JPH073394B2 - 透明部材の異物測定装置 - Google Patents
透明部材の異物測定装置Info
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- JPH073394B2 JPH073394B2 JP4112114A JP11211492A JPH073394B2 JP H073394 B2 JPH073394 B2 JP H073394B2 JP 4112114 A JP4112114 A JP 4112114A JP 11211492 A JP11211492 A JP 11211492A JP H073394 B2 JPH073394 B2 JP H073394B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は，透明部材中に混入し
た異物を検出し，計測する異物測定装置に関するもので
ある。
た異物を検出し，計測する異物測定装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】一般に，板状に成形されて使用される透
明アクリル樹脂等のような透明な部材は，表示装置とし
てのＣＲＴ面を保護するために管面上に取り付けられて
いる。この場合，ＣＲＴに表示された画像は，この透明
アクリル樹脂板を通して見ることになるので，これにゴ
ミ等の異物が混入していると，ＣＲＴ面の画像の光がこ
の異物などに当って散乱するため，画像を正確に視認す
ることができない。又，アクリル樹脂は絶縁性が高いた
め，電気絶縁材料としても使用されているが，ゴミ等の
異物が混入していると絶縁性が低下する。このため，ア
クリル樹脂板に製造する前の粉末原料の段階で，原料に
混入している異物を計測して原料管理がなされている
が，通常，このゴミ等の異物は肉眼では容易に確認し難
い程微小なものである。
明アクリル樹脂等のような透明な部材は，表示装置とし
てのＣＲＴ面を保護するために管面上に取り付けられて
いる。この場合，ＣＲＴに表示された画像は，この透明
アクリル樹脂板を通して見ることになるので，これにゴ
ミ等の異物が混入していると，ＣＲＴ面の画像の光がこ
の異物などに当って散乱するため，画像を正確に視認す
ることができない。又，アクリル樹脂は絶縁性が高いた
め，電気絶縁材料としても使用されているが，ゴミ等の
異物が混入していると絶縁性が低下する。このため，ア
クリル樹脂板に製造する前の粉末原料の段階で，原料に
混入している異物を計測して原料管理がなされている
が，通常，このゴミ等の異物は肉眼では容易に確認し難
い程微小なものである。
【０００３】そこで，このゴミ等の異物を検出して計数
するために，ある体積中どの程度の異物が混入している
かを測定している。そこで，従来は，粉末原料からサン
プルとして厚さ約３ｍｍ，縦横それぞれ約５ｍｍの透明
アクリル樹脂板の小片を製造し，その小片を顕微鏡で観
察して混入異物の数を数えている。しかしながら，厚さ
が約３ｍｍとはいえ，顕微鏡で拡大すると焦点深度が狭
くなり，厚さ方向（Ｚ軸方向）の極く一部分しか観察す
ることができない。従って，試料を固定してこれを顕微
鏡でＺ軸方向に上方にあるいは下方に，例えば３μｍの
一定間隔で焦点を合わせながら移動させて観察しつつ異
物を計測し，その合計数が許容値内か否かにより良否を
判断していた。
するために，ある体積中どの程度の異物が混入している
かを測定している。そこで，従来は，粉末原料からサン
プルとして厚さ約３ｍｍ，縦横それぞれ約５ｍｍの透明
アクリル樹脂板の小片を製造し，その小片を顕微鏡で観
察して混入異物の数を数えている。しかしながら，厚さ
が約３ｍｍとはいえ，顕微鏡で拡大すると焦点深度が狭
くなり，厚さ方向（Ｚ軸方向）の極く一部分しか観察す
ることができない。従って，試料を固定してこれを顕微
鏡でＺ軸方向に上方にあるいは下方に，例えば３μｍの
一定間隔で焦点を合わせながら移動させて観察しつつ異
物を計測し，その合計数が許容値内か否かにより良否を
判断していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする問題点】しかしながら，この
ような方法では，Ｚ軸方向に対しては，例えば試料の厚
さが３ｍｍ，顕微鏡の焦点が１０μｍであったとする
と，この顕微鏡をＺ軸方向に３００回ずらしていかない
と全体を観察することができず，その上，顕微鏡の視野
で決まるＸ−Ｙ方向に対しても移動させ計数するので，
経費，時間ともに多くかかるとともに，異物の数は人間
が計数していたので，誤差が生じる等の問題があった。
