JPH0733549B2 - 二方向性珪素鋼板の製造方法 - Google Patents
二方向性珪素鋼板の製造方法Info
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- JPH0733549B2 JPH0733549B2 JP2104400A JP10440090A JPH0733549B2 JP H0733549 B2 JPH0733549 B2 JP H0733549B2 JP 2104400 A JP2104400 A JP 2104400A JP 10440090 A JP10440090 A JP 10440090A JP H0733549 B2 JPH0733549 B2 JP H0733549B2
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- Japan
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- steel sheet
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- cold rolling
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Description
【発明の詳細な説明】 〔従来の技術〕 鉄系の材料では結晶軸に対する方向によって磁性を担う
電子のエネルギー状態が異なり、ミラー指数＜100＞軸
の方向に磁化され易いという特徴を持つ。この結晶磁気
異方性を利用して、変圧器等の磁心に用いられる一方向
性電磁鋼板ではミラー指数で｛110｝＜001＞と表現され
る結晶粒のみ（ゴス方位と呼ばれる）を選択的に成長さ
せ、鋼板面内の１方向の透磁率を飛躍的に向上させた。
電子のエネルギー状態が異なり、ミラー指数＜100＞軸
の方向に磁化され易いという特徴を持つ。この結晶磁気
異方性を利用して、変圧器等の磁心に用いられる一方向
性電磁鋼板ではミラー指数で｛110｝＜001＞と表現され
る結晶粒のみ（ゴス方位と呼ばれる）を選択的に成長さ
せ、鋼板面内の１方向の透磁率を飛躍的に向上させた。
この一方向性電磁鋼板（｛110｝＜100＞）に対し、鋼板
面内の直交する２方向に＜100＞軸を配向させた二方向
性電磁鋼板（ミラー指数で｛100｝＜001＞）は、より理
想的な軟質磁性材料である。しかし、工業的なプロセス
が煩雑なのに対し充分な磁気特性が得られないために、
二方向性電磁鋼板が広く磁心材料として用いられるには
至っていない。
面内の直交する２方向に＜100＞軸を配向させた二方向
性電磁鋼板（ミラー指数で｛100｝＜001＞）は、より理
想的な軟質磁性材料である。しかし、工業的なプロセス
が煩雑なのに対し充分な磁気特性が得られないために、
二方向性電磁鋼板が広く磁心材料として用いられるには
至っていない。
従来の二方向性電磁鋼板の製造法には、大別して次の３
つの方法がある。
つの方法がある。
１） 柱状粒よりなる方向性インゴットを用いる方法。
この方法は、特公昭33−7509号公報或は特公昭33−7952
号公報に開示されているように、温度傾斜を維持した状
態で柱状粒の発達したインゴットを製造し柱状粒の伸長
方向と一定の角度関係を満たす方向に冷間圧延し、再結
晶を行わせる方法である。この方法の要点は、特公昭33
−7953号公報にあるように素材の｛100｝＜001＞方位か
らのズレが、或許容範囲にあれば冷延・再結晶後に再び
｛100｝＜001＞方位の結晶粒となることにある。
号公報に開示されているように、温度傾斜を維持した状
態で柱状粒の発達したインゴットを製造し柱状粒の伸長
方向と一定の角度関係を満たす方向に冷間圧延し、再結
晶を行わせる方法である。この方法の要点は、特公昭33
−7953号公報にあるように素材の｛100｝＜001＞方位か
らのズレが、或許容範囲にあれば冷延・再結晶後に再び
