JPH0736062B2 - レーザー光用シャッター装置 - Google Patents
レーザー光用シャッター装置Info
- Publication number
- JPH0736062B2 JPH0736062B2 JP3036753A JP3675391A JPH0736062B2 JP H0736062 B2 JPH0736062 B2 JP H0736062B2 JP 3036753 A JP3036753 A JP 3036753A JP 3675391 A JP3675391 A JP 3675391A JP H0736062 B2 JPH0736062 B2 JP H0736062B2
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- JP
- Japan
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- light
- laser
- laser light
- dimming
- optical axis
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- Laser Beam Processing (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Laser Surgery Devices (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザー光を用いた医
療装置、加工装置等において、レーザー光と、ガイド光
との光軸を正確に一致せしめるためのレーザー光用シャ
ッター装置に関するものである。
療装置、加工装置等において、レーザー光と、ガイド光
との光軸を正確に一致せしめるためのレーザー光用シャ
ッター装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】レーザー光を用いた医療装置、加工装置
等においては、レーザー光の照射に先立ち、まず、ガイ
ド光を治療部位、被加工位置などに正確に一致せしめ、
ついでレーザー光を照射して治療や加工を行うが、従来
は、図10または図11のような方法で行っていた。
等においては、レーザー光の照射に先立ち、まず、ガイ
ド光を治療部位、被加工位置などに正確に一致せしめ、
ついでレーザー光を照射して治療や加工を行うが、従来
は、図10または図11のような方法で行っていた。
【0003】このうち、図10では、光軸上に、レーザ
ー光1を反射し、かつガイド光2を通過するハーフミラ
ーからなるシャッター8を挿入する。ガイド光発生器3
からのガイド光2はレーザー共振器4、シャッター8を
通過して目的の位置を照射する。このとき、レーザー媒
質5、反射側ミラー6、出力側ミラー7からなるレーザ
ー共振器4からのレーザー光1は、シャッター8で反射
して進路を変えられ、レーザー光吸収体9に吸収され
る。この状態で正しい位置決めをして、つぎに、シャッ
ター8を光軸から移動し、レーザー共振器4からのレー
ザー光1を目的の位置に照射して治療や加工を行う。
ー光1を反射し、かつガイド光2を通過するハーフミラ
ーからなるシャッター8を挿入する。ガイド光発生器3
からのガイド光2はレーザー共振器4、シャッター8を
通過して目的の位置を照射する。このとき、レーザー媒
質5、反射側ミラー6、出力側ミラー7からなるレーザ
ー共振器4からのレーザー光1は、シャッター8で反射
して進路を変えられ、レーザー光吸収体9に吸収され
る。この状態で正しい位置決めをして、つぎに、シャッ
ター8を光軸から移動し、レーザー共振器4からのレー
ザー光1を目的の位置に照射して治療や加工を行う。
【0004】図11では、ガイド光発生器3aからのガ
イド光2と、レーザー共振器4からのレーザー光1とを
シャッター8で遮断し、かつ散乱光を散乱光吸収体10
で抑制する。このとき、シャッター8の出力側の光軸上
に、ハーフミラー11を設け、別に設けたガイド光発生
器3bのレーザー光1を光軸上に重ねるようにしたもの
である。そして、ガイド光2にて正確に位置合わせを行
なった後、シャッター8、散乱光吸収体10、ハーフミ
ラー11を光軸から移動してレーザー共振器4からのレ
ーザー光1を目的の位置に照射して治療や加工を行う。
イド光2と、レーザー共振器4からのレーザー光1とを
シャッター8で遮断し、かつ散乱光を散乱光吸収体10
で抑制する。このとき、シャッター8の出力側の光軸上
に、ハーフミラー11を設け、別に設けたガイド光発生
