JPS6242104A - カラ−フイルタの製造方法 - Google Patents
カラ−フイルタの製造方法Info
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- JPS6242104A JPS6242104A JP60182452A JP18245285A JPS6242104A JP S6242104 A JPS6242104 A JP S6242104A JP 60182452 A JP60182452 A JP 60182452A JP 18245285 A JP18245285 A JP 18245285A JP S6242104 A JPS6242104 A JP S6242104A
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- red
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- resin layer
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- Pending
Links
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Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
この発明は液晶カラーテレビや、固体撮像管等に使用す
るカラーフィルタの製造方法に関する。
るカラーフィルタの製造方法に関する。
(従来の技術)
従来のカラーフィルタの製法として、ガラス基板などに
ゼラチン等の可染性樹脂を塗布し、これをホトレジスト
の窓を通して部分的に染め分けるという方法が知られて
いる(持分52−1737 。
ゼラチン等の可染性樹脂を塗布し、これをホトレジスト
の窓を通して部分的に染め分けるという方法が知られて
いる(持分52−1737 。
6、特開57−139712)。
(発明が解決しようとする問題点)
上記従来方法によって製造したカラーフィルタは、マ又
り合せの誤差により隣接する染色部間に非染色の間隙が
できたり、また混色を防ぐためにわざと間隙をつくる場
合もある。また染色部の中にもゴミやホコリや現像残り
等で染色されない欠陥ができることがある。これら間隙
や欠陥は染色されないため、光をよく通し、輝いて見え
るのでその欠点が目立っていた。また透過した光が白色
光のためにカラーフィルタの色度を低下させてしまうと
いう問題もあった。
り合せの誤差により隣接する染色部間に非染色の間隙が
できたり、また混色を防ぐためにわざと間隙をつくる場
合もある。また染色部の中にもゴミやホコリや現像残り
等で染色されない欠陥ができることがある。これら間隙
や欠陥は染色されないため、光をよく通し、輝いて見え
るのでその欠点が目立っていた。また透過した光が白色
光のためにカラーフィルタの色度を低下させてしまうと
いう問題もあった。
(問題点を解決するための手段)
この発明は上記従来例における欠点を解決するために、
赤色染色部、緑色染色部以外の部分を、すべて人間の視
感度の低い青色に染色することにより、染色部間の間隙
、欠陥等を目立たなくするようにしたものである。
赤色染色部、緑色染色部以外の部分を、すべて人間の視
感度の低い青色に染色することにより、染色部間の間隙
、欠陥等を目立たなくするようにしたものである。
[実施例]
第2図において、ガラスなどの基板の上にゼラチンなど
による可染性樹脂層2を形成し、この上にさらにホトレ
ジスト3を塗布し、これをホトマスク4を用いてパター
ン露光する。現像して、ホトレジストの除去された部分
を赤色で染色し、赤色染色部Rを形成する(第3図)。
による可染性樹脂層2を形成し、この上にさらにホトレ
ジスト3を塗布し、これをホトマスク4を用いてパター
ン露光する。現像して、ホトレジストの除去された部分
を赤色で染色し、赤色染色部Rを形成する(第3図)。
ついで同様のホトリソグラフィ技術により緑色染色部G
を形成する(第4図)。このように可染性樹脂層2を赤
色および緑色で染色した後全面にポジ型ホトレジスト5
を塗布、乾燥する(第5図)。このホトレジスト5は、
赤色染色部Rと緑色染色部Gとを透過する光に感光しな
いものでなければならない。
を形成する(第4図)。このように可染性樹脂層2を赤
色および緑色で染色した後全面にポジ型ホトレジスト5
を塗布、乾燥する(第5図)。このホトレジスト5は、
赤色染色部Rと緑色染色部Gとを透過する光に感光しな
いものでなければならない。
第7図において、たとえば点線で示したような感光特性
のもの(商品名ナガセ809)を用いればよい。なおこ
の場合、赤色透過光において300mm付近で立上りみ
られるが、この付近の波長はガラス基板により吸収され
るので実用上問題ない。
のもの(商品名ナガセ809)を用いればよい。なおこ
の場合、赤色透過光において300mm付近で立上りみ
られるが、この付近の波長はガラス基板により吸収され
るので実用上問題ない。
つぎにガラス基板の裏側よりマスクアライナ−の高圧水
銀灯で露光して現像すると、赤色染色部R1緑色染色部
Gの上にはレジスト5が残り、それ以外の部分のレジス
トは除去される。これを青色の染色浴につけて染色し、
青色染色部Bを形成する。
銀灯で露光して現像すると、赤色染色部R1緑色染色部
Gの上にはレジスト5が残り、それ以外の部分のレジス
トは除去される。これを青色の染色浴につけて染色し、
青色染色部Bを形成する。
それとともに間隙部分6、および図面に示されていない
が細かい欠陥も青色に染色される(第6図)。最後に残