そこで，画像処理装置を用いて通常の画像処理により異
物を計数しようとすると，顕微鏡で観測される１０μｍ
毎の画面の画像情報をハ−ドディスクに書き込んで，こ
れをそれぞれ画像処理することになるので，試料が，例
えば，２ｍｍ程度の厚さの場合には，１画面のハ−ドデ
ィスクの容量が約２５６ＫＢ程度であり，全検査対象画
面では，２５６×画面数ＫＢもの大容量のハ−ドディス
クが必要であるとともに，測定時間も長くかかるという
問題があった。
ような方法では，Ｚ軸方向に対しては，例えば試料の厚
さが３ｍｍ，顕微鏡の焦点が１０μｍであったとする
と，この顕微鏡をＺ軸方向に３００回ずらしていかない
と全体を観察することができず，その上，顕微鏡の視野
で決まるＸ−Ｙ方向に対しても移動させ計数するので，
経費，時間ともに多くかかるとともに，異物の数は人間
が計数していたので，誤差が生じる等の問題があった。
そこで，画像処理装置を用いて通常の画像処理により異
物を計数しようとすると，顕微鏡で観測される１０μｍ
毎の画面の画像情報をハ−ドディスクに書き込んで，こ
れをそれぞれ画像処理することになるので，試料が，例
えば，２ｍｍ程度の厚さの場合には，１画面のハ−ドデ
ィスクの容量が約２５６ＫＢ程度であり，全検査対象画
面では，２５６×画面数ＫＢもの大容量のハ−ドディス
クが必要であるとともに，測定時間も長くかかるという
問題があった。
【０００５】
【問題点を解決するための手段】この発明は，Ｚ軸方向
に移動させるための駆動機構を備えた試料を拡大観察す
る光学顕微鏡と，この光学顕微鏡の接眼レンズ部に接続
されて画像を撮像する撮像装置と，この撮像装置からの
画像信号をデジタル変換するＡ／Ｄ変換器と，このＡ／
Ｄ変換器からのデジタルの画像情報を記憶するフレ−ム
メモリと，このフレ−ムメモリに記憶されている画像情
報と新たに入力した画像情報とを比較演算して試料中に
混入する異物を高輝度蓄積あるいは低輝度蓄積のいずれ
かにより蓄積する演算器とを有し，フレ−ムメモリの画
像情報を画像処理して異物を計測する画像処理部と，フ
レ−ムメモリに格納されている画像信号をアナログ変換
するＤ／Ａ変換器と，Ｚ軸方向の駆動機構を制御する機
能と高輝度蓄積と低輝度蓄積とを選択する機能とフレ−
ムメモリへの書き込み，書き換えを指令する機能とを有
するコンピュ−タとを備え，画像情報を順次比較演算し
て高輝度蓄積あるいは低輝度蓄積してフレ−ムメモリ上
に異物を蓄積するとともに，この異物を計測するように
したものである。
に移動させるための駆動機構を備えた試料を拡大観察す
る光学顕微鏡と，この光学顕微鏡の接眼レンズ部に接続
されて画像を撮像する撮像装置と，この撮像装置からの
画像信号をデジタル変換するＡ／Ｄ変換器と，このＡ／
Ｄ変換器からのデジタルの画像情報を記憶するフレ−ム
メモリと，このフレ−ムメモリに記憶されている画像情
報と新たに入力した画像情報とを比較演算して試料中に
混入する異物を高輝度蓄積あるいは低輝度蓄積のいずれ
かにより蓄積する演算器とを有し，フレ−ムメモリの画
像情報を画像処理して異物を計測する画像処理部と，フ
レ−ムメモリに格納されている画像信号をアナログ変換
するＤ／Ａ変換器と，Ｚ軸方向の駆動機構を制御する機
能と高輝度蓄積と低輝度蓄積とを選択する機能とフレ−
ムメモリへの書き込み，書き換えを指令する機能とを有
するコンピュ−タとを備え，画像情報を順次比較演算し
て高輝度蓄積あるいは低輝度蓄積してフレ−ムメモリ上
に異物を蓄積するとともに，この異物を計測するように
したものである。
【０００６】
【作用】光学顕微鏡は，コンピュ−タの制御のもとに，
Ｚ軸方向の駆動装置により，一定ピッチ毎にＺ軸方向の
断面に沿って自動的に上方向に移動させ，２〜３μｍの
一定ピッチ毎に焦点が合うとともに，この画像は撮像装
置により撮像され，異物（暗い異物）が存在する箇所
は，暗信号として，その他の背景は明信号としてそれぞ
れ電気信号に変換された後，Ａ／Ｄ変換器によりデジタ
ル信号に変換され，このデジタルの画像情報はＡＬＵ
（演算器）に入力する。このＡＬＵでは，現在入力した
画像情報と先にフレ−ムメモリに記憶されている画像情
報（現時点では初期設定されている背景のみの明信号）
が帰還されて比較演算される。この画像情報の比較演算
により，異物を示す暗信号が先に記憶されている背景の
画像情報の代わりにフレ−ムメモリに記憶される。この
フレ−ムメモリに記憶されている異物は計測され，Ｄ／
Ａ変換器によりアナログ信号に変換されて表示装置に表
示される。フレ−ムメモリへの情報の書き込み，書き換
えはコンピュ−タの指令により行われる。
Ｚ軸方向の駆動装置により，一定ピッチ毎にＺ軸方向の
