JPH0878267A - 内部電極ペーストおよびそれを用いた積層セラミックコンデンサ - Google Patents
内部電極ペーストおよびそれを用いた積層セラミックコンデンサInfo
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- JPH0878267A JPH0878267A JP21476694A JP21476694A JPH0878267A JP H0878267 A JPH0878267 A JP H0878267A JP 21476694 A JP21476694 A JP 21476694A JP 21476694 A JP21476694 A JP 21476694A JP H0878267 A JPH0878267 A JP H0878267A
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Landscapes
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- Conductive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】積層セラミックコンデンサの内部電極として使
用した時に、焼成時の反応が抑制されてデラミネーショ
ンの発生を防ぐことができる内部電極ペーストと、それ
を用いた積層セラミックコンデンサを提供する。 【構成】Pt,Pd,Au,Ag等の貴金属粉末を含む
積層セラミックコンデンサ用の内部電極ペーストにおい
て、貴金属粉末100体積部に対して、積層セラミック
コンデンサの誘電体と同じ材料系のセラミック粉末を2
0〜100体積部含有することを特徴とする。
用した時に、焼成時の反応が抑制されてデラミネーショ
ンの発生を防ぐことができる内部電極ペーストと、それ
を用いた積層セラミックコンデンサを提供する。 【構成】Pt,Pd,Au,Ag等の貴金属粉末を含む
積層セラミックコンデンサ用の内部電極ペーストにおい
て、貴金属粉末100体積部に対して、積層セラミック
コンデンサの誘電体と同じ材料系のセラミック粉末を2
0〜100体積部含有することを特徴とする。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は積層セラミックコンデン
サ用の内部電極ペースト、およびそれを用いた積層セラ
ミックコンデンサに関する。
サ用の内部電極ペースト、およびそれを用いた積層セラ
ミックコンデンサに関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、積層セラミックコンデンサは、
以下のようにして製造されている。即ち、まず、誘電体
としてドクターブレード法等で得たセラミックグリーン
シートに、内部電極ペーストをスクリーン印刷法等によ
り印刷する。次に、これらを積層し圧着した後、このセ
ラミックグリーンシートと内部電極ペースト層からなる
圧着体を同時に焼成し、その後、外部電極を形成して得
られる。また、このスクリーン印刷用の内部電極ペース
トとしては、Pt、Pd、Au、Ag等の金属粉末をエ
チルセルロース樹脂やアルキッド樹脂等のバインダおよ
び溶剤を含有する有機ビヒクルに分散させたものが用い
られている。
以下のようにして製造されている。即ち、まず、誘電体
としてドクターブレード法等で得たセラミックグリーン
シートに、内部電極ペーストをスクリーン印刷法等によ
り印刷する。次に、これらを積層し圧着した後、このセ
ラミックグリーンシートと内部電極ペースト層からなる
圧着体を同時に焼成し、その後、外部電極を形成して得
られる。また、このスクリーン印刷用の内部電極ペース
トとしては、Pt、Pd、Au、Ag等の金属粉末をエ
チルセルロース樹脂やアルキッド樹脂等のバインダおよ
び溶剤を含有する有機ビヒクルに分散させたものが用い
られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の貴金
属粉末を有機ビヒクルに分散させた内部電極ペースト
は、その焼結収縮する温度がセラミック粉末のそれと比
較して低い。したがって、内部電極ペースト層とセラミ
ックグリーンシートを同時に焼成して積層セラミックコ
ンデンサを得る場合、焼成中に内部電極とセラミック間
で歪みが生じて、デラミネーションが発生しやすいとい