｛100｝＜001＞方位の結晶粒となることにある。
２） 表面エネルギーを利用する方法。
この方法は、特公昭36−8554号公報、特公昭37−7110号
公報或は特公昭38−16212号公報にあるように、板厚の
薄い素材を冷延・再結晶させる際に熱処理の雰囲気を制
御して、｛100｝面を板表面に持つ結晶粒のみを再結晶
させることを特徴とする製造法である。
公報或は特公昭38−16212号公報にあるように、板厚の
薄い素材を冷延・再結晶させる際に熱処理の雰囲気を制
御して、｛100｝面を板表面に持つ結晶粒のみを再結晶
させることを特徴とする製造法である。
３） クロス冷延する方法。
この方法は、特公昭35−2657号公報に開示されているよ
うに珪素鋼素材を一方向に冷間圧延した後、更にこの冷
延と交叉方向に冷間圧延を加え、短時間焼鈍と900〜130
0℃の高温焼鈍を行う方法である。この方法の原理は、
クロス冷延により｛100｝＜001＞方位粒の成長し易い素
地になる集合組織を発達させ、AlN等の粒成長のインヒ
ビターを利用した二次再結晶によって｛100｝＜001＞方
位粒を発現させるものである。
うに珪素鋼素材を一方向に冷間圧延した後、更にこの冷
延と交叉方向に冷間圧延を加え、短時間焼鈍と900〜130
0℃の高温焼鈍を行う方法である。この方法の原理は、
クロス冷延により｛100｝＜001＞方位粒の成長し易い素
地になる集合組織を発達させ、AlN等の粒成長のインヒ
ビターを利用した二次再結晶によって｛100｝＜001＞方
位粒を発現させるものである。
一方、溶鋼から熱延工程を経ずに直接、板厚の薄い鋼板
を得る方法が発明され、コストダウンの計れる新しいプ
ロセスとして大いに期待されている。
を得る方法が発明され、コストダウンの計れる新しいプ
ロセスとして大いに期待されている。
上述してきたように、二方向性電磁鋼板は３つの磁化容
易軸の内２つを鋼板面内に配向させた理想的な磁性材料
であるにも拘らず、今日まで殆ど工業的に使用されてい
ない。これは、現在までに考案された製造方法を工業的
に行うことが極めて困難でありコストが高くなるのに対
し、期待されるほどの結晶方位の集積度が得られないこ
とによる。
易軸の内２つを鋼板面内に配向させた理想的な磁性材料
であるにも拘らず、今日まで殆ど工業的に使用されてい
ない。これは、現在までに考案された製造方法を工業的
に行うことが極めて困難でありコストが高くなるのに対
し、期待されるほどの結晶方位の集積度が得られないこ
とによる。
例えば、１）の方向性インゴットを用いる方法では、柱
状粒を充分に発達させる為に、鋳型の側面を加熱しなが
ら底面を冷却し溶鋼に温度傾斜をつける必要があり、工
業的なプロセスとして大量生産を行うことは極めて困難
であった。
状粒を充分に発達させる為に、鋳型の側面を加熱しなが
ら底面を冷却し溶鋼に温度傾斜をつける必要があり、工
業的なプロセスとして大量生産を行うことは極めて困難
であった。
また、２）の表面エネルギーを用いる方法に於いては、
｛100｝方位粒のみが成長するように熱処理の雰囲気を
厳密に制御することは、工業的に難しく、また、原理的
に板面内の＜100＞軸方向は揃えることができない。
｛100｝方位粒のみが成長するように熱処理の雰囲気を
厳密に制御することは、工業的に難しく、また、原理的
に板面内の＜100＞軸方向は揃えることができない。
３）のクロス冷延を用いる方法は、かなり高い結晶方位
の集積が得られ板面内の二方向にかなり高い透磁率が期
待できるが、製造コストに見合う磁性材料を作るという
意味では、一層の集積度の向上、更なるコストダウンが
望まれる。
の集積が得られ板面内の二方向にかなり高い透磁率が期
待できるが、製造コストに見合う磁性材料を作るという
意味では、一層の集積度の向上、更なるコストダウンが
望まれる。
クロス冷延した素材に、粒成長のインヒビターを利用し
た二次再結晶を発現させることにより、かなり高い結晶
方位の集積度を持った二方向性電磁鋼板が得られること
