JPH0733577B2 - 真空蒸着装置 - Google Patents
真空蒸着装置Info
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- JPH0733577B2 JPH0733577B2 JP8730688A JP8730688A JPH0733577B2 JP H0733577 B2 JPH0733577 B2 JP H0733577B2 JP 8730688 A JP8730688 A JP 8730688A JP 8730688 A JP8730688 A JP 8730688A JP H0733577 B2 JPH0733577 B2 JP H0733577B2
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、プラスチツクフイルム例えばポリエステル等
のフイルムにアルミニウム等の金属あるいはセラミツク
ス等の非金属を蒸着する真空蒸着装置や、プラスチツク
以外の各種の非金属材料又は金属材料に金属材料又は非
金属材料を蒸着する真空蒸着装置に関する。
のフイルムにアルミニウム等の金属あるいはセラミツク
ス等の非金属を蒸着する真空蒸着装置や、プラスチツク
以外の各種の非金属材料又は金属材料に金属材料又は非
金属材料を蒸着する真空蒸着装置に関する。
第２図に示すように、従来のプラスチツクフイルムにア
ルミニウムを蒸着する真空蒸着装置は、隔板ｈで仕切ら
れた上室ｆと下室（蒸着室）ｇとからなる真空槽ａの中
で、コイル状に巻いたフイルムｂを巻出機ｃで巻戻しな
がら、クーリングキヤンシ部にて下室ｇのるつぼｊから
蒸発されるアルミニウム蒸気を蒸着し、巻取機ｅで巻取
り、１コイルの蒸着が完了すると真空槽ａを大気に開放
し、新しいコイル状に巻いたフイルムｂを装着し替えた
後、再度ポンプk,lで真空に排気して蒸着する作業が行
われるように構成されている。
ルミニウムを蒸着する真空蒸着装置は、隔板ｈで仕切ら
れた上室ｆと下室（蒸着室）ｇとからなる真空槽ａの中
で、コイル状に巻いたフイルムｂを巻出機ｃで巻戻しな
がら、クーリングキヤンシ部にて下室ｇのるつぼｊから
蒸発されるアルミニウム蒸気を蒸着し、巻取機ｅで巻取
り、１コイルの蒸着が完了すると真空槽ａを大気に開放
し、新しいコイル状に巻いたフイルムｂを装着し替えた
後、再度ポンプk,lで真空に排気して蒸着する作業が行
われるように構成されている。
なお、るつぼｊ内のアルミニウムは、１回に消費する量
が約1kg程度であり連続供給を行う必要はないが、大気
開放時には、るつぼｊの破損防止のため、その都度排出
し、るつぼｊ内の手入れを行つた後、新しいアルミニウ
ムを装填するようにしている。
が約1kg程度であり連続供給を行う必要はないが、大気
開放時には、るつぼｊの破損防止のため、その都度排出
し、るつぼｊ内の手入れを行つた後、新しいアルミニウ
ムを装填するようにしている。
〔発明が解決しようとする課題〕 ところで、１回の運転で処理するプラスチツクフイルム
の量を、例えば従来の300倍もの大量にする場合、消費
するアルミニウムの量も1kgの300倍で300kg程度とな
る。
の量を、例えば従来の300倍もの大量にする場合、消費
するアルミニウムの量も1kgの300倍で300kg程度とな
る。
これを実施する方策として、上記した従来の真空槽ａ内
にアルミニウムワイヤの連続供給装置を設け、真空槽ａ
内でアルミニウムの連続供給を行うようにすることが考
えられる。
にアルミニウムワイヤの連続供給装置を設け、真空槽ａ
内でアルミニウムの連続供給を行うようにすることが考
えられる。
しかし、この方策では、真空槽が大型化する、真空
槽内のアルミニウムワイヤ連続供給装置が故障した場合
には連続真空蒸着装置全体を停止しなければならない、
等の問題がある。
槽内のアルミニウムワイヤ連続供給装置が故障した場合
には連続真空蒸着装置全体を停止しなければならない、
等の問題がある。
本発明は、このような問題点を解決すべく、大気中から
真空槽内のるつぼに連続的にアルミニウムを供給する手
段を備えた真空蒸着装置を提案することを目的とするも
のである。
真空槽内のるつぼに連続的にアルミニウムを供給する手
