JPH07333414A - カラーフィルターの製造方法 - Google Patents
カラーフィルターの製造方法Info
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- JPH07333414A JPH07333414A JP12516694A JP12516694A JPH07333414A JP H07333414 A JPH07333414 A JP H07333414A JP 12516694 A JP12516694 A JP 12516694A JP 12516694 A JP12516694 A JP 12516694A JP H07333414 A JPH07333414 A JP H07333414A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】カラー液晶表示装置に用いられるカラーフィル
ターの製造方法において、ＲＧＢ画素パターン形成のた
めの現像工程において、一次現像に無機アルカリ現像液
を用い現像を行い、次いで二次現像として有機アルカリ
現像液を用い現像を行うという二段階の現像工程を連続
して行うことを特徴とするカラーフィルターの製造方
法。 【効果】本発明によるカラーフィルターの製造方法によ
り、ＲＧＢ画素パターン形成のための現像工程におい
て、現像時間を短縮し、非画素部の樹脂残りの防止が可
能となり、かつ、現像液コストを低減しえる。
ターの製造方法において、ＲＧＢ画素パターン形成のた
めの現像工程において、一次現像に無機アルカリ現像液
を用い現像を行い、次いで二次現像として有機アルカリ
現像液を用い現像を行うという二段階の現像工程を連続
して行うことを特徴とするカラーフィルターの製造方
法。 【効果】本発明によるカラーフィルターの製造方法によ
り、ＲＧＢ画素パターン形成のための現像工程におい
て、現像時間を短縮し、非画素部の樹脂残りの防止が可
能となり、かつ、現像液コストを低減しえる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カラー液晶表示装置に
用いられるカラーフィルターの製造方法に係わり、特
に、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のフィルター画素層
形成の際の現像方法に関する。
用いられるカラーフィルターの製造方法に係わり、特
に、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のフィルター画素層
形成の際の現像方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、カラーフィルターの製造方法に
は、図２に示すような、以下の製造方法が知られてい
る。まず、透明基板上に、画素部を開孔部とする格子パ
ターン状の遮光層を形成する。次いで、感光性樹脂中に
粒径０．０１〜１μｍの赤色顔料が分散して含まれてい
る赤色顔料分散型感光性樹脂を均一に塗布し、プリベー
クを行う。次いで、液晶カラーフィルターパターニング
用マスクを用い紫外線光などでパターン露光を行い、画
素部の感光性樹脂を選択的に硬化させる。次いで、現像
を行い画素部以外の余分な感光性樹脂を除去する。次い
で、純水洗浄、乾燥を行う。次いで、ポストベークを行
い、赤色の画素層とする。
は、図２に示すような、以下の製造方法が知られてい
る。まず、透明基板上に、画素部を開孔部とする格子パ
ターン状の遮光層を形成する。次いで、感光性樹脂中に
粒径０．０１〜１μｍの赤色顔料が分散して含まれてい
る赤色顔料分散型感光性樹脂を均一に塗布し、プリベー
クを行う。次いで、液晶カラーフィルターパターニング
用マスクを用い紫外線光などでパターン露光を行い、画
素部の感光性樹脂を選択的に硬化させる。次いで、現像
を行い画素部以外の余分な感光性樹脂を除去する。次い
で、純水洗浄、乾燥を行う。次いで、ポストベークを行
い、赤色の画素層とする。
【０００３】次いで、上記の工程を各々緑色顔料、青色
顔料にも行い、それぞれ緑色の画素層、青色の画素層と
し、カラーフィルターとする。次いで、カラーフィルタ
ー上に、公知の方法、例えば、蒸着法により、透明電極
の膜付けを行う。
顔料にも行い、それぞれ緑色の画素層、青色の画素層と
し、カラーフィルターとする。次いで、カラーフィルタ
ー上に、公知の方法、例えば、蒸着法により、透明電極
