JPH0735140A - 静圧気体軸受 - Google Patents
静圧気体軸受Info
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- JPH0735140A JPH0735140A JP5176524A JP17652493A JPH0735140A JP H0735140 A JPH0735140 A JP H0735140A JP 5176524 A JP5176524 A JP 5176524A JP 17652493 A JP17652493 A JP 17652493A JP H0735140 A JPH0735140 A JP H0735140A
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- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims abstract description 28
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 29
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 19
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
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- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0662—Details of hydrostatic bearings independent of fluid supply or direction of load
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-
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ハウジングが歪んでいても、軸直角度を損な
うことなく、軸受部を簡単に組みつけることができる静
圧気体軸受を提供する。 【構成】 この静圧気体軸受は、回転軸１８が通る円筒
形の孔８を有するハウジング１と、軸方向端面２ｂ,２
ｃ,５ｂ,５ｃおよび３ｂ,３ｃが中心軸に対して直角な
円筒形状の静圧軸受部２，５およびスペーサ３と、ハウ
ジング１の他端１７に取り付けられ、Ｏリング１６を介
して静圧軸受部５を軸方向に押圧する蓋６とを有する。 【効果】 ハウジング１の他端１７が中心軸と直角でな
く、蓋６が傾いていても、Ｏリング１６の圧縮により、
静圧軸受部５端面がスペーサ３の端面に密着させられる
から静圧軸受部５が傾かない。
うことなく、軸受部を簡単に組みつけることができる静
圧気体軸受を提供する。 【構成】 この静圧気体軸受は、回転軸１８が通る円筒
形の孔８を有するハウジング１と、軸方向端面２ｂ,２
ｃ,５ｂ,５ｃおよび３ｂ,３ｃが中心軸に対して直角な
円筒形状の静圧軸受部２，５およびスペーサ３と、ハウ
ジング１の他端１７に取り付けられ、Ｏリング１６を介
して静圧軸受部５を軸方向に押圧する蓋６とを有する。 【効果】 ハウジング１の他端１７が中心軸と直角でな
く、蓋６が傾いていても、Ｏリング１６の圧縮により、
静圧軸受部５端面がスペーサ３の端面に密着させられる
から静圧軸受部５が傾かない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、高速回転する回転軸
を支持する静圧気体軸受に関する。
を支持する静圧気体軸受に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の静圧気体軸受としては、
図２に示すものがある。この静圧気体軸受は、略円筒形
状のハウジング２１と、このハウジング２１内に挿入さ
れたリング状の第１静圧軸受部２２と、リング状のスペ
ーサ２３と、リング状の第２静圧軸受部２４とを有して
いる。上記第１静圧軸受部２２とスペーサ２３と第２静
圧軸受部２４は、それぞれ、Ｏリング２５,２５とＯリ
ング２６とＯリング２７,２７とを介して、上記ハウジ
ング２１の内周面に対してラジアル方向に支持されてい
る。また、上記ハウジング２１の図中左端には内周縁部
２８が形成されており、この内周縁部２８の内周面が、
回転軸３０が挿入される貫通孔３１を形成している。一
方、上記ハウジング２１の図中右端の開口部３２には、
蓋３３が嵌合されている。上記蓋３３に設けられた押さ
え用の円環状の突起３３ａは、上記第２静圧軸受部２４