段を備えた真空蒸着装置を提案することを目的とするも
のである。
本発明は、上記目的を、真空室と蒸着室とを有し、蒸着
基板を装置外部→真空室→蒸着室→真空室→装置外部へ
と走行させて蒸着を行う連続真空蒸着装置において、蒸
着金属を装置外部→真空室→蒸着室へと供給する手段を
備えてなることを特徴とする真空蒸着装置により達成す
るものである。
基板を装置外部→真空室→蒸着室→真空室→装置外部へ
と走行させて蒸着を行う連続真空蒸着装置において、蒸
着金属を装置外部→真空室→蒸着室へと供給する手段を
備えてなることを特徴とする真空蒸着装置により達成す
るものである。
本発明における蒸着金属の供給手段は、蒸着金属を真空
蒸着装置の外部から真空室を通して蒸着室内へ供給する
ものである。
蒸着装置の外部から真空室を通して蒸着室内へ供給する
ものである。
従つて、供給されるべき蒸着金属は装置外部に置かれ、
しかも蒸着金属を蒸着室へ供給するための駆動部も装置
外部に配置され、装置内部に設置されるものは例えば蒸
着金属の案内手段（ガイドロールやガイド板等）等の構
成が単純で故障が生じ難いものに限られる。
しかも蒸着金属を蒸着室へ供給するための駆動部も装置
外部に配置され、装置内部に設置されるものは例えば蒸
着金属の案内手段（ガイドロールやガイド板等）等の構
成が単純で故障が生じ難いものに限られる。
これにより、真空蒸着装置が大型化することはなく、ま
た蒸着金属供給用駆動部が停止しても装置全体を停止せ
ずに容易に修理できる。
た蒸着金属供給用駆動部が停止しても装置全体を停止せ
ずに容易に修理できる。
上記の本発明における蒸着金属の供給手段として、例え
ば、真空槽の中を複数の隔壁と１〜３本１組のシールロ
ールによつて複数の真空室に仕切り、これら真空室を各
々に真空排気装置を設けて大気側から蒸着室まで順次圧
力が低くなるようにすると共に、上記複数の隔壁の各々
に直径数mmの孔を明け、真空槽の外部におかれたワイヤ
状の蒸着金属をこれらの孔を順次通して蒸着室へ供給す
るようにしたものが挙げられる。
ば、真空槽の中を複数の隔壁と１〜３本１組のシールロ
ールによつて複数の真空室に仕切り、これら真空室を各
々に真空排気装置を設けて大気側から蒸着室まで順次圧
力が低くなるようにすると共に、上記複数の隔壁の各々
に直径数mmの孔を明け、真空槽の外部におかれたワイヤ
状の蒸着金属をこれらの孔を順次通して蒸着室へ供給す
るようにしたものが挙げられる。
この手段においては、上記複数の隔壁とシールロールの
間、及びシールロールとシールロールの間に適当な隙間
を設けて互いに接触してシールロールに庇が付くのを防
止する。また、隔壁に明けた孔とこの孔を通るワイヤ状
の蒸着金属の間の隙間を、上記のシールロール周辺の隙
間面積に比し極く僅か（1/100以下程度）なものとすれ
ば、この隙間による圧力上昇は殆んど無視可能な範囲と
なり、蒸着金属を真空蒸着操作を続行したまま連続供給
することができる。
間、及びシールロールとシールロールの間に適当な隙間
を設けて互いに接触してシールロールに庇が付くのを防
止する。また、隔壁に明けた孔とこの孔を通るワイヤ状
の蒸着金属の間の隙間を、上記のシールロール周辺の隙
間面積に比し極く僅か（1/100以下程度）なものとすれ
ば、この隙間による圧力上昇は殆んど無視可能な範囲と
なり、蒸着金属を真空蒸着操作を続行したまま連続供給
することができる。
第１図は本発明装置の実施例を示す説明図で、本例では
プラスチツクフイルムを蒸着基板とし、これにアルミニ
ウムを真空蒸着する場合を示す。
プラスチツクフイルムを蒸着基板とし、これにアルミニ
ウムを真空蒸着する場合を示す。
これに限らず、他の非金属あるいは金属材料を蒸着基板
とし、これらにアルミニウム、その他の金属あるいは非
金属を蒸着する場合も、本例とほぼ同様である。
とし、これらにアルミニウム、その他の金属あるいは非
金属を蒸着する場合も、本例とほぼ同様である。
第１図において、連続真空蒸着装置は、コイル状のフイ
ルムを払い出すための装置（図示せず）から払い出され
たプラスチツクフイルム１が、真空室ａ〜ｅからなる連
続真空シール装置Ａの入口のシールロール2,2′の間を