は前に述べた。本発明者等は、このクロス冷延を用いた
方法を改良することによって、充分に実用に供すること
のできる二方向性電磁鋼板を得る方法を発明した。
た二次再結晶を発現させることにより、かなり高い結晶
方位の集積度を持った二方向性電磁鋼板が得られること
は前に述べた。本発明者等は、このクロス冷延を用いた
方法を改良することによって、充分に実用に供すること
のできる二方向性電磁鋼板を得る方法を発明した。
即ち、本発明者等は回転する一対の冷却ロールを用いて
薄鋳片を鋳造するに当たって、冷却ロール直上の溶鋼の
温度を凝固開始温度よりも30℃以上高くすることによっ
て、柱状晶組織の発達した薄鋳片を得ることができ、こ
の薄鋳片に40〜80％の冷間圧延、更にこの冷間圧延と直
角方向に30〜70％の冷間圧延を施し、一次再結晶を目的
とした焼鈍、二次再結晶と純化を目的とした焼鈍を行う
ことによって｛100｝＜001＞方位に極めて良く配向した
二方向性電磁鋼板を得ることができることを見いだし
た。
薄鋳片を鋳造するに当たって、冷却ロール直上の溶鋼の
温度を凝固開始温度よりも30℃以上高くすることによっ
て、柱状晶組織の発達した薄鋳片を得ることができ、こ
の薄鋳片に40〜80％の冷間圧延、更にこの冷間圧延と直
角方向に30〜70％の冷間圧延を施し、一次再結晶を目的
とした焼鈍、二次再結晶と純化を目的とした焼鈍を行う
ことによって｛100｝＜001＞方位に極めて良く配向した
二方向性電磁鋼板を得ることができることを見いだし
た。
以下に、本発明を詳細に説明する。
回転する一対の冷却ロールの間に溶鋼を供給する鋳造方
法を用いて薄鋳片を鋳造する際に、冷却ロール直上即
ち、溶鋼溜での溶鋼の温度を凝固開始温度より30℃以上
高くしてやると、柱状晶組織が発達し薄鋳片の集合組織
は｛100｝＜Ovw＞方位が強くなる（第１図（ａ））。こ
れに対し溶鋼の温度が凝固開始温度＋30℃未満である
と、薄鋳片の集合組織は、ほぼランダムとなる（第１図
（ｂ））。
法を用いて薄鋳片を鋳造する際に、冷却ロール直上即
ち、溶鋼溜での溶鋼の温度を凝固開始温度より30℃以上
高くしてやると、柱状晶組織が発達し薄鋳片の集合組織
は｛100｝＜Ovw＞方位が強くなる（第１図（ａ））。こ
れに対し溶鋼の温度が凝固開始温度＋30℃未満である
と、薄鋳片の集合組織は、ほぼランダムとなる（第１図
（ｂ））。
本発明者等は、溶鋼の温度を調節することによって得ら
れた｛100｝＜OVW＞集合組織の発達した材料を出発素材
として、｛100｝＜001＞方位粒を揃えた二方向性電磁鋼
板を製造する方法を発明した。
れた｛100｝＜OVW＞集合組織の発達した材料を出発素材
として、｛100｝＜001＞方位粒を揃えた二方向性電磁鋼
板を製造する方法を発明した。
この薄鋳片の成分として、Si成分は、α−γ変態による
結晶組織の破壊を抑えるために下限を1.8％とした。ま
た、交番磁界中での渦流損を低下させるために有効な上
限として6.8％を設定した。Siが4.8％以上になると冷間
圧延の際に割れが発生し易くなるが、温間で圧延するこ
とによって圧延可能であるので、上述の上限値とした。
結晶組織の破壊を抑えるために下限を1.8％とした。ま
た、交番磁界中での渦流損を低下させるために有効な上
限として6.8％を設定した。Siが4.8％以上になると冷間
圧延の際に割れが発生し易くなるが、温間で圧延するこ
とによって圧延可能であるので、上述の上限値とした。
この他の成分は、安定して二次再結晶を生ぜしめるため
に必要な、AlN,MnS,Cu2S,MnSe,Nb（C,N）,Sn,Sb等から
選ばれる１種ないし２種以上を公知の範囲で含ませる
と、集積度の高い｛100｝＜001＞方位粒を得ることがで
きる。
に必要な、AlN,MnS,Cu2S,MnSe,Nb（C,N）,Sn,Sb等から
選ばれる１種ないし２種以上を公知の範囲で含ませる
と、集積度の高い｛100｝＜001＞方位粒を得ることがで
きる。
薄鋳片の板厚はプロセッシング時の取扱い易さから、0.