断面に沿って自動的に上方向に移動させ，２〜３μｍの
一定ピッチ毎に焦点が合うとともに，この画像は撮像装
置により撮像され，異物（暗い異物）が存在する箇所
は，暗信号として，その他の背景は明信号としてそれぞ
れ電気信号に変換された後，Ａ／Ｄ変換器によりデジタ
ル信号に変換され，このデジタルの画像情報はＡＬＵ
（演算器）に入力する。このＡＬＵでは，現在入力した
画像情報と先にフレ−ムメモリに記憶されている画像情
報（現時点では初期設定されている背景のみの明信号）
が帰還されて比較演算される。この画像情報の比較演算
により，異物を示す暗信号が先に記憶されている背景の
画像情報の代わりにフレ−ムメモリに記憶される。この
フレ−ムメモリに記憶されている異物は計測され，Ｄ／
Ａ変換器によりアナログ信号に変換されて表示装置に表
示される。フレ−ムメモリへの情報の書き込み，書き換
えはコンピュ−タの指令により行われる。
【０００７】
【発明の実施例１】この発明の第１の実施例を，図１〜
図７により詳細に説明する。図１はこの発明の構成図，
図２〜図６は表示装置に表示されたＺ軸方向の各画面１
６である。図７は高輝度蓄積あるいは低輝度蓄積を選択
する回路図，図８はフロ−チャ−ト図である。図１にお
いて，１は光学顕微鏡で，パルスモ−タ等によりＺ軸方
向に一定のピッチ（例えば２〜３μｍ）で上下方向に駆
動可能なＺ軸方向の駆動機構２を具備しており，このＺ
軸方向の駆動機構２は，コンピュ−タ１１により駆動制
御されているとともに，対物レンズ部１ａ側には，Ｘ−
Ｙテ−ブル３上に載置された試料１３が位置決めされて
おり，接眼レンズ部１ｂ側には，撮像装置５が接続され
ている。３は試料１３を載置するＸ−Ｙテ−ブルで，Ｘ
−Ｙ方向に移動させるためのＸ−Ｙ軸方向の駆動機構４
を具備している。５は顕微鏡１の接眼レンズ部１ｂに接
続されている撮像装置で，この撮像装置５の出力側には
Ａ／Ｄ変換器７を介して画像処理部６が接続されてい
る。
図７により詳細に説明する。図１はこの発明の構成図，
図２〜図６は表示装置に表示されたＺ軸方向の各画面１
６である。図７は高輝度蓄積あるいは低輝度蓄積を選択
する回路図，図８はフロ−チャ−ト図である。図１にお
いて，１は光学顕微鏡で，パルスモ−タ等によりＺ軸方
向に一定のピッチ（例えば２〜３μｍ）で上下方向に駆
動可能なＺ軸方向の駆動機構２を具備しており，このＺ
軸方向の駆動機構２は，コンピュ−タ１１により駆動制
御されているとともに，対物レンズ部１ａ側には，Ｘ−
Ｙテ−ブル３上に載置された試料１３が位置決めされて
おり，接眼レンズ部１ｂ側には，撮像装置５が接続され
ている。３は試料１３を載置するＸ−Ｙテ−ブルで，Ｘ
−Ｙ方向に移動させるためのＸ−Ｙ軸方向の駆動機構４
を具備している。５は顕微鏡１の接眼レンズ部１ｂに接
続されている撮像装置で，この撮像装置５の出力側には
Ａ／Ｄ変換器７を介して画像処理部６が接続されてい
る。
【０００８】画像処理部６においては，フレ−ムメモリ
８に記憶されているひとつ前の画像情報と現在入力して
きた画像情報とを順次比較演算するＡＬＵ９とＤ／Ａ変
換器１０と各部への命令，制御するコンピュ−タ１１と
が内蔵されている。ＡＬＵ９はフレ−ムメモリ８に書き
込まれている画像情報と現在の画像情報とを比較演算し
て，コンピュ−タ１１の指令に基づいて命令デコ−ダ１
７により高輝度蓄積あるいは低輝度蓄積のいずれかの手
法が選択されて各画像情報中の異物１４が順次蓄積され
る。コンピュ−タ１１は，Ｚ軸方向の駆動機構２および
Ｘ−Ｙ軸方向の駆動機構４を制御する機能，画像情報を
加算して高輝度蓄積か低輝度蓄積かに選択する機能等を
備えている。フレ−ムメモリ８はメモリ容量として，例
えば，１フレ−ム分の画像情報を記録するのに，サンプ
リング周波数１２ＭＨｚ，量子化８ビットのものが用い
られている。１２は表示装置，１３は試料，１４は試料
１３中に混入している異物，１５は気泡，１６は撮像さ
れたあるいは表示装置１２に表示されたＺ軸方向の表示
画面である。
８に記憶されているひとつ前の画像情報と現在入力して
きた画像情報とを順次比較演算するＡＬＵ９とＤ／Ａ変
換器１０と各部への命令，制御するコンピュ−タ１１と
が内蔵されている。ＡＬＵ９はフレ−ムメモリ８に書き
込まれている画像情報と現在の画像情報とを比較演算し
て，コンピュ−タ１１の指令に基づいて命令デコ−ダ１
７により高輝度蓄積あるいは低輝度蓄積のいずれかの手
法が選択されて各画像情報中の異物１４が順次蓄積され
る。コンピュ−タ１１は，Ｚ軸方向の駆動機構２および
Ｘ−Ｙ軸方向の駆動機構４を制御する機能，画像情報を
加算して高輝度蓄積か低輝度蓄積かに選択する機能等を
