JPH0735384Y2 - 組立式保温筒 - Google Patents
組立式保温筒Info
- Publication number
- JPH0735384Y2 JPH0735384Y2 JP11263491U JP11263491U JPH0735384Y2 JP H0735384 Y2 JPH0735384 Y2 JP H0735384Y2 JP 11263491 U JP11263491 U JP 11263491U JP 11263491 U JP11263491 U JP 11263491U JP H0735384 Y2 JPH0735384 Y2 JP H0735384Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silica glass
- cylinder
- cylindrical
- heat insulating
- heat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、シリコンウエ−ハを炉
芯管内で熱処理するための縦型熱処理装置におけるウエ
−ハ支持ボ−トを載置する保温筒に関し、特に、熱処理
領域の保温断熱性と装置シ−リング部に対する遮熱性に
優れ、且つ高温においてもウエ−ハ載置ボ−トを支持す
る充分な強度を有する保温筒に関する。
芯管内で熱処理するための縦型熱処理装置におけるウエ
−ハ支持ボ−トを載置する保温筒に関し、特に、熱処理
領域の保温断熱性と装置シ−リング部に対する遮熱性に
優れ、且つ高温においてもウエ−ハ載置ボ−トを支持す
る充分な強度を有する保温筒に関する。
【０００２】
【従来の技術】保温筒は、縦型熱処理装置において、炉
芯管内の上部熱処理領域の保温断熱性と装置シ−リング
部に対する遮熱性が要求されると共に、ウエ−ハ載置ボ
−トを支持し得る強度が要求される。かかる要求性能に
沿って、従来、保温筒の内部に長繊維状の石英ガラスウ
−ルを充填したものが使用された。しかし、このような
保温筒は、ガス処理時に保温筒内部が爆発しないように
石英ガラスウ−ルを充填した後、保温筒内部が真空引き
される。
芯管内の上部熱処理領域の保温断熱性と装置シ−リング
部に対する遮熱性が要求されると共に、ウエ−ハ載置ボ
−トを支持し得る強度が要求される。かかる要求性能に
沿って、従来、保温筒の内部に長繊維状の石英ガラスウ
−ルを充填したものが使用された。しかし、このような
保温筒は、ガス処理時に保温筒内部が爆発しないように
石英ガラスウ−ルを充填した後、保温筒内部が真空引き
される。
【０００３】このような構造の保温筒は、上記のよう
に、爆発防止のための真空引きをしながら溶接封止加工
が行われる。しかし、この溶接作業がなかなか厄介で、
熟練を要するだけでなく、真空引きをしてもなお爆発の
危険は解消されず、また保温筒内が真空にされているた
め高温時の強度は低いという実際上の問題があり、製作
及び操作の点で工業的に著しく不利である。
に、爆発防止のための真空引きをしながら溶接封止加工
が行われる。しかし、この溶接作業がなかなか厄介で、
熟練を要するだけでなく、真空引きをしてもなお爆発の
危険は解消されず、また保温筒内が真空にされているた
め高温時の強度は低いという実際上の問題があり、製作
及び操作の点で工業的に著しく不利である。
【０００４】
【考案が解決しようとする課題】従って、本考案の課題
は、そのような真空引きをする必要がなく、製造及び組
立操作性の優れた保温筒を提供することにある。また他
の課題は、断熱保温性及びボ−ト支持強度の優れた実用
的に望ましい保温筒を提供することにある。本考案者
は、上記課題に関して試作研究を重ね、上記課題を効果
的に克服した優れた実用性を有する保温筒を開発した。
は、そのような真空引きをする必要がなく、製造及び組
立操作性の優れた保温筒を提供することにある。また他
の課題は、断熱保温性及びボ−ト支持強度の優れた実用
的に望ましい保温筒を提供することにある。本考案者
は、上記課題に関して試作研究を重ね、上記課題を効果
的に克服した優れた実用性を有する保温筒を開発した。