の膜付けを行う。
【０００４】上記工程中、現像工程では無機アルカリを
主成分とする無機アルカリ現像液または、有機アルカリ
を主成分とする有機アルカリ現像液を単独で用いてい
る。しかし、無機アルカリ現像液を用いた現像方法では
現像時間がかかり、また、画素パターン部以外の余分な
樹脂が残るという問題がある。また、有機アルカリを主
成分とする有機アルカリ現像液を用いた場合、現像液が
高価で生産コストがかかるという問題があり、従来工程
では、無機アルカリ現像液を単独で用いる方法が主流に
なっている。
主成分とする無機アルカリ現像液または、有機アルカリ
を主成分とする有機アルカリ現像液を単独で用いてい
る。しかし、無機アルカリ現像液を用いた現像方法では
現像時間がかかり、また、画素パターン部以外の余分な
樹脂が残るという問題がある。また、有機アルカリを主
成分とする有機アルカリ現像液を用いた場合、現像液が
高価で生産コストがかかるという問題があり、従来工程
では、無機アルカリ現像液を単独で用いる方法が主流に
なっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は以上のような
事情に鑑み、カラー液晶表示装置に用いられるカラーフ
ィルターの製造方法におけるＲＧＢ画素パターン形成の
ための現像工程において、上記したような欠点の生じな
いカラーフィルターの製造方法を提供しようとするもの
である。
事情に鑑み、カラー液晶表示装置に用いられるカラーフ
ィルターの製造方法におけるＲＧＢ画素パターン形成の
ための現像工程において、上記したような欠点の生じな
いカラーフィルターの製造方法を提供しようとするもの
である。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、カラー液晶表
示装置に用いられるカラーフィルターの製造方法におけ
るＲＧＢ画素パターン形成のための現像工程において、
一次現像として無機アルカリを主成分とする現像液を用
い現像を行い、次いで二次現像として有機アルカリを主
成分とする現像液を用い現像を行うという、二段階の現
像工程を連続して行うことを特徴とするカラーフィルタ
ーの製造方法を提供することにより、上記の課題を解決
しようとするものである。
示装置に用いられるカラーフィルターの製造方法におけ
るＲＧＢ画素パターン形成のための現像工程において、
一次現像として無機アルカリを主成分とする現像液を用
い現像を行い、次いで二次現像として有機アルカリを主
成分とする現像液を用い現像を行うという、二段階の現
像工程を連続して行うことを特徴とするカラーフィルタ
ーの製造方法を提供することにより、上記の課題を解決
しようとするものである。
【０００７】以下、本発明を図１に従い説明を行う。図
１に示すように、格子パターン状の遮光層を形成した
後、透明基板上に赤色顔料分散型感光性樹脂を塗布し、
プリベーク後、液晶カラーフィルターパターニング用マ
スクを用い紫外線光により露光を行う。
１に示すように、格子パターン状の遮光層を形成した
後、透明基板上に赤色顔料分散型感光性樹脂を塗布し、
プリベーク後、液晶カラーフィルターパターニング用マ
スクを用い紫外線光により露光を行う。
【０００８】次いで、無機アルカリとして、例えば、水
酸化ナトリウムまたは、炭酸カルシウムなどを主成分と
し、必要に応じ緩衝剤、界面活性剤などを添加した無機
アルカリ現像液を用い一次現像を行う。現像方式は浸漬
法、スプレー法、パドル法などを用いる。また、現像液
濃度は０．０１〜５．０重量％、液温１５〜５０℃の範
囲で、使用する感光性樹脂の種類および、ＲＧＢ画素層
の膜厚などにより設定を行うのが好ましい。
酸化ナトリウムまたは、炭酸カルシウムなどを主成分と
し、必要に応じ緩衝剤、界面活性剤などを添加した無機
アルカリ現像液を用い一次現像を行う。現像方式は浸漬
法、スプレー法、パドル法などを用いる。また、現像液
濃度は０．０１〜５．０重量％、液温１５〜５０℃の範
囲で、使用する感光性樹脂の種類および、ＲＧＢ画素層
の膜厚などにより設定を行うのが好ましい。
【０００９】次いで、一次現像液または樹脂の種類によ
っては、純水による洗浄を行い一次現像での現像済樹脂
の除去を行うことにより二次現像が効率よく行える場合
があるので、必要に応じて純水洗浄を行う。
っては、純水による洗浄を行い一次現像での現像済樹脂
の除去を行うことにより二次現像が効率よく行える場合
があるので、必要に応じて純水洗浄を行う。