を軸方向に支持して、軸受部２２,２４とスペーサ２３
を軸方向に支持する。
図２に示すものがある。この静圧気体軸受は、略円筒形
状のハウジング２１と、このハウジング２１内に挿入さ
れたリング状の第１静圧軸受部２２と、リング状のスペ
ーサ２３と、リング状の第２静圧軸受部２４とを有して
いる。上記第１静圧軸受部２２とスペーサ２３と第２静
圧軸受部２４は、それぞれ、Ｏリング２５,２５とＯリ
ング２６とＯリング２７,２７とを介して、上記ハウジ
ング２１の内周面に対してラジアル方向に支持されてい
る。また、上記ハウジング２１の図中左端には内周縁部
２８が形成されており、この内周縁部２８の内周面が、
回転軸３０が挿入される貫通孔３１を形成している。一
方、上記ハウジング２１の図中右端の開口部３２には、
蓋３３が嵌合されている。上記蓋３３に設けられた押さ
え用の円環状の突起３３ａは、上記第２静圧軸受部２４
を軸方向に支持して、軸受部２２,２４とスペーサ２３
を軸方向に支持する。
【０００３】この静圧気体軸受は、上記ハウジング２１
の貫通孔３１から、軸受部２２の貫通孔２２ａとスペー
サ２３の貫通孔２３ａと軸受部２４の貫通孔２４ａに、
回転軸３０が挿入される。そして、上記軸受部２２の吹
出口２２ｂおよび上記軸受部２４の吹出口２４ｂから加
圧流体を吹き出さして、上記回転軸３０をラジアル方向
に支持する。
の貫通孔３１から、軸受部２２の貫通孔２２ａとスペー
サ２３の貫通孔２３ａと軸受部２４の貫通孔２４ａに、
回転軸３０が挿入される。そして、上記軸受部２２の吹
出口２２ｂおよび上記軸受部２４の吹出口２４ｂから加
圧流体を吹き出さして、上記回転軸３０をラジアル方向
に支持する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
静圧気体軸受は、図２に示すように、ハウジング２１が
歪んでいて、ハウジング２１の開口部３２の外周の端面
３８が、ハウジング２１の中心軸に対して直角でない場
合、上記蓋３３が上記中心軸に対して直角な方向から傾
く。すると、第２静圧軸受部２４の図中下側の部分に対
する軸方向クリアランスが過大になり、図２に示すよう
に、第２静圧軸受部２４が傾いて、軸受部２４の軸芯が
上記中心軸に対して傾き、この結果、上記軸受部２４
は、回転軸３０に対して適切なラジアル隙間を得ること
ができないという問題がある。また、隣接するスペーサ
２３との間に隙間が生じ、この隙間から気密漏れが発生
して、軸受能力が損なわれるという問題もある。
静圧気体軸受は、図２に示すように、ハウジング２１が
歪んでいて、ハウジング２１の開口部３２の外周の端面
３８が、ハウジング２１の中心軸に対して直角でない場
合、上記蓋３３が上記中心軸に対して直角な方向から傾
く。すると、第２静圧軸受部２４の図中下側の部分に対
する軸方向クリアランスが過大になり、図２に示すよう
に、第２静圧軸受部２４が傾いて、軸受部２４の軸芯が
上記中心軸に対して傾き、この結果、上記軸受部２４
は、回転軸３０に対して適切なラジアル隙間を得ること
ができないという問題がある。また、隣接するスペーサ
２３との間に隙間が生じ、この隙間から気密漏れが発生
して、軸受能力が損なわれるという問題もある。
【０００５】従来は、この軸受部の傾きを修正するため
に、シム等を用いて組付け調整しているが、軸受部の組
付け工数が増大するという問題がある。
に、シム等を用いて組付け調整しているが、軸受部の組
付け工数が増大するという問題がある。
【０００６】そこで、この発明の目的は、ハウジングが
歪んでいても、軸芯に対する軸受部の直角度を損なうこ
となく、軸受部を簡単に組みつけることができる静圧気
体軸受を提供することにある。
歪んでいても、軸芯に対する軸受部の直角度を損なうこ
となく、軸受部を簡単に組みつけることができる静圧気
体軸受を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１の発明の静圧気体軸受は、少なくとも軸方
向の一端に回転軸が通る円筒形の孔を有するハウジング
と、上記ハウジング内に挿入される複数の円筒形状の静
圧軸受部と、上記ハウジングの内周面と上記各静圧軸受
部の外周面との間に挿入されて上記静圧軸受部をラジア
ル方向に支持する環状弾性部材と、上記ハウジングの軸
方向の一端もしくは軸方向の他端の少なくとも一方に取
り付けられて上記静圧軸受部を軸方向に支持するカバー
部とを備える静圧気体軸受において、上記各静圧軸受部
の相対向する軸方向端面が、各静圧軸受部の中心軸に対
して直角に形成され、上記カバー部は、弾性部材を介し
て上記各静圧軸受部を軸方向に押圧して、上記静圧軸受
