JPH0732955U

JPH0732955U - 半導体試験装置のマザーボード

Info

Publication number: JPH0732955U
Application number: JP6959693U
Authority: JP
Inventors: 進近藤
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 1993-12-01
Filing date: 1993-12-01
Publication date: 1995-06-16

Abstract

(57)【要約】【目的】本考案は、フロッグリングの一部を破損した
場合フロッグリング全体を交換すること、コネクトボー
ドの一部を破損した場合コネクトボード全体を交換する
こと、保守のためにフロッグリング全体を取り外すこと
による保守性の悪さの改善と、ポゴピン部でのインピー
ダンスの不整合を改善することを目的としている。【構成】数本の信号を接続したコネクトボードを多数
使用し、コネクトボードをフロッグリングに取付、コネ
クトボード上のポゴピンの位置を固定する。コネクトボ
ードはリングカバーによってフロッグリングに固定され
ているため、コネクトボードの取り外しはリングカバー
の取り外しによって行われ保守性が改善される。また、
コネクトボード内は特性インピーダンスを保証している
ので、波形の劣化を最小にできる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、半導体試験装置のテストヘッドとプローブカード又はパフォーマンスボードを電気的、機械的に接続する機能を持つ、半導体試験装置のマザーボードに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

図２は従来のマザーボードの電気的接続を示している。マザーボードは、テストヘッドとプローブカード又はパフォーマンスボードを電気的、機械的に接続する部分であり、主に、ベースボード１０、コネクトボード１１、フロッグリング１２で構成されている。ベースボード１０はテストヘッドの信号をパッド又はコネクタで接続し、ベースボード１０とコネクトボード１１間は両端を各ボードに半田付けした同軸ケーブルで接続し、コネクトボード１１とフロッグリング１２間はコネクトボード１１上の金パッドにフロッグリング１２のポゴピン１３を圧接することで電気的に接続している。フロッグリング１２の上面にはポゴピン１３の一方が突出しており、パフォーマンスボード又はプローブカードと電気的に接続可能な構造になっている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

従来のマザーボードには構造的に次のような問題があった。（１）フロッグリングのポゴピンを破損した場合、それが一部の破損であっても、フロッグリング全体を交換する必要がある。（２）コネクトボードを破損した場合、それが一部の破損であっても、コネクトボード全体を交換する必要がある。（３）保守のためには、フロッグリング全体を取り外す必要があり、効率が悪い。また、電気的にも、フロッグリング部分のポゴピンが同軸構造でなく、インピーダンスの不整合が発生し、テスタの入出力波形が劣化する。本考案は、これら問題点を解消することを目的としている。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

ベースボード１０に半田付けしたケーブルの一端をコネクトボード２０に半田付けし、コネクトボード２０の他の一端にはポゴピン２３を半田付けする。一つのコネクトボード２０には数本の信号を接続するため、多数のコネクトボード２０を接続する。多数のコネクトボード２０はフロッグリング２１に取り付けられ、同時にポゴピンの位置も固定される。コネクトボード２０はリングカバー２２によってフロッグリング２１に固定されているため、コネクトボード２０の取り外しはリングカバー２２をはずすことで行われる。

【０００５】

【作用】

以上の構成により、ポゴピン２３を破損した場合、又はコネクトボード２０を破損した場合は、それが接続されているコネクトボード１枚のみを交換すればよい。又、コネクトボード２０は、フロッグリング２１上部のリングカバー２２を取り外すことで１枚づつ容易に取り出すことができ、保守性が高い。電気的には、コネクトボード２０内のストリップライン構造により、特性インピーダンスを保証しているので、波形劣化を最小に押さえている。

【０００６】

【実施例】

実施例について図１を参照して説明する。本考案のマザーボードは、ベースボード１０、フロッグリング２１、コネクトボード２０で構成される。ベースボードの片面はテストヘッドとコネクタを通して接続され、もう一方の面には、コネクトボード２０を接続するケーブル２４が半田付けされている。コネクトボード２０は、ケーブル２４、プリント基板２５、ポゴピン２３で構成され、ベースボード１０上の信号をプローブカード等に接続するため、ポゴピン２３がフロッグリング２１の同心線上に並ぶように、フロッグリング２１の同心円上に配置される。フロッグリング２１は、コネクトボード２０を機械的に支持し、ポゴピン２３の位置を決める。コネクトボード２０の固定は、リングカバー２２で最終的に固定されており、逆にリングカバー２２を取り外すことで、コネクトボード２０を１枚づつ容易に取り外すことができる。

【０００７】

【考案の効果】

本考案は以上説明したように構成しているので、次のような効果が得られる。（１）コネクトボードは１枚づつ独立であるため、破損した場合にその部分だけ交換すればよく、保守費用を低減できる。（２）コネクトボードは、フロッグリング上部のリングカバーを取り外すことで、１枚づつ容易に取り外すことができ保守性が良い。（３）コネクトボード内は、ストリップライン構造により、特性インピーダンスを保証しているので、波形の劣化を最小に押さえることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案のマザーボードを示す斜視図、側面図、
上面図である。

【図２】従来のマザーボードを示す斜視図、側面図であ
る。

【符号の説明】

１０ベースボード１１、２０コネクトボード１２、２１フロッグリング１３、２３ポゴピン２２リングカバー２４ケーブル２５プリント基板

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項】半導体試験装置のマザーボードにおいて、ポゴピン（２３）とケーブル（２４）を半田付けしたコ
ネクトボード（２０）を多数設け、コネクトボード（２０）を固定するフロッグリング（２
１）を設けたことを特徴とする半導体試験装置のマザー
ボード。