4〜3.0mmにすることが好ましいが、特にこの範囲に限定
するものではない。
4〜3.0mmにすることが好ましいが、特にこの範囲に限定
するものではない。
次にこの薄鋳片素材に、必要に応じて特公昭38−8213号
公報に開示されていると同時の700〜1200℃の温度範囲
での焼鈍を施すことも可能であるが、若干の磁気特性の
低下を犠性にして省略することも可能である。次いで、
圧下率で40〜80％の冷間圧延を施し、更にこの冷間圧延
と直角方向に30〜70％の冷間圧延を行う。この冷間圧延
は、特公昭35−2657号公報に開示されているのと同等の
ものである。更にこの鋼板に、一次再結晶させることを
目的とした焼鈍を行う。この焼鈍は750〜1000℃の温度
範囲で短時間に行うことがより好ましいが、特にこの条
件にはこだわらない。
公報に開示されていると同時の700〜1200℃の温度範囲
での焼鈍を施すことも可能であるが、若干の磁気特性の
低下を犠性にして省略することも可能である。次いで、
圧下率で40〜80％の冷間圧延を施し、更にこの冷間圧延
と直角方向に30〜70％の冷間圧延を行う。この冷間圧延
は、特公昭35−2657号公報に開示されているのと同等の
ものである。更にこの鋼板に、一次再結晶させることを
目的とした焼鈍を行う。この焼鈍は750〜1000℃の温度
範囲で短時間に行うことがより好ましいが、特にこの条
件にはこだわらない。
続いて、二次再結晶と純化を目的とした最終焼鈍を行
う。この最終焼鈍は、二次再結晶を完全に行わせるため
に900〜1300℃の温度範囲で長時間行うことが好ましい
が、特にこの条件にはこだわらない。更に、二次再結晶
を安定させるために、一次再結晶終了後から二次再結晶
開始前までに鋼板を窒化することも可能である。この窒
化の方法としては、最終焼鈍の雰囲気にN2,NH3等、窒化
能のあるガスを混入する方法、最終焼鈍時焼鈍分離材に
窒化フェロマンガン等の窒化能のある物質を加える方
法、一次再結晶焼鈍の均熱過程以降においてNH3等の窒
化能のあるガスを含む雰囲気で処理する方法、或はイオ
ン窒化による方法等いずれの方法でもよい。
う。この最終焼鈍は、二次再結晶を完全に行わせるため
に900〜1300℃の温度範囲で長時間行うことが好ましい
が、特にこの条件にはこだわらない。更に、二次再結晶
を安定させるために、一次再結晶終了後から二次再結晶
開始前までに鋼板を窒化することも可能である。この窒
化の方法としては、最終焼鈍の雰囲気にN2,NH3等、窒化
能のあるガスを混入する方法、最終焼鈍時焼鈍分離材に
窒化フェロマンガン等の窒化能のある物質を加える方
法、一次再結晶焼鈍の均熱過程以降においてNH3等の窒
化能のあるガスを含む雰囲気で処理する方法、或はイオ
ン窒化による方法等いずれの方法でもよい。
以上の工程によって処理することによって、極めて方向
性の優れた二方向性電磁鋼板が得られることが判った。
性の優れた二方向性電磁鋼板が得られることが判った。
本発明に於いて、溶鋼の温度を凝固開始温度に較べて30
℃以上高く調整することによって得られた｛100｝＜OVW
＞集合組織の発達した薄鋳片を出発素材としてクロス冷
延を行うことによって高い集積度を持った｛100｝＜001
＞方位粒を発現できるが、この理由はクロス冷延を行う
素材として｛100｝＜OVW＞集合組織の発達した素材を使
った場合に冷間・一次再結晶後に得られる集合組織がそ
の後｛100｝＜001＞方位を成長させるのに有利なものと
成るためであると考えられる。この集合組織は例えば、
日本金属学会誌、53（1989）858に原勢等が述べている
ような｛100｝＜001＞方位と特定の方位関係を持つもの
であると考えられる。一方、溶鋼の温度が凝固開始温度
＋30℃未満となりランダムな集合組織が発達してしまう
