JPH0733468A - 光ファイバスートの製造方法 - Google Patents
光ファイバスートの製造方法Info
- Publication number
- JPH0733468A JPH0733468A JP17952293A JP17952293A JPH0733468A JP H0733468 A JPH0733468 A JP H0733468A JP 17952293 A JP17952293 A JP 17952293A JP 17952293 A JP17952293 A JP 17952293A JP H0733468 A JPH0733468 A JP H0733468A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical fiber
- chemical species
- gas phase
- phase chemical
- flame
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/70—Control measures
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 光ファイバスートの屈折率分布を安定させる
ことができ、しかもバーナの調整を能率良く行うことが
できる光ファイバスートの製造方法を提供する。 【構成】 反応容器１内に設けたバーナ３による酸水素
火炎４内に原料ガスを導入して火炎加水分解反応等によ
りガラス微粒子を合成する。反応容器１内に挿入された
種棒２にガラス微粒子を堆積させて光ファイバスート５
を製造する。火炎中の気相化学種を色素レーザ９が出す
レーザ光１１ｃによって励起させ、気相化学種が発する
蛍光をＣＣＤカメラ１５より測定し、気相化学種の空間
的分布を測定する。その測定結果によって、反応容器１
内の条件を制御する。
ことができ、しかもバーナの調整を能率良く行うことが
できる光ファイバスートの製造方法を提供する。 【構成】 反応容器１内に設けたバーナ３による酸水素
火炎４内に原料ガスを導入して火炎加水分解反応等によ
りガラス微粒子を合成する。反応容器１内に挿入された
種棒２にガラス微粒子を堆積させて光ファイバスート５
を製造する。火炎中の気相化学種を色素レーザ９が出す
レーザ光１１ｃによって励起させ、気相化学種が発する
蛍光をＣＣＤカメラ１５より測定し、気相化学種の空間
的分布を測定する。その測定結果によって、反応容器１
内の条件を制御する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、反応容器内に設けたバ
ーナの火炎中で合成したガラス微粒子を、該反応容器内
に挿入された種棒に堆積させて光ファイバスートを製造
する光ファイバスートの製造方法に関するものである。
ーナの火炎中で合成したガラス微粒子を、該反応容器内
に挿入された種棒に堆積させて光ファイバスートを製造
する光ファイバスートの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバスートの製造の有力な方法と
して、ＶＡＤ法がある。このＶＡＤ法では、反応容器内
に設けたバーナによる酸水素火炎内に原料ガスを導入し
て火炎加水分解反応等によりガラス微粒子を合成し、該
ガラス微粒子を該反応容器内に挿入された種棒に堆積さ
せて光ファイバスートを製造する。
して、ＶＡＤ法がある。このＶＡＤ法では、反応容器内
に設けたバーナによる酸水素火炎内に原料ガスを導入し
て火炎加水分解反応等によりガラス微粒子を合成し、該
ガラス微粒子を該反応容器内に挿入された種棒に堆積さ
せて光ファイバスートを製造する。
【０００３】この場合、光ファイバスート内は、主にＳ
ｉＯ2 からなるが、ＧｅＯ2 を半径方向に適宜分散させ
ることによって、屈折率分布の制御がなされている。
ｉＯ2 からなるが、ＧｅＯ2 を半径方向に適宜分散させ
ることによって、屈折率分布の制御がなされている。
【０００４】また、バーナによる酸水素火炎内には、原
料ガスとしてＳｉＣｌ4 ，ＧｅＣｌ4 を供給し、酸水素