器3bのレーザー光1を光軸上に重ねるようにしたもの
である。そして、ガイド光2にて正確に位置合わせを行
なった後、シャッター8、散乱光吸収体10、ハーフミ
ラー11を光軸から移動してレーザー共振器4からのレ
ーザー光1を目的の位置に照射して治療や加工を行う。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】図10のように、ガイ
ド光発生器3がレーザー共振器4の反射側ミラー6側に
ある場合は、レーザー共振器4の出力側ミラー7側に、
ハーフミラーなどのシャッター8を設けることにより、
レーザー光1の進路を変えてレーザー光吸収体9にて吸
収させたり、散乱させたりする必要があり、また、シャ
ッター8によるガイド光2の照射位置と、シャッター8
を外したときのガイド光2の照射位置とにずれが生じて
正確な位置合わせができないという問題があった。
ド光発生器3がレーザー共振器4の反射側ミラー6側に
ある場合は、レーザー共振器4の出力側ミラー7側に、
ハーフミラーなどのシャッター8を設けることにより、
レーザー光1の進路を変えてレーザー光吸収体9にて吸
収させたり、散乱させたりする必要があり、また、シャ
ッター8によるガイド光2の照射位置と、シャッター8
を外したときのガイド光2の照射位置とにずれが生じて
正確な位置合わせができないという問題があった。
【0006】図11のように、レーザー共振器4の反射
側ミラー6側にレーザー光軸調整用ガイド光発生器3a
を設けるとともに、レーザー共振器4の出力側ミラー7
側にもマニピュレータ調整用ガイド光発生器3bを設
け、その光軸をハーフミラー11などでレーザー光1に
重ねる必要があり、別に機械的なシャッター8を設ける
必要があった。しかも、シャッター8、散乱光吸収体1
0、ハーフミラー11を一体に移動しなければならない
ため、精度を出すのが極めて面倒であった。
側ミラー6側にレーザー光軸調整用ガイド光発生器3a
を設けるとともに、レーザー共振器4の出力側ミラー7
側にもマニピュレータ調整用ガイド光発生器3bを設
け、その光軸をハーフミラー11などでレーザー光1に
重ねる必要があり、別に機械的なシャッター8を設ける
必要があった。しかも、シャッター8、散乱光吸収体1
0、ハーフミラー11を一体に移動しなければならない
ため、精度を出すのが極めて面倒であった。
【0007】本発明の第1の目的は、簡単な装置によっ
てレーザー光とガイド光とを正確に一致せしめることの
できる装置を得ることである。本発明の第2の目的は、
簡単な装置によってレーザー光の不要時には、レーザー
光とガイド光とを分離し、その分離したレーザー光を安
全に減光することである。
てレーザー光とガイド光とを正確に一致せしめることの
できる装置を得ることである。本発明の第2の目的は、
簡単な装置によってレーザー光の不要時には、レーザー
光とガイド光とを分離し、その分離したレーザー光を安
全に減光することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、レーザー光と
ガイド光の光軸を一致せしめて照射するレーザー光照射
装置において、前記レーザー光を、その光軸部分を残し
て他を減光し、かつ前記ガイド光を直線的に通すための
減光装置と、この減光装置を、前記光軸上と、光軸外と
の間を移動せしめるための駆動装置とを具備してなるこ
とを特徴とするレーザー光用シャッター装置である。
ガイド光の光軸を一致せしめて照射するレーザー光照射
装置において、前記レーザー光を、その光軸部分を残し
て他を減光し、かつ前記ガイド光を直線的に通すための
減光装置と、この減光装置を、前記光軸上と、光軸外と
の間を移動せしめるための駆動装置とを具備してなるこ
とを特徴とするレーザー光用シャッター装置である。
【0009】
【作用】駆動装置によって減光装置が光軸上に位置する
と、ガイド光発生器およびレーザー共振器からのガイド
光とレーザー光は、減光装置に入り、レーザー光が減光
装置によって次第に減光されて、エネルギーの小さな、
しかも光軸上と一致したレーザー光となる。このレーザ
ー光はガイド光とともに、または、フィルタが挿入され
ているときは、レーザー光は反射され、ガイド光だけが
通過する。そして、レーザー光に先立ってガイド光によ
って照射位置を正確に設定した後、駆動装置によって減
光装置を光軸上から移動して、レーザー共振器からのレ
ーザー光が照射される。
と、ガイド光発生器およびレーザー共振器からのガイド
光とレーザー光は、減光装置に入り、レーザー光が減光