部の端面を互いに密着させていることを特徴としてい
る。
め、請求項１の発明の静圧気体軸受は、少なくとも軸方
向の一端に回転軸が通る円筒形の孔を有するハウジング
と、上記ハウジング内に挿入される複数の円筒形状の静
圧軸受部と、上記ハウジングの内周面と上記各静圧軸受
部の外周面との間に挿入されて上記静圧軸受部をラジア
ル方向に支持する環状弾性部材と、上記ハウジングの軸
方向の一端もしくは軸方向の他端の少なくとも一方に取
り付けられて上記静圧軸受部を軸方向に支持するカバー
部とを備える静圧気体軸受において、上記各静圧軸受部
の相対向する軸方向端面が、各静圧軸受部の中心軸に対
して直角に形成され、上記カバー部は、弾性部材を介し
て上記各静圧軸受部を軸方向に押圧して、上記静圧軸受
部の端面を互いに密着させていることを特徴としてい
る。
【０００８】また、請求項２の発明の静圧気体軸受は、
少なくとも軸方向の一端に回転軸が通る円筒形の孔を有
するハウジングと、上記ハウジング内に挿入される複数
の円筒形状の静圧軸受部と、上記ハウジングの内周面と
上記各静圧軸受部の外周面との間に挿入されて上記静圧
軸受部をラジアル方向に支持する環状弾性部材と、上記
ハウジングの軸方向の一端もしくは軸方向の他端の少な
くとも一方に取り付けられて上記静圧軸受部を軸方向に
支持するカバー部とを備える静圧気体軸受において、上
記ハウジング内に挿入され、上記静圧軸受部の軸方向端
面に対向する軸方向端面が、中心軸に対して直角に形成
されたスペーサを有し、上記各静圧軸受部の相対向する
軸方向端面が、各静圧軸受部の中心軸に対して直角に形
成され、上記カバー部は、弾性部材を介して上記各静圧
軸受部を軸方向に押圧して、上記静圧軸受部の端面とス
ペーサの端面とを互いに密着させていることを特徴とし
ている。
少なくとも軸方向の一端に回転軸が通る円筒形の孔を有
するハウジングと、上記ハウジング内に挿入される複数
の円筒形状の静圧軸受部と、上記ハウジングの内周面と
上記各静圧軸受部の外周面との間に挿入されて上記静圧
軸受部をラジアル方向に支持する環状弾性部材と、上記
ハウジングの軸方向の一端もしくは軸方向の他端の少な
くとも一方に取り付けられて上記静圧軸受部を軸方向に
支持するカバー部とを備える静圧気体軸受において、上
記ハウジング内に挿入され、上記静圧軸受部の軸方向端
面に対向する軸方向端面が、中心軸に対して直角に形成
されたスペーサを有し、上記各静圧軸受部の相対向する
軸方向端面が、各静圧軸受部の中心軸に対して直角に形
成され、上記カバー部は、弾性部材を介して上記各静圧
軸受部を軸方向に押圧して、上記静圧軸受部の端面とス
ペーサの端面とを互いに密着させていることを特徴とし
ている。
【０００９】
【作用】請求項１もしくは２の発明において、上記カバ
ー部が取り付けられるハウジングの軸方向の端面がハウ
ジングの中心軸に対して直角ではなく、上記カバー部が
上記中心軸に対して直角でない場合に、上記カバー部に
最も近い静圧軸受部と上記カバー部との間の隙間が不均
一になる。
ー部が取り付けられるハウジングの軸方向の端面がハウ
ジングの中心軸に対して直角ではなく、上記カバー部が
上記中心軸に対して直角でない場合に、上記カバー部に
最も近い静圧軸受部と上記カバー部との間の隙間が不均
一になる。
【００１０】ここで、上記弾性部材は、上記静圧軸受部
とカバー部との間に介在して、上記静圧軸受部を軸方向
に押圧する。上記弾性部材は、広い隙間においては弱く
圧縮され狭い隙間においては強く圧縮されて、上記静圧
軸受部の軸方向端面に対向する全面が上記静圧軸受部に
当接する。そして、上記静圧軸受部は、上記弾性部材に
よって付勢されて隣接する静圧軸受部もしくはスペーサ
に密着させられる。すると、上記各静圧軸受部の軸方向
に相対向する端面は、各静圧軸受部の中心軸に対して直
角に形成されているから、各静圧軸受部の中心軸は一致
する。
とカバー部との間に介在して、上記静圧軸受部を軸方向
に押圧する。上記弾性部材は、広い隙間においては弱く
圧縮され狭い隙間においては強く圧縮されて、上記静圧
軸受部の軸方向端面に対向する全面が上記静圧軸受部に
当接する。そして、上記静圧軸受部は、上記弾性部材に
よって付勢されて隣接する静圧軸受部もしくはスペーサ
に密着させられる。すると、上記各静圧軸受部の軸方向
に相対向する端面は、各静圧軸受部の中心軸に対して直
角に形成されているから、各静圧軸受部の中心軸は一致
する。
【００１１】このように、請求項１もしくは２の発明に
よれば、ハウジングが歪んでいても、弾性部材によっ
て、不均一な隙間が吸収され、各静圧軸受部の中心軸を
一致させて組み付けることができる。
よれば、ハウジングが歪んでいても、弾性部材によっ