備えている。フレ−ムメモリ８はメモリ容量として，例
えば，１フレ−ム分の画像情報を記録するのに，サンプ
リング周波数１２ＭＨｚ，量子化８ビットのものが用い
られている。１２は表示装置，１３は試料，１４は試料
１３中に混入している異物，１５は気泡，１６は撮像さ
れたあるいは表示装置１２に表示されたＺ軸方向の表示
画面である。
【０００９】次に，作用動作について，図１に基づいて
詳細に説明する。試料１３としてアクリル樹脂を用い，
この試料１３中に混入しているゴミ等の異物１４の測定
をする場合について説明する。まず，準備段階として粉
末であるアクリル樹脂原料の中から少量を取り出し，厚
さ約３ｍｍ，縦横約５ｍｍの角形の透明なアクリル樹脂
の小片を試料１３として成形する。この試料１３はＸ−
Ｙテ−ブル３上に載置され，光学顕微鏡１の対物レンズ
部１ａで断面部分をＺ軸方向に観察できるように位置決
めされており，焦点は試料１３の最深部（底面）に合わ
せている。
詳細に説明する。試料１３としてアクリル樹脂を用い，
この試料１３中に混入しているゴミ等の異物１４の測定
をする場合について説明する。まず，準備段階として粉
末であるアクリル樹脂原料の中から少量を取り出し，厚
さ約３ｍｍ，縦横約５ｍｍの角形の透明なアクリル樹脂
の小片を試料１３として成形する。この試料１３はＸ−
Ｙテ−ブル３上に載置され，光学顕微鏡１の対物レンズ
部１ａで断面部分をＺ軸方向に観察できるように位置決
めされており，焦点は試料１３の最深部（底面）に合わ
せている。
【００１０】まず最初に，コンピュ−タ１１の指令によ
り，異物１４を暗信号として蓄積する低輝度蓄積が行わ
れる場合について説明する。光学顕微鏡１は，コンピュ
−タ１１の制御のもとに，Ｚ軸方向の駆動装置２によ
り，一定ピッチ毎にＺ軸方向の断面に沿って自動的に上
方向に移動させれば，２〜３μｍ一定ピッチ毎に焦点が
合うとともに，この画像は撮像装置５により撮像され，
焦点の合った画像，即ち，一定のピッチａ，ｂ，ｃ・・
・毎の画像（表示画面１６）が得られる。この画像情報
は，Ａ／Ｄ変換器７によりデジタル変換された後，画像
処理部６において各種の処理がなされ，これらは表示装
置１２に表示される。
り，異物１４を暗信号として蓄積する低輝度蓄積が行わ
れる場合について説明する。光学顕微鏡１は，コンピュ
−タ１１の制御のもとに，Ｚ軸方向の駆動装置２によ
り，一定ピッチ毎にＺ軸方向の断面に沿って自動的に上
方向に移動させれば，２〜３μｍ一定ピッチ毎に焦点が
合うとともに，この画像は撮像装置５により撮像され，
焦点の合った画像，即ち，一定のピッチａ，ｂ，ｃ・・
・毎の画像（表示画面１６）が得られる。この画像情報
は，Ａ／Ｄ変換器７によりデジタル変換された後，画像
処理部６において各種の処理がなされ，これらは表示装
置１２に表示される。
【００１１】ここで，コンピュ−タ１１の指令により，
命令デコ−ダ１７が異物１４を暗信号として表示する低
輝度蓄積を選択しているので，例えば，試料１３のピッ
チ間隔が３μｍであり，ピッチａ，ｂ，ｃにおける表示
画面１６が，それぞれ図２〜図４に示すようであったと
すると，ピッチａでは，図２に示す表示画面１６中の座
標（１，１），（１，３），（３，２），（３，４）に
表示されている箇所には異物１４が混入している。同様
に，ピッチｂでは，図３に示すように，座標（０，
０），（２，２），（３，３）に異物１４が検出され，
ピッチｃでは，図４に示すように，座標（１，４）に異
物１４が検出される。このように，撮像装置５により撮
像される表示画面１６では，異物１４が存在する箇所
は，暗信号として，その他の背景は明信号としてそれぞ
れ電気信号に変換され，その画像信号はＡ／Ｄ変換器７
によりデジタル信号に変換されて，画像処理部６に入力
される。
命令デコ−ダ１７が異物１４を暗信号として表示する低
輝度蓄積を選択しているので，例えば，試料１３のピッ
チ間隔が３μｍであり，ピッチａ，ｂ，ｃにおける表示
画面１６が，それぞれ図２〜図４に示すようであったと
すると，ピッチａでは，図２に示す表示画面１６中の座
標（１，１），（１，３），（３，２），（３，４）に
表示されている箇所には異物１４が混入している。同様
に，ピッチｂでは，図３に示すように，座標（０，
０），（２，２），（３，３）に異物１４が検出され，
ピッチｃでは，図４に示すように，座標（１，４）に異
物１４が検出される。このように，撮像装置５により撮
像される表示画面１６では，異物１４が存在する箇所
は，暗信号として，その他の背景は明信号としてそれぞ
れ電気信号に変換され，その画像信号はＡ／Ｄ変換器７