【００１０】次いで、有機アルカリとして、例えば、ア
ミンまたはそれに類するアンモニウム化合物、またはジ
アミンなどを主成分とし、必要に応じ界面活性剤などを
添加した有機アルカリ現像液を用い二次現像を行う。現
像方式は、浸漬法、スプレー法、パドル法などを用い、
必ずしも一次現像と同一方式である必要はない。また、
現像液濃度は０．００５〜４．０重量％、液温１５〜５
０℃の範囲で、使用する感光性樹脂の種類および、ＲＧ
Ｂ画素層の膜厚により設定を行うのが好ましい。なお、
一次現像と二次現像の時間的間隔は０〜３０秒の範囲
で、必要に応じ変えることが可能である。
ミンまたはそれに類するアンモニウム化合物、またはジ
アミンなどを主成分とし、必要に応じ界面活性剤などを
添加した有機アルカリ現像液を用い二次現像を行う。現
像方式は、浸漬法、スプレー法、パドル法などを用い、
必ずしも一次現像と同一方式である必要はない。また、
現像液濃度は０．００５〜４．０重量％、液温１５〜５
０℃の範囲で、使用する感光性樹脂の種類および、ＲＧ
Ｂ画素層の膜厚により設定を行うのが好ましい。なお、
一次現像と二次現像の時間的間隔は０〜３０秒の範囲
で、必要に応じ変えることが可能である。
【００１１】次いで、純水により洗浄、乾燥後、ポスト
ベークを行い、赤色画素層とする。次いで、同様の工程
を緑色顔料分散型感光性樹脂および青色顔料分散型感光
性樹脂にも行い、各々緑色画素層、青色画素層とし、カ
ラーフィルターとする。
ベークを行い、赤色画素層とする。次いで、同様の工程
を緑色顔料分散型感光性樹脂および青色顔料分散型感光
性樹脂にも行い、各々緑色画素層、青色画素層とし、カ
ラーフィルターとする。
【００１２】
【作用】以上のように、本発明によるカラーフィルター
の製造では、ＲＧＢ画素形成の際の現像工程において、
二次現像に有機アルカリを主成分とする有機アルカリ現
像液を用いることにより、現像時間の短縮が可能とな
り、かつ不要部分の樹脂残りの低減が可能となる。ま
た、現像前半の一次現像に安価な無機アルカリを主成分
とする無機アルカリ現像液を用い、ある程度現像を行い
その後、現像後半の有機アルカリ現像液で最終の二次現
像を行うため二次現像に使用する高価な有機アルカリの
使用量を減らすことが出来る。そのため、現像液コスト
の低減が可能となる。
の製造では、ＲＧＢ画素形成の際の現像工程において、
二次現像に有機アルカリを主成分とする有機アルカリ現
像液を用いることにより、現像時間の短縮が可能とな
り、かつ不要部分の樹脂残りの低減が可能となる。ま
た、現像前半の一次現像に安価な無機アルカリを主成分
とする無機アルカリ現像液を用い、ある程度現像を行い
その後、現像後半の有機アルカリ現像液で最終の二次現
像を行うため二次現像に使用する高価な有機アルカリの
使用量を減らすことが出来る。そのため、現像液コスト
の低減が可能となる。
【００１３】
【実施例】本発明の、実施例を図１に従い、詳細に説明
する。 ＜実施例１＞まず、１．１ｍｍ厚のガラス基板上に、公
知の方法、例えば、金属クロム蒸着後にエッチングを行
う方法などにより、金属クロムの格子状パターンの遮光
層を形成する。次いで、赤色顔料入り感光性樹脂（フジ
ハントテクノロジー（株）製商品名「ＣＲ−２００
０」）を塗布し、スピンコートにより２．０μｍの均一
膜厚とし、９０℃にて５分間プレベークを行う。次い
で、液晶カラーフィルターパターンニング用マスクを用
い、照射量６０ｍＪ／cm2 にて露光を行う。
する。 ＜実施例１＞まず、１．１ｍｍ厚のガラス基板上に、公
知の方法、例えば、金属クロム蒸着後にエッチングを行
う方法などにより、金属クロムの格子状パターンの遮光
層を形成する。次いで、赤色顔料入り感光性樹脂（フジ
ハントテクノロジー（株）製商品名「ＣＲ−２００
０」）を塗布し、スピンコートにより２．０μｍの均一
膜厚とし、９０℃にて５分間プレベークを行う。次い
で、液晶カラーフィルターパターンニング用マスクを用
い、照射量６０ｍＪ／cm2 にて露光を行う。
【００１４】次いで、無機アルカリとして炭酸ナトリウ
ム０．０２モル／ｌ、炭酸水素ナトリウム０．０２モル
／ｌを成分とし、アニオン系界面活性剤としてアルキル
ベンゼンスルホン酸ソーダ１．０重量％を添加した無機
アルカリ現像液を用い、液温２５℃にて２０秒間、スプ
レー法にて一次現像を行う。
ム０．０２モル／ｌ、炭酸水素ナトリウム０．０２モル
／ｌを成分とし、アニオン系界面活性剤としてアルキル