存したレジスト5を除去する。(第1図)。
が細かい欠陥も青色に染色される(第6図)。最後に残
存したレジスト5を除去する。(第1図)。
上述の実施例では、いわば特殊なホトレジストを用いて
いるが、このようなホトレジストを得られない場合には
、ホトレジストの感光する光のうち赤色染色部と緑色染
色部を透過する波長域の光をカットするフィルタを通し
て露光するようにしてもよい。
いるが、このようなホトレジストを得られない場合には
、ホトレジストの感光する光のうち赤色染色部と緑色染
色部を透過する波長域の光をカットするフィルタを通し
て露光するようにしてもよい。
(発明の効果)
本発明によれば、カラーフィルタに白く抜ける部分がな
くなり、その部分が一番視感度の低い青い色に染ってい
るので目立たなくなり、色度の低下をおさえることがで
きる。また青色用のマスクを使う工程が不要になる結果
青色のアラインミスがなく工程が簡単になる。
くなり、その部分が一番視感度の低い青い色に染ってい
るので目立たなくなり、色度の低下をおさえることがで
きる。また青色用のマスクを使う工程が不要になる結果
青色のアラインミスがなく工程が簡単になる。
図面は本発明の実施例を示し、第1図は本発明により製
造したカラーフィルタの断面図、第2図〜第6図は本発
明の製造方法を工程を追って示す断面図、第7図は赤色
染色部および緑色染色部の分光透過率およびホトレジス
トの分光感度を示すグラフである。 1・・・・・・基板 2・・・・・・可染性樹脂層 R・・・・・・赤色染色部 G・・・・・・緑色染色部。 以 上
造したカラーフィルタの断面図、第2図〜第6図は本発
明の製造方法を工程を追って示す断面図、第7図は赤色
染色部および緑色染色部の分光透過率およびホトレジス
トの分光感度を示すグラフである。 1・・・・・・基板 2・・・・・・可染性樹脂層 R・・・・・・赤色染色部 G・・・・・・緑色染色部。 以 上
Claims (1)
- 基板上に可染性樹脂層を設け、この可染性樹脂層にフォ
トリソグラフィ技術により赤色染色部および緑色染色部
を形成し、ついで上記可染性樹脂層の上に全面にポジ型
ホトレジストを塗布し、上記ポジ型ホトレジストのうち
、上記赤色染色部および緑色染色部以外の部分を感光さ
せて、現像後青色染色浴につけて染色することを特徴と
するカラーフィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60182452A JPS6242104A (ja) | 1985-08-20 | 1985-08-20 | カラ−フイルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60182452A JPS6242104A (ja) | 1985-08-20 | 1985-08-20 | カラ−フイルタの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6242104A true JPS6242104A (ja) | 1987-02-24 |
Family
ID=16118514
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60182452A Pending JPS6242104A (ja) | 1985-08-20 | 1985-08-20 | カラ−フイルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6242104A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5491594A (en) * | 1992-05-21 | 1996-02-13 | Sharp Kabushiki Kaisha | Magnetic recording/reproducing apparatus |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6046505A (ja) * | 1983-08-24 | 1985-03-13 | Nec Corp | カラ−フィルタ−の製造方法 |
| JPS60114807A (ja) * | 1983-11-28 | 1985-06-21 | Canon Inc | 微細色フイルタ−作製法 |
-
1985
- 1985-08-20 JP JP60182452A patent/JPS6242104A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6046505A (ja) * | 1983-08-24 | 1985-03-13 | Nec Corp | カラ−フィルタ−の製造方法 |
| JPS60114807A (ja) * | 1983-11-28 | 1985-06-21 | Canon Inc | 微細色フイルタ−作製法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5491594A (en) * | 1992-05-21 | 1996-02-13 | Sharp Kabushiki Kaisha | Magnetic recording/reproducing apparatus |
| US5663845A (en) * | 1992-05-21 | 1997-09-02 | Sharp Kabushiki Kaisha | Magnetic recording/reproducing apparatus |
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