によりデジタル信号に変換されて，画像処理部６に入力
される。
【００１２】画像処理部６においては，初期条件とし
て，コンピュ−タ１１の指令により，フレ−ムメモリ８
には，背景のみの明信号を示す画像情報が記憶されてい
る。そこで，まず，図２に示すように，明暗表示された
表示画面１６は，撮像装置５により明暗の電気信号に変
換され，Ａ／Ｄ変換器７によりデジタルの画像情報に変
換される。このデジタルの画像情報はＡＬＵ９に入力す
る。このＡＬＵ９では，図７に示すように，現在入力し
た画像情報（入力Ａ）と先にフレ−ムメモリ８に記憶さ
れている画像情報（現時点では初期設定されている背景
のみの明信号）（入力Ｂ）が帰還され，比較器２３でＡ
＜ＢであるかあるいはＡ＞Ｂであるかが比較され，この
結果は，ＡＮＤ２４あるいはＡＮＤ２５のいずれかから
の出力がＯＲ２６，ＯＲ２２を介してフレ−ムメモリ８
に記憶される。即ち，比較の結果は，暗信号が選択され
るので，異物１４が存在する箇所では，異物１４を示す
暗信号が先に記憶されている背景の画像情報の代わりに
フレ−ムメモリ８に記憶される。フレ−ムメモリ８への
画像情報の書き込み，書き換えはコンピュ−タ１１の指
令により行われる。
て，コンピュ−タ１１の指令により，フレ−ムメモリ８
には，背景のみの明信号を示す画像情報が記憶されてい
る。そこで，まず，図２に示すように，明暗表示された
表示画面１６は，撮像装置５により明暗の電気信号に変
換され，Ａ／Ｄ変換器７によりデジタルの画像情報に変
換される。このデジタルの画像情報はＡＬＵ９に入力す
る。このＡＬＵ９では，図７に示すように，現在入力し
た画像情報（入力Ａ）と先にフレ−ムメモリ８に記憶さ
れている画像情報（現時点では初期設定されている背景
のみの明信号）（入力Ｂ）が帰還され，比較器２３でＡ
＜ＢであるかあるいはＡ＞Ｂであるかが比較され，この
結果は，ＡＮＤ２４あるいはＡＮＤ２５のいずれかから
の出力がＯＲ２６，ＯＲ２２を介してフレ−ムメモリ８
に記憶される。即ち，比較の結果は，暗信号が選択され
るので，異物１４が存在する箇所では，異物１４を示す
暗信号が先に記憶されている背景の画像情報の代わりに
フレ−ムメモリ８に記憶される。フレ−ムメモリ８への
画像情報の書き込み，書き換えはコンピュ−タ１１の指
令により行われる。
【００１３】次いで，光学顕微鏡１を３μｍ上方に移動
すると，図３に示す位置で焦点が合い，この画像は，同
様に，撮像装置５により明暗信号で表示される画像信号
に変換され，同様に，Ａ／Ｄ変換器７でデジタル画像信
号に変換された後，ＡＬＵ９で先にフレ−ムメモリ８に
記憶されている画像情報（図２に示す画像）と比較され
て暗信号が蓄積されて，図５に示すように，座標（０，
０），（１，１），（１，３），（２，２），（３，
２），（３，３），（３，４）が異物１４を示す暗信号
として出力され，フレ−ムメモリ８に記憶される。
すると，図３に示す位置で焦点が合い，この画像は，同
様に，撮像装置５により明暗信号で表示される画像信号
に変換され，同様に，Ａ／Ｄ変換器７でデジタル画像信
号に変換された後，ＡＬＵ９で先にフレ−ムメモリ８に
記憶されている画像情報（図２に示す画像）と比較され
て暗信号が蓄積されて，図５に示すように，座標（０，
０），（１，１），（１，３），（２，２），（３，
２），（３，３），（３，４）が異物１４を示す暗信号
として出力され，フレ−ムメモリ８に記憶される。
【００１４】さらに，光学顕微鏡１を３μｍ上方に移動
すると，図４に示す位置で焦点が合い，この画像は上記
と同様に，画像信号に変換され，Ａ／Ｄ変換器７で，デ
ジタル画像信号に変換され，ＡＬＵ９で，フレ−ムメモ
リ８に記憶されている画像情報と比較され，暗信号が蓄
積されて，図６に示すように，座標（０，０），（１，
１），（１，３），（１，４），（２，２），（３，
２），（３，３），（３，４）が異物１４を示す暗信号
としてフレ−ムメモリ８に記憶される。このようにし
て，約５００×５００画素について，次々に各ピッチ毎
に試料１３中の異物１４が暗信号として蓄積される。実
際には，Ｘ−Ｙ軸方向にも移動して観察されて，１００
０画面程度の計測が行われる。このように，暗信号が次
々に蓄積された画像情報がフレ−ムメモリ８に記憶さ
れ，このフレ−ムメモリ８の画像情報が次々と書き換え
られるとともに，異物１４が計測された画像情報は，Ｄ
／Ａ変換器１０によりアナログ変換され，表示装置１２
に順次表示されている。
すると，図４に示す位置で焦点が合い，この画像は上記
と同様に，画像信号に変換され，Ａ／Ｄ変換器７で，デ
ジタル画像信号に変換され，ＡＬＵ９で，フレ−ムメモ