ベンゼンスルホン酸ソーダ１．０重量％を添加した無機
アルカリ現像液を用い、液温２５℃にて２０秒間、スプ
レー法にて一次現像を行う。
【００１５】次いで、純水を吹きつけ、１５秒間純水洗
浄を行う。次いで、有機アルカリとしてテトラメチルア
ンモニウムヒドロキシド０．０３モル／ｌを成分とし、
ノニオン系界面活性剤として第２級アルコールエトキシ
レート０．５重量％を添加した有機アルカリ現像液を用
い、液温２５℃にて２０秒間、スプレー法にて二次現像
を行う。
浄を行う。次いで、有機アルカリとしてテトラメチルア
ンモニウムヒドロキシド０．０３モル／ｌを成分とし、
ノニオン系界面活性剤として第２級アルコールエトキシ
レート０．５重量％を添加した有機アルカリ現像液を用
い、液温２５℃にて２０秒間、スプレー法にて二次現像
を行う。
【００１６】次いで、純水を吹きつけ、１５秒間純水洗
浄を行う。次いで、２００℃、３０分間のポストベーク
を行い、赤の画素層を形成する。
浄を行う。次いで、２００℃、３０分間のポストベーク
を行い、赤の画素層を形成する。
【００１７】次いで、緑色顔料入り感光性樹脂（フジハ
ントテクノロジー（株）製商品名「ＣＧ−２０００」）
を用い、上記と同様の工程で、照射量８０ｍＪ／cm2 に
て露光を行い、緑の画素層を形成する。次いで、青色顔
料入り感光性樹脂（フジハントテクノロジー（株）製商
品名「ＣＢ−２０００」）を用い、上記と同様の工程
で、照射量１２０ｍＪ／cm2 にて露光を行い、緑の画素
層を形成し、ＲＧＢ画素をもつカラーフィルターとす
る。
ントテクノロジー（株）製商品名「ＣＧ−２０００」）
を用い、上記と同様の工程で、照射量８０ｍＪ／cm2 に
て露光を行い、緑の画素層を形成する。次いで、青色顔
料入り感光性樹脂（フジハントテクノロジー（株）製商
品名「ＣＢ−２０００」）を用い、上記と同様の工程
で、照射量１２０ｍＪ／cm2 にて露光を行い、緑の画素
層を形成し、ＲＧＢ画素をもつカラーフィルターとす
る。
【００１８】＜実施例２＞一次現像として水酸化ナトリ
ウム０．０２モル／ｌ、炭酸ナトリウム０．０１モル／
ｌを成分とし、アニオン系界面活性剤としてアルキルベ
ンゼンスルホン酸ソーダ０．５重量％を添加した無機ア
ルカリ現像液を用い、液温２５℃にて２０秒間、スプレ
ー法にて一次現像を行い、次いで、二次現像としてジエ
チルアミン０．０７モル／ｌを成分とし、アニオン系界
面活性剤としてアルキルベンゼンスルホン酸ソーダ１．
５重量％を添加した有機アルカリ現像液を用い、液温２
５℃にて２０秒間、スプレー法にて二次現像を行い、そ
れ以外は実施例１と同様にして、カラーフィルターを製
造した。
ウム０．０２モル／ｌ、炭酸ナトリウム０．０１モル／
ｌを成分とし、アニオン系界面活性剤としてアルキルベ
ンゼンスルホン酸ソーダ０．５重量％を添加した無機ア
ルカリ現像液を用い、液温２５℃にて２０秒間、スプレ
ー法にて一次現像を行い、次いで、二次現像としてジエ
チルアミン０．０７モル／ｌを成分とし、アニオン系界
面活性剤としてアルキルベンゼンスルホン酸ソーダ１．
５重量％を添加した有機アルカリ現像液を用い、液温２
５℃にて２０秒間、スプレー法にて二次現像を行い、そ
れ以外は実施例１と同様にして、カラーフィルターを製
造した。
【００１９】
【発明の効果】カラーフィルターの製造の際、ＲＧＢ画
素形成のために、本発明による２段階の現像方法を用い
ることにより、従来の現像方法である無機アルカリ現像
液単独の現像工程に比べ現像時間を４分の３以下に短縮
が可能となり、かつ、無機アルカリ現像液単独の現像工
程で発生した不要部分の樹脂残りが無くなり、パターン
精度が向上した。また、２段階の現像工程前半の一次現
像に安価な無機アルカリを主成分とする現像液を用いる
ことにより、現像工程で使用する高価な有機アルカリの
使用量を減らすことが出来るため、有機アルカリ現像液
を現像工程において単独で用いた場合の現像液コストに
比べ、本発明の現像液コストは半分にすることが可能と
なり、現像液コストの低減が可能となるなど、本発明は
実用上優れている。
素形成のために、本発明による２段階の現像方法を用い
ることにより、従来の現像方法である無機アルカリ現像
液単独の現像工程に比べ現像時間を４分の３以下に短縮
が可能となり、かつ、無機アルカリ現像液単独の現像工
程で発生した不要部分の樹脂残りが無くなり、パターン
精度が向上した。また、２段階の現像工程前半の一次現
