。

【００７８】まず、液体吐出エネルギー発生素子として
の電気熱変換素子（材質ＨｆＢ２からなるヒーター）を
形成したシリコン基板上に、第１感光性樹脂層としてポ
ジ型レジスト層を形成した。ポジ型レジストとしてはヘ
キスト社製ＡＺ−４９０３（ノボラック系レジスト）を
使用した。レジストはスピンコート法にて基板上に塗布
し、９０℃にて１０分間ベーキングを行った。（膜厚１
２μｍ） 次いで、キヤノン製マスクアライナーＰＬＡ−５０１に
てインク流路の露光を行った。露光はコンタクト法にて
行い、現像は、ヘキスト社アルカリ現像液ＭＩＦ−３１
２を脱イオン水にて２倍に希釈した現〓行った。脱イオ
ン水にてリンスを行った後、スピンドライヤーにて乾燥
し、キシレンにてポストリンスを行った。

【００７９】次いで、ポジ型の第２感光性樹脂層をドラ
イフィルムのラミネートによって形成した。ドライフィ
ルムは以下の工程により作成した。まずアルカリ可溶性
樹脂として、ポリ−Ｐ−ヒドロキシスチレン（丸善石油
化学社：マルカリンカー重量平均分子量５０００）を６
５部、感光剤としてトリヒドロキシベンゾフェノンのナ
フトキノン（１，２）ジアジドトリスルフォン酸エステ
ル（シンコー技研：ＮＱＤ−０２９）を１５部、アルカ
リ可溶性高分子化合物としてポリ−ビニルメチルエーテ
ル（ＢＡＳＦ：ルトナールＭ４０）を２０部をシクロヘ
キサノンに固形分濃度２０ｗｔ％に溶解させた。次いで
前記のシクロヘキサノン溶液を膜厚２５μｍのポリエチ
レンテレフタレートフィルム上にワイヤーバーにて塗布
し、乾燥した。（膜厚８μｍ） こうして得られたドライフィルムを第１感光性樹脂層が
すでに形成されているシリコン基板上に８０℃、圧力１
ｋｇ／ｃｍ² の条件にてラミネートを行ない、室温に冷
却した後ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離し
て第２感光性樹脂層を形成した。

【００８０】次いで、本実施例に於いては図６に示すご
とくオリフィス部にヒサシ構造を設けるためのマスクを
介してＰＬＡ−５０１にて露光を７０秒間行なった。現
像はＭＩＦ−３１２を脱イオン水にて４倍に希釈した現
像液を使用しディッピングにて行ない、第１感光性樹脂
層の場合と同様にリンス、ポストリンスを行なった。こ
こで、第２感光性樹脂層の現像液は第１感光性樹脂層の
現像液に対してアルカリ強度が低いために第２感光性樹
脂層の現像時にすでに形成されている第１感光性樹脂層
からなるインク流路パターンに影響を及ぼさない。即
ち、パターンの細りや、第２感光性樹脂層の露光時に感
光したと考えられる第１感光性樹脂層からなるパターン
の溶解などが認められず、設計値どうりのパターンが形
成された。次いで被覆樹脂層を塗布した。被覆樹脂は、
エポキシ樹脂（油化シェルエポキシ工業社：エピコート
８２７）９３部、シランカップリング剤（東芝シリコー
ン社：Ａ−１８７）５部、カチオン重合開始剤としてジ
フェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート
（緑化学社製試薬）２部を混合したものを使用した。該
被覆樹脂は常温にて液体であり、そのままワイヤーバー
にて塗布した。基板の端に厚さ１００μｍのポリエチレ
ンテレフタレートフィルム片を設置し、被覆樹脂層の厚
さを一定とするスペーサーとした。

【００８１】基板に真空チャンバーに入れ、１時間真空
に引くことにより、被覆樹脂中に含有する気泡を排除し
た。基板を真空チャンバーよりとり出した後、インク供
給孔を形成した厚さ０．５ｍｍのパイックスガラスを貼
り合わせた。次いで、ガラス板上にインク液室露光用ク
ロムマスクを固定し、キヤノン製マスクアライナーＰＬ
Ａ−５２０にて液室露光を行った。カチオン重合開始剤
の吸収は３５０ｎｍ以下にある為、コールドミラーはＣ
Ｍ２９０を装着し、露光は６０秒間行った。次いで、４
５℃にて３０分間ベーキングを行い、反応を促進せしめ
た。

【００８２】次いで、トリクロルエタンにて被覆樹脂の
現像を行った。該現像は、ガラス板に形成したインク供
給孔より現像液を供給することによって未硬化の被覆樹
脂を溶出せしめることによって現像が為される。現像を
促進する為に超音波を付与せしめ、１０分間現像を行
い、再度トリクロルエタンにてリンスを行った。

【００８３】被覆樹脂の硬化を促進する為、１３０℃に
て１０分間ベーキングを行った後、基板を切断した。切
断は東京精密（株）製マイクロフォーミングマシーンＵ
−ＦＭ−５を使用し、＃２０００のメタルブレードにて
行った。スピンドルの回転数は１５０００、切断速度は
０．５ｍｍ／ｓｅｃである。

【００８４】最後に、ジクロルエタンとエチルアルコー
ルを１：４部にて混合した溶剤にレジストを溶出した。
溶出は超音波を付与しながら５分間行った後、再度同じ
溶剤にてリンスを行った。最後に１３０℃にて３０分間
ベーキングを行って被覆樹脂の硬化を完全なものとし
た。