リ８に記憶されている画像情報と比較され，暗信号が蓄
積されて，図６に示すように，座標（０，０），（１，
１），（１，３），（１，４），（２，２），（３，
２），（３，３），（３，４）が異物１４を示す暗信号
としてフレ−ムメモリ８に記憶される。このようにし
て，約５００×５００画素について，次々に各ピッチ毎
に試料１３中の異物１４が暗信号として蓄積される。実
際には，Ｘ−Ｙ軸方向にも移動して観察されて，１００
０画面程度の計測が行われる。このように，暗信号が次
々に蓄積された画像情報がフレ−ムメモリ８に記憶さ
れ，このフレ−ムメモリ８の画像情報が次々と書き換え
られるとともに，異物１４が計測された画像情報は，Ｄ
／Ａ変換器１０によりアナログ変換され，表示装置１２
に順次表示されている。
【００１５】このようにして，試料１３について光学顕
微鏡１によりＺ軸方向が観察され，その結果は撮像装置
５により１秒間に３０枚程度撮像される。試料１３の断
面，即ちＺ軸方向の観察が終了すると，最終画面からの
画像情報がフレ−ムメモリ８に記憶される。そこで，こ
の最終画面の画像情報は，通常の２値化処理等の手段で
画像処理され，蓄積された異物１４が計数される。な
お，異物１４が同一座標上に位置することは確率的には
ほとんどないので，この実施例では考慮されていない。
又，コンピュ−タ１１により初期設定されるフレ−ムメ
モリ８の初期画像は，上記実施例に限定されることな
く，光学顕微鏡１で観察された最初の表示画面１６であ
ってもよい。
微鏡１によりＺ軸方向が観察され，その結果は撮像装置
５により１秒間に３０枚程度撮像される。試料１３の断
面，即ちＺ軸方向の観察が終了すると，最終画面からの
画像情報がフレ−ムメモリ８に記憶される。そこで，こ
の最終画面の画像情報は，通常の２値化処理等の手段で
画像処理され，蓄積された異物１４が計数される。な
お，異物１４が同一座標上に位置することは確率的には
ほとんどないので，この実施例では考慮されていない。
又，コンピュ−タ１１により初期設定されるフレ−ムメ
モリ８の初期画像は，上記実施例に限定されることな
く，光学顕微鏡１で観察された最初の表示画面１６であ
ってもよい。
【００１６】次に，高輝度蓄積を行う場合には，比較器
１８における比較の結果の大きい信号が異物１４の明信
号として蓄積されるもので，上記の低輝度蓄積とは逆に
明信号の箇所が蓄積され，上記と同様に処理され，試料
１３中の異物１４が計測される。
１８における比較の結果の大きい信号が異物１４の明信
号として蓄積されるもので，上記の低輝度蓄積とは逆に
明信号の箇所が蓄積され，上記と同様に処理され，試料
１３中の異物１４が計測される。
【００１７】
【発明の実施例２】この発明の第２の実施例を，異物１
４と気泡１５とを測定する場合の実施例について，図
７，図８を用いて説明する。暗信号としての黒い異物１
４と明信号としての白い気泡１５を測定する場合には，
最初，異物１４について低輝度蓄積を行い，次に，気泡
１５について高輝度蓄積が行なわれるもので，図８に示
すフロ−チャ−トに従って，コンピュ−タ１１の指令に
より，低輝度蓄積と高輝度蓄積とが切り換えられて異物
１４と気泡１５とが蓄積される。そこで，高輝度蓄積か
低輝度蓄積かの指令を解読して，選択された信号を書き
込む回路としては，例えば，高輝度蓄積の場合は，図７
に示すように，帰還される信号をＢとすると，比較器１
８において，新しい入力Ａと帰還された入力Ｂとが比較
され，入力Ａが大の場合には，比較出力Ａ＞Ｂが１とな
り，入力Ａがコンピュ−タ１１からの高輝度蓄積書き込
みの指令で，フレ−ムメモリ８へ書き込まれる。入力Ｂ
が大の場合には，比較器１８の比較器出力Ａ＜Ｂが１と
なり，フレ−ムメモリ８の出力Ｂが，高輝度蓄積の指令
に従ってフレ−ムメモリ８へ書き込まれる。低輝度蓄積
の場合は，上記と逆に比較器２３の比較結果の小さい信
号がフレ−ムメモリ８に書き込まれる。
４と気泡１５とを測定する場合の実施例について，図
７，図８を用いて説明する。暗信号としての黒い異物１
４と明信号としての白い気泡１５を測定する場合には，
最初，異物１４について低輝度蓄積を行い，次に，気泡
１５について高輝度蓄積が行なわれるもので，図８に示
すフロ−チャ−トに従って，コンピュ−タ１１の指令に
より，低輝度蓄積と高輝度蓄積とが切り換えられて異物
１４と気泡１５とが蓄積される。そこで，高輝度蓄積か
低輝度蓄積かの指令を解読して，選択された信号を書き
込む回路としては，例えば，高輝度蓄積の場合は，図７
に示すように，帰還される信号をＢとすると，比較器１
８において，新しい入力Ａと帰還された入力Ｂとが比較
され，入力Ａが大の場合には，比較出力Ａ＞Ｂが１とな