通り第１段目の真空室ａに入り、続いて第２段目の入口
のシールロール3,3′の間を通り第２段目の真空室ｂに
入り、以後、順次シールロール4,4′→5,5′→6,6′→
7,7′の間を通り第３〜第５段目の真空室ｃ〜ｅを経
て、蒸着室ｆに導かれ、蒸着ロール８の下部で、るつぼ
９で溶融されたアルミニウム10の蒸気が蒸着された後、
再度上記の連続真空シール装置Ａに導かれ、上記の入側
とは逆にシールロールを７′,7″→６′,6″→５′,5″
→４′,4″→３′,3″→２′,2″の順で通り第５〜第１
段目真空室ｅ〜ａを経て大気中に搬出され、図示しない
巻取装置によつて巻取られる構成となつている。
ルムを払い出すための装置（図示せず）から払い出され
たプラスチツクフイルム１が、真空室ａ〜ｅからなる連
続真空シール装置Ａの入口のシールロール2,2′の間を
通り第１段目の真空室ａに入り、続いて第２段目の入口
のシールロール3,3′の間を通り第２段目の真空室ｂに
入り、以後、順次シールロール4,4′→5,5′→6,6′→
7,7′の間を通り第３〜第５段目の真空室ｃ〜ｅを経
て、蒸着室ｆに導かれ、蒸着ロール８の下部で、るつぼ
９で溶融されたアルミニウム10の蒸気が蒸着された後、
再度上記の連続真空シール装置Ａに導かれ、上記の入側
とは逆にシールロールを７′,7″→６′,6″→５′,5″
→４′,4″→３′,3″→２′,2″の順で通り第５〜第１
段目真空室ｅ〜ａを経て大気中に搬出され、図示しない
巻取装置によつて巻取られる構成となつている。
なお、１巻のフイルムの蒸着が終了したならば、フイル
ムは払い出し部と巻取部に設けた図示しない連続取替装
置によつて取替えられ、中断することなく次々と蒸着さ
れ、300時間以上連続運転される。
ムは払い出し部と巻取部に設けた図示しない連続取替装
置によつて取替えられ、中断することなく次々と蒸着さ
れ、300時間以上連続運転される。
ここで、上記の連続真空シール装置Ａは、複数の隔壁２
,3,4,5,6,7とシールロール2,2′,2″,3,
3′,3″,4,4′,4″,5,5′,5″,6,6′,6″7,7′,7″にに
よつて支切られた真空室a,b,c,d,e,蒸着室ｆ、及び各真
空室ａ〜ｅ及び蒸着室ｆを排気するための真空ポンプi,
ii,iii,iv,v,viから構成されており、シールロールとシ
ールロール、シールロールと隔壁の間の隙間から流入す
る空気を連続的に排気し、各室ａ〜ｆの圧力を以下の実
施データの一例に示すように大気から蒸着室に向い順次
高真空となるように運転されている。
,3,4,5,6,7とシールロール2,2′,2″,3,
3′,3″,4,4′,4″,5,5′,5″,6,6′,6″7,7′,7″にに
よつて支切られた真空室a,b,c,d,e,蒸着室ｆ、及び各真
空室ａ〜ｅ及び蒸着室ｆを排気するための真空ポンプi,
ii,iii,iv,v,viから構成されており、シールロールとシ
ールロール、シールロールと隔壁の間の隙間から流入す
る空気を連続的に排気し、各室ａ〜ｆの圧力を以下の実
施データの一例に示すように大気から蒸着室に向い順次
高真空となるように運転されている。
第１段目真空室a:400Torr 第２段目真空室b:150Torr 第３段目真空室c: 50Torr 第４段目真空室d: 5Torr 第５段目真空室e:1×10-2Torr 蒸着室ｆ :1×10-4Torr また、上記の蒸着ロール８の下方には上記したようにア
ルミニウム10を溶融蒸発させるためのるつぼ９があり、
このるつぼ９は例えば高周波誘導加熱装置等の加熱手段
（図示せず）によつて加熱される。
ルミニウム10を溶融蒸発させるためのるつぼ９があり、
このるつぼ９は例えば高周波誘導加熱装置等の加熱手段
（図示せず）によつて加熱される。
ところで、通常、アルミニウムの消費量は1kg/h程度で
あり、るつぼのアルミ保有量は約10kg程度である。従つ
て、アルミニウムをるつぼへ１回装填すると、約８〜９
時間は補給なしで運転可能であるが、それ以上となる
と、例えば次のように構成される本発明のアルミニウム
供給手段によりアルミニウムを補給する必要がある。
あり、るつぼのアルミ保有量は約10kg程度である。従つ
て、アルミニウムをるつぼへ１回装填すると、約８〜９