装置によって次第に減光されて、エネルギーの小さな、
しかも光軸上と一致したレーザー光となる。このレーザ
ー光はガイド光とともに、または、フィルタが挿入され
ているときは、レーザー光は反射され、ガイド光だけが
通過する。そして、レーザー光に先立ってガイド光によ
って照射位置を正確に設定した後、駆動装置によって減
光装置を光軸上から移動して、レーザー共振器からのレ
ーザー光が照射される。
【0010】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づき説明す
る。 図1および図2において、従来と同様、3はガイ
ド光発生器、4はレーザー共振器である。これらガイド
光発生器3とレーザー共振器4の光軸上には、減光装置
20とフィルタ21が、連結体22によって連結され、
駆動装置23によって移動自在に設けられている。
る。 図1および図2において、従来と同様、3はガイ
ド光発生器、4はレーザー共振器である。これらガイド
光発生器3とレーザー共振器4の光軸上には、減光装置
20とフィルタ21が、連結体22によって連結され、
駆動装置23によって移動自在に設けられている。
【0011】前記減光装置20は、一端が全開口し、他
端が中心点に絞り孔27を開口し、内面にねじ溝が切っ
てある筒体24に、アルミニウムなどからなる円錐筒状
の複数の第1減光筒25a,第2減光筒25b,第3減
光筒25cが嵌め込まれ、支持リング26で保持されて
いる。これら第1減光筒25a,第2減光筒25b,第
3減光筒25cの傾斜面の内外側面と、支持リング26
の内側面には、レーザー光を吸収するための吸収板を貼
着する。ここで、例えばレーザー共振器4からのレーザ
ー光1が、図3のように、6mm×20mmとすると、絞り
孔27、第1減光筒25a,第2減光筒25b,第3減
光筒25c,支持リング26の直径をそれぞれ4mm、8
mm、12mm、16mm、22mmとする。なお、減光筒は、
複数個の場合に限らず、減光の効果があれば、1個であ
っても良い。
端が中心点に絞り孔27を開口し、内面にねじ溝が切っ
てある筒体24に、アルミニウムなどからなる円錐筒状
の複数の第1減光筒25a,第2減光筒25b,第3減
光筒25cが嵌め込まれ、支持リング26で保持されて
いる。これら第1減光筒25a,第2減光筒25b,第
3減光筒25cの傾斜面の内外側面と、支持リング26
の内側面には、レーザー光を吸収するための吸収板を貼
着する。ここで、例えばレーザー共振器4からのレーザ
ー光1が、図3のように、6mm×20mmとすると、絞り
孔27、第1減光筒25a,第2減光筒25b,第3減
光筒25c,支持リング26の直径をそれぞれ4mm、8
mm、12mm、16mm、22mmとする。なお、減光筒は、
複数個の場合に限らず、減光の効果があれば、1個であ
っても良い。
【0012】前記フィルタ21は、一端が全開口し、他
端が中心点に中心孔29を開口し、内面にねじ溝が切っ
てあるフィルタケース28に、レーザー反射ミラー30
が嵌め込まれ、中心に小さな孔を有するミラー支持円板
31で保持されている。前記レーザー反射ミラー30
は、ガイド光2を通すが、レーザー光1を通さないよう
な特性を有するものからなる。
端が中心点に中心孔29を開口し、内面にねじ溝が切っ
てあるフィルタケース28に、レーザー反射ミラー30
が嵌め込まれ、中心に小さな孔を有するミラー支持円板
31で保持されている。前記レーザー反射ミラー30
は、ガイド光2を通すが、レーザー光1を通さないよう
な特性を有するものからなる。
【0013】前記連結体22の略中央部分は、前記駆動
装置23に設けられた回転支点軸32で回転自在に軸支
され、また、駆動装置23のソレノイドなどで進退する
プランジャー33に、スペーサ34を介して連結された
駆動軸35が、前記回転支点軸32から少し離れた連結
体22の長孔36に係合している。
装置23に設けられた回転支点軸32で回転自在に軸支
され、また、駆動装置23のソレノイドなどで進退する
プランジャー33に、スペーサ34を介して連結された
駆動軸35が、前記回転支点軸32から少し離れた連結
体22の長孔36に係合している。
【0014】以上のような構成において、レーザー光1
の照射に先立って、ガイド光2で正確な位置決めをす
る。それには、駆動装置23のプランジャー33を下降
して減光装置20とフィルタ21を図1のように、光軸
と一致させる。この状態で、ガイド光発生器3とレーザ
ー共振器4からそれぞれガイド光2とレーザー光1を発
射する。ガイド光2は、光軸と一致した細い光線であ