【００８５】このようにして作製した液体噴射記録ヘッ
ドに、ワイヤーボンディングにて電気的接続を施し、ま
たインク供給部材を装着した。次いで、図８に示すよう
な基本機構を有する記録装置にヘッドを装着し、純水／
グリセリン／ダイレクトブラック１５４（水溶性黒色染
料）＝６５／３０／５からなるインクを用いて記録を行
ったところ、安定な印字が可能であった。 実施例２〜６ 本実施例では、実施例１と同様の構造をもつヘッドを第
１および第２感光性樹脂層を変えて作成した例を示す。
表１に第１および第２感光性樹脂層とその現像液を示
す。

【００８６】勿論、感光性樹脂層の変更により露光およ
びラミネート条件などは適宜設定される。更に、感光性
樹脂層の特性（ポジあるいはネガ）によってマスクを変
えることは言うまでもない。

【００８７】

【表１】 前記第１表に示す組合せで作成されたヘッドを実施例１
と同様にして印字を行なったところいずれのヘッドにお
いても良好な印字が可能であった。

【００８８】本実施例に於いては、ヒサシ構造をもつヘ
ッドの製造方法を示したが、第２感光性樹脂層の露光に
用いるマスクを変えることでインク流路の高さを任意の
場所で変化させられることは言うまでもない。更に、第
１および第２感光性樹脂層のパターンが形成されれば、
被覆樹脂はそのヘッドの使用目的に応じて選定される。

【００８９】

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、イン
ク流路等の高さを部分的に変化させることが可能であ
り、安価で精密であり、また信頼性の高い高解像度の液
体噴射記録ヘッドの製造方法を提供することができると
共に液流路が精度良く正確に、且つ歩留り良く微細加工
された構成を有する記録ヘッドを供給することが可能で
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】電気熱変換素子を形成した基板の模式的斜視
図。

【図２】第１感光性樹脂層を形成した基板の断面図。

【図３】第１感光性樹脂層に施すパターン露光の模式
図。

【図４】第１感光性樹脂層からなるパターンを形成した
基板の断面図。

【図５】第２感光性樹脂層を形成した基板の断面図。

【図６】第２感光性樹脂層に施すパターン露光の模式
図。

【図７】第２感光性樹脂層からなるパターンを形成した
基板の断面図。

【図８】図７のパターン上に新たな樹脂層を形成した基
板の断面図。

【図９】図９（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）（ｅ）（ｆ）
（ｇ）（ｈ）（ｉ）は被覆樹脂およびモールド樹脂の形
成工程の模式図。

【図１０】切断工程の模式図。

【図１１】第１および第２感光性樹脂層を溶出する工程
の模式図。

【図１２】インク供給手段および電気実装を施した液体
噴射記録ヘッドの構成の一例を示す図。

【図１３】本発明により製造した液体噴射記録ヘッドを
装着して記録を行なう記録装置の斜視図。

【符号の説明】

１ 基板 ２ ヒーター ３ 第１感光性樹脂層 ４ マスク ５ 第２感光性樹脂層 ６ マスク ８ 被覆樹脂 ９ 天板 １０ インク供給口 １２ マスク １３ 天板 １４ モールド型 １５ モールド樹脂 １６ キャリッジ １７ 駆動モーター １８ 駆動ベルト １９Ａ ガイドシャフト １９Ｂ ガイドシャフト ２０ インクジェットヘッド ２２ クリーニングモーター ２３ 伝動機構 ２４ キャップ部材 ３０ ブレード ３１Ａ ブレード保持部材

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 インク吐出圧力発生素子が形成された基
   板上にアルカリ現像可能な第１感光性樹脂層を形成し、
   流路を形成するための光照射を行い、アルカリ現像を行
   う工程と前記第１感光性樹脂層で形成された流路パター
   ン上に更にアルカリ現像可能な第２感光性樹脂層を形成
   し、流路を形成するための光照射を行い、アルカリ現像
   を行う工程と前記第１および第２感光性樹脂層で形成さ
   れた流路パターンを被覆する樹脂層を形成する工程と前
   記第１感光性樹脂層または第１および第２感光性樹脂層
   が前記被覆樹脂層で被覆された部分を切断することによ
   り吐出口を形成する工程と前記第１および第２感光性樹
   脂層で形成された流路パターンを基体上より除去する工
   程とを少なくとも含む液体噴射記録ヘッドの製造方法に
   おいて、前記第１感光性樹脂層のアルカリ現像液の強度
   が第２感光性樹脂層のアルカリ現像液よりも強いことを
   特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。
2. 【請求項２】 前記第１感光性樹脂層がフェノールノボ
   ラック、クレゾールノボラック等のアルカリ可溶性ノボ
   ラック樹脂を含有し、且つ第２感光性樹脂層がポリ−Ｐ
   −ヒドロキシスチレンあるいはＰ−ヒドロキシスチレン
   と（メタ）アクリル系モノマーとの共重合体を含有する
   ことを特徴とする請求項１記載の液体噴射記録ヘッドの
   製造方法。
3. 【請求項３】 前記第１感光性樹脂層がＰ−ヒドロキシ
   スチレンと（メタ）アクリル酸の炭素数１〜４のアルキ
   ルエステルの共重合体を含有し、且つ第２感光性樹脂層
   がポリ−Ｐ−ヒドロキシスチレンを含有することを特徴
   とする請求項１記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法。
4. 【請求項４】 前記第１及び第２感光性樹脂層がともに
   アルカリ可溶性ノボラックまたはポリ−Ｐ−ヒドロキシ
   スチレン誘導体を含有し、第１感光性樹脂層が含有する
   アルカリ可溶性ノボラックまたはポリ−Ｐ−ヒドロキシ
   スチレン誘導体の分子量が第２感光性樹脂層が含有する
   アルカリ可溶性ノボラックまたはポリ−Ｐ−ヒドロキシ
   スチレン誘導体の分子量より高いことを特徴とする請求
   項１記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法。