う問題点を有していた。
属粉末を有機ビヒクルに分散させた内部電極ペースト
は、その焼結収縮する温度がセラミック粉末のそれと比
較して低い。したがって、内部電極ペースト層とセラミ
ックグリーンシートを同時に焼成して積層セラミックコ
ンデンサを得る場合、焼成中に内部電極とセラミック間
で歪みが生じて、デラミネーションが発生しやすいとい
う問題点を有していた。
【0004】このため、内部電極ペースト層とセラミッ
クグリーンシートを同時に焼成するときに発生する歪み
を緩和するために、焼成カーブを制御したり、内部電極
ペースト層の焼結を遅らせる目的で、Rhなどを内部電
極ペースト中に添加することが試みられてきた。しか
し、これらの試みによっても、デラミネーションの発生
を防止するには不十分であった。
クグリーンシートを同時に焼成するときに発生する歪み
を緩和するために、焼成カーブを制御したり、内部電極
ペースト層の焼結を遅らせる目的で、Rhなどを内部電
極ペースト中に添加することが試みられてきた。しか
し、これらの試みによっても、デラミネーションの発生
を防止するには不十分であった。
【0005】そこで本発明の目的は、積層セラミックコ
ンデンサの内部電極として使用した時に、焼成時の反応
が抑制されてデラミネーションの発生を防ぐことができ
る内部電極ペーストと、それを用いた積層セラミックコ
ンデンサを提供することにある。
ンデンサの内部電極として使用した時に、焼成時の反応
が抑制されてデラミネーションの発生を防ぐことができ
る内部電極ペーストと、それを用いた積層セラミックコ
ンデンサを提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の内部電極ペーストは、Pt,Pd,Au,
Ag等の貴金属粉末を含む積層セラミックコンデンサ用
の内部電極ペーストにおいて、貴金属粉末100体積部
に対して、積層セラミックコンデンサの誘電体と同じ材
料系のセラミック粉末を20〜100体積部含有するこ
とを特徴とする。
め、本発明の内部電極ペーストは、Pt,Pd,Au,
Ag等の貴金属粉末を含む積層セラミックコンデンサ用
の内部電極ペーストにおいて、貴金属粉末100体積部
に対して、積層セラミックコンデンサの誘電体と同じ材
料系のセラミック粉末を20〜100体積部含有するこ
とを特徴とする。
【0007】本発明の積層セラミックコンデンサは、P
t,Pd,Au,Ag等の貴金属を内部電極とした積層
セラミックコンデンサにおいて、前記内部電極が、前記
貴金属100体積部に対して、前記積層セラミックコン
デンサの誘電体と同じ材料系のセラミックを20〜10
0体積部含むことを特徴とする。
t,Pd,Au,Ag等の貴金属を内部電極とした積層
セラミックコンデンサにおいて、前記内部電極が、前記
貴金属100体積部に対して、前記積層セラミックコン
デンサの誘電体と同じ材料系のセラミックを20〜10
0体積部含むことを特徴とする。
【0008】
【作用】内部電極ペースト中にセラミック粉末を添加す
ることにより、焼成時の内部電極の焼結収縮の温度を、
セラミックの焼結収縮の温度に近づけることができる。
したがって、積層セラミックコンデンサの内部電極とし
たとき、セラミックと内部電極間で発生する歪みを抑え
ることができる。
ることにより、焼成時の内部電極の焼結収縮の温度を、
セラミックの焼結収縮の温度に近づけることができる。
したがって、積層セラミックコンデンサの内部電極とし
たとき、セラミックと内部電極間で発生する歪みを抑え
ることができる。
【0009】また、添加するセラミック粉末は積層セラ
ミックコンデンサの誘電体と同じ材料系であるため、焼
成中に内部電極中のセラミック粉末が誘電体部分に拡散
して反応しても、Qや温度特性などの電気特性が劣化す
ることはない。
ミックコンデンサの誘電体と同じ材料系であるため、焼
成中に内部電極中のセラミック粉末が誘電体部分に拡散
して反応しても、Qや温度特性などの電気特性が劣化す
ることはない。
【0010】なお、ここで添加するセラミック粉末につ
いて積層セラミックコンデンサの誘電体と同じ材料系を
用いるとしているが、ここで同じ材料系とは積層セラミ
ックコンデンサの誘電体と全く同じか、組成比を少し変
化させたもの、特性改善のために添加物を加えたものを
意味する。
いて積層セラミックコンデンサの誘電体と同じ材料系を
用いるとしているが、ここで同じ材料系とは積層セラミ