像に安価な無機アルカリを主成分とする現像液を用いる
ことにより、現像工程で使用する高価な有機アルカリの
使用量を減らすことが出来るため、有機アルカリ現像液
を現像工程において単独で用いた場合の現像液コストに
比べ、本発明の現像液コストは半分にすることが可能と
なり、現像液コストの低減が可能となるなど、本発明は
実用上優れている。
【００２０】
【図１】本発明による、カラーフィルターの製造工程を
示す説明図。
示す説明図。
【図２】従来工法による、カラーフィルターの製造工程
を示す説明図。
を示す説明図。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成６年６月２３日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１７】次いで、緑色顔料入り感光性樹脂（フジハ
ントテクノロジー（株）製商品名「ＣＧ−２０００」）
を用い、上記と同様の工程で、照射量８０ｍＪ／cm2 に
て露光を行い、緑の画素層を形成する。次いで、青色顔
料入り感光性樹脂（フジハントテクノロジー（株）製商
品名「ＣＢ−２０００」）を用い、上記と同様の工程
で、照射量１２０ｍＪ／cm2 にて露光を行い、青の画素
層を形成し、ＲＧＢ画素をもつカラーフィルターとす
る。
ントテクノロジー（株）製商品名「ＣＧ−２０００」）
を用い、上記と同様の工程で、照射量８０ｍＪ／cm2 に
て露光を行い、緑の画素層を形成する。次いで、青色顔
料入り感光性樹脂（フジハントテクノロジー（株）製商
品名「ＣＢ−２０００」）を用い、上記と同様の工程
で、照射量１２０ｍＪ／cm2 にて露光を行い、青の画素
層を形成し、ＲＧＢ画素をもつカラーフィルターとす
る。
Claims (1)
- 【請求項１】カラー液晶表示装置に用いられるカラーフ
ィルターの製造方法におけるＲＧＢ画素パターン形成の
ための現像工程において、一次現像として無機アルカリ
を主成分とする現像液を用い現像を行い、次いで二次現
像として有機アルカリを主成分とする現像液を用い現像
を行うという、二段階の現像工程を連続して行うことを
特徴とするカラーフィルターの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12516694A JPH07333414A (ja) | 1994-06-07 | 1994-06-07 | カラーフィルターの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12516694A JPH07333414A (ja) | 1994-06-07 | 1994-06-07 | カラーフィルターの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07333414A true JPH07333414A (ja) | 1995-12-22 |
Family
ID=14903521
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12516694A Pending JPH07333414A (ja) | 1994-06-07 | 1994-06-07 | カラーフィルターの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07333414A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014052622A (ja) * | 2012-08-06 | 2014-03-20 | Avanstrate Korea Inc | カラーフィルタ用ガラスシートの製造方法、カラーフィルタパネルの製造方法、および、ディスプレイ用ガラス基板 |
-
1994
- 1994-06-07 JP JP12516694A patent/JPH07333414A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014052622A (ja) * | 2012-08-06 | 2014-03-20 | Avanstrate Korea Inc | カラーフィルタ用ガラスシートの製造方法、カラーフィルタパネルの製造方法、および、ディスプレイ用ガラス基板 |
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