て、不均一な隙間が吸収され、各静圧軸受部の中心軸を
一致させて組み付けることができる。
【００１２】
【実施例】以下、この発明を図示の実施例により詳細に
説明する。
説明する。
【００１３】図１に、この発明の静圧気体軸受の実施例
の断面を示す。この実施例は、円筒形の内周面１ａを有
するハウジング１と、このハウジング１に挿入された第
１の静圧軸受部２と、スペーサ３と、第２の静圧軸受部
５と、蓋６とを有している。
の断面を示す。この実施例は、円筒形の内周面１ａを有
するハウジング１と、このハウジング１に挿入された第
１の静圧軸受部２と、スペーサ３と、第２の静圧軸受部
５と、蓋６とを有している。
【００１４】上記ハウジング１は、軸方向の一方の端部
９に輪状の縁部７が設けられている。この縁部７の内周
面７ａが貫通孔８を形成している。
９に輪状の縁部７が設けられている。この縁部７の内周
面７ａが貫通孔８を形成している。
【００１５】上記第１の静圧軸受部２及び上記第２の静
圧軸受部５には、径方向の吹出孔１０および吹出孔１１
が形成されている。また、上記静圧軸受部２および５
は、外周面に形成された溝１２および溝１３に、Ｏリン
グ１４および１５が嵌合され、このＯリング１４，１５
によってハウジング１の内周面１ａに対して径方向に支
持されている。また、上記スペーサ３は、外周面に形成
された溝１９に嵌合されたＯリング２０によってハウジ
ング１の内周面１ａに対して径方向に支持されている。
圧軸受部５には、径方向の吹出孔１０および吹出孔１１
が形成されている。また、上記静圧軸受部２および５
は、外周面に形成された溝１２および溝１３に、Ｏリン
グ１４および１５が嵌合され、このＯリング１４，１５
によってハウジング１の内周面１ａに対して径方向に支
持されている。また、上記スペーサ３は、外周面に形成
された溝１９に嵌合されたＯリング２０によってハウジ
ング１の内周面１ａに対して径方向に支持されている。
【００１６】上記静圧軸受部２の軸方向の両端の面２
ｂ,２ｃは、その軸受孔２ａの中心軸に対して直角に形
成されている。また、上記スペーサ３の軸方向の両端の
面３ｂ,３ｃは、その貫通孔３ａの中心軸に対して直角
の形成されている。また、上記静圧軸受部５の軸方向の
両端の面５ｂ,５ｃは、その軸受孔５ａの中心軸に対し
て直角に形成されている。
ｂ,２ｃは、その軸受孔２ａの中心軸に対して直角に形
成されている。また、上記スペーサ３の軸方向の両端の
面３ｂ,３ｃは、その貫通孔３ａの中心軸に対して直角
の形成されている。また、上記静圧軸受部５の軸方向の
両端の面５ｂ,５ｃは、その軸受孔５ａの中心軸に対し
て直角に形成されている。
【００１７】また、上記蓋６は、上記ハウジング１の軸
方向の他方の端部１７に取り付けられ、Ｏリング１６を
介して上記静圧軸受部５を軸方向に支持している。
方向の他方の端部１７に取り付けられ、Ｏリング１６を
介して上記静圧軸受部５を軸方向に支持している。
【００１８】上記ハウジング１の貫通孔８から、上記静
圧軸受部２の軸受孔２ａ及びスペーサ３の貫通孔３ａお
よび静圧軸受部５の軸受孔５ａに回転軸１８が挿入され
る。上記回転軸１８は、上記静圧軸受部２の吹出孔１０
および上記静圧軸受部５の吹出孔１１から径方向に吹き
出される加圧流体によって、径方向に支持される。
圧軸受部２の軸受孔２ａ及びスペーサ３の貫通孔３ａお
よび静圧軸受部５の軸受孔５ａに回転軸１８が挿入され
る。上記回転軸１８は、上記静圧軸受部２の吹出孔１０
および上記静圧軸受部５の吹出孔１１から径方向に吹き
出される加圧流体によって、径方向に支持される。
【００１９】この実施例の静圧気体軸受は、図１に示す
ように、ハウジング１が歪んでいる場合に、ハウジング
１の端部１７に取り付けた蓋６がハウジング１の中心軸
に対して直角な方向に対して傾斜する。そして、上記蓋
６と静圧軸受部５との間の隙間が不均一になる。
ように、ハウジング１が歪んでいる場合に、ハウジング
１の端部１７に取り付けた蓋６がハウジング１の中心軸
に対して直角な方向に対して傾斜する。そして、上記蓋
６と静圧軸受部５との間の隙間が不均一になる。
【００２０】ここで、上記Ｏリング１６は、上記蓋６と
上記静圧軸受部５との間にあって、上記隙間が狭いとこ
ろでは強く圧縮され、上記隙間が広いところでは弱く圧
縮されて、静圧軸受部５に対向する全面が静圧軸受部５
に当接する。したがって、この静圧軸受部５の端面５ｂ
は、Ｏリング１６によって付勢されて隣接するスペーサ
３の端面３ｃに密着させられる。その結果、上記静圧軸
受部５は、静圧軸受部２およびスペーサ３と中心軸が一
致する。
上記静圧軸受部５との間にあって、上記隙間が狭いとこ