【０００５】
【課題を解決するための手段】すなわち、本考案は、円
盤状のシリカガラス板体の上側にウエ−ハ支持ボ−トを
載置するシリカガラス円筒体が一体に形成された部材、
該円筒体の内径とほぼ同じ外径を有し円筒体の長さの１
／２〜３／４、好ましくは５／８程度の長さを有する該
円筒体の内側に挿入し得る円柱状シリカガラス多孔質体
及びその円筒体の外径とほぼ同じ内径を有し内側の円柱
状シリカガラス多孔質体と同じ長さを有する該円筒体の
外側に嵌着される円筒状シリカガラス多孔質体を組み合
わせて成る組立式保温筒を要旨とするものである。
盤状のシリカガラス板体の上側にウエ−ハ支持ボ−トを
載置するシリカガラス円筒体が一体に形成された部材、
該円筒体の内径とほぼ同じ外径を有し円筒体の長さの１
／２〜３／４、好ましくは５／８程度の長さを有する該
円筒体の内側に挿入し得る円柱状シリカガラス多孔質体
及びその円筒体の外径とほぼ同じ内径を有し内側の円柱
状シリカガラス多孔質体と同じ長さを有する該円筒体の
外側に嵌着される円筒状シリカガラス多孔質体を組み合
わせて成る組立式保温筒を要旨とするものである。
【０００６】本考案の保温筒は、上記のようにシリカガ
ラスの円盤状基板と円筒体との組合せに成る板体部材と
円柱状シリカガラス多孔質体と円筒状シリカガラス多孔
質体との組合せに成るものである。しかして、その円盤
状シリカガラス円筒体は、例えば、直径が150〜300mm程
度，厚さが５〜15mm程度の透明な板材で、その上面に同
様の厚さのシリカガラスの円筒体が一体に取り付けら
れ、該円盤状基板の下面には、通常、好ましくは支持脚
としての糸底が一体に形成される。
ラスの円盤状基板と円筒体との組合せに成る板体部材と
円柱状シリカガラス多孔質体と円筒状シリカガラス多孔
質体との組合せに成るものである。しかして、その円盤
状シリカガラス円筒体は、例えば、直径が150〜300mm程
度，厚さが５〜15mm程度の透明な板材で、その上面に同
様の厚さのシリカガラスの円筒体が一体に取り付けら
れ、該円盤状基板の下面には、通常、好ましくは支持脚
としての糸底が一体に形成される。
【０００７】しかし、その円筒体の上方部分は、かなり
の高温に曝されるので、その円筒体部分を耐熱温度の優
れた炭化けい素製のパイプで構成させることが好まし
く、その場合、例えば、炭化けい素パイプの下端縁は内
側を切り欠き、シリカ円筒体の上端縁は外側を切り欠い
て相欠き状に嵌合一体化して一本のパイプとすることが
できる。シリカガラス円筒体をかかる組合せ構成とした
ものは実用上特に望ましく、本考案はかかる組立式保温
筒を包含する。
の高温に曝されるので、その円筒体部分を耐熱温度の優
れた炭化けい素製のパイプで構成させることが好まし
く、その場合、例えば、炭化けい素パイプの下端縁は内
側を切り欠き、シリカ円筒体の上端縁は外側を切り欠い
て相欠き状に嵌合一体化して一本のパイプとすることが
できる。シリカガラス円筒体をかかる組合せ構成とした
ものは実用上特に望ましく、本考案はかかる組立式保温
筒を包含する。
【０００８】このようなシリカガラス板状部材は、実質
的に透明なシリカガラスで構成させることがよく、特
に、糸底とボ−ト支持用円筒体は、ウエ−ハボ−トを安
定に支持し得る充分な強度に形成させることが重要であ
って、リング状の糸底は保温筒の安定性を高めるため
に、通常、上側の円筒体の径より充分大きくすることが
望ましい。
的に透明なシリカガラスで構成させることがよく、特
に、糸底とボ−ト支持用円筒体は、ウエ−ハボ−トを安
定に支持し得る充分な強度に形成させることが重要であ
って、リング状の糸底は保温筒の安定性を高めるため
に、通常、上側の円筒体の径より充分大きくすることが
望ましい。
【０００９】また、本考案の保温筒に用いられる円柱状
シリカガラス多孔質体と円筒状シリカガラス多孔質体
は、その断熱保温性と高温における機械的強度を考慮す
れば、いずれも主として独立気泡から成るものがよく、
見掛け密度は0.1〜１ｇ／cm3程度のものが好ましい。多
孔質体の密度が小さすぎると脆く崩れ易いのでダストの