とクロス冷延・一次再結晶後の集合組織が｛100｝＜001
＞から偏寄しい方位を成長させ得るものとなると考えら
れる。
℃以上高く調整することによって得られた｛100｝＜OVW
＞集合組織の発達した薄鋳片を出発素材としてクロス冷
延を行うことによって高い集積度を持った｛100｝＜001
＞方位粒を発現できるが、この理由はクロス冷延を行う
素材として｛100｝＜OVW＞集合組織の発達した素材を使
った場合に冷間・一次再結晶後に得られる集合組織がそ
の後｛100｝＜001＞方位を成長させるのに有利なものと
成るためであると考えられる。この集合組織は例えば、
日本金属学会誌、53（1989）858に原勢等が述べている
ような｛100｝＜001＞方位と特定の方位関係を持つもの
であると考えられる。一方、溶鋼の温度が凝固開始温度
＋30℃未満となりランダムな集合組織が発達してしまう
とクロス冷延・一次再結晶後の集合組織が｛100｝＜001
＞から偏寄しい方位を成長させ得るものとなると考えら
れる。
（実施例１） 重量でSi:3.5％、C:0.040％、Mn:0.18％、P:0.020％、A
l:0.030％、N:0.0080％、S:0.0050％、Cr:0.10％を含み
残部Fe及び不可避的不純物より成る溶鋼の温度を凝固開
始温度より20℃高くして鋳造した鋳片Ａ、30℃高くして
鋳造した鋳片Ｂ、50℃高くして鋳造した鋳片Ｃ、70℃高
くして鋳造した鋳片Ｄをそれぞれ得た。鋳片の厚みは全
て2.0mmであった。これらの鋳片に1000℃で５分間の焼
鈍を施し、次いで1.0mm厚まで冷間圧延し、更に上記冷
間圧延と直角方向に冷間圧延を施し0.5mm厚とした。こ
の材料に、820℃で400秒間、湿水素中で焼鈍を施し、フ
ェロ窒化マンガン５％を含む酸化マグネシアを塗布した
後、1200℃で30時間の最終焼鈍を行った。この最終焼鈍
の雰囲気は、1200℃までが窒素50％、水素50％の混合
気、1200℃の保定後が水素100％の乾燥雰囲気中であ
る。得られた材料の特性を第２図に示す。この図に示す
ように、溶鋼の溶鋼溜内の温度をこの溶鋼の凝固開始温
度より30℃以上高くして鋳造すると、得られた材料の磁
束密度B8が1.9（Ｔ）以上になることが確認された。
l:0.030％、N:0.0080％、S:0.0050％、Cr:0.10％を含み
残部Fe及び不可避的不純物より成る溶鋼の温度を凝固開
始温度より20℃高くして鋳造した鋳片Ａ、30℃高くして
鋳造した鋳片Ｂ、50℃高くして鋳造した鋳片Ｃ、70℃高
くして鋳造した鋳片Ｄをそれぞれ得た。鋳片の厚みは全
て2.0mmであった。これらの鋳片に1000℃で５分間の焼
鈍を施し、次いで1.0mm厚まで冷間圧延し、更に上記冷
間圧延と直角方向に冷間圧延を施し0.5mm厚とした。こ
の材料に、820℃で400秒間、湿水素中で焼鈍を施し、フ
ェロ窒化マンガン５％を含む酸化マグネシアを塗布した
後、1200℃で30時間の最終焼鈍を行った。この最終焼鈍
の雰囲気は、1200℃までが窒素50％、水素50％の混合
気、1200℃の保定後が水素100％の乾燥雰囲気中であ
る。得られた材料の特性を第２図に示す。この図に示す
ように、溶鋼の溶鋼溜内の温度をこの溶鋼の凝固開始温
度より30℃以上高くして鋳造すると、得られた材料の磁
束密度B8が1.9（Ｔ）以上になることが確認された。
（実施例２） 重量で、Si:3.02％、C:0.055％、Mn:0.075％、P:0.006
％、S:0.024％、Al:0.024％、N:0.090％、Cu:0.10％、S
n:0.09％を含み残部Fe及び不可避的不純物よりなる溶鋼
を凝固開始温度より20℃高い温度で鋳造して鋳片Ａ、50
℃高い温度で鋳造して鋳片Ｂを作った。鋳片の厚みは0.
