JPH07335488A - 厚膜形容量素子の製造方法 - Google Patents
厚膜形容量素子の製造方法Info
- Publication number
- JPH07335488A JPH07335488A JP6125081A JP12508194A JPH07335488A JP H07335488 A JPH07335488 A JP H07335488A JP 6125081 A JP6125081 A JP 6125081A JP 12508194 A JP12508194 A JP 12508194A JP H07335488 A JPH07335488 A JP H07335488A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dielectric
- thick film
- paste
- capacitive element
- lower electrode
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- Pending
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- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 静電容量のバラツキの小さい厚膜形容量素子
を提供することを目的とする。 【構成】 まず、アルミナ基板１上に下部電極２を形成
し、この上に、誘電体３用ペーストを印刷し、表面を溶
剤で濡らした後加圧し、その後これを焼成し、最後に上
部電極４を形成する。
を提供することを目的とする。 【構成】 まず、アルミナ基板１上に下部電極２を形成
し、この上に、誘電体３用ペーストを印刷し、表面を溶
剤で濡らした後加圧し、その後これを焼成し、最後に上
部電極４を形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、厚膜形容量素子の製造
方法に関するものである。
方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図１は厚膜形容量素子の断面図である。
【０００３】従来、厚膜形容量素子は、まず、アルミナ
基板１上に下部電極２をスクリーン印刷し、乾燥後、焼
成し、次に、この下部電極２上に誘電体３用ペースト、
上部電極４の順にスクリーン印刷し、乾燥後、誘電体３
用ペーストと上部電極４とを同時に焼成するか、あるい
は、誘電体３用ペーストと、上部電極４とをそれぞれ個
別に、スクリーン印刷し、乾燥後、焼成して形成してい
た。
基板１上に下部電極２をスクリーン印刷し、乾燥後、焼
成し、次に、この下部電極２上に誘電体３用ペースト、
上部電極４の順にスクリーン印刷し、乾燥後、誘電体３
用ペーストと上部電極４とを同時に焼成するか、あるい
は、誘電体３用ペーストと、上部電極４とをそれぞれ個
別に、スクリーン印刷し、乾燥後、焼成して形成してい
た。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記構成では、誘電体
３用ペーストを印刷する際、印刷スピードのバラツキや
スクリーン印刷に用いるメッシュの目の跡などにより、
表面が荒らされてしまう。そのため、誘電体３の厚みが
場所によって違ったり、またその内部構造（緻密性）が
不均質になったりして、静電容量にバラツキが生じると
いう問題点を有していた。この問題点は、特に、大きな
基板に同一の静電容量を有する誘電体を一度に多数個形
成する場合、及びこれを連続して多数個生産する場合な
どに生じていた。
３用ペーストを印刷する際、印刷スピードのバラツキや
スクリーン印刷に用いるメッシュの目の跡などにより、
表面が荒らされてしまう。そのため、誘電体３の厚みが
場所によって違ったり、またその内部構造（緻密性）が
不均質になったりして、静電容量にバラツキが生じると
いう問題点を有していた。この問題点は、特に、大きな
基板に同一の静電容量を有する誘電体を一度に多数個形
成する場合、及びこれを連続して多数個生産する場合な
どに生じていた。
【０００５】本発明は、静電容量をはじめとする特性の
安定した厚膜形容量素子を提供することを目的とするも
のである。
安定した厚膜形容量素子を提供することを目的とするも
のである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明は、基板上に、下部電極を設け、この下部電
極上に誘電体ペーストを印刷し、次に、この誘電体ペー
ストを溶剤で濡らして加圧した後焼成し、その後、上部
電極を形成するものである。
に、本発明は、基板上に、下部電極を設け、この下部電
極上に誘電体ペーストを印刷し、次に、この誘電体ペー
ストを溶剤で濡らして加圧した後焼成し、その後、上部