ックコンデンサの誘電体と全く同じか、組成比を少し変
化させたもの、特性改善のために添加物を加えたものを
意味する。
【0011】
【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。 (実施例1)まず、セラミックグリーンシートを作製し
た。即ち、低温焼結のBaTiO3 系セラミック原料粉
末に、ポリビニルブチラールの有機バインダおよびトル
エンの有機溶剤を加え混練してスラリーを得た。続い
て、このスラリーをドクターブレード法によりシート状
に成形して、厚み20μmのセラミックグリーンシート
を作製した。
た。即ち、低温焼結のBaTiO3 系セラミック原料粉
末に、ポリビニルブチラールの有機バインダおよびトル
エンの有機溶剤を加え混練してスラリーを得た。続い
て、このスラリーをドクターブレード法によりシート状
に成形して、厚み20μmのセラミックグリーンシート
を作製した。
【0012】次に、内部電極ペーストを作製した。即
ち、平均粒径が3μmのAg/Pd粉末(但し、Ag/
Pd=3/7重量比)と、同じく平均粒径が3μmであ
って、積層セラミックコンデンサの誘電体とするBaT
iO3 系セラミック粉末とを、エチルセルロース樹脂を
バインダとしα−テルピネオールを溶剤とした有機ビヒ
クル中に、3本ロールによって分散させて内部電極ペー
ストを作製した。なお、平均粒径は、レーザー回折方式
の粒度分布計で測定した値である。表1に、作製した6
種類の内部電極ペーストについて、Ag/Pd粉末とセ
ラミック粉末の体積部数の比を示す。
ち、平均粒径が3μmのAg/Pd粉末(但し、Ag/
Pd=3/7重量比)と、同じく平均粒径が3μmであ
って、積層セラミックコンデンサの誘電体とするBaT
iO3 系セラミック粉末とを、エチルセルロース樹脂を
バインダとしα−テルピネオールを溶剤とした有機ビヒ
クル中に、3本ロールによって分散させて内部電極ペー
ストを作製した。なお、平均粒径は、レーザー回折方式
の粒度分布計で測定した値である。表1に、作製した6
種類の内部電極ペーストについて、Ag/Pd粉末とセ
ラミック粉末の体積部数の比を示す。
【0013】その後、以上得られた内部電極ペーストと
セラミックグリーンシートを用いて、6種類の積層セラ
ミックコンデンサを作製した。即ち、セラミックグリー
ンシートの一方の面上に内部電極ペーストをスクリーン
印刷法で印刷し、乾燥させて内部電極ペースト層を形成
した。そして、この内部電極ペースト層を形成したセラ
ミックグリーンシートを容量電極を形成するように所定
枚数積み重ねた後、内部電極ペースト層を有しないセラ
ミックグリーンシートに挟んで圧着し、その後、所定の
チップ寸法に切断して生チップを得た。その後、この生
チップ中のバインダ成分を熱処理して除去した後、さら
に昇温して空気中で1250℃で2時間焼成して積層セ
ラミックの焼結体を得た。そして、最後に、この焼結体
の内部の容量電極が露出している端部にAgペーストを
塗布し、空気中で800℃で焼き付けて外部電極を形成
して、積層セラミックコンデンサを完成させた。
セラミックグリーンシートを用いて、6種類の積層セラ
ミックコンデンサを作製した。即ち、セラミックグリー
ンシートの一方の面上に内部電極ペーストをスクリーン
印刷法で印刷し、乾燥させて内部電極ペースト層を形成
した。そして、この内部電極ペースト層を形成したセラ
ミックグリーンシートを容量電極を形成するように所定
枚数積み重ねた後、内部電極ペースト層を有しないセラ
ミックグリーンシートに挟んで圧着し、その後、所定の
チップ寸法に切断して生チップを得た。その後、この生
チップ中のバインダ成分を熱処理して除去した後、さら
に昇温して空気中で1250℃で2時間焼成して積層セ
ラミックの焼結体を得た。そして、最後に、この焼結体
の内部の容量電極が露出している端部にAgペーストを
塗布し、空気中で800℃で焼き付けて外部電極を形成
して、積層セラミックコンデンサを完成させた。
【0014】次に、これら積層セラミックコンデンサ各
100個の静電容量と等価直列抵抗(ESR)を測定し
た。さらに、これら積層セラミックコンデンサ各100
個を内部電極に垂直な面で切断・研磨して、内部電極と
セラミック誘電体との間のデラミネーションの有無を顕
微鏡で確認した。これらの結果を表1に示す。同表にお
いて、*印を付した試料は本発明の範囲外のものであ