火炎で火炎加水分解反応等を起こすことによって、Ｓｉ
Ｏ2及びＧｅＯ2 微粒子からなるガラス微粒子を合成し
ている。
料ガスとしてＳｉＣｌ4 ，ＧｅＣｌ4 を供給し、酸水素
火炎で火炎加水分解反応等を起こすことによって、Ｓｉ
Ｏ2及びＧｅＯ2 微粒子からなるガラス微粒子を合成し
ている。
【０００５】これらの反応を示すと、次式の通りであ
る。
る。
【０００６】 ＳｉＣｌ4 ＋２Ｈ2 Ｏ→ＳｉＯ2 ＋４ＨＣｌ …（１） ＧｅＣｌ4 ＋２Ｈ2 Ｏ→ＧｅＯ2 ＋４ＨＣｌ …（２） （１）式の反応では、中間生成物として、気相化学種で
あるＯＨ，ＳｉＯ等が生成されるが、最終的には（１）
式が成立する。
あるＯＨ，ＳｉＯ等が生成されるが、最終的には（１）
式が成立する。
【０００７】（２）式の反応では、中間生成物として、
気相化学種であるＯＨ，ＧｅＯ等が生成されるが、最終
的には（２）式が成立する。
気相化学種であるＯＨ，ＧｅＯ等が生成されるが、最終
的には（２）式が成立する。
【０００８】また、酸水素火炎の温度は、例えば1800〜
2000℃である。反応容器内の反応後のガスは、排気管か
ら排出されるが、反応容器内の上部から空気等の下降流
を流して、排気ガスが反応容器内の上部に行かないよう
にしている。
2000℃である。反応容器内の反応後のガスは、排気管か
ら排出されるが、反応容器内の上部から空気等の下降流
を流して、排気ガスが反応容器内の上部に行かないよう
にしている。
【０００９】また、この方法では、種棒の先端にＳｉＯ
2 及びＧｅＯ2 からなるガラス微粒子を堆積させ、温
度，流れ，圧力，光ファイバスートの引上げ速度，光フ
ァイバスートの回転速度等の各種条件を適合させて光フ
ァイバスートの製造を行っている。
2 及びＧｅＯ2 からなるガラス微粒子を堆積させ、温
度，流れ，圧力，光ファイバスートの引上げ速度，光フ
ァイバスートの回転速度等の各種条件を適合させて光フ
ァイバスートの製造を行っている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来の光ファイバスートの製造方法では、反応容
器内の圧力変動，温度変動，バーナのガス流量の変動な
どが種々あるため、光ファイバスート内のＧｅＯ2 分布
が安定しない、換言すれば光ファイバスートの屈折率分
布を安定させることができない問題点があった。
ような従来の光ファイバスートの製造方法では、反応容
器内の圧力変動，温度変動，バーナのガス流量の変動な
どが種々あるため、光ファイバスート内のＧｅＯ2 分布
が安定しない、換言すれば光ファイバスートの屈折率分
布を安定させることができない問題点があった。
【００１１】また、反応容器及びバーナが種々の反応生
成物のために汚れるので、定期的にメンテナンスをし、
別のものと交換する必要があり、このときバーナ角度，
バーナ位置，バーナガス供給条件等が微妙であり、試行
錯誤を繰り返して安定した製造条件，バーナ設置条件等
を決めなければならず、この調整に数ヵ月を要すること
もあり、調整作業の能率が悪い問題点があった。
成物のために汚れるので、定期的にメンテナンスをし、
別のものと交換する必要があり、このときバーナ角度，
バーナ位置，バーナガス供給条件等が微妙であり、試行
錯誤を繰り返して安定した製造条件，バーナ設置条件等
を決めなければならず、この調整に数ヵ月を要すること
もあり、調整作業の能率が悪い問題点があった。
【００１２】この問題を解決すべく、従来は、例えば、
特開昭６２−４１７３５号公報にあるように、ガラス焼
結体成長面に沿って流れる火炎流に紫外線を照射し、火
炎中に含まれるＧｅＯ2 が発する蛍光を測定し、このＧ
ｅＯ2 の濃度分布が均一になるように、バーナー等を調
整する方法が提案されている。
特開昭６２−４１７３５号公報にあるように、ガラス焼
結体成長面に沿って流れる火炎流に紫外線を照射し、火
炎中に含まれるＧｅＯ2 が発する蛍光を測定し、このＧ
ｅＯ2 の濃度分布が均一になるように、バーナー等を調
整する方法が提案されている。
【００１３】しかしながら、この方法を実際に実験して
みたところ、固相であるＧｅＯ2 からは蛍光は出ず、う
まくいかなかった。なお、この従来の方法では、発光し
た蛍光をビデオカメラで捕らえる旨提案しているが、仮
に蛍光が発せられたとしても、恐らく微弱過ぎてビデオ
カメラ程度では測定は不可能であると推測される。
みたところ、固相であるＧｅＯ2 からは蛍光は出ず、う
まくいかなかった。なお、この従来の方法では、発光し
た蛍光をビデオカメラで捕らえる旨提案しているが、仮
に蛍光が発せられたとしても、恐らく微弱過ぎてビデオ
カメラ程度では測定は不可能であると推測される。
【００１４】本発明の目的は、光ファイバスートの屈折
率分布を安定させることができ、しかもバーナの調整を
能率良く行うことができる光ファイバスートの製造方法
を提供することにある。
率分布を安定させることができ、しかもバーナの調整を
能率良く行うことができる光ファイバスートの製造方法
を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成する本
発明の手段を説明すると、本発明は反応容器内に設けた
バーナによる酸水素火炎内に原料ガスを導入してガラス
微粒子を合成し、該反応容器内に挿入された種棒に該ガ
ラス微粒子を堆積させて光ファイバスートを製造する光
ファイバスートの製造方法において、前記火炎中の気相
化学種をレーザ光によって励起させ、前記気相化学種が
発する蛍光を測定することにより、前記気相化学種の空
間的分布を測定し、その測定結果によって反応容器内の
条件を制御することを特徴とする。
発明の手段を説明すると、本発明は反応容器内に設けた
バーナによる酸水素火炎内に原料ガスを導入してガラス
微粒子を合成し、該反応容器内に挿入された種棒に該ガ
ラス微粒子を堆積させて光ファイバスートを製造する光
ファイバスートの製造方法において、前記火炎中の気相
化学種をレーザ光によって励起させ、前記気相化学種が
発する蛍光を測定することにより、前記気相化学種の空
間的分布を測定し、その測定結果によって反応容器内の
条件を制御することを特徴とする。
【００１６】
【作用】このように火炎中の気相化学種をレーザ光によ
って励起させ、該気相化学種が発する蛍光を測定するこ
とにより、前記気相化学種の空間的分布を測定すると、
容易に気相化学種の空間的分布を測定できる。
って励起させ、該気相化学種が発する蛍光を測定するこ
とにより、前記気相化学種の空間的分布を測定すると、
容易に気相化学種の空間的分布を測定できる。
【００１７】特に、気相化学種をレーザ光によって励起
させると、紫外線光源等を用いるものと違って、気相化
学種から比較的強い蛍光を発生させることができ、気相
化学種の空間的分布観測を確実に行うことができる。
させると、紫外線光源等を用いるものと違って、気相化
学種から比較的強い蛍光を発生させることができ、気相
化学種の空間的分布観測を確実に行うことができる。
【００１８】得られた測定結果によって、最適なバーナ
設置条件，ガス流量条件等となるようにフイードバック
を制御すると、調整結果を観測しつつ調整作業を容易に
能率良く行うことができる。
設置条件，ガス流量条件等となるようにフイードバック
を制御すると、調整結果を観測しつつ調整作業を容易に
能率良く行うことができる。
【００１９】従って、このような方法をとると、光ファ
イバスートの屈折率分布を安定させることができ、しか
もバーナの調整を能率良く行うことができる。
イバスートの屈折率分布を安定させることができ、しか
もバーナの調整を能率良く行うことができる。
【００２０】
【実施例】図１は、本発明に係る光ファイバスートの製
造方法を実施する装置の一実施例を示したものである。
図において、１は反応容器、２は反応容器１の上部開口
部１ａから内部に挿入されたガラス製の種棒、３は反応
容器１内にその下部側から挿入されたバーナ、４はバー
ナ３により形成される酸水素火炎、５は酸水素火炎４内
で合成されたガラス微粒子が種棒２の先端に堆積されて
形成された光ファイバスート、５ａはスート先端部、６
は反応容器１の長手方向の中間部に接続されている排気
