JPS6242104A - カラ−フイルタの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は液晶カラーテレビや、固体撮像管等に使用す
るカラーフィルタの製造方法に関する。

（従来の技術） 従来のカラーフィルタの製法として、ガラス基板などに
ゼラチン等の可染性樹脂を塗布し、これをホトレジスト
の窓を通して部分的に染め分けるという方法が知られて
いる（持分５２−１７３７　　　。

６、特開５７−１３９７１２）。

（発明が解決しようとする問題点） 上記従来方法によって製造したカラーフィルタは、マ又
り合せの誤差により隣接する染色部間に非染色の間隙が
できたり、また混色を防ぐためにわざと間隙をつくる場
合もある。また染色部の中にもゴミやホコリや現像残り
等で染色されない欠陥ができることがある。これら間隙
や欠陥は染色されないため、光をよく通し、輝いて見え
るのでその欠点が目立っていた。また透過した光が白色
光のためにカラーフィルタの色度を低下させてしまうと
いう問題もあった。

（問題点を解決するための手段） この発明は上記従来例における欠点を解決するために、
赤色染色部、緑色染色部以外の部分を、すべて人間の視
感度の低い青色に染色することにより、染色部間の間隙
、欠陥等を目立たなくするようにしたものである。

［実施例］ 第２図において、ガラスなどの基板の上にゼラチンなど
による可染性樹脂層２を形成し、この上にさらにホトレ
ジスト３を塗布し、これをホトマスク４を用いてパター
ン露光する。現像して、ホトレジストの除去された部分
を赤色で染色し、赤色染色部Ｒを形成する（第３図）。

ついで同様のホトリソグラフィ技術により緑色染色部Ｇ
を形成する（第４図）。このように可染性樹脂層２を赤
色および緑色で染色した後全面にポジ型ホトレジスト５
を塗布、乾燥する（第５図）。このホトレジスト５は、
赤色染色部Ｒと緑色染色部Ｇとを透過する光に感光しな
いものでなければならない。

第７図において、たとえば点線で示したような感光特性
のもの（商品名ナガセ８０９）を用いればよい。なおこ
の場合、赤色透過光において３００ｍｍ付近で立上りみ
られるが、この付近の波長はガラス基板により吸収され
るので実用上問題ない。

つぎにガラス基板の裏側よりマスクアライナ−の高圧水
銀灯で露光して現像すると、赤色染色部Ｒ１緑色染色部
Ｇの上にはレジスト５が残り、それ以外の部分のレジス
トは除去される。これを青色の染色浴につけて染色し、
青色染色部Ｂを形成する。

それとともに間隙部分６、および図面に示されていない
が細かい欠陥も青色に染色される（第６図）。最後に残
存したレジスト５を除去する。（第１図）。

上述の実施例では、いわば特殊なホトレジストを用いて
いるが、このようなホトレジストを得られない場合には
、ホトレジストの感光する光のうち赤色染色部と緑色染
色部を透過する波長域の光をカットするフィルタを通し
て露光するようにしてもよい。

（発明の効果） 本発明によれば、カラーフィルタに白く抜ける部分がな
くなり、その部分が一番視感度の低い青い色に染ってい
るので目立たなくなり、色度の低下をおさえることがで
きる。また青色用のマスクを使う工程が不要になる結果
青色のアラインミスがなく工程が簡単になる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の実施例を示し、第１図は本発明により製
造したカラーフィルタの断面図、第２図〜第６図は本発
明の製造方法を工程を追って示す断面図、第７図は赤色
染色部および緑色染色部の分光透過率およびホトレジス
トの分光感度を示すグラフである。 １・・・・・・基板 ２・・・・・・可染性樹脂層 Ｒ・・・・・・赤色染色部 Ｇ・・・・・・緑色染色部。 以　　上

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 基板上に可染性樹脂層を設け、この可染性樹脂層にフォ
   トリソグラフィ技術により赤色染色部および緑色染色部
   を形成し、ついで上記可染性樹脂層の上に全面にポジ型
   ホトレジストを塗布し、上記ポジ型ホトレジストのうち
   、上記赤色染色部および緑色染色部以外の部分を感光さ
   せて、現像後青色染色浴につけて染色することを特徴と
   するカラーフィルタの製造方法。