JPH07332361A

JPH07332361A - 摺動装置及びその製造方法

Info

Publication number: JPH07332361A
Application number: JP6119398A
Authority: JP
Inventors: Tetsuji Hayazaki; 哲治早崎; Koichi Nagasaki; 浩一長崎; Shinichi Yamaguchi; 新一山口
Original assignee: Kyocera Corp
Current assignee: Kyocera Corp
Priority date: 1994-05-31
Filing date: 1994-05-31
Publication date: 1995-12-22

Abstract

(57)【要約】【目的】摺接面間に潤滑剤を介在して摺動する摺動装置
において、潤滑剤の流出を生じることなく、一方の摺動
部材中に潤滑剤を保持させ、常時、潤滑剤を摺接面間に
供給できるようにして滑らかな摺動特性を維持するとと
もに、長期使用においても殆ど摩耗がない摺動装置を提
供する。【構成】摺接面間に潤滑剤を介在して互いに摺動する摺
動部材のうち少なくとも一方を、摺接面に開口する気孔
の平均気孔径が１４〜３２μｍで、且つその気孔率が
０．２〜１．４％である多孔質セラミックスにより形成
したものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、摺接面間に潤滑剤を介
在した状態でセラミック製摺動部材を摺動させる摺動装
置とその製造方法であって、具体的には薬液用バルブ、
湯水混合栓などのフォーセットバルブ、メカニカルシー
ル、及び軸受などに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、薬液用バルブ、湯水混合栓な
どのフォーセットバルブ、シールリング、軸受などを構
成する摺動装置は、耐腐食性に優れるとともに、長期摺
動に伴う摩耗が少なく、また、滑らかな摺動特性を備え
ることが要求されていることから、摺動装置を構成する
摺動部材を耐腐食性、耐摩耗性に優れ、且つ高い寸法精
度が得られるセラミックスにより形成したものが使用さ
れている。そして、これらセラミック製摺動部材同士の
摺動では滑らかな摺動特性が得難いことから、摺接面間
に潤滑剤を介在させて摩擦係数を低減するようになって
いた。

【０００３】例えば、湯水混合栓に用いられるフォーセ
ットバルブは、２枚の緻密なセラミックスからなる弁体
の摺接面に凹部溝を設けて、互いの摺接面を摺接させる
とともに、上記凹部溝及び摺接面間に潤滑剤を介在させ
て相対摺動させることにより各弁体に形成した流体通路
の開閉を行うようになっていた（特開平２−２３９１７
１号公報参照）。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、摺動性とシ
ール性は相反するものであり、弁体の摺接面に刻設した
凹部溝が大きすぎると、シール性が損なわれ、逆に、摺
接面の凹部溝が小さすぎると潤滑剤がなくなった時に弁
体同士が張り付いて動かなくなるというリンキング現象
を生じて摺動トルクが増大し、弁体操作が困難なものと
なってしまうといった問題があった。

【０００５】また、このように摺接面に凹部溝を設けた
ものでは、摺動に伴い凹部溝のエッジ部が破損しやす
く、その破片が摺接面間に挟まると摺接面を傷つけてシ
ール性が損なわれるとともに、弁体操作が困難なものと
なってしまう恐れがあった。

【０００６】しかも、このような摺動装置では摺接面間
に潤滑剤の補給なしに長期間にわたって滑らかな摺動特
性を得ることはできなかった。

【０００７】そこで、摺動部材中に潤滑剤を含浸させる
ことにより、摺動性を高めたセラミック製摺動部材が提
案されており、例えば、三次元網目構造を有する多孔質
セラミックスの開気孔中に潤滑剤として樹脂やオイルな
どを含浸させたものがある（特開昭６１−２０６８７５
号、６１−２４４９８０号、６２−４９４９号、６２−
３７５１７号公報等参照）。

【０００８】しかし、三次元網目状セラミックスの開気
孔中に潤滑剤を含浸させたものでは、硬度の低い樹脂や
オイルの部分の摩耗が激しいため摺接面が凹凸面となっ
てしまい、その結果、やはり弁体操作に大きな力が必要
であった。また、三次元網目構造をした多孔質セラミッ
クスは、通常の焼結温度より低い温度で焼成されている
ために、セラミック粒子同士が完全に焼結したものでは
なく、緻密質のセラミックスに比べ機械的強度並びに硬
度が低いものであった。その為、短期間で摺接面が摩耗
してしまうという問題があった。しかも、このようなセ
ラミック製摺動部材は製造が容易ではなく、非常に高価
なものであり、このようなセラミック製摺動部材を備え
る摺動装置は実用に供するものではなかった。

【０００９】

【課題を解決するための手段】そこで、本発明は上記問
題に鑑みて、一対の摺動部材の摺接面間に潤滑剤を介在
して互いに摺動する摺動装置において少なくとも一方の
摺動部材を、摺接面に開口する気孔の平均気孔径が１４
〜３２μｍで、且つその気孔率が０．２〜１．４％であ
る多孔質セラミックスにより形成したものである。

【００１０】また、本発明は、摺動装置において互いに
摺動するセラミック製摺動部材のうち少なくとも一方
を、アルミナ、ジルコニア、炭化珪素、窒化珪素のうち
一種を主原料とし、該主原料に焼結助剤とバインダーと
をそれぞれ所定量添加したセラミック原料１００重量％
に対し、焼成時に燃えてなくなる焼失材を３〜７重量％
の範囲で添加混合して所定形状に成形したあと、焼成温
度１１００〜２０００℃の範囲で焼成した多孔質セラミ
ックスにより形成するとともに、該多孔質セラミックス
からなる摺動部材の摺接面に潤滑剤を塗布し、もう一方
のセラミック製摺動部材を摺接して摺動装置を製造した
ものである。

【００１１】

【作用】本発明によれば、摺動装置を構成する摺動部材
の少なくとも一方を、摺接面に開気孔を備えた多孔質セ
ラミックスにより形成してあるため、上記摺接面の開気
孔中に潤滑剤を充填保持することができる。その為、摺
接面間に介在していた潤滑剤がなくなったとしても、上
記開気孔中に保持していた潤滑剤を常時供給することが
できる。また、摺接面に存在する気孔の平均気孔径を１
４〜３２μｍで、且つその気孔率を０．２〜１．４％と
してあるため、摺接面には最適な径を備えた気孔が独立
して存在するととに、摺接面の気孔は他の側面と連通し
ていない。その為、シール性を損なうことなく、摺接面
の気孔中に充分な量の潤滑剤を保持することができるた
め、長期にわたり優れた摺動特性が得られる。

【００１２】また、本発明によれば、互いに摺動する摺
動部材のうち少なくとも一方を構成する多孔質セラミッ
クスを、セラミック原料に所定の範囲で焼失材を添加混
合して形成してあるため、従来の多孔質セラミックスと
異なりセラミック原料を完全に焼結させる温度で焼成す
ることができる。その為、得られた多孔質セラミックス
は完全に焼結したものであり、耐腐食性、耐熱性、耐摩
耗性等の点において優れた多孔質セラミックスとするこ
とができる。

【００１３】

【実施例】以下、本発明実施例をフォーセットバルブを
例にとって説明する。

【００１４】図１は本発明に係るフォーセットバルブ１
０を構成する弁体のみを示す図であり、緻密質のセラミ
ックス２５からなる可動弁体２０と多孔質のセラミック
ス３５からなる固定弁体３０とを互いの摺動面２１，３
１で接した状態としておき、摺動面２１，３１間にはシ
リコン系グリスやフッ素系グリス、あるいはエポキシ樹
脂、シリコン樹脂、フッ素樹脂などの樹脂剤を潤滑剤４
０として介在してある。そして、可動弁体２０を矢印の
方向へ動かすことによって、互いの弁体２０，３０に備
えた流体通路２２，３２の開閉を行い、供給流体の開
閉、調整などを行うようにしてある。

【００１５】また、可動弁体２０の摺接面２１は、相手
部材である固定弁体３０を摩耗させないようにするため
に中心線平均粗さ（Ｒａ）０．３μｍ以下の面に形成し
てあり、好ましくは中心線平均粗さ（Ｒａ）０．１μｍ
以下の鏡面とするとともに、高いシール性を保つために
平坦度は１μｍ以下の平坦性に優れた面とする。また、
他方の固定弁体３０の摺接面３１は上記可動弁体２０の
摺接面２１よりやや粗面である中心線平均粗さ（Ｒａ）
０．５μｍ以下の面とするとともに、平坦度１μｍ以下
の面とする。