電極を形成するものである。
【０００７】
【作用】この構成により、誘電体ペーストは、容易に表
面が均一になり、緻密性が増すとともに均質化されるた
め、厚膜形容量素子の静電容量のバラツキが小さくな
り、特性が安定する。
面が均一になり、緻密性が増すとともに均質化されるた
め、厚膜形容量素子の静電容量のバラツキが小さくな
り、特性が安定する。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
しながら説明する。図１は、本実施例における厚膜形容
量素子の断面図である。
しながら説明する。図１は、本実施例における厚膜形容
量素子の断面図である。
【０００９】まず、厚さ０．６３５mmのアルミナ基板１
上に、Ａｇを主体とする導電性ペーストをスクリーン印
刷し、乾燥後、７００℃で焼成し、厚さ１０μｍの下部
電極２を形成した。次に、下部電極２上にＰＺＴ系材料
からなる誘電体３用ペーストをスクリーン印刷し、１２
０℃で１０分乾燥した。その後、この誘電体３用ペース
ト表面をブチルカルビトールで濡らし、金属製のロール
で、所望の厚みになるように加圧して表面を滑らかにす
るとともに緻密性を向上させた。次に、８５０℃で１時
間焼成した後、誘電体３上に、下部電極２と同一材料、
同一条件で上部電極４を形成して、厚膜形容量素子を
得、試料１とした。
上に、Ａｇを主体とする導電性ペーストをスクリーン印
刷し、乾燥後、７００℃で焼成し、厚さ１０μｍの下部
電極２を形成した。次に、下部電極２上にＰＺＴ系材料
からなる誘電体３用ペーストをスクリーン印刷し、１２
０℃で１０分乾燥した。その後、この誘電体３用ペース
ト表面をブチルカルビトールで濡らし、金属製のロール
で、所望の厚みになるように加圧して表面を滑らかにす
るとともに緻密性を向上させた。次に、８５０℃で１時
間焼成した後、誘電体３上に、下部電極２と同一材料、
同一条件で上部電極４を形成して、厚膜形容量素子を
得、試料１とした。
【００１０】また、試料１と同一材料、同一条件でアル
ミナ基板１上に下部電極２を形成し、この下部電極２上
に誘電体３用ペーストをスクリーン印刷し、表面をブチ
ルカルビトールで濡らし、金属製のロールで加圧して表
面を滑らかにするとともに緻密性を向上させた。その
後、この誘電体３用ペースト上に、試料１と同様にして
上部電極４を形成し、８５０℃で１時間焼成して、厚膜
形容量素子を得、試料２とした。
ミナ基板１上に下部電極２を形成し、この下部電極２上
に誘電体３用ペーストをスクリーン印刷し、表面をブチ
ルカルビトールで濡らし、金属製のロールで加圧して表
面を滑らかにするとともに緻密性を向上させた。その
後、この誘電体３用ペースト上に、試料１と同様にして
上部電極４を形成し、８５０℃で１時間焼成して、厚膜
形容量素子を得、試料２とした。
【００１１】試料１及び試料２において、誘電体３用ペ
ーストを加圧するときに表面をブチルカルビトールで濡
らしているので、加圧がスムーズに行え、しかも、ロー
ルに誘電体３用ペーストが付着することがなかった。
ーストを加圧するときに表面をブチルカルビトールで濡
らしているので、加圧がスムーズに行え、しかも、ロー
ルに誘電体３用ペーストが付着することがなかった。
【００１２】さらに、比較のために、従来の厚膜形容量
素子として２種類用意した。一つは、試料１において、
誘電体３用ペーストの表面をブチルカルビトールで濡ら
し、金属製のロールで加圧する工程を除いた以外は同一
材料、同一条件で形成したもので試料３とした。もう一
つは、試料２において、誘電体３用ペーストの表面をブ
チルカルビトールで濡らし、金属製のロールで加圧する
工程を除いた以外は同一材料、同一条件で形成したもの
で試料４とした。
素子として２種類用意した。一つは、試料１において、
誘電体３用ペーストの表面をブチルカルビトールで濡ら
し、金属製のロールで加圧する工程を除いた以外は同一
材料、同一条件で形成したもので試料３とした。もう一
つは、試料２において、誘電体３用ペーストの表面をブ
チルカルビトールで濡らし、金属製のロールで加圧する
工程を除いた以外は同一材料、同一条件で形成したもの
で試料４とした。
【００１３】この試料１〜試料４をそれぞれ１００個形
成した。次に、試料１〜試料４の誘電体３の厚み、静電
容量を測定した。
成した。次に、試料１〜試料４の誘電体３の厚み、静電
容量を測定した。
【００１４】試料１及び試料２の誘電体３の厚みは５１
〜５４μｍで、静電容量のバラツキはその平均値に対し
て±５％の範囲であった。これに対し、従来のものであ
る試料３及び試料４の誘電体３の厚みは５５〜６２μｍ
で、静電容量のバラツキは平均値に対して±１１％であ
った。
〜５４μｍで、静電容量のバラツキはその平均値に対し
て±５％の範囲であった。これに対し、従来のものであ
る試料３及び試料４の誘電体３の厚みは５５〜６２μｍ