時間は補給なしで運転可能であるが、それ以上となる
と、例えば次のように構成される本発明のアルミニウム
供給手段によりアルミニウムを補給する必要がある。
すなわち、上記の各真空室ａ〜ｅを支切る隔壁２,3
,4,5,6,7にアルミニウムワイヤ11を通すため
の孔イ，ロ，ハ，ニ，ホ，ヘを設け、プラスチツクフイ
ルムの通板方向と同一の方向でアルミニウムワイヤ11を
通し、大気中の設けられたアルミニウムワイヤ11の連続
供給装置11′、ガイドロール12及び図示しない駆動装置
によつて駆動される送りロール13についてるつぼ９にア
ルミワイヤ11を供給するように構成する。ここで、上記
のアルミニウムワイヤ11と孔イ〜ヘの隙間は数mm以下と
なるように設定し、この隙間から漏れ込む空気の量を充
分無視できる量とする。
,4,5,6,7にアルミニウムワイヤ11を通すため
の孔イ，ロ，ハ，ニ，ホ，ヘを設け、プラスチツクフイ
ルムの通板方向と同一の方向でアルミニウムワイヤ11を
通し、大気中の設けられたアルミニウムワイヤ11の連続
供給装置11′、ガイドロール12及び図示しない駆動装置
によつて駆動される送りロール13についてるつぼ９にア
ルミワイヤ11を供給するように構成する。ここで、上記
のアルミニウムワイヤ11と孔イ〜ヘの隙間は数mm以下と
なるように設定し、この隙間から漏れ込む空気の量を充
分無視できる量とする。
なお、本発明では第１図に示すように、蒸着室ｆの内部
にもアルミニウムワイヤ11のガイドロール12′、ガイド
板12″を設けることもできる。
にもアルミニウムワイヤ11のガイドロール12′、ガイド
板12″を設けることもできる。
上記の本発明におけるアルミニウム供給手段は、例えば
上記のように約８〜９時間毎に断続的に運転され、運転
停止期間中はアルミニウムワイヤ11はその先端が溶融ア
ルミニウム10表面近傍の上方に位置し、他の部分（先端
以外の部分）は第１図に示すようにガイド板12″、ガイ
ドロール12′、孔ヘ〜イの内部に位置した状態となる。
この運転停止期間中の状態にあつても、上記のように孔
イ〜ヘの隙間は充分小さく、ここから漏れ込む空気量は
無視することができ、真空蒸着を良好に続行することが
できる。
上記のように約８〜９時間毎に断続的に運転され、運転
停止期間中はアルミニウムワイヤ11はその先端が溶融ア
ルミニウム10表面近傍の上方に位置し、他の部分（先端
以外の部分）は第１図に示すようにガイド板12″、ガイ
ドロール12′、孔ヘ〜イの内部に位置した状態となる。
この運転停止期間中の状態にあつても、上記のように孔
イ〜ヘの隙間は充分小さく、ここから漏れ込む空気量は
無視することができ、真空蒸着を良好に続行することが
できる。
本発明装置によれば、従来装置によるよりも、はるかに
大量（例えば、従来の300倍も）の蒸着基板に連続して
金属蒸着を施すことができる。
大量（例えば、従来の300倍も）の蒸着基板に連続して
金属蒸着を施すことができる。
また、実施例に示す本発明装置の蒸着金属供給手段によ
れば、真空室内のシールロール間及びシールロールと隔
壁の間の隙間面積に比べ、アルミニウム等の蒸着金属ワ
イヤと孔との隙間面積は約1/100程度となるため、空気
の漏れ込み量は充分無視でき、真空槽内の圧力は真空蒸
着可能な圧力範囲を維持する。従つて、真空蒸着続行中
にアルミニウム等の蒸着金属の連続供給が可能となり、
長時間連続して真空蒸着を行うことができる。
れば、真空室内のシールロール間及びシールロールと隔
壁の間の隙間面積に比べ、アルミニウム等の蒸着金属ワ
イヤと孔との隙間面積は約1/100程度となるため、空気
の漏れ込み量は充分無視でき、真空槽内の圧力は真空蒸
着可能な圧力範囲を維持する。従つて、真空蒸着続行中
にアルミニウム等の蒸着金属の連続供給が可能となり、
長時間連続して真空蒸着を行うことができる。
第１図は本発明装置の一実施例の側断面図、第２図は従
来装置を示す図である。 1:プラスチツクフイルム、A:連続真空シール装置、11:
アルミニウムワイヤ、11′：アルミニウムワイヤ連続供
給装置、２〜7,2′〜７′,2″〜７″：シールロール、
２〜７：隔壁、イ，ロ，ハ，ニ，ホ，ヘ：アルミニ
