JPH0734328Y2 - 投影装置のスクリーン - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この考案は、被検物の像を投影する投影装置のスクリー
ンに関するものであり、特に、投影された像の状態から
被検物の大きさを判断するためのスケールが形成された
スクリーンに関するものである。

［従来の技術及び考案が解決しようとする課題］ 投影装置のスクリーンには、従来からこの種のスケール
が形成されている。第３図は、この従来のスケール１と
スクリーン２とを示したものである。

しかしながら、投影レンズがディストーションを有して
おり、正方形の方眼のチャートがスクリーン２上で第３
図に方眼で示したように表れる場合には、歪んだ像を直
線的なスケール１を用いて計測することとなるため、正
確な大きさを測定することができなかった。

従来、このような問題に対しては、投影レンズのディス
トーションを０に近付けるよう収差補正を行う方法が採
られていたのみであるが、この方法には許容されるレン
ズ枚数等の面から自ずから限界がある。

［考案の目的］ この考案は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、
投影レンズがディストーションを有する場合にも、投影
レンズの収差補正以外の方法により正確な計測を行える
ようなスクリーンの提供を目的とする。

［課題を解決するための手段］ この考案に係る投影装置のスクリーンは、上記目的を達
成させるため、投影レンズにより被検物の像が投影され
るスクリーン上に、前記投影レンズのディストーション
による像の歪曲に対応して歪曲するスケールを形成した
ことを特徴とする。

［作用］ 上記構成によれば、像の歪曲に合わせてスケールも歪曲
しているため、歪曲した像に対して正確な計測を行うこ
とができる。

［実施例］ 以下、この考案を図面に基づいて説明する。第１図及び
第２図は、この考案の一実施例を示したものである。

まず、この方法に利用されるパターン検査装置の概略を
第２図に基づいて説明する。

このパターン検査装置は、上面にチャート載置用のテー
ブル11を備えるベース部10と、このベース部10に対して
図中左側の支柱12を介して支持される投影部20とを備え
ている。

投影部20は、光学系と収納する箱体21と、この箱体21の
図中右側となる正面側に鉛直方向に設けられたスクリー
ン30と、照明されたチャートからの光束をスクリーン30
に投影する投影レンズ40と、投影レンズ40からスクリー
ン30まで光束を導く投影系ミラーと、垂直反射照明手段
60とを備えている。

ベース部10に設けられたテーブル11は、ベース部10に対
して水平２方向にスライド自在に設けられている。

投影系ミラーは、第１ミラー50、第２ミラー51、第３ミ
ラー52の３枚のミラーから構成されている。第１、第２
ミラー50,51は平面ミラーであり、第３ミラー52は投影
レンズ40の光軸を境として垂直に交差して貼合わされた
ダハミラーである。

チャートからの反射光束は、投影レンズ40を透過した
後、上下方向には３回反射で正立となり、第３ミラー52
によって左右正立像となってスクリーン上には正立像と
して投影される。

投影レンズ40を介してテーブル11に載置されたチャート
を照明する垂直反射照明手段60は、光源としてのキセノ
ンランプ61と、このキセノンランプ61からの照明光をほ
ぼ平行光束とする放物ミラー62と、互いに平行な状態で
設けられて照明光を投影レンズ40側へ導く垂直反射照明
系第１、第２ミラー63,64と、照明光束の径を規制する
照明系視野絞り65と、キセノンラプ61の発光光束中に含
まれる赤外成分を吸収する熱線吸収フィルター66と、垂
直反射照明の不使用時にキセノンランプ61のON/OFFに拘
らず照明光をON/OFFさせるシャッター67と、照明光を集
光するフレネルレンズ68と、キセノンランプ61からの照
明光を投影レンズへ入射させる垂直反射照明系ハーフサ
イズミラー53とを有している。

ハーフサイズミラー53は、投影レンズ40の射出瞳となる
位置に、投影レンズ40の直径を境として光路の半分を覆
う状態で設けられている。

これにより、光源からの光束は全て投影レンズ40に入射
させることができる。また、投影レンズをチャート側に
テレセントリックとした場合には、垂直反射照明系もチ
ャート側にテレセントリックな系となる。

なお、この装置では、垂直反射照明系第２ミラー64から
フレネルレンズ68までの光学素子と、ハーフサイズミラ
ー53及び投影レンズ40をスライドベース24に取り付け、
焦点調節時の投影レンズの移動と一体に移動できるよう
構成している。第１ミラー63と第２ミラー64との間で
は、光束はほぼ平行となるため、スライドベース24が移
動した場合にも、垂直反射照明系のテレセントリック性
を確保しつつ焦点調節を行うことができる。

上記のスクリーン30には、第１図に示したような歪曲し
たスケール31が形成されている。このスケールは、方眼
で示した投影レンズの歪曲収差に対応して形成されてお
り、チャート像の測定に際してはこの歪曲収差を相殺し
た状態で測定することができる。

なお、このスケール31を形成する方法としては、直線の
スケールを光検物として投影レンズによりスクリーンに
投影し、投影された直線スケールの像をスクリーン上で
なぞる等の手段が考えられる。

［効果］ 以上説明したように、この考案によれば投影レンズにデ
ィストーションが存在する場合にも、スクリーン上のス
ケールがこのディストーションによる影響を含んだ状態
で形成されているため、投影された像の大きさを正確に
測定することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図はこの考案の一実施例を示したもので
あり、第１図はこの考案に係る投影装置のスクリーンに
おけるスケールと投影レンズのディストーションとの関
係を示す説明図、第２図は投影装置の全体構成を示す説
明図である。 第３図は従来のスクリーンにおけるスケールと投影レン
ズのディストーションとの関係を示す説明図である。 30……スクリーン 31……スケール 40……投影レンズ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】投影レンズにより被検物の像が投影される
   投影面上に、前記投影レンズのディストーションに対応
   するよう歪曲したスケールが形成されていることを特徴
   とする投影装置のスクリーン。