り、それ以外はすべて本発明の範囲内のものである。
100個の静電容量と等価直列抵抗(ESR)を測定し
た。さらに、これら積層セラミックコンデンサ各100
個を内部電極に垂直な面で切断・研磨して、内部電極と
セラミック誘電体との間のデラミネーションの有無を顕
微鏡で確認した。これらの結果を表1に示す。同表にお
いて、*印を付した試料は本発明の範囲外のものであ
り、それ以外はすべて本発明の範囲内のものである。
【0015】
【表1】
【0016】表1より明らかな通り、内部電極ペースト
中のAg/Pd粉末100体積部に対して、セラミック
粉末を20体積部以上加えることにより、デラミネーシ
ョンの発生を防止することができる。しかし、セラミッ
ク粉末が100体積部を超えると、静電容量が減少し、
等価直列抵抗(ESR)が増加するため好ましくない。
これは、内部電極中のセラミックが占める体積が増加
し、内部電極の連続性が失われるためであると推察でき
る。
中のAg/Pd粉末100体積部に対して、セラミック
粉末を20体積部以上加えることにより、デラミネーシ
ョンの発生を防止することができる。しかし、セラミッ
ク粉末が100体積部を超えると、静電容量が減少し、
等価直列抵抗(ESR)が増加するため好ましくない。
これは、内部電極中のセラミックが占める体積が増加
し、内部電極の連続性が失われるためであると推察でき
る。
【0017】また、試料No.1,3,4,5の電極ペ
ーストの乾燥粉末の焼成収縮曲線を、BaTiO3 セラ
ミック原料粉末との比較で熱機械分析計(TMA)で求
めた。その結果を図1に示す。図1に示す通り、Ag/
Pd粉末にセラミック粉末を加えることにより、内部電
極ペーストの収縮温度が高温側にシフトしている。即
ち、セラミック粉末を加えることにより、内部電極ペー
ストの焼結を抑制することができる。
ーストの乾燥粉末の焼成収縮曲線を、BaTiO3 セラ
ミック原料粉末との比較で熱機械分析計(TMA)で求
めた。その結果を図1に示す。図1に示す通り、Ag/
Pd粉末にセラミック粉末を加えることにより、内部電
極ペーストの収縮温度が高温側にシフトしている。即
ち、セラミック粉末を加えることにより、内部電極ペー
ストの焼結を抑制することができる。
【0018】(実施例2)まず、セラミックグリーンシ
ートを作製した。即ち、温度補償用のCaTiO3 −M
gTiO3 系セラミック原料粉末に、ポリビニルブチラ
ールの有機バインダおよびトルエンの有機溶剤を加え混
練してスラリーを得た。続いて、このスラリーをドクタ
ーブレード法によりシート状に成形して、厚み40μm
のセラミックグリーンシートを作製した。
ートを作製した。即ち、温度補償用のCaTiO3 −M
gTiO3 系セラミック原料粉末に、ポリビニルブチラ
ールの有機バインダおよびトルエンの有機溶剤を加え混
練してスラリーを得た。続いて、このスラリーをドクタ
ーブレード法によりシート状に成形して、厚み40μm
のセラミックグリーンシートを作製した。
【0019】次に、内部電極ペーストを作製した。即
ち、平均粒径が3μmのPd粉末と、同じく平均粒径が
3μmであって、積層セラミックコンデンサの誘電体と
するCaTiO3 −MgTiO3 系セラミック粉末、こ
れとは別のTiO2 粉末とを、エチルセルロース樹脂を
バインダとしα−テルピネオールを溶剤とした有機ビヒ
クル中に、3本ロールによって分散させて内部電極ペー
ストを作製した。なお、平均粒径は、レーザー回折方式
の粒度分布計で測定した値である。表2に、作製した9
種類の内部電極ペーストについて、Pd粉末とセラミッ
ク粉末の体積部数の比を示す。
ち、平均粒径が3μmのPd粉末と、同じく平均粒径が
3μmであって、積層セラミックコンデンサの誘電体と
するCaTiO3 −MgTiO3 系セラミック粉末、こ
れとは別のTiO2 粉末とを、エチルセルロース樹脂を
バインダとしα−テルピネオールを溶剤とした有機ビヒ
クル中に、3本ロールによって分散させて内部電極ペー
ストを作製した。なお、平均粒径は、レーザー回折方式
の粒度分布計で測定した値である。表2に、作製した9
種類の内部電極ペーストについて、Pd粉末とセラミッ
ク粉末の体積部数の比を示す。
【0020】その後、以上得られた内部電極ペーストと
セラミックグリーンシートを用いて、9種類の積層セラ
ミックコンデンサを作製した。即ち、セラミックグリー