8mmであった。これらの鋳片に1100℃で２分間の焼鈍を
行い、0.4mm厚みまで冷延し、更に前記冷延と直角方向
に冷延し0.2mm厚とした。この材料に850℃で90秒間の焼
鈍を湿水素中で行い、さらに1200℃で20時間の最終焼鈍
を行った。最終焼鈍の雰囲気は1200℃までが窒素25％、
水素75％の混合気、1200℃の保定後が水素100％の乾燥
気中であった。得られた材料の磁気特性結果を下表に示
す。
％、S:0.024％、Al:0.024％、N:0.090％、Cu:0.10％、S
n:0.09％を含み残部Fe及び不可避的不純物よりなる溶鋼
を凝固開始温度より20℃高い温度で鋳造して鋳片Ａ、50
℃高い温度で鋳造して鋳片Ｂを作った。鋳片の厚みは0.
8mmであった。これらの鋳片に1100℃で２分間の焼鈍を
行い、0.4mm厚みまで冷延し、更に前記冷延と直角方向
に冷延し0.2mm厚とした。この材料に850℃で90秒間の焼
鈍を湿水素中で行い、さらに1200℃で20時間の最終焼鈍
を行った。最終焼鈍の雰囲気は1200℃までが窒素25％、
水素75％の混合気、1200℃の保定後が水素100％の乾燥
気中であった。得られた材料の磁気特性結果を下表に示
す。
〔発明の効果〕 本発明は前述のように鋳造温度と規定して｛100｝＜OVW
＞集合組織の発達した材料を出発材料としたので、磁束
密度が1.9（Ｔ）以上の二方向性電磁鋼板を製造するこ
とができる。従って、かゝる電磁鋼板を広く磁心材料と
して用いることができるのでその工業的効果は極めて大
きい。
＞集合組織の発達した材料を出発材料としたので、磁束
密度が1.9（Ｔ）以上の二方向性電磁鋼板を製造するこ
とができる。従って、かゝる電磁鋼板を広く磁心材料と
して用いることができるのでその工業的効果は極めて大
きい。
第１図（ａ）（ｂ）は、薄鋳片の結晶方位を示す（20
0）極点図であり、第２図は溶鋼の凝固開始温度よりの
温度差と材料の磁束密度の関係を示す図である。
0）極点図であり、第２図は溶鋼の凝固開始温度よりの
温度差と材料の磁束密度の関係を示す図である。
Claims (1)
- 【請求項１】重量で、Si:1.8〜6.8％を含む溶鋼を回転
する一対の冷却ロールの間に供給し、且つこの冷却ロー
ル直上の前記溶鋼の温度を凝固開始温度＋30℃以上とし
て柱状晶組織の発達した薄鋳片を製造し、而る後この薄
鋳片に圧下率40〜80％の冷間圧延を行い、更にこの冷間
圧延方向と直角方向に圧下率30〜70％の冷間圧延を行っ
た後、一次再結晶を目的とした焼鈍を施し、次いで二次
再結晶と純化を目的とした最終焼鈍を行うことを特徴と
する方向性の優れた二方向性電磁鋼板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2104400A JPH0733549B2 (ja) | 1990-04-21 | 1990-04-21 | 二方向性珪素鋼板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2104400A JPH0733549B2 (ja) | 1990-04-21 | 1990-04-21 | 二方向性珪素鋼板の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH046221A JPH046221A (ja) | 1992-01-10 |
| JPH0733549B2 true JPH0733549B2 (ja) | 1995-04-12 |
Family
ID=14379671
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2104400A Expired - Fee Related JPH0733549B2 (ja) | 1990-04-21 | 1990-04-21 | 二方向性珪素鋼板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0733549B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4595217B2 (ja) * | 2001-03-06 | 2010-12-08 | 住友金属工業株式会社 | 二方向性電磁鋼板の製造方法 |
| JP5942886B2 (ja) * | 2013-02-18 | 2016-06-29 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 方向性電磁鋼板の窒化処理設備および窒化処理方法 |
| JP5942884B2 (ja) * | 2013-02-18 | 2016-06-29 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 方向性電磁鋼板の窒化処理設備および窒化処理方法 |
-
1990
- 1990-04-21 JP JP2104400A patent/JPH0733549B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH046221A (ja) | 1992-01-10 |
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