原因となり、また大きすぎると重くて取扱性が低下する
ばかりでなく断熱保温性も低下するので好ましくない。
シリカガラス多孔質体と円筒状シリカガラス多孔質体
は、その断熱保温性と高温における機械的強度を考慮す
れば、いずれも主として独立気泡から成るものがよく、
見掛け密度は0.1〜１ｇ／cm3程度のものが好ましい。多
孔質体の密度が小さすぎると脆く崩れ易いのでダストの
原因となり、また大きすぎると重くて取扱性が低下する
ばかりでなく断熱保温性も低下するので好ましくない。
【００１０】上記円筒体の内側に挿入される円柱状シリ
カガラス多孔質体は、該円筒体内への挿入，引出しが可
能で、該円筒体の内径に近いほぼ同じ外径に形成される
が、その挿入，引出しを容易にするために、上面に操作
用部材を取付けることができる。また、その円柱状多孔
質体は、その上面がボ−トに支持されたウエ−ハを加熱
する高温領域から若干下側に位置させることが好まし
く、通常、円筒体の高さの１／２〜３／４、特に、５／
８程度の長さにすることが実用的である。
カガラス多孔質体は、該円筒体内への挿入，引出しが可
能で、該円筒体の内径に近いほぼ同じ外径に形成される
が、その挿入，引出しを容易にするために、上面に操作
用部材を取付けることができる。また、その円柱状多孔
質体は、その上面がボ−トに支持されたウエ−ハを加熱
する高温領域から若干下側に位置させることが好まし
く、通常、円筒体の高さの１／２〜３／４、特に、５／
８程度の長さにすることが実用的である。
【００１１】更に、該円筒体の外側に適用される円筒状
シリカガラス多孔質体は、その内径が円筒体に着脱自在
に嵌着し得るような円筒体の外径に可及的に近い内径に
形成されることがよく、また、その長さは、好ましくは
内側の円柱状シリカガラス多孔質体の高さと同じ程度に
形成される。また、その厚さは、炉芯管の径と円筒体の
径の差及び見掛け比重と関連するが、操作に支障がない
限り厚くすることが実用的である。
シリカガラス多孔質体は、その内径が円筒体に着脱自在
に嵌着し得るような円筒体の外径に可及的に近い内径に
形成されることがよく、また、その長さは、好ましくは
内側の円柱状シリカガラス多孔質体の高さと同じ程度に
形成される。また、その厚さは、炉芯管の径と円筒体の
径の差及び見掛け比重と関連するが、操作に支障がない
限り厚くすることが実用的である。
【００１２】
【作用】本考案の三部材で構成される組立式保温筒は、
所定の状態に嵌着して組み立てるだけでよいから操作が
極めて容易であり、しかもウエ−ハ加熱処理領域の保温
断熱性と装置シ−リング部に対する遮熱性及び強度に優
れるので、極めて実用的である。更に、これらの多孔質
体は、同種の連続するウエ−ハの熱処理において、その
処理バッチごとに取り着けたり取り外したりすることな
く、組立部材としてそのまま使用することができるとい
う利点を有する。
所定の状態に嵌着して組み立てるだけでよいから操作が
極めて容易であり、しかもウエ−ハ加熱処理領域の保温
断熱性と装置シ−リング部に対する遮熱性及び強度に優
れるので、極めて実用的である。更に、これらの多孔質
体は、同種の連続するウエ−ハの熱処理において、その
処理バッチごとに取り着けたり取り外したりすることな
く、組立部材としてそのまま使用することができるとい
う利点を有する。
【００１３】
【実施例】次に、添付図面により、本考案の組立式保温
筒を更に具体例に説明する。図１は、本考案の好ましい
組立式保温筒の一例の縦断面図である。
筒を更に具体例に説明する。図１は、本考案の好ましい
組立式保温筒の一例の縦断面図である。
【００１４】図において、円盤状のシリカガラス板体１
の下側にリング状の糸底２及び上側にウエ−ハ支持ボ−
トを載置するシリカガラス円筒体３が一体に取り付けら
れ、その円筒体の上方部分は同一形状の炭化けい素円筒
体４で形成され、相互に相欠き状に嵌合一体化されてい
る。かかるシリカガラス系板状体部材に、その円筒体の
高さの約５／８の高さを有する円柱状シリカ多孔質体５
と円筒状シリカ多孔質体６が円筒体３の内側及び外側に
それぞれ嵌着され組み立てられ、炭化けい素円筒体４の