ろでは強く圧縮され、上記隙間が広いところでは弱く圧
縮されて、静圧軸受部５に対向する全面が静圧軸受部５
に当接する。したがって、この静圧軸受部５の端面５ｂ
は、Ｏリング１６によって付勢されて隣接するスペーサ
３の端面３ｃに密着させられる。その結果、上記静圧軸
受部５は、静圧軸受部２およびスペーサ３と中心軸が一
致する。
【００２１】したがって、この実施例によれば、ハウジ
ング１が歪んでいても、ハウジング１に収納する静圧軸
受部２，５の軸受孔２ａ,５ａとスペーサ３の貫通孔３
ａの中心軸が一致するように、静圧軸受部２,５とスペ
ーサ３をハウジング１に組み込むことができる。
ング１が歪んでいても、ハウジング１に収納する静圧軸
受部２，５の軸受孔２ａ,５ａとスペーサ３の貫通孔３
ａの中心軸が一致するように、静圧軸受部２,５とスペ
ーサ３をハウジング１に組み込むことができる。
【００２２】従って、この実施例によれば、ハウジング
の加工精度を高める必要がなく、かつ、組付け調整治具
を必要とすることなく、静圧軸受部２,５とスペーサ３
を同芯に組み付けることができる。したがって、この実
施例によれば、安価で組み立てが簡単な静圧気体軸受を
実現することができる。さらに、静圧軸受部２,５とス
ペーサ３は、それぞれＯリング１４,１５,２０を介して
ハウジング１に取り付けられているので、静圧軸受部
２,５とスペーサ３の中心軸とハウジング１の中心軸と
を一致させることもできる。
の加工精度を高める必要がなく、かつ、組付け調整治具
を必要とすることなく、静圧軸受部２,５とスペーサ３
を同芯に組み付けることができる。したがって、この実
施例によれば、安価で組み立てが簡単な静圧気体軸受を
実現することができる。さらに、静圧軸受部２,５とス
ペーサ３は、それぞれＯリング１４,１５,２０を介して
ハウジング１に取り付けられているので、静圧軸受部
２,５とスペーサ３の中心軸とハウジング１の中心軸と
を一致させることもできる。
【００２３】尚、上記実施例では、ハウジング１の軸方
向の端部１７だけにＯリング１６と蓋６を設けたが、も
う一方の端部９にも、縁部７に替えて、貫通孔が形成さ
れた蓋を取り付け、この蓋と軸受部２との間にＯリング
を介在させるようにしてもよい。また、この実施例で
は、静圧軸受部２と５の間に、スペーサ３を介在させた
が、スペーサ３に替えて、静圧軸受部を備えてもよい。
この場合、隣り合う静圧軸受部の端面が互いに密着す
る。また、蓋６の中央部にも貫通孔を設け、回転軸１８
を延長してこの貫通孔から突出させて、ハウジング１の
両側から回転軸１８が出るように構成してもよい。
向の端部１７だけにＯリング１６と蓋６を設けたが、も
う一方の端部９にも、縁部７に替えて、貫通孔が形成さ
れた蓋を取り付け、この蓋と軸受部２との間にＯリング
を介在させるようにしてもよい。また、この実施例で
は、静圧軸受部２と５の間に、スペーサ３を介在させた
が、スペーサ３に替えて、静圧軸受部を備えてもよい。
この場合、隣り合う静圧軸受部の端面が互いに密着す
る。また、蓋６の中央部にも貫通孔を設け、回転軸１８
を延長してこの貫通孔から突出させて、ハウジング１の
両側から回転軸１８が出るように構成してもよい。
【００２４】
【発明の効果】以上より明らかなように、請求項１の発
明の静圧気体軸受は、ハウジングの円筒形の孔に複数の
円筒形状の静圧軸受部が挿入され、この静圧軸受部の相
対向する軸方向端面が、各静圧軸受部の中心軸に対して
直角に形成され、ハウジングの軸方向の端部に取り付け
られたカバー部が、弾性部材を介して上記各静圧軸受部
を軸方向に押圧して、その端面を互いに密着させている
ものである。
明の静圧気体軸受は、ハウジングの円筒形の孔に複数の
円筒形状の静圧軸受部が挿入され、この静圧軸受部の相
対向する軸方向端面が、各静圧軸受部の中心軸に対して
直角に形成され、ハウジングの軸方向の端部に取り付け
られたカバー部が、弾性部材を介して上記各静圧軸受部
を軸方向に押圧して、その端面を互いに密着させている
ものである。
【００２５】また、請求項２の発明は、上記静圧軸受部
に対向する軸方向端面が中心軸に対して直角になってい
るスペーサを有したものである。
に対向する軸方向端面が中心軸に対して直角になってい
るスペーサを有したものである。
【００２６】請求項１もしくは２の発明によれば、ハウ
ジングの歪みによって、上記カバー部と上記静圧軸受部
との間の軸方向の隙間が不均一になった場合でも、上記
各静圧軸受部は、圧縮された上記弾性部材によって付勢
されて隣接する静圧軸受部もしくはスペーサに密着させ
られる。従って、上記発明によれば、ハウジングの加工
精度を高める必要がなく、かつ、組付け調整治具を必要
とすることなく、各静圧軸受部を同芯に組み付けること
ができる。したがって、上記発明によれば、安価で組み
立てが簡単な静圧気体軸受を実現することができる。
ジングの歪みによって、上記カバー部と上記静圧軸受部
との間の軸方向の隙間が不均一になった場合でも、上記
各静圧軸受部は、圧縮された上記弾性部材によって付勢
されて隣接する静圧軸受部もしくはスペーサに密着させ
られる。従って、上記発明によれば、ハウジングの加工
精度を高める必要がなく、かつ、組付け調整治具を必要
とすることなく、各静圧軸受部を同芯に組み付けること
ができる。したがって、上記発明によれば、安価で組み
立てが簡単な静圧気体軸受を実現することができる。
【図１】 この発明の静圧気体軸受の実施例の断面図で
ある。
ある。
【図２】 従来の静圧気体軸受の断面図である。
１…ハウジング、１ａ…内周面、２…静圧軸受部、２ａ
…軸受孔、３…スペーサ、３ａ…貫通孔、５…静圧軸受
部、５ａ…軸受孔、６…蓋、７…縁取り部、８…貫通
孔、１０，１１…吹出孔、１２，１３，１９…溝、１
４，１５，１６，２０…Ｏリング。
…軸受孔、３…スペーサ、３ａ…貫通孔、５…静圧軸受
部、５ａ…軸受孔、６…蓋、７…縁取り部、８…貫通
孔、１０，１１…吹出孔、１２，１３，１９…溝、１
４，１５，１６，２０…Ｏリング。
Claims (2)
- 【請求項１】 少なくとも軸方向の一端に回転軸が通る
円筒形の孔を有するハウジングと、上記ハウジング内に
挿入される複数の円筒形状の静圧軸受部と、上記ハウジ
ングの内周面と上記各静圧軸受部の外周面との間に挿入
されて上記静圧軸受部をラジアル方向に支持する環状弾
性部材と、上記ハウジングの軸方向の一端もしくは軸方
向の他端の少なくとも一方に取り付けられて上記静圧軸
受部を軸方向に支持するカバー部とを備える静圧気体軸
受において、 上記各静圧軸受部の相対向する軸方向端面が、各静圧軸
受部の中心軸に対して直角に形成され、 上記カバー部は、弾性部材を介して上記各静圧軸受部を
軸方向に押圧して、上記静圧軸受部の端面を互いに密着
させていることを特徴とする静圧気体軸受。 - 【請求項２】 少なくとも軸方向の一端に回転軸が通る
円筒形の孔を有するハウジングと、上記ハウジング内に
挿入される複数の円筒形状の静圧軸受部と、上記ハウジ
ングの内周面と上記各静圧軸受部の外周面との間に挿入
されて上記静圧軸受部をラジアル方向に支持する環状弾
性部材と、上記ハウジングの軸方向の一端もしくは軸方
向の他端の少なくとも一方に取り付けられて上記静圧軸
受部を軸方向に支持するカバー部とを備える静圧気体軸
受において、 上記ハウジング内に挿入され、上記静圧軸受部の軸方向
端面に対向する軸方向端面が、中心軸に対して直角に形
成されたスペーサを有し、 上記各静圧軸受部の相対向する軸方向端面が、各静圧軸
受部の中心軸に対して直角に形成され、 上記カバー部は、弾性部材を介して上記各静圧軸受部を
軸方向に押圧して、上記静圧軸受部の端面とスペーサの
端面とを互いに密着させていることを特徴とする静圧気
体軸受。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05176524A JP3088593B2 (ja) | 1993-07-16 | 1993-07-16 | 静圧気体軸受 |
| US08/275,247 US5415477A (en) | 1993-07-16 | 1994-07-15 | Hydrostatic gas bearing capable of easily assembling bearing units keeping perpendicularity of the bearing units |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05176524A JP3088593B2 (ja) | 1993-07-16 | 1993-07-16 | 静圧気体軸受 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0735140A true JPH0735140A (ja) | 1995-02-03 |
| JP3088593B2 JP3088593B2 (ja) | 2000-09-18 |
Family
ID=16015124
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05176524A Expired - Lifetime JP3088593B2 (ja) | 1993-07-16 | 1993-07-16 | 静圧気体軸受 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5415477A (ja) |