ンシートの一方の面上に内部電極ペーストをスクリーン
印刷法で印刷し、乾燥させて内部電極ペースト層を形成
した。そして、この内部電極層を形成したセラミックグ
リーンシートを容量電極を形成するように所定枚数積み
重ねた後、内部電極ペースト層を有しないセラミックグ
リーンシートに挟んで圧着し、その後、所定のチップ寸
法に切断して生チップとした。その後、この生チップ中
のバインダ成分を熱処理して除去した後、さらに昇温し
て空気中で1350℃で2時間焼成して積層セラミック
の焼結体を得た。そして、最後に、この焼結体の内部の
容量電極が露出している端部にAgペーストを塗布し、
空気中で800℃で焼き付けて外部電極を形成して、積
層セラミックコンデンサを完成させた。
セラミックグリーンシートを用いて、9種類の積層セラ
ミックコンデンサを作製した。即ち、セラミックグリー
ンシートの一方の面上に内部電極ペーストをスクリーン
印刷法で印刷し、乾燥させて内部電極ペースト層を形成
した。そして、この内部電極層を形成したセラミックグ
リーンシートを容量電極を形成するように所定枚数積み
重ねた後、内部電極ペースト層を有しないセラミックグ
リーンシートに挟んで圧着し、その後、所定のチップ寸
法に切断して生チップとした。その後、この生チップ中
のバインダ成分を熱処理して除去した後、さらに昇温し
て空気中で1350℃で2時間焼成して積層セラミック
の焼結体を得た。そして、最後に、この焼結体の内部の
容量電極が露出している端部にAgペーストを塗布し、
空気中で800℃で焼き付けて外部電極を形成して、積
層セラミックコンデンサを完成させた。
【0021】次に、これら9種類の積層セラミックコン
デンサ各100個の静電容量とQ値を測定した。さら
に、これら積層セラミックコンデンサ各100個を内部
電極に垂直な面で切断・研磨して、内部電極とセラミッ
ク誘電体との間のデラミネーションの有無を顕微鏡で確
認した。これらの結果を表2に示す。同表において、*
印を付した試料は本発明の範囲外のものであり、それ以
外はすべて本発明の範囲内のものである。
デンサ各100個の静電容量とQ値を測定した。さら
に、これら積層セラミックコンデンサ各100個を内部
電極に垂直な面で切断・研磨して、内部電極とセラミッ
ク誘電体との間のデラミネーションの有無を顕微鏡で確
認した。これらの結果を表2に示す。同表において、*
印を付した試料は本発明の範囲外のものであり、それ以
外はすべて本発明の範囲内のものである。
【0022】
【表2】
【0023】表2より明らかな通り、内部電極ペースト
中のPd粉末100体積部に対して、セラミック粉末を
20体積部以上加えることにより、デラミネーションの
発生を防止することができる。しかし、セラミック粉末
が100体積部を超えると、静電容量およびQ値が低下
するため好ましくない。これは、内部電極中のセラミッ
クが占める体積が増加し、内部電極の連続性が失われる
ためであると推察できる。また、セラミックグリーンシ
ート中のセラミック粉末組成と異なるTiO2粉末を加
えた試料No.9は、デラミネーションの発生や静電容
量の低下は認められないが、Q値が低下しており好まし
くない。これは焼成中に、内部電極ペースト中のTiO
2 がセラミック誘電体部分に拡散してセラミック誘電体
の組成が変化し、Q値が低下したものと考えられる。
中のPd粉末100体積部に対して、セラミック粉末を
20体積部以上加えることにより、デラミネーションの
発生を防止することができる。しかし、セラミック粉末
が100体積部を超えると、静電容量およびQ値が低下
するため好ましくない。これは、内部電極中のセラミッ
クが占める体積が増加し、内部電極の連続性が失われる
ためであると推察できる。また、セラミックグリーンシ
ート中のセラミック粉末組成と異なるTiO2粉末を加
えた試料No.9は、デラミネーションの発生や静電容
量の低下は認められないが、Q値が低下しており好まし
くない。これは焼成中に、内部電極ペースト中のTiO
2 がセラミック誘電体部分に拡散してセラミック誘電体
の組成が変化し、Q値が低下したものと考えられる。
【0024】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明の
積層セラミックコンデンサ用の内部電極ペーストは、そ
のペースト中に積層セラミックコンデンサの誘電体と同
じ材料系のセラミック粉末を含有する。このため、焼成