上側にウエ−ハ載置ボ−ト（不図示）が保持される。
の下側にリング状の糸底２及び上側にウエ−ハ支持ボ−
トを載置するシリカガラス円筒体３が一体に取り付けら
れ、その円筒体の上方部分は同一形状の炭化けい素円筒
体４で形成され、相互に相欠き状に嵌合一体化されてい
る。かかるシリカガラス系板状体部材に、その円筒体の
高さの約５／８の高さを有する円柱状シリカ多孔質体５
と円筒状シリカ多孔質体６が円筒体３の内側及び外側に
それぞれ嵌着され組み立てられ、炭化けい素円筒体４の
上側にウエ−ハ載置ボ−ト（不図示）が保持される。
【００１５】
【考案の効果】本考案の三部構成の組立式保温筒は、個
々の部材の製造が容易で組立操作性にも優れ、しかも断
熱保温性及びボ−ト支持強度が優れているので大量の大
形ウエ−ハを熱処理することができるだけでなく、その
寿命も長いので工業的価値は極めて高い。
々の部材の製造が容易で組立操作性にも優れ、しかも断
熱保温性及びボ−ト支持強度が優れているので大量の大
形ウエ−ハを熱処理することができるだけでなく、その
寿命も長いので工業的価値は極めて高い。
【図１】本考案の組立式保温筒の一例の組立状態を示す
縦断面図である。
縦断面図である。
１ 円盤状シリカガラス板体 ２ リング状の糸底 ３ シリカガラス円筒体 ４ 炭化けい素円筒体 ５ 円柱状シリカ発泡体 ６ 円筒状シリカ発泡体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−278227（ＪＰ，Ａ)
Claims (2)
- 【請求項１】円盤状のシリカガラス板体の上側にウエ−
ハ支持ボ−トを載置するシリカガラス円筒体が一体に形
成された部材、該円筒体の内径とほぼ同じ外径を有し円
筒体の長さの１／２〜３／４の長さを有する該円筒体の
内側に挿入し得る円柱状シリカガラス多孔質体及びその
円筒体の外径とほぼ同じ内径を有し内側の円柱状シリカ
ガラス多孔質体と同じ長さを有する該円筒体の外側に嵌
着される円筒状シリカガラス多孔質体を組み合わせて成
る組立式保温筒。 - 【請求項２】上記シリカガラス円筒体が、その一部分を
炭化けい素パイプで形成した複合円筒体で構成された請
求項１に記載の保温筒。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11263491U JPH0735384Y2 (ja) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | 組立式保温筒 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11263491U JPH0735384Y2 (ja) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | 組立式保温筒 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0613133U JPH0613133U (ja) | 1994-02-18 |
| JPH0735384Y2 true JPH0735384Y2 (ja) | 1995-08-09 |
Family
ID=14591638
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11263491U Expired - Lifetime JPH0735384Y2 (ja) | 1991-12-26 | 1991-12-26 | 組立式保温筒 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0735384Y2 (ja) |
-
1991
- 1991-12-26 JP JP11263491U patent/JPH0735384Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0613133U (ja) | 1994-02-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |