JPH02118073A - 連続真空蒸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、プラスチックフィルム例えばポリエステル等
のフィルムにアルミニウム等の金属あるいはセラミック
ス等の非金属を蒸着する真空蒸着装置や、プラスチック
以外の各種の非金属材料または金属材料に金属材料また
は非金属材料を蒸着する真空蒸着装置に関する。

〔従来の技術〕

第２図は、プラスチックフィルムにアルミニウムを蒸着
する従来のＸ空蒸着装置の一例を示す。

隔板すで仕切られた上室でと下室（蒸着室）ｇとからな
る真空室ａの中で、コイル状に巻いたフィルムｂを巻出
ｍｃから繰出しながら、下室ｇのるつぼＪから蒸発する
アルミニウム蒸気を冷却ロール（蒸着ロール）１部で蒸
着し９巻取機ｅで巻取る。１コイルの蒸着が完了すると
、真空室ａを大気に開放し、コイル状に巻かれた新しい
フィルムｂを装着し替えた後、再度ポンプｄ、にで真空
に排気して蒸着する作業を行なう。るつぼｊ内のアルミ
ニウムは、１回に消費する量が約ＩＩＫ９程度であり連
続供給を行う必要はないが、大気開放時には。

るつぼＪの破損防止のため、その都度排出し、るつぼｊ
内の手入れを行った後、新しいアルミニウムを装填する
。このように、第２図の真空蒸着装置による蒸着作業は
、フィルムの装着、るつぼの手入れ、新しい蒸着材の装
填、真空引き、加熱。

走行、蒸着、大気開放を繰返すバッチ作業となるので、
極めて非能率的であった。

〔発明が解決しようとする課題〕

前記第２図に示される従来の１バッチｌコイル方式の真
空蒸着装置は非能率的で生産性が悪い。

そこで生産性を向上させるため、シールロールと隔壁と
によって複数段に仕切られた減圧室を設代それら減圧室
をそれぞれ排気して、大気圧から真空まで段階的に低く
する圧力を作り出し、そこにフィルム等、可撓性の基板
を通すことにより、大気中から真空中へ、そして再び大
気中へと、基板を連続的に走行させて真空蒸着を施すこ
とが考えられている。

しかしながら、第２図図示のバッチ方式の場合には１パ
ツチ毎に、また基板を連続的に走行させる方式の場合に
は走行基板が切れた時や真空室内に異常が発生した時な
どに、真空室を大気に開放する必要がある。そ５すると
その度毎に、るつぼは７００ないし８００℃１時には１
４００℃という高温の状態で大気にさらされるため、焼
損等によって寿命が短くなる。またるつぼの破損防止の
ために。

るつぼ内のアルミニウムをくみ出す作業、およびるつぼ
を手入する作業も必要である。

本発明は、上記のような従来の課題を解決するために、
真空室の大気開放が必要になった場合でもるつぼの部分
のみは真空に保つことができるような、真空蒸着装置を
提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、前記目的を達成するために、可撓性の基板を
大気中から真空室内へ減圧室を経て連続的に導入し、上
記真空室内において上記基板を冷却ロールに巻付け、る
つぼ内で加熱され蒸発した蒸着材を上記基板に蒸着させ
た後、上記基板を減圧室を経て大気中に搬出するように
したものにおいて、上記冷却ロールと上記るつぼの間に
開口部を有する隔壁を設けるとともに、上記開口部に同
開口部を密閉できかつ開閉自在な蓋を設けたことを特徴
とする連続真空蒸着装置を提案するものである。

〔作　用〕

蒸着運転中は、るつぼから蒸着材は隔壁の開口部を通し
、冷却ロール（蒸着ロール）に巻付けた走行基板に蒸着
される。

走行基板が切断した場合等、大気開放の必要が生じた場
合には、開口部を蓋によって密閉し、るつぼを納めた部
分のみを真空にして、蒸着ロール部がある部分を大気に
開放する。

〔実施例〕

第１図は本発明の一実施例を示す縦断側面図である。

本実施例はプラスチックフィルムの基板に蒸着材として
アルミニウムを蒸着する装置の例である。

コイル状に巻かれたプラスチックフィルムは大気中に置
かれた払い出し装置（図示せず）から払い出され、シー
ルロールＳｌ、８２０間を通り、シールロールＳ１．Ｓ
２．Ｓ３と隔壁Ｗｌ　、　Ｗ２とによって囲まれた減圧
室２ａに入る。減圧室はほぼ同様な構造のものが複数段
（６〜７段）直列に配置されており、プラスチックフィ
ルム１はそれらを順次通って、最後の減圧室２ｂから真
空室（蒸着室）３に入る。上記減圧室２ａ、・・・、２
ｂおよび真空室３は。

真空排気装置４によりそれぞれ排気され、大気圧から真
空まで顆次段階的に圧力が低くなっている。

プラスチックフィルム１は真空室３内で冷却ロール（蒸
着ロール）５に巻付き、るつぼ６内から蒸発したアルミ
ニウムが蒸着された後、シールロール８２　、　Ｓ３の
間を通り、減圧室２ｂ・・・２ａを経て。

減圧室２ａ上部のシールロールＳ２．Ｓ３の間から。

大気中に払い出され９巻取装置（図示せず）によって巻
取られる。

真空室（蒸着室）３は、冷却ロール（蒸着ロール）５の
ある上部蒸着室３ａと、高周波誘導加熱（図示せず）等
の加熱手段を持つグラファイト製のるつぼ６を納めた下
部蒸着室３ｂとに、隔壁８によって仕切られている。そ
の隔壁８には、るつぼ６内のアルミニウム７の蒸気が通
るための開口部８ａが設けられている。そしてその開口
部８ａには。

水平方向および垂直方向（矢印Ａ）に移動できる蓋９が
設けられる。蓋９の下面と隔壁８の上面との間には、開
口部８ａを密閉できる真空シール機構（たとえばＯリン
ダとメタル面）が設けられる。

蒸着作業中には蓋９は開口部８ａの側方に位置し。

るつぼ６内のアルミニウム７の蒸気が蒸着ロール５に巻
付いて走行するプラスチックフィルム１に蒸着される。

この時、上部蒸着室３ａに接続する真空配管のパルプＶ
ｌおよび下部蒸着室３ｂに接続する真空配管のパルプｖ
２は２両方とも開いた状態になっており、真空室（蒸着
室）３全体がＩ　Ｘ　１０−’Ｔｏｒｒ程度の圧力に保
持されている。

真空蒸着装置を開放する必要（例えばフィルム切れ）が
生じた場合には、上部蒸着室３ａのパルプｖ１を閉じて
下部蒸着室３ｂの内圧をアルミニウム７が蒸発しない圧
力（例えばＩ　Ｘ　１Ｏ−２Ｔｏｒｒ　）にまで高めた
後、蓋９を図示しない移動手段により開口部８ａに移動
して真空シールを行ない、開口部８ａを密閉する。この
ようにして下部蒸着室３ｂだけはアルミニウム７が蒸発
しない圧力に保持した状態で、減圧室２ａ、２ｂおよび
上部蒸着室３ａを開放し。

必要な作業（例えばフィルム１の接続）を実施する。そ
して運転を再開する時には、パルプｖ１を開き再度減圧
室２ａ＋２ｂおよび上部蒸着室３ａの真空引きを行なう
。所要圧力まで到達したならば。

蓋９を図示しない移動手段によって再度開口部８ａの側
方に移動した後、るつぼ６内のアルミニウム７が蒸発す
る圧力まで真空引きを行ない、蒸着を再開する。

〔発明の効果〕

本発明によれば、るつぼを高温の状態で大気中にさらさ
ずに済むので１次の効果が得られる。

（１）　　るつぼの酸化による寿命の短縮がなくなる。

（２）　　るつぼ内のアルミニウム汲み出し作業が最少
回数で済む。

（３）　　るつぼの手入作業の回数が減少する。

（４）上記＋２１　、　（３１により、運転中断時間が
短縮され生産性が向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す縦断側面図。 第２図は従来の真空蒸着装置の一例を示す縦断側面図で
ある。 １・・・プラスチックフィルム　　　２ａ、２ｂ・・・
減圧室３・・・真空室（蒸着室） ３ｂ・・・下部蒸着室 ５・・・冷却ロール（蒸着ロール） ７・・・アルミニウム ８ａ・・・開口部 ８１．８２．Ｓ３・・・シールロール ｖ１．ｖ２・・り丈ルプ ３ａ・・・上部蒸着室 ４・・・真空排気装置 ６・・・るつぼ ８・・・蒸着室隔壁 ９・・・蓋 ｗｌ、ｗ２・・・隔壁 第１図 代 理 人

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 可撓性の基板を大気中から真空室内へ減圧室を経て連続
   的に導入し、上記真空室内において、上記基板を冷却ロ
   ールに巻付け、るつぼ内で加熱され蒸発した蒸着材を上
   記基板に蒸着させた後、上記基板を減圧室を経て大気中
   に搬出するようにしたものにおいて、上記冷却ロールと
   上記るつぼの間に開口部を有する隔壁を設けるとともに
   、上記開口部に同開口部を密閉できかつ開閉自在な蓋を
   設けたことを特徴とする連続真空蒸着装置。