時の反応が抑制された内部電極ペーストが得られる。
積層セラミックコンデンサ用の内部電極ペーストは、そ
のペースト中に積層セラミックコンデンサの誘電体と同
じ材料系のセラミック粉末を含有する。このため、焼成
時の反応が抑制された内部電極ペーストが得られる。
【0025】したがって、この内部電極ペーストを用い
て積層セラミックコンデンサの内部電極を形成すること
により、ESR等の電気特性を劣化させることなく、デ
ラミネーションのない積層セラミックコンデンサを得る
ことができる。
て積層セラミックコンデンサの内部電極を形成すること
により、ESR等の電気特性を劣化させることなく、デ
ラミネーションのない積層セラミックコンデンサを得る
ことができる。
【図1】内部電極粉末とセラミック粉末の焼成収縮曲線
である。
である。
Claims (2)
- 【請求項1】 Pt,Pd,Au,Ag等の貴金属粉末
を含む積層セラミックコンデンサ用の内部電極ペースト
において、貴金属粉末100体積部に対して、積層セラ
ミックコンデンサの誘電体と同じ材料系のセラミック粉
末を20〜100体積部含有することを特徴とする内部
電極ペースト。 - 【請求項2】 Pt,Pd,Au,Ag等の貴金属を内
部電極とした積層セラミックコンデンサにおいて、前記
内部電極が、前記貴金属100体積部に対して、前記積
層セラミックコンデンサの誘電体と同じ材料系のセラミ
ックを20〜100体積部含むことを特徴とする積層セ
ラミックコンデンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21476694A JPH0878267A (ja) | 1994-09-08 | 1994-09-08 | 内部電極ペーストおよびそれを用いた積層セラミックコンデンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21476694A JPH0878267A (ja) | 1994-09-08 | 1994-09-08 | 内部電極ペーストおよびそれを用いた積層セラミックコンデンサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0878267A true JPH0878267A (ja) | 1996-03-22 |
Family
ID=16661189
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21476694A Pending JPH0878267A (ja) | 1994-09-08 | 1994-09-08 | 内部電極ペーストおよびそれを用いた積層セラミックコンデンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0878267A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001184942A (ja) * | 1999-12-24 | 2001-07-06 | Ngk Insulators Ltd | セラミックコンデンサー電極形成用ペースト |
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| WO2012114874A1 (ja) * | 2011-02-24 | 2012-08-30 | 株式会社村田製作所 | 電子部品の実装構造 |
| CN117292869A (zh) * | 2023-10-10 | 2023-12-26 | 江苏飞特尔通信有限公司 | 一种应用于5g ltcc滤波器的外电极材料、5g ltcc滤波器及其制备方法 |
-
1994
- 1994-09-08 JP JP21476694A patent/JPH0878267A/ja active Pending
Cited By (12)
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| CN117292869B (zh) * | 2023-10-10 | 2024-10-29 | 江苏飞特尔通信有限公司 | 一种应用于5g ltcc滤波器的外电极材料、5g ltcc滤波器及其制备方法 |
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