り，入力Ａがコンピュ−タ１１からの高輝度蓄積書き込
みの指令で，フレ−ムメモリ８へ書き込まれる。入力Ｂ
が大の場合には，比較器１８の比較器出力Ａ＜Ｂが１と
なり，フレ−ムメモリ８の出力Ｂが，高輝度蓄積の指令
に従ってフレ−ムメモリ８へ書き込まれる。低輝度蓄積
の場合は，上記と逆に比較器２３の比較結果の小さい信
号がフレ−ムメモリ８に書き込まれる。
【００１７】そこで，まず，気泡１５を測定する場合に
は，図８に示すフロ−チャ−トに従って，コンピュ−タ
１１により高輝度蓄積が指令され，上記実施例１で述べ
たと同様にして気泡１５が明信号としてフレ−ムメモリ
８へ蓄積され，その結果が画像ファイルに一旦保存され
る。次に，コンピュ−タ１１により，低輝度蓄積が指令
され，これに従って，異物１４が暗信号としてフレ−ム
メモリ８へ蓄積され，その結果が同様に画像ファイルに
保存される。このようにして，画像ファイルに保存され
ている異物１４および気泡１５に関する画像情報は，バ
ッファメモリ（図示せず）に読み出され，画像処理され
て気泡１５および異物１４が計測されるとともに，Ｄ／
Ａ変換され，表示装置１２に表示される。
は，図８に示すフロ−チャ−トに従って，コンピュ−タ
１１により高輝度蓄積が指令され，上記実施例１で述べ
たと同様にして気泡１５が明信号としてフレ−ムメモリ
８へ蓄積され，その結果が画像ファイルに一旦保存され
る。次に，コンピュ−タ１１により，低輝度蓄積が指令
され，これに従って，異物１４が暗信号としてフレ−ム
メモリ８へ蓄積され，その結果が同様に画像ファイルに
保存される。このようにして，画像ファイルに保存され
ている異物１４および気泡１５に関する画像情報は，バ
ッファメモリ（図示せず）に読み出され，画像処理され
て気泡１５および異物１４が計測されるとともに，Ｄ／
Ａ変換され，表示装置１２に表示される。
【００１９】
【発明の効果】この発明は，自動焦点機構を備え，Ｚ軸
方向に移動させるための駆動機構を備えた試料を観察す
る光学顕微鏡と，この光学顕微鏡の接眼レンズ部に接続
されて画像を撮像する撮像装置と，この撮像装置からの
画像信号をデジタル変換するＡ／Ｄ変換器と，このＡ／
Ｄ変換器からのデジタルの画像情報を記憶するフレ−ム
メモリと，このフレ−ムメモリに記憶されている画像情
報と新たに入力した画像情報とを比較演算して試料中に
混入した異物を高輝度蓄積あるいは低輝度蓄積のいずれ
かにより蓄積する演算器とを有し，フレ−ムメモリの画
像情報を画像処理して異物を計測する画像処理部と，フ
レ−ムメモリに格納されている画像情報をアナログ変換
するＤ／Ａ変換器と，Ｚ軸方向の駆動機構を制御する機
能と高輝度蓄積と低輝度蓄積とを選択する機能とフレ−
ムメモリへの書き込み，書き換えを指令する機能とを有
するコンピュ−タとを備え，画像情報を順次比較演算し
て異物を高輝度蓄積あるいは低輝度蓄積のいずれかによ
りフレ−ムメモリ上に異物を蓄積するとともに，この異
物を計測するようにしたので，試料内にある異物は，１
枚の画像にすべて蓄積されるから，最終画面について画
像処理して異物を計測すればよいので，検査時間の節
約，短縮となるとともに，保存用の画像の写真も１枚で
よく経費の節約となる。
方向に移動させるための駆動機構を備えた試料を観察す
る光学顕微鏡と，この光学顕微鏡の接眼レンズ部に接続
されて画像を撮像する撮像装置と，この撮像装置からの
画像信号をデジタル変換するＡ／Ｄ変換器と，このＡ／
Ｄ変換器からのデジタルの画像情報を記憶するフレ−ム
メモリと，このフレ−ムメモリに記憶されている画像情
報と新たに入力した画像情報とを比較演算して試料中に
混入した異物を高輝度蓄積あるいは低輝度蓄積のいずれ
かにより蓄積する演算器とを有し，フレ−ムメモリの画
像情報を画像処理して異物を計測する画像処理部と，フ
レ−ムメモリに格納されている画像情報をアナログ変換
するＤ／Ａ変換器と，Ｚ軸方向の駆動機構を制御する機
能と高輝度蓄積と低輝度蓄積とを選択する機能とフレ−
ムメモリへの書き込み，書き換えを指令する機能とを有
するコンピュ−タとを備え，画像情報を順次比較演算し
て異物を高輝度蓄積あるいは低輝度蓄積のいずれかによ
りフレ−ムメモリ上に異物を蓄積するとともに，この異
物を計測するようにしたので，試料内にある異物は，１
枚の画像にすべて蓄積されるから，最終画面について画
像処理して異物を計測すればよいので，検査時間の節
約，短縮となるとともに，保存用の画像の写真も１枚で
よく経費の節約となる。
【図１】この発明の実施例を示す構成図である。
【図２】この発明の実施例を示すもので，ピッチａの画
面を示す。
面を示す。