管、７は反応容器１の上部開口部１ａから供給されてい
る下降流である。
造方法を実施する装置の一実施例を示したものである。
図において、１は反応容器、２は反応容器１の上部開口
部１ａから内部に挿入されたガラス製の種棒、３は反応
容器１内にその下部側から挿入されたバーナ、４はバー
ナ３により形成される酸水素火炎、５は酸水素火炎４内
で合成されたガラス微粒子が種棒２の先端に堆積されて
形成された光ファイバスート、５ａはスート先端部、６
は反応容器１の長手方向の中間部に接続されている排気
管、７は反応容器１の上部開口部１ａから供給されてい
る下降流である。
【００２１】８はポンピングレーザ、９はポンピングレ
ーザ８で励起されて特定波長のレーザ光を出す色素レー
ザ（ｄｙｅ ｌａｓｅｒ）、１０は色素レーザ９が出す
レーザ光１１ａの波長を選択する波長選択器、１２は波
長選択器１０が出すレーザ光１１ａの向きを90°曲げる
ミラー、１３は波長選択器１０が出したレーザ光１１ａ
の波長を変換する波長変換器、１４は波長変換器１３が
出す断面円形のレーザ光１１ｂを断面が偏平なシート状
レーザ光１１ｃに変換して反応容器１の底部における平
らで透光性の良い透光部１ｂを経て酸水素火炎４に照射
するシート光学系である。透光性の良い透光部１ｂは、
本実施例では透光性の良い石英ガラスで形成している。
ーザ８で励起されて特定波長のレーザ光を出す色素レー
ザ（ｄｙｅ ｌａｓｅｒ）、１０は色素レーザ９が出す
レーザ光１１ａの波長を選択する波長選択器、１２は波
長選択器１０が出すレーザ光１１ａの向きを90°曲げる
ミラー、１３は波長選択器１０が出したレーザ光１１ａ
の波長を変換する波長変換器、１４は波長変換器１３が
出す断面円形のレーザ光１１ｂを断面が偏平なシート状
レーザ光１１ｃに変換して反応容器１の底部における平
らで透光性の良い透光部１ｂを経て酸水素火炎４に照射
するシート光学系である。透光性の良い透光部１ｂは、
本実施例では透光性の良い石英ガラスで形成している。
【００２２】１５はシート状レーザ光１０ｃの照射によ
り酸水素火炎４中の気相化学種が発する蛍光を光増幅器
１６を介して検出するＣＣＤカメラ、１７はＣＣＤカメ
ラ１５の制御を行うと共に該ＣＣＤカメラ１５の出力を
ＣＰＵ１８に与えるＣＣＤコントローラ、１９はＣＰＵ
１８で処理されたＣＣＤカメラ１５の出力を記憶するメ
モリ、２０はＣＰＵ１８で処理されたＣＣＤカメラ１５
の出力を表示するモニタである。
り酸水素火炎４中の気相化学種が発する蛍光を光増幅器
１６を介して検出するＣＣＤカメラ、１７はＣＣＤカメ
ラ１５の制御を行うと共に該ＣＣＤカメラ１５の出力を
ＣＰＵ１８に与えるＣＣＤコントローラ、１９はＣＰＵ
１８で処理されたＣＣＤカメラ１５の出力を記憶するメ
モリ、２０はＣＰＵ１８で処理されたＣＣＤカメラ１５
の出力を表示するモニタである。
【００２３】次に、このような装置を用いて行う本実施
例の光ファイバスートの製造方法について説明する。
例の光ファイバスートの製造方法について説明する。
【００２４】バーナ３による酸水素火炎４内に、原料ガ
スとしてＳｉＣｌ4 ，ＧｅＣｌ4 を供給し、該酸水素火
炎４と火炎加水分解反応あるいは酸化反応等を起こすこ
とによって、ＳｉＯ2 及びＧｅＯ2 微粒子からなるガラ
ス微粒子を合成し、該ガラス微粒子を反応容器１内の種
棒２の先端に堆積させ、光ファイバスート５を形成す
る。
スとしてＳｉＣｌ4 ，ＧｅＣｌ4 を供給し、該酸水素火
炎４と火炎加水分解反応あるいは酸化反応等を起こすこ
とによって、ＳｉＯ2 及びＧｅＯ2 微粒子からなるガラ
ス微粒子を合成し、該ガラス微粒子を反応容器１内の種
棒２の先端に堆積させ、光ファイバスート５を形成す
る。
【００２５】このような作業中に、ポンピングレーザ８
で色素レーザ９を励起させる。本実施例では、ポンピン
グレーザ８としてＹＡＧレーザを用いた。該ＹＡＧレー
ザは、第２高調波が532 nmで、出力が12Ｗである。ポン
ピングレーザ８の出力で色素レーザ９を励起させると、
特定波長のレーザ光が該色素レーザ９から出る。本実施
例の色素レーザ９は、平均出力波長が566 nm、出力が2.