| JP (1) | JP3088593B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019139825A (ja) * | 2018-02-09 | 2019-08-22 | Ｎｅｃプラットフォームズ株式会社 | 振動伝達抑制機構及び情報記録再生装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19608597B4 (de) * | 1994-11-29 | 2005-08-04 | Wanger, Gerhard, Dipl.-Ing. | Spindel zur aerostatischen Lagerung eines schnelldrehenden Werkzeugs |
| US6053636A (en) * | 1998-11-10 | 2000-04-25 | United Technologies Corporation | Hydrostatic bearing with compensatory fluid injection |
| DE19915983A1 (de) * | 1999-04-09 | 2000-10-12 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe mit Gaslagerung |
| CN106271935B (zh) * | 2015-06-26 | 2019-08-13 | 北京航天计量测试技术研究所 | 一种空气轴承止推端面与回转轴线垂直度的修研方法 |
| CN110939656B (zh) * | 2019-12-06 | 2025-07-25 | 天津航天机电设备研究所 | 一种倾斜节流式静压气浮轴承 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3476447A (en) * | 1968-03-28 | 1969-11-04 | Westinghouse Electric Corp | Self-aligning hydrostatic bearing |
| DE3231133A1 (de) * | 1982-08-21 | 1984-02-23 | Zahnräderfabrik Renk AG, 8900 Augsburg | Hydrodynamische lageranordnung |
| US4674952A (en) * | 1983-10-07 | 1987-06-23 | Sargent-Welch Scientific Company | Turbo molecular pump with improved bearing assembly |
| US4726694A (en) * | 1987-05-26 | 1988-02-23 | United Technologies Corporation | Bearing arrangement |
| JPH0726650B2 (ja) * | 1989-01-20 | 1995-03-29 | エヌティエヌ株式会社 | 静圧気体軸受スピンドル |
| SE464370B (sv) * | 1989-07-27 | 1991-04-15 | Desart Ab | Foer en radiellt lagrad axel avsett axiallagringssystem |
-
1993
- 1993-07-16 JP JP05176524A patent/JP3088593B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1994
- 1994-07-15 US US08/275,247 patent/US5415477A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2019139825A (ja) * | 2018-02-09 | 2019-08-22 | Ｎｅｃプラットフォームズ株式会社 | 振動伝達抑制機構及び情報記録再生装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5415477A (en) | 1995-05-16 |
| JP3088593B2 (ja) | 2000-09-18 |
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