り、レーザー共振器4と減光装置20をそのまま通過し
てフィルタ21に至る。ここで、フィルタ21のレーザ
ー反射ミラー30は、レーザー光1を反射するが、ガイ
ド光2を通過させる特性を有するものであるから、その
まま光軸と一致して被照射部位に至る。
の照射に先立って、ガイド光2で正確な位置決めをす
る。それには、駆動装置23のプランジャー33を下降
して減光装置20とフィルタ21を図1のように、光軸
と一致させる。この状態で、ガイド光発生器3とレーザ
ー共振器4からそれぞれガイド光2とレーザー光1を発
射する。ガイド光2は、光軸と一致した細い光線であ
り、レーザー共振器4と減光装置20をそのまま通過し
てフィルタ21に至る。ここで、フィルタ21のレーザ
ー反射ミラー30は、レーザー光1を反射するが、ガイ
ド光2を通過させる特性を有するものであるから、その
まま光軸と一致して被照射部位に至る。
【0015】また、レーザー共振器4からのレーザー光
1は、所定の幅、例えば6mm×20mmとすると、減光装
置20に入射してまず第3減光筒25cによって直径1
6mmだけが通過し、その外側の部分は、第3減光筒25
cの傾斜面と、支持リング26の内面との間の吸収板の
間を乱反射を繰り返して減衰する。同様に、第2減光筒
25bによって直径12mmだけが通過し、第1減光筒2
5aによって直径8mmだけが通過し、結局絞り孔27で
は直径4mmに減光される。この4mmのレーザー光1は、
フィルタ21まで至ると、レーザー反射ミラー30によ
って反射され、フィルタ21を通過することができな
い。このレーザー反射ミラー30で反射したレーザー光
1は、再び減光装置20に入り、吸収板の間を散乱し減
光する。したがって、フィルタ21を通過したガイド光
2によってレーザー光1の照射に先立って正確に位置決
めする。
1は、所定の幅、例えば6mm×20mmとすると、減光装
置20に入射してまず第3減光筒25cによって直径1
6mmだけが通過し、その外側の部分は、第3減光筒25
cの傾斜面と、支持リング26の内面との間の吸収板の
間を乱反射を繰り返して減衰する。同様に、第2減光筒
25bによって直径12mmだけが通過し、第1減光筒2
5aによって直径8mmだけが通過し、結局絞り孔27で
は直径4mmに減光される。この4mmのレーザー光1は、
フィルタ21まで至ると、レーザー反射ミラー30によ
って反射され、フィルタ21を通過することができな
い。このレーザー反射ミラー30で反射したレーザー光
1は、再び減光装置20に入り、吸収板の間を散乱し減
光する。したがって、フィルタ21を通過したガイド光
2によってレーザー光1の照射に先立って正確に位置決
めする。
【0016】正確な位置決めの後、駆動装置23のプラ
ンジャー33を上昇させると、スペーサ34を介して駆
動軸35も上昇し、この駆動軸35で長孔36を摺動し
て連結体22を、図1中の矢印の方向に、鎖線のような
位置まで回転する。この状態では、ガイド光発生器3と
レーザー共振器4のガイド光2とレーザー光1は、光軸
に一致して進み、目的の位置を照射する。
ンジャー33を上昇させると、スペーサ34を介して駆
動軸35も上昇し、この駆動軸35で長孔36を摺動し
て連結体22を、図1中の矢印の方向に、鎖線のような
位置まで回転する。この状態では、ガイド光発生器3と
レーザー共振器4のガイド光2とレーザー光1は、光軸
に一致して進み、目的の位置を照射する。
【0017】前記実施例において、減光装置20は円筒
形としたが、これに限られるものではなく、図4に示す
ように、角筒形とすることもできる。この場合、第1減
光筒25a,第2減光筒25b,第3減光筒25c,第
4減光筒25dのそれぞれの入射口は、例えば4mm×8
mm、8mm×10mm、12mm×12mm、16mm×14mmと
する。
形としたが、これに限られるものではなく、図4に示す
ように、角筒形とすることもできる。この場合、第1減
光筒25a,第2減光筒25b,第3減光筒25c,第
4減光筒25dのそれぞれの入射口は、例えば4mm×8
mm、8mm×10mm、12mm×12mm、16mm×14mmと
する。
【0018】前記実施例において、減光装置20とフィ
ルタ21とを離して設けたが、図5に示すように、減光
装置20を構成する筒体24の後部に、フィルタ21の
フィルタケース28を一体に設け、減光装置20の絞り
孔27を通過したレーザー光1をレーザー反射ミラー3
0ですぐに反射せしめるようにしてもよい。
ルタ21とを離して設けたが、図5に示すように、減光
装置20を構成する筒体24の後部に、フィルタ21の
フィルタケース28を一体に設け、減光装置20の絞り
孔27を通過したレーザー光1をレーザー反射ミラー3
0ですぐに反射せしめるようにしてもよい。
【0019】前記図1の実施例では、フィルタ21のレ
ーザー反射ミラー30で反射したレーザー光1を減光装
置20で減光したが、これに限られるものではなく、反
射したレーザー光1を積極的に減光するため、図6に示
すように、減光装置20の後部に、反射光用の第1減光
筒38a,第2減光筒38b,支持リング39を有する
反射光用減光装置37を一体に設けてもよい。この場
合、フィルタ21のレーザー反射ミラー30で反射した
レーザー光1をより効果的に減光するには、図7に示す
ように、レーザー反射ミラー30を凸面鏡とすることが
望ましい。ただし、フィルタ21のレーザー反射ミラー
30は、入射側と出射側でガイド光2の光軸およびスポ
ット形状が変わらないことが必要である。
ーザー反射ミラー30で反射したレーザー光1を減光装
置20で減光したが、これに限られるものではなく、反
射したレーザー光1を積極的に減光するため、図6に示
すように、減光装置20の後部に、反射光用の第1減光
筒38a,第2減光筒38b,支持リング39を有する
反射光用減光装置37を一体に設けてもよい。この場
合、フィルタ21のレーザー反射ミラー30で反射した
レーザー光1をより効果的に減光するには、図7に示す
ように、レーザー反射ミラー30を凸面鏡とすることが
望ましい。ただし、フィルタ21のレーザー反射ミラー
30は、入射側と出射側でガイド光2の光軸およびスポ
ット形状が変わらないことが必要である。
【0020】前記図1および図2の実施例では、減光装
置20とフィルタ21とが別体で離れているため、連結
体22で連結したが、この場合に限られない。例えば、
図5に示すように、減光装置20の筒体24の内部にフ
ィルタ21を一体に収納するようにした場合には、図8
および図9に示すように、筒体24に固定したアーム4
0は、回転軸41にて回転可能に取り付ける。この場
合、回転方向は、図1の例では、光軸と同一面内とした
が、図8および図9の例では、光軸と直交する面内とす
ることもできる。
置20とフィルタ21とが別体で離れているため、連結
体22で連結したが、この場合に限られない。例えば、
図5に示すように、減光装置20の筒体24の内部にフ
ィルタ21を一体に収納するようにした場合には、図8
および図9に示すように、筒体24に固定したアーム4
0は、回転軸41にて回転可能に取り付ける。この場
合、回転方向は、図1の例では、光軸と同一面内とした
が、図8および図9の例では、光軸と直交する面内とす
ることもできる。
【0021】
【発明の効果】本発明は以上のように構成したので、レ
ーザー光とガイド光とを簡単な構成で分けることがで
き、また、レーザー光の照射時には、光軸上に何も挿入
されないため、光軸のずれ、出力の低下などの悪影響を
受けることがない。さらに、ガイド光と分けられたレー
ザー光は、減光装置に入り、レーザー光は減光装置内部
で散乱し減衰するため、レーザー光が他に漏れるような
ことがなく安全である。
ーザー光とガイド光とを簡単な構成で分けることがで
き、また、レーザー光の照射時には、光軸上に何も挿入
されないため、光軸のずれ、出力の低下などの悪影響を
受けることがない。さらに、ガイド光と分けられたレー
ザー光は、減光装置に入り、レーザー光は減光装置内部
で散乱し減衰するため、レーザー光が他に漏れるような
ことがなく安全である。
【図1】本発明によるレーザー光用シャッター装置の第
1実施例を示す断面図である。
1実施例を示す断面図である。
【図2】図1の一部を切り欠いた平面図である。
【図3】減光装置の側面図である。
【図4】本発明による減光装置の他の実施例の側面図で
ある。
ある。
【図5】減光装置とフィルタを一体に連結した断面図で
ある。
ある。
【図6】本発明の他の実施例を示す断面図である。
【図7】本発明のさらに他の実施例を示す断面図であ
る。
る。
【図8】本発明の他の実施例を示す一部を切り欠いた平
面図である。
面図である。
【図9】図8の正面図である。
【図10】従来のレーザー光用シャッター装置の説明図
である。
である。
【図11】従来の他のレーザー光用シャッター装置の説
明図である。
明図である。
1…レーザー光、2…ガイド光、3…ガイド光発生器、
3a…レーザー光軸調整用ガイド光発生器、3b…マニ
ュピレータ調整用ガイド光発生器、4…レーザー共振
器、5…レーザー媒質、6…反射側ミラー、7…出力側
ミラー、8…シャッター、9…レーザー光吸収体、10
…散乱光吸収体、11…ハーフミラー、20…減光装
置、21…フィルタ、22…連結体、23…駆動装置、
24…筒体、25a,25b,25c,25d…減光
筒、26…支持リング、27…絞り孔、28…フィルタ
ケース、29…中心孔、30…レーザー反射ミラー、3
1…ミラー支持円板、32…回転支点軸、33…プラン
ジャー、34…スペーサ、35…駆動軸、36…長孔、
37…反射光用減光装置、38a,38b…反射光用減
光筒、39…支持リング、40…アーム、41…回転
軸。
3a…レーザー光軸調整用ガイド光発生器、3b…マニ
ュピレータ調整用ガイド光発生器、4…レーザー共振
器、5…レーザー媒質、6…反射側ミラー、7…出力側
ミラー、8…シャッター、9…レーザー光吸収体、10
…散乱光吸収体、11…ハーフミラー、20…減光装
置、21…フィルタ、22…連結体、23…駆動装置、
24…筒体、25a,25b,25c,25d…減光
筒、26…支持リング、27…絞り孔、28…フィルタ
ケース、29…中心孔、30…レーザー反射ミラー、3
1…ミラー支持円板、32…回転支点軸、33…プラン
ジャー、34…スペーサ、35…駆動軸、36…長孔、
37…反射光用減光装置、38a,38b…反射光用減
光筒、39…支持リング、40…アーム、41…回転
軸。
フロントページの続き (72)発明者 佐藤 勝彦 静岡県浜松市市野町1126番地の1 浜松ホ トニクス株式会社内 (56)参考文献 特開 平1−210936(JP,A) 特開 昭50−27494(JP,A) 実開 昭60−4945(JP,U)
Claims (4)
- 【請求項1】レーザー光とガイド光の光軸を一致せしめ
て照射するレーザー光照射装置において、 前記レーザー光を、その光軸部分を残して他を減光し、
かつ前記ガイド光を直線的に通すための減光装置と、 この減光装置を、前記光軸上と、光軸外との間を移動せ
しめるための駆動装置とを具備してなることを特徴とす
るレーザー光用シャッター装置。 - 【請求項2】光軸上に、減光装置で減光されたレーザー
光を反射し、ガイド光を通すフィルタを設け、前記減光
装置と一体に移動自在に設けてなることを特徴とする請
求項1記載のレーザー光用シャッター装置。 - 【請求項3】フィルタで反射されたレーザー光を減光す
る反射光用減光装置を設けてなることを特徴とする請求
項2記載のレーザー光用シャッター装置。 - 【請求項4】駆動装置は、減光装置とフィルタとの位置
を、光軸上と光軸外との間で変化せしめるものからなる
請求項2記載のレーザー光用シャッター装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3036753A JPH0736062B2 (ja) | 1991-02-06 | 1991-02-06 | レーザー光用シャッター装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3036753A JPH0736062B2 (ja) | 1991-02-06 | 1991-02-06 | レーザー光用シャッター装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05297290A JPH05297290A (ja) | 1993-11-12 |
| JPH0736062B2 true JPH0736062B2 (ja) | 1995-04-19 |
Family
ID=12478500
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3036753A Expired - Fee Related JPH0736062B2 (ja) | 1991-02-06 | 1991-02-06 | レーザー光用シャッター装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0736062B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
1991
- 1991-02-06 JP JP3036753A patent/JPH0736062B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05297290A (ja) | 1993-11-12 |
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