0 Ｗである。色素レーザ９が出すレーザ光１１ａの波長
を波長選択器１０で選択する。波長選択器１０は、選択
波長が566 nm、出力が1.6 Ｗである。該波長選択器１０
が出すレーザ光１１ａの向きをミラー１２で90°曲げ、
波長変換器１３に与える。波長変換器１３では、波長選
択器１０で選択した波長を283 nm、出力を0.18Ｗに変換
し、シート光学系１４に与える。該シート光学系１４で
は、波長変換器１３が出す断面円形のレーザ光１１ｂを
断面が偏平なシート状レーザ光１１ｃに変換して、反応
容器１の底部における平らで透光性の良い透光部１ｂを
経て酸水素火炎４に照射する。
で色素レーザ９を励起させる。本実施例では、ポンピン
グレーザ８としてＹＡＧレーザを用いた。該ＹＡＧレー
ザは、第２高調波が532 nmで、出力が12Ｗである。ポン
ピングレーザ８の出力で色素レーザ９を励起させると、
特定波長のレーザ光が該色素レーザ９から出る。本実施
例の色素レーザ９は、平均出力波長が566 nm、出力が2.
0 Ｗである。色素レーザ９が出すレーザ光１１ａの波長
を波長選択器１０で選択する。波長選択器１０は、選択
波長が566 nm、出力が1.6 Ｗである。該波長選択器１０
が出すレーザ光１１ａの向きをミラー１２で90°曲げ、
波長変換器１３に与える。波長変換器１３では、波長選
択器１０で選択した波長を283 nm、出力を0.18Ｗに変換
し、シート光学系１４に与える。該シート光学系１４で
は、波長変換器１３が出す断面円形のレーザ光１１ｂを
断面が偏平なシート状レーザ光１１ｃに変換して、反応
容器１の底部における平らで透光性の良い透光部１ｂを
経て酸水素火炎４に照射する。
【００２６】酸水素火炎４の中で行われている火炎加水
分解反応中にシート状レーザ光１１ｃが照射されると、
該シート状レーザ光１１ｃが照射された箇所の火炎中の
気相化学種が蛍光を発する。該気相化学種が発する蛍光
を、光増幅器１６を介してＣＣＤカメラ１５で検出し、
ＣＣＤコントローラ１７を経てＣＰＵ１８に与え、該Ｃ
ＰＵ１８で処理してモニタ２０で監視する。光増幅器１
６として、本実施例ではＭＣＰ（マルチチャンネルプレ
ート）を使用し、入射光を数十倍に増幅している。
分解反応中にシート状レーザ光１１ｃが照射されると、
該シート状レーザ光１１ｃが照射された箇所の火炎中の
気相化学種が蛍光を発する。該気相化学種が発する蛍光
を、光増幅器１６を介してＣＣＤカメラ１５で検出し、
ＣＣＤコントローラ１７を経てＣＰＵ１８に与え、該Ｃ
ＰＵ１８で処理してモニタ２０で監視する。光増幅器１
６として、本実施例ではＭＣＰ（マルチチャンネルプレ
ート）を使用し、入射光を数十倍に増幅している。
【００２７】酸水素火炎４の中で生じている前述した
（１）式，（２）式の反応の過程で生じる気相化学種の
一つであるＯＨは、283 nm付近に吸収帯を持ち、310 nm
付近の蛍光を出す。この蛍光を前述したように光増幅器
１６を介してＣＣＤカメラ１５で検出し、ＣＰＵ１８を
経てモニタ２０でＯＨの空間的分布を監視する。このＯ
Ｈ分子の雰囲気内で反応が進行していると考えられるの
で、該ＯＨの空間的分布の形状の安定が重要である。こ
のＯＨの空間的分布の形状が安定するように、バーナ３
の設置条件，ガス流量条件等を制御する。
（１）式，（２）式の反応の過程で生じる気相化学種の
一つであるＯＨは、283 nm付近に吸収帯を持ち、310 nm
付近の蛍光を出す。この蛍光を前述したように光増幅器
１６を介してＣＣＤカメラ１５で検出し、ＣＰＵ１８を
経てモニタ２０でＯＨの空間的分布を監視する。このＯ
Ｈ分子の雰囲気内で反応が進行していると考えられるの
で、該ＯＨの空間的分布の形状の安定が重要である。こ
のＯＨの空間的分布の形状が安定するように、バーナ３
の設置条件，ガス流量条件等を制御する。
【００２８】気相化学種の一つであるＧｅＯ（気相）は
ＧｅＯ2 になる前の状態であり、このＧｅＯの分布によ
って光ファイバスート５内のＧｅＯ2 （固相）の分布が
決まると考えられる。ＧｅＯの励起波長は266 nm付近で
あり、269 nm付近で蛍光を発する。このＧｅＯの空間的
分布の形状を前述したように測定し、このＧｅＯの空間