【００１６】このように、固定弁体３０の摺接面３１を
可動弁体２０の摺接面２１よりやや粗面とし、これらの
弁体２０，３０同士を組み合わせてあるため、長期使用
においても潤滑剤４０の流出がなく、また、リンキング
現象を生じ難いフォーセットバルブ１０とすることがで
きる。

【００１７】一方、上記弁体２０、３０を構成するセラ
ミックス２５，３５としては、製作性に富み、加工精度
が高く、且つ耐摩耗性や経年変化、さらには耐腐食性に
優れたセラミックスにより形成する必要があり、好まし
くはビッカース硬度１０００ｋｇ／ｍｍ²以上を有する
セラミックスにより形成することが望ましい。

【００１８】このような特性を備えるセラミックスとし
ては、例えば、アルミナセラミックス、ジルコニアセラ
ミックス、炭化珪素質セラミックス、及び窒化珪素質セ
ラミックスなどが良く、これらのセラミックスであれば
硬度が高く、耐腐食性、耐熱性にも優れるため好適に用
いることができる。

【００１９】ところで、上記固定弁体３０を構成する多
孔質セラミックス３５は、図２に示すような表面に開気
孔３６を、内部に閉気孔３７を備え、一部内部の閉気孔
３７同士や表面の開気孔３６同士、あるいは内部の閉気
孔３７と表面の開気孔３６同士が互いに連通した部分も
存在するが、一方の側面に存在する開気孔３６が他の側
面に存在する開気孔３６と連通した貫通孔を持たない構
造となっている。即ち、図３に示すように従来の３次元
網目構造を有する多孔質セラミック４５では、一方の側
面にある開気孔４６と他の側面にある開気孔４６’と
が、内部の気孔４７と連通して貫通孔４８を形成してい
る。これに対し本発明の多孔質セラミックス３５は、上
述のように開気孔３６が他の側面の開気孔３６と連通し
ない点で従来の多孔質セラミックス４５とは明らかに異
なった構造をしたものである。

【００２０】その為、この多孔質セラミッス３５により
形成した固定弁体３０の摺接面３１に潤滑剤４０を介在
させれば、摺接面３１に存在する開気孔３６中に潤滑剤
４０を充填保持することができ、また、摺接面３１の開
気孔３６は他の側面の開気孔３６とは連通していないこ
とから使用中に他の開気孔３６から潤滑剤４０が流出す
るといったことがない。その為、摺接面２１，３１間に
介在していた潤滑剤４０がなくなっても、開気孔３６中
に保持していた潤滑剤４０を常時供給することができ、
長期間にわたり滑らかな摺動特性を提供することができ
る。

【００２１】また、上記多孔質セラミッス３５を摺動部
材として使用するためには、摺接面３１に存在する開気
孔３６の平均気孔径を１４〜３２μｍで、且つその気孔
率を０．２〜１．４％の範囲で設けることが重要であ
る。

【００２２】即ち、平均気孔径が１４μｍより小さい
と、潤滑剤４０が粘性の大きいものであった場合、潤滑
剤４０を開気孔３６中に保持できたとしてもその径が小
さすぎるために、摺接面２１，３１間に潤滑剤４０がな
くなった時に開気孔３６中の潤滑剤４０を供給すること
ができないためである。ただし、平均気孔径を３２μｍ
より大きくすることは製造上難しい。また、平均気孔率
が０．２％未満であると、気孔３６，３７の占める割合
が少なすぎるために充分な潤滑作用を得るだけの潤滑剤
４０を開気孔３６中に保持しておくことができないから
であり、逆に、平均気孔率が１．４％より大きくなる
と、気孔３６，３７の占める割合が多くなりすぎるため
に図３に示す従来の多孔質セラミックス４５のように一
方の側面から他方の側面まで連通した貫通孔４８ができ
るとともに、機械的強度並びに硬度が大幅に低下する。
しかも、製造が難しくなる。