【図３】この発明の実施例を示すもので，ピッチｂの画
面を示す。
面を示す。
【図４】この発明の実施例を示すもので，ピッチｃの画
面を示す。
面を示す。
【図５】この発明の実施例を示すもので，ピッチａとピ
ッチｂとの蓄積画面を示す。
ッチｂとの蓄積画面を示す。
【図６】この発明の実施例を示すもので，ピッチａから
ピッチｃまでの蓄積画面を示す。
ピッチｃまでの蓄積画面を示す。
【図７】この発明の実施例を示すもので，低輝度蓄積と
高輝度蓄積とを選択する回路図を示す。
高輝度蓄積とを選択する回路図を示す。
【図８】この発明の実施例を示すフロ−チャ−ト図であ
る。
る。
１ 光学顕微鏡 ２ Ｚ軸方向の駆動機構 ５ 撮像装置 ６ 画像処理部 ７ Ａ／Ｄ変換器 ８ フレ−ムメモリ ９ 演算器 １０ Ｄ／Ａ変換器 １１ コンピュ−タ １２ 表示装置 １３ 試料 １４ 異物 １５ 気泡
Claims (1)
- 【請求項】 Ｚ軸方向に移動させるための駆動機構を備
えた試料を拡大観察する光学顕微鏡と，この光学顕微鏡
の接眼レンズ部に接続されて画像を撮像する撮像装置
と，この撮像装置からの画像信号をデジタル変換するＡ
／Ｄ変換器と，このＡ／Ｄ変換器からのデジタルの画像
情報を記憶するフレ−ムメモリと，このフレ−ムメモリ
に記憶されている前記画像情報と新たに入力した画像情
報とを比較演算して前記試料中に混入した異物を高輝度
蓄積あるいは低輝度蓄積のいずれかにより蓄積する演算
器とを有し，前記フレ−ムメモリの画像情報を画像処理
して前記異物を計測する画像処理部と，前記フレ−ムメ
モリに格納されている前記画像情報をアナログ変換する
Ｄ／Ａ変換器と，前記Ｚ軸方向の駆動機構を制御する機
能と高輝度蓄積と低輝度蓄積とを選択する機能と前記フ
レ−ムメモリへの書き込み，書き換えを指令する機能と
を有するコンピュ−タと，を備え，前記画像情報を順次
比較演算して前記異物を高輝度蓄積あるいは低輝度蓄積
のいずれかにより前記フレ−ムメモリ上にＺ軸方向の異
物を蓄積するとともに，この異物を計測することを特徴
とする透明部材の異物測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4112114A JPH073394B2 (ja) | 1992-04-03 | 1992-04-03 | 透明部材の異物測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4112114A JPH073394B2 (ja) | 1992-04-03 | 1992-04-03 | 透明部材の異物測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05281129A JPH05281129A (ja) | 1993-10-29 |
| JPH073394B2 true JPH073394B2 (ja) | 1995-01-18 |
Family
ID=14578523
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4112114A Expired - Lifetime JPH073394B2 (ja) | 1992-04-03 | 1992-04-03 | 透明部材の異物測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH073394B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09113460A (ja) * | 1995-10-19 | 1997-05-02 | Sekisui Chem Co Ltd | 反射型偏光体の欠陥検出装置及び欠陥検出方法 |
| JP2010008125A (ja) * | 2008-06-25 | 2010-01-14 | Toppan Printing Co Ltd | ガラス基板内の気泡選別処理法 |
| JP6628185B2 (ja) * | 2016-03-11 | 2020-01-08 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 透明体の検査方法 |
-
1992
- 1992-04-03 JP JP4112114A patent/JPH073394B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05281129A (ja) | 1993-10-29 |
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