的分布の形状が所望の形状になるように、バーナ３の設
置条件，ガス流量条件等を制御する。
ＧｅＯ2 になる前の状態であり、このＧｅＯの分布によ
って光ファイバスート５内のＧｅＯ2 （固相）の分布が
決まると考えられる。ＧｅＯの励起波長は266 nm付近で
あり、269 nm付近で蛍光を発する。このＧｅＯの空間的
分布の形状を前述したように測定し、このＧｅＯの空間
的分布の形状が所望の形状になるように、バーナ３の設
置条件，ガス流量条件等を制御する。
【００２９】ＯＨとＧｅＯの空間的分布の形状が適合す
るような種々の条件を知ることは、ＧｅＯ2 の生成分布
を均一化させ、光ファイバスート５内への分散を安定化
させることにつながる。測定結果を用いて反応容器１内
の各種条件を制御すれば、従来何の目安もなく試行錯誤
的に行われていたバーナ３及び各種条件出しを容易に行
うことができる。
るような種々の条件を知ることは、ＧｅＯ2 の生成分布
を均一化させ、光ファイバスート５内への分散を安定化
させることにつながる。測定結果を用いて反応容器１内
の各種条件を制御すれば、従来何の目安もなく試行錯誤
的に行われていたバーナ３及び各種条件出しを容易に行
うことができる。
【００３０】実験によると、酸水素火炎４の形状とＧｅ
Ｏの空間的分布２１の形状が、図２に示すような状態に
なっている時に、該ＧｅＯの空間的分布２１の形状が安
定することが判明した。
Ｏの空間的分布２１の形状が、図２に示すような状態に
なっている時に、該ＧｅＯの空間的分布２１の形状が安
定することが判明した。
【００３１】ＧｅＯの空間的分布２１の形状は図１に示
す装置を用いて測定し、酸水素火炎４の形状はＣＣＤカ
メラ１５にフィルターを別途取付けて測定し、両画像を
重ねることにより、図２に示すような画像を得ることが
できる。
す装置を用いて測定し、酸水素火炎４の形状はＣＣＤカ
メラ１５にフィルターを別途取付けて測定し、両画像を
重ねることにより、図２に示すような画像を得ることが
できる。
【００３２】ＯＨ，ＧｅＯ，ＳｉＯは、それぞれ励起波
長が異なるので、これらの空間的分布形状を同時に測定
する必要がある場合には、図３に示すように、ポンピン
グレーザ８や光増幅器１６付のＣＣＤカメラ１５は共用
しても、色素レーザ，波長選択器，波長変換器，シート
光学系としてそれぞれ専用の色素レーザ９ａ，９ｂ，９
ｃ、波長選択器１０ａ，１０ｂ，１０ｃ、波長変換器１
３ａ，１３ｂ，１３ｃ、シート光学系１４ａ，１４ｂ，
１４ｃを用いると、蛍光波長も異なるので３成分を同時
に測定することができる。
長が異なるので、これらの空間的分布形状を同時に測定
する必要がある場合には、図３に示すように、ポンピン
グレーザ８や光増幅器１６付のＣＣＤカメラ１５は共用
しても、色素レーザ，波長選択器，波長変換器，シート
光学系としてそれぞれ専用の色素レーザ９ａ，９ｂ，９
ｃ、波長選択器１０ａ，１０ｂ，１０ｃ、波長変換器１
３ａ，１３ｂ，１３ｃ、シート光学系１４ａ，１４ｂ，
１４ｃを用いると、蛍光波長も異なるので３成分を同時
に測定することができる。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る光フ
ァイバスートの製造方法では、火炎中の気相化学種をレ
ーザ光によって励起させ、該気相化学種が発する蛍光を
測定することにより、該気相化学種の空間的分布を測定
するので、容易に気相化学種の空間的分布の測定を行う
ことができる。
ァイバスートの製造方法では、火炎中の気相化学種をレ
ーザ光によって励起させ、該気相化学種が発する蛍光を
測定することにより、該気相化学種の空間的分布を測定
するので、容易に気相化学種の空間的分布の測定を行う
ことができる。
【００３４】特に、気相化学種をレーザ光によって励起
させると、紫外線光源等を用いるものと違って、気相化
学種から比較的強い蛍光を発生させることができ、気相
化学種の空間的分布観測を確実に行うことができる。
させると、紫外線光源等を用いるものと違って、気相化
学種から比較的強い蛍光を発生させることができ、気相
化学種の空間的分布観測を確実に行うことができる。
【００３５】得られた測定結果によって、最適なバーナ