【００２３】次に、上記フォーセットバルブ１０の製造
方法について説明する。

【００２４】まず、可動弁体２０及び固定弁体３０を形
成するセラミックス原料を用意する。上記セラミックス
原料とは主原料に焼結助剤及びバインダーを添加したも
のであり、例えば、主原料がアルミナ粉末である時に
は、焼結助剤としてＭｇＯ、ＳｉＯ₂、ＣａＯなどのう
ち少なくとも一種を、ジルコニア粉末に対しては安定化
剤として、Ｙ₂Ｏ₃、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＣｅＯ₂などの
うち少なくとも一種を、炭化珪素粉末に対してはＣ、
Ｂ、Ｂ₄Ｃ、Ａｌ₂Ｏ₃、Ｙ₂Ｏ₃などのうち少なくと
も一種を、さらに窒化珪素粉末に対しては、周期律表二
ａ，三ａ族元素の酸化物や窒化物などのうち少なくとも
一種をそれぞれ焼結助剤として添加する。

【００２５】そして、可動弁体２０については、これら
の原料を金型に充填してメカプレスあるいはラバープレ
スなど公知の成形手段により円盤状の弁体２０を成形し
たあと、アルミナに対しては１６００〜１７５０℃で、
ジルコニアに対しては１１００〜１４００℃で、炭化珪
素に対しては１８００〜２０００℃で、窒化珪素に対し
ては１８００〜１９００℃でそれぞれ焼成するというよ
うに、各セラミック原料を焼結させる通常の焼成温度で
焼成して緻密質のセラミックスからなる可動弁体２０を
形成する。

【００２６】また、固定弁体３０に対しては、上記セラ
ミックス原料１００重量部に対し、３〜７重量％の範囲
で焼失材を添加混合する。ここで、焼失材とは焼成時に
燃えてなくなる材質のことであり、粉末ポリエチレン、
ポリビニルアルコール、ポリプロピレン、酢酸ビニー
ル、アクリル樹脂、セルロ−ス、炭化カルシウム、炭化
マグネシウムなどが好適に用いることができる。なお、
これらの材質以外にも同じ様な作用をなす材料であれば
使用することができる。

【００２７】また、ここで焼失材の添加量を３〜７重量
％としたのは、添加量が３重量％よる少ないと、気孔径
及び気孔率が小さくなりすぎ緻密質のセラミックスとな
ってしまうために充分な量の潤滑剤を保持できるだけの
開気孔３６を形成することができないからであり、逆
に、添加量が７重量％より多くなると、焼失材の持つ弾
性により成形性が悪くなり、焼成時にクラックを生じて
しまうためである。

【００２８】ただし、焼失材の形状は金型への充填性を
高めるために球状のものがよく、好ましくは外径が４０
〜１２０μｍ程度のものが好ましい。

【００２９】そして、上記焼失材を添加したセラミック
原料を金型に充填して可動弁体２０同様メカプレスある
いはラバープレスにより円盤状の弁体３０を成形したあ
と、可動弁体２０を構成する緻密質のセラミックス同
様、アルミナに対しては１６００〜１７５０℃で、ジル
コニアに対しては１１００〜１４００℃で、炭化珪素に
対しては１８００〜２０００℃で、窒化珪素に対しては
１８００〜１９００℃でそれぞれ焼成することにより、
平均気孔径１４〜３２μｍ、平均気孔率０．２〜１．４
％の多孔質セラミックス３５からなる固定弁体３０を形
成する。

【００３０】このように上記多孔質セラミックス３５は
セラミック原料に焼失材を添加して形成してあるため、
焼成時にセラミック原料中に含まれていた焼失材が燃え
てなくなり、焼失材があった部分が気孔３６，３７とな
って残るため多孔質のセラミックスを得ることができ
る。しかも、セラミック原料を完全に焼結させる温度で
焼成することができるため、得られた多孔質セラミック
ス３５は完全に焼結したものとすることができ、従来の
多孔質セラミックス４５に比し、耐腐食性、耐熱性、耐
摩耗性に優れている。

【００３１】次に、得られた可動弁体２０の摺接面２１
は中心線平均粗さ（Ｒａ）０．３μｍ以下の面とし、固
定弁体３０の摺接面３１は中心線平均粗さ（Ｒａ）０．
５μｍ以下の面にそれぞれ研摩したあと、固定弁体３０
の摺接面３１に潤滑剤４０を塗布し、可動弁体２０を摺
接することにより本発明に係る摺動装置からなるフォー
セットバルブ１０を得ることができる。