で、静電容量のバラツキは平均値に対して±１１％であ
った。
【００１５】このことからもわかるように、試料１及び
試料２は誘電体３が緻密であり、静電容量のバラツキも
小さいものである。
試料２は誘電体３が緻密であり、静電容量のバラツキも
小さいものである。
【００１６】なお、本実施例においては、下部電極２と
上部電極４とは同一の材料（Ａｇ）で形成したが、Ａｇ
−Ｐｄ等で形成しても構わないし、同様の効果が得られ
れば、下部電極２と上部電極４の材料が違っても構わな
い。また、溶剤としてブチルカルビトールを用いたが、
他にも、白灯油、ターピネオール等、ペースト用のシン
ナーであればよい。さらに、誘電体３用ペーストの加圧
方法も、誘電体３が所望の厚さになり、表面が滑らかに
なり、内部構造が均質化（緻密性が向上）できれば、金
属製のロールを用いなくても構わない。
上部電極４とは同一の材料（Ａｇ）で形成したが、Ａｇ
−Ｐｄ等で形成しても構わないし、同様の効果が得られ
れば、下部電極２と上部電極４の材料が違っても構わな
い。また、溶剤としてブチルカルビトールを用いたが、
他にも、白灯油、ターピネオール等、ペースト用のシン
ナーであればよい。さらに、誘電体３用ペーストの加圧
方法も、誘電体３が所望の厚さになり、表面が滑らかに
なり、内部構造が均質化（緻密性が向上）できれば、金
属製のロールを用いなくても構わない。
【００１７】
【発明の効果】以上、本発明によると、誘電体の厚さが
均一になるとともにその内部構造が均質化（緻密性が向
上）できるので、その結果として静電容量のバラツキの
小さい安定した特性を有する厚膜形容量素子を得ること
ができる。
均一になるとともにその内部構造が均質化（緻密性が向
上）できるので、その結果として静電容量のバラツキの
小さい安定した特性を有する厚膜形容量素子を得ること
ができる。
【図１】従来及び本発明の一実施例における厚膜形容量
素子の断面図
素子の断面図
１ アルミナ基板 ２ 下部電極 ３ 誘電体 ４ 上部電極
Claims (2)
- 【請求項１】 まず基板上に下部電極を形成し、次に前
記下部電極上に誘電体ペーストを印刷し、その後、溶剤
で前記誘電体ペースト表面を濡らして、その後前記誘電
体ペーストを加圧し、次に、前記誘電体ペーストを焼成
した後、上部電極を形成する厚膜形容量素子の製造方
法。 - 【請求項２】 まず基板上に下部電極を形成し、次に前
記下部電極上に誘電体ペーストを印刷し、その後、溶剤
で前記誘電体ペースト表面を濡らして、その後前記誘電
体ペーストを加圧し、次に前記誘電体ペースト上に上部
電極を形成した後、焼成する厚膜形容量素子の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6125081A JPH07335488A (ja) | 1994-06-07 | 1994-06-07 | 厚膜形容量素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6125081A JPH07335488A (ja) | 1994-06-07 | 1994-06-07 | 厚膜形容量素子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07335488A true JPH07335488A (ja) | 1995-12-22 |
Family
ID=14901366
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6125081A Pending JPH07335488A (ja) | 1994-06-07 | 1994-06-07 | 厚膜形容量素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07335488A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011222923A (ja) * | 2010-04-06 | 2011-11-04 | Korea Institute Of Ceramic Engineering And Technology | 無焼結ｍｉｍキャパシタ及びその製造方法 |
-
1994
- 1994-06-07 JP JP6125081A patent/JPH07335488A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011222923A (ja) * | 2010-04-06 | 2011-11-04 | Korea Institute Of Ceramic Engineering And Technology | 無焼結ｍｉｍキャパシタ及びその製造方法 |
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