設置条件，ガス流量条件等となるように制御することに
より、調整結果を観測しつつ調整作業を容易に能率良く
行うことができる。
設置条件，ガス流量条件等となるように制御することに
より、調整結果を観測しつつ調整作業を容易に能率良く
行うことができる。
【００３６】従って、本発明に係る光ファイバスートの
製造方法によれば、光ファイバスートの屈折率分布を安
定させることができ、しかもバーナの調整を短時間に能
率良く行うことができる。
製造方法によれば、光ファイバスートの屈折率分布を安
定させることができ、しかもバーナの調整を短時間に能
率良く行うことができる。
【図１】本発明に係る光ファイバスートの製造方法を実
施する装置の概略構成を示す縦断面図である。
施する装置の概略構成を示す縦断面図である。
【図２】本発明の方法による酸水素火炎の形状とＧｅＯ
の空間的分布の形状の重ね合わせ状態を示す説明図であ
る。
の空間的分布の形状の重ね合わせ状態を示す説明図であ
る。
【図３】本発明に係る光ファイバスートの製造方法を実
施する装置の他の例の要部構成を示すブロック図であ
る。
施する装置の他の例の要部構成を示すブロック図であ
る。
１ 反応容器 １ａ 上部開口部 ２ 種棒 ３ バーナ ４ 酸水素火炎 ５ 光ファイバスート ５ａ スート先端部 ６ 排気管 ８ ポンピングレーザ ９，９ａ〜９ｃ 色素レーザ １０，１０ａ〜１０ｃ 波長選択器 １１ａ〜１１ｃ レーザ光 １２ ミラー １３，１３ａ〜１３ｃ 波長変換器 １４，１４ａ〜１４ｃ シート光学系 １５ ＣＣＤカメラ １６ 光増幅器 １７ ＣＣＤコントローラ １８ ＣＰＵ １９ メモリ ２０ モニタ ２１ ＧｅＯの空間的分布
Claims (1)
- 【請求項１】 反応容器内に設けたバーナによる酸水素
火炎内に原料ガスを導入してガラス微粒子を合成し、該
反応容器内に挿入された種棒に該ガラス微粒子を堆積さ
せて光ファイバスートを製造する光ファイバスートの製
造方法において、 前記火炎中の気相化学種をレーザ光によって励起させ、
前記気相化学種が発する蛍光を測定することにより、前
記気相化学種の空間的分布を測定し、その測定結果によ
って反応容器内の条件を制御することを特徴とする光フ
ァイバスートの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17952293A JPH0733468A (ja) | 1993-07-21 | 1993-07-21 | 光ファイバスートの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17952293A JPH0733468A (ja) | 1993-07-21 | 1993-07-21 | 光ファイバスートの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0733468A true JPH0733468A (ja) | 1995-02-03 |
Family
ID=16067247
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17952293A Pending JPH0733468A (ja) | 1993-07-21 | 1993-07-21 | 光ファイバスートの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0733468A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6366353B1 (en) * | 1999-11-05 | 2002-04-02 | Corning Incorporated | Method to determine the identity of a material in an object |
| WO2006075496A1 (ja) * | 2005-01-17 | 2006-07-20 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | 石英ガラスの製造方法 |
-
1993