【００３２】なお、図１のフォーセットバルブ１０では
緻密質のセラミックス２５と多孔質のセラミックス３５
とを組み合わせた摺動装置を示したが、これだけに限る
ものではなく、上記多孔質のセラミックス３５同士を組
み合わせた摺動装置であってもよく、この摺動装置をフ
ォーセットバルブ１０として用いても、シール性に優
れ、且つ滑らかな摺動特性を備えている。

【００３３】〔実験例１〕セラミック原料に添加する焼
失材の粒子径及び添加量をそれぞれ変えて多孔質セラミ
ックスを形成し、その特性について測定を行った。

【００３４】実験にはアルミナセラミックスを測定試料
とし、出発原料として純度９６％のアルミナ粉末に対
し、焼結助剤としてＳｉＯ₂とＭｇＯをそれぞれ０．２
重量％以下の範囲でそれぞれ添加し、さらにこのアルミ
ナ原料１００重量部に対し、焼失材として直径２０μｍ
及び９０μｍの粉末ポリエチレンを０〜１０重量％の範
囲で各々添加した。ただし、焼失材を除く他の原料の平
均結晶粒子径は２μｍ以下とした。そして、これらの原
料を混合ミキサーにて１時間程度混合したあと、金型に
充填して１ｔｏｎ／ｃｍ²の成形圧で成形したあと、ア
ルミナ粉末を完全に焼結させる温度である１６５０℃程
度で凡そ２時間焼成することにより、多孔質セラミック
スを形成した。

【００３５】これらの特性は表１に示す通りである。

【００３６】なお、測定試料の曲げ強度については三点
曲げ試験により測定を行い、表面に存在する開気孔の平
均気孔径及び平均気孔率の測定については光学顕微鏡と
ビデオカメラを通して画像のコントラスト強度に対応し
た出力信号を検知し、これらのデータを演算機にかけて
測定する自動画像解析機を用いて行った。

【００３７】

【表１】

【００３８】表１より判るように、試料Ｎｏ．１では焼
失材の添加量が３〜７重量％の範囲にあるものの、粒子
径が２０μｍと小さすぎるために疑集しやすく、成形性
がわるいために焼成後所定の形状を得ることができなか
った。また、試料Ｎｏ．７では、焼失材の添加量が７重
量％より多いため、原料を金型に充填した時の充填性が
悪く、焼成時に収縮率のばらつきを生じてクラックを発
生した。

【００３９】さらに、試料Ｎｏ．２は、焼失材を添加し
ていないため、表面に開口する気孔の平均気孔径が５．
０μｍ程度と小さく、その気孔率も０．１％と小さかっ
た。また、試料Ｎｏ．３は焼失材の添加量が１重量％で
あるため、表面に開口する気孔の平均気孔径を１２μｍ
程度とすることができたものの、平均気孔径を１５〜３
０μｍの範囲にすることができず、また、その気孔率も
０．１％と小さいままであった。

【００４０】これに対し、試料Ｎｏ．４〜６は焼失材の
添加量が３〜７重量％の範囲にあるため、表面に開口す
る気孔の平均気孔径を１４〜３２μｍで、且つその気孔
率を０．２〜１．４％の範囲とすることができた。

【００４１】〔実験例２〕次に、表１にある試料Ｎｏ．
２〜６のアルミナセラミックスにより固定弁体３０を成
形して、フォーセットバルブ１０に組み込み摺動実験を
行った。

【００４２】実験は図４に示すような、固定弁体３０と
可動弁体２０を金属ケーシング５０によって３０ｋｇｆ
の軸力で押さえ付けながら、流路に水を１ｋｇ／ｃｍ²
の圧力で注入し、可動弁体２０を操作レバー５５で動か
すときに必要な操作荷重を測定した。

【００４３】なお、可動弁体２０には緻密質のアルミナ
セラミックスを用い、その摺接面２１を中心線平均粗さ
（Ｒａ）０．２μｍとし、固定弁体３０の摺接面３１を
中心線平均粗さ（Ｒａ）０．３μｍとするとともに、摺
接面２１，３１間にはシリコングリスを１０ｍｇ塗布し
て行った。また、この実験における評価は、摺動トルク
が１．５ｋｇｆ以下のものを優れているとした。