ウムワイヤを通すための孔、9:るつぼ、10:溶融アル
ミ、12,12′：アルミニウムワイヤのガイドロール、1
2″：アルミニウムワイヤのガイド板、13:アルミニウム
送りロール
来装置を示す図である。 1:プラスチツクフイルム、A:連続真空シール装置、11:
アルミニウムワイヤ、11′：アルミニウムワイヤ連続供
給装置、２〜7,2′〜７′,2″〜７″：シールロール、
２〜７：隔壁、イ，ロ，ハ，ニ，ホ，ヘ：アルミニ
ウムワイヤを通すための孔、9:るつぼ、10:溶融アル
ミ、12,12′：アルミニウムワイヤのガイドロール、1
2″：アルミニウムワイヤのガイド板、13:アルミニウム
送りロール
Claims (1)
- 【請求項１】真空室と蒸着室とを有し、蒸着基板を装置
外部→真空室→蒸着室→真空室→装置外部へと走行させ
て蒸着を行う連続真空蒸着装置において、蒸着金属を装
置外部→真空室→蒸着室へと供給する手段を備えてなる
ことを特徴とする真空蒸着装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8730688A JPH0733577B2 (ja) | 1988-04-11 | 1988-04-11 | 真空蒸着装置 |
| KR1019890004722A KR920003591B1 (ko) | 1988-04-11 | 1989-04-10 | 연속진공증착장치 |
| DE89106353T DE68909988T2 (de) | 1988-04-11 | 1989-04-11 | Vorrichtung zur kontinuierlichen Vacuumbeschichtung. |
| US07/336,349 US5000114A (en) | 1988-04-11 | 1989-04-11 | Continuous vacuum vapor deposition system having reduced pressure sub-chambers separated by seal devices |
| EP89106353A EP0337369B1 (en) | 1988-04-11 | 1989-04-11 | Continuous vacuum vapor deposition apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8730688A JPH0733577B2 (ja) | 1988-04-11 | 1988-04-11 | 真空蒸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01259169A JPH01259169A (ja) | 1989-10-16 |
| JPH0733577B2 true JPH0733577B2 (ja) | 1995-04-12 |
Family
ID=13911145
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8730688A Expired - Fee Related JPH0733577B2 (ja) | 1988-04-11 | 1988-04-11 | 真空蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0733577B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1167566B1 (en) | 2000-06-22 | 2011-01-26 | Panasonic Electric Works Co., Ltd. | Apparatus for and method of vacuum vapor deposition |
-
1988
- 1988-04-11 JP JP8730688A patent/JPH0733577B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01259169A (ja) | 1989-10-16 |
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