- 1993-07-21 JP JP17952293A patent/JPH0733468A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6366353B1 (en) * | 1999-11-05 | 2002-04-02 | Corning Incorporated | Method to determine the identity of a material in an object |
| WO2006075496A1 (ja) * | 2005-01-17 | 2006-07-20 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | 石英ガラスの製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0968969B1 (en) | Process of producing silica glass products used for photolithography and optical members produced by the process | |
| EP0488320A1 (en) | UV light-permeable glass and article comprising the same | |
| EP2211232A1 (en) | Reduced striae extreme ultraviolet elements | |
| JP4834635B2 (ja) | 合成石英ガラス製プリフォーム | |
| JP3965734B2 (ja) | 石英ガラスおよびその製造方法 | |
| CN1285524C (zh) | 用于在光纤制造中确定拉制张力的方法 | |
| US6366353B1 (en) | Method to determine the identity of a material in an object | |
| US11926527B2 (en) | Furnace control method | |
| JPH0733468A (ja) | 光ファイバスートの製造方法 | |
| JPH11209128A (ja) | 合成石英ガラス製造装置およびこの合成石英ガラス製造装置によって製造された合成石英ガラス | |
| EP2208716B1 (en) | Method and apparatus for manufacturing optical fiber preform using high frequency induction thermal plasma torch | |
| JPH1129331A (ja) | 合成石英ガラス光学部材の製造方法および光学部材 | |
| JPH0952723A (ja) | 光学用合成石英ガラス材及びその製造方法 | |
| JP2006160551A (ja) | ガラス母材及びガラスの製造方法 | |
| JP3843780B2 (ja) | ガラス微粒子堆積体の製造方法 | |
| JPH11246232A (ja) | ガラス物品の製造方法及び装置 | |
| JP2992016B1 (ja) | 光ファィバ母材の製造方法および製造装置 | |
| JPS6241735A (ja) | 光フアイバ母材の製造方法 | |
| WO2003080525A1 (fr) | Element de verre de quartz synthetique et procede de production de celui-ci | |
| JP2003277069A (ja) | 多孔質母材の製造方法 | |
| JPH07223834A (ja) | 光ファイバ用多孔質母材の合成方法とその装置 | |
| JPS61122131A (ja) | 溶融石英の製造方法及び装置 | |
| JPS6071592A (ja) | 単結晶の製造方法 | |
| JPS5851896B2 (ja) | 光フアイバ母材の屈折率制御方法 | |
| JP4162952B2 (ja) | 合成石英ガラスの製造方法および多孔質石英ガラス製造装置 |