【００４４】それぞれの結果は表２に示す通りである。

【００４５】

【表２】

【００４６】表２より判るように、試料Ｎｏ．２は摺接
面に開口する気孔の平均気孔径が５μｍで、且つその気
孔率が０．１％と摺接面に殆ど気孔がないため、摺接面
の気孔中に充分な量の潤滑剤を保持することができず、
摺動トルクが２．２ｋｇｆと大きいものであった。ま
た、試料Ｎｏ．３は摺接面に開口する気孔の平均気孔径
が１２μｍであるため、試料Ｎｏ．２に比べ摺動トルク
を低減することができたものの、平均気孔径が１５〜３
０μｍの範囲になく、また気孔率も０．１％と小さいた
め本実験の基準を満足することができなかった。

【００４７】これに対し、試料Ｎｏ．４，５，６は、摺
接面に開口する気孔の平均気孔率が１４〜３２μｍで、
且つその気孔率が０．２〜１．４％の範囲にあるため、
シリコングリスの流出も見られず、しかも、摺接面の気
孔中に充分な量の潤滑剤を保持することができるため、
摺動トルクが１．０〜１．１ｋｇｆと優れた摺動特性が
得られた。しかも、１０万回の摺動においても、両弁体
２０，３０の摺接面２１，３１は殆ど摩耗していなかっ
た。

【００４８】なお、本発明実施例ではフォーセットバル
ブの例についてのみ示したが、本発明に係る摺動装置は
これだけに限定するものではなく、他に薬液用バルブ、
メカニカルシール、軸受など潤滑剤を介して摺動部材を
摺動させる摺動装置全てに適用することができるもので
ある。

【００４９】

【発明の効果】以上のように本発明は、摺動装置を構成
する摺動部材のうち少なくとも一方を、摺接面に開口す
る気孔の平均気孔径が１４〜３２μｍで、且つその気孔
率が０．２〜１．４％である多孔質セラミックスにより
形成したことにより、摺接面の気孔中に潤滑剤を充填保
持することができる。しかも、摺接面に開口する気孔は
それぞれ独立しており、他の側面の開気孔とは連通して
いないことから潤滑剤の流出がなく、また、摺動部材同
士の摺動において潤滑剤がなくなっても、気孔中に保持
する潤滑剤を常時供給することができるため、長期間に
わたり優れたシール性と滑らかな摺動特性を備えた摺動
装置とすることができる。

【００５０】また、上記多孔質セラミックスは、セラミ
ック原料に焼失材を添加混合して成形してあるため、セ
ラミック原料を完全に焼結させる温度で焼成して形成す
ることができる。その為、従来の多孔質セラミックスに
比べ、耐腐食性、耐熱性、耐摩耗性に優れた多孔質セラ
ミックスを得ることができ、相手材との摺動においても
殆ど摩耗することがない。

【００５１】従って、この多孔質セラミックスにより摺
動部材を形成すれば、長期使用においても非常に滑らか
な摺動特性を備えた摺動装置を提供することができ、例
えば、薬液用バルブ、湯水混合栓などのフォーセットバ
ルブ、シールリング、軸受などに最適に用いることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る摺動装置の一例であるフォーセッ
トバルブを示す概略図である。

【図２】図１の固定弁体を構成する多孔質セラミックス
の断面図である。

【図３】従来の多孔質セラミックスの断面図である。

【図４】本発明に係る摺動装置の摺動特性を調べるため
の実験方法を示す斜視図である。

【符号の説明】

１０：フォーセットバルブ２０：可動弁体２１：摺動面３０：固定弁体３１：摺動面５０：金属ケーシング５５：操作レバー

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】摺接面間に潤滑剤を介在して互いに摺動す
るセラミック製摺動部材のうち少なくとも一方を、摺接
面に開口する気孔の平均気孔径が１４〜３２μｍで、且
つその気孔率が０．２〜１．４％である多孔質セラミッ
クスにより形成したことを特徴とする摺動装置。
【請求項２】互いに摺動するセラミック製摺動部材のう
ち少なくとも一方を、アルミナ、ジルコニア、炭化珪
素、窒化珪素のうち一種を主原料とするセラミック原料
１００重量％に対し、焼成時に燃えてなくなる焼失材を
３〜７重量％の範囲で添加混合して成形し、しかるのち
焼成温度１１００〜２０００℃の範囲で焼成した多孔質
セラミックスにより形成するとともに、該多孔質セラミ
ックスからなる摺動部材の摺接面に潤滑剤を塗布し、も
う一方のセラミック製摺動部材を摺接したことを特徴と
する摺動装置の製造方法。