JPH0737310Y2 - 熱処理炉 - Google Patents

熱処理炉

Info

Publication number
JPH0737310Y2
JPH0737310Y2 JP1987033687U JP3368787U JPH0737310Y2 JP H0737310 Y2 JPH0737310 Y2 JP H0737310Y2 JP 1987033687 U JP1987033687 U JP 1987033687U JP 3368787 U JP3368787 U JP 3368787U JP H0737310 Y2 JPH0737310 Y2 JP H0737310Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tube
core tube
heat treatment
treatment furnace
annular body
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP1987033687U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS63140620U (ja
Inventor
晃二 大西
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ricoh Co Ltd filed Critical Ricoh Co Ltd
Priority to JP1987033687U priority Critical patent/JPH0737310Y2/ja
Publication of JPS63140620U publication Critical patent/JPS63140620U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH0737310Y2 publication Critical patent/JPH0737310Y2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 この考案はたとえば半導体ウエハ等の熱処理に適した熱
処理炉の改良に関する。
従来の技術 この種の熱処理炉はたとえば第３図に示したものが知ら
れている。即ち第３図において、１は半導体ウエハ２の
熱処理炉の炉心管でその両端にはスカベンジャ３と４と
が設けられている。この熱処理炉において、ウエハの熱
処理時にはガス注入口５から注入された処理ガスは炉心
管１の内部を通って排出口６に達する。排出口側のスカ
ベンジャ４には通気口７が明けられており、排気ガスは
この通気口７から排気スクラバー等により排出される。
この従来の熱処理炉の構成においては上記処理ガスが導
入されない状態では外気がスカベンジャ４に入り、更に
炉心管の入口を開閉する入口キャップ８と炉心管１の管
端との隙間９から炉心管１内に侵入してウエハの熱処理
に悪影響を及ぼすという欠点があった。
考案が解決すべき問題点 この考案は上述のように外気が炉心管内に侵入するのを
防止できる熱処理炉を提供することを目的とするもので
ある。
問題点を解決する手段 この考案の熱処理炉は炉心管の管端部にスカベンジャを
設けるとともに、炉心管はエンドキャップにて開閉され
る熱処理炉であって、上記スカベンジャ内に設けられ、
かつ上記管端部を流体密に外嵌する一端部を有し上記炉
心管の軸方向に沿って上記炉心管を延長する方向に延在
して他端部には上記エンドキャップが開閉され排気口を
有する環状体と、上記環状体に内接して上記炉心管の軸
方向に移動可能な調節管であり、上記他端部と上記エン
ドキャップとのすき間から上記環状体内に侵入した外気
を上記排気口へ導く開口を当該調節管の管端を上記炉心
管の管端との間に形成可能な調節管と、を備え、上記開
口の面積は上記調節管の上記軸方向への移動により調節
可能であることを特徴とする。
作用 上記の構成において、炉心管１と入口キャップ８のすき
間から入った外気は、環状体を通って排気口から排気さ
れ、外気が炉心管内の中央部に侵入するのを防止でき
る。
実施例 第１図において、スカベンジャ４内で、炉心管１の管端
には上記炉心管１を包囲する環状体10が炉心管１に外側
から流体密に嵌合され固定されている。環状体10は大径
部11と小径部とを有し、この大径部11によって室13を構
成しているとともに炉心管１の開口14と連通している。
またこの大径部11の外周には複数の排気口15が設けら
れ、この排気口15は図示しない管等によって排気スクラ
バー等に連通している。更に小径部12のには摺動可能な
調節管16が内嵌合されており、この調節管16を炉心管１
に対して移動することによって、開口14の開口面積を変
えてこの開口14からの排気量を調節できるようにしてい
る。
17は環状体10の端部に接離して炉心管１の管端を開閉す
る入口キャップ、18はウエハを載せるボート、19はボー
ト18と連動する内部キャップである。
上記の構成において、スカベンジャ４内の空気がエンド
キャップ17と環状体10との隙間から環状体10を経て炉心
管１に入ってもこの空気は矢印のように開口14、排気口
15を通って大気に排出され、炉心管１の中央部（ウエハ
が置かれている部分）まで侵入することはない。またガ
ス導入口５から導入された処理ガスは炉心管１を通って
開口14、排気口15を経由して所定の排気場所に排出され
る。したがって、処理ガスが特殊な有毒ガスである場合
もスカベンジャ内へ排出されず、排気ガス対策が容易に
なる。なお調節管16を移動することにより排気量を随意
に調節できる。
考案の効果 以上のようにこの考案によれば熱処理炉において空気が
炉心管中心部へ侵入するのを容易に防止することがで
き、したがってウエハの熱処理などを空気によって乱さ
れることなく行うことができる。又、調節管を設けたこ
とで、排気口への排気量を調節することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の一実施例を示す断面図、第２図は第
１図の要部の拡大断面図、第３図は従来例を示す断面図
である。 1:炉心管、2:ウエハ、10:環状体、15:排気口

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】炉心管の管端部にスカベンジャを設けると
    ともに、炉心管はエンドキャップにて開閉される熱処理
    炉であって、 上記スカベンジャ内に設けられ、かつ上記管端部を流体
    密に外嵌する一端部を有し上記炉心管の軸方向に沿って
    上記炉心管を延長する方向に延在して他端部には上記エ
    ンドキャップが開閉され排気口を有する環状体と、 上記環状体に内接して上記炉心管の軸方向に移動可能な
    調節管であり、上記他端部と上記エンドキャップとのす
    き間から上記環状体内に侵入した外気を上記排気口へ導
    く開口を当該調節管の管端と上記炉心管の管端との間に
    形成可能な調節管と、 を備え、上記開口の面積は上記調節管の上記軸方向への
    移動により調節可能であることを特徴とする熱処理炉。
JP1987033687U 1987-03-05 1987-03-05 熱処理炉 Expired - Lifetime JPH0737310Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1987033687U JPH0737310Y2 (ja) 1987-03-05 1987-03-05 熱処理炉

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1987033687U JPH0737310Y2 (ja) 1987-03-05 1987-03-05 熱処理炉

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS63140620U JPS63140620U (ja) 1988-09-16
JPH0737310Y2 true JPH0737310Y2 (ja) 1995-08-23

Family

ID=30841528

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1987033687U Expired - Lifetime JPH0737310Y2 (ja) 1987-03-05 1987-03-05 熱処理炉

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0737310Y2 (ja)

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5426664A (en) * 1977-07-29 1979-02-28 Nec Corp Tool for heat treatment of semiconductor wafer
JPS59119031U (ja) * 1983-02-01 1984-08-11 セイコーインスツルメンツ株式会社 拡散装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPS63140620U (ja) 1988-09-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4106471A (en) Internal combustion engine system with an air-fuel mixture shut off means
JPS5744760A (en) Exhaust gas recirculation device of engine
JPS53127929A (en) Exhaust gas recirculating equipment for three-valve engine
JPS6337494Y2 (ja)
US6981521B2 (en) Exhaust valve for semiconductor manufacturing process
JPH024765B2 (ja)
US4359034A (en) Exhaust gas recirculation control system
JPS52110329A (en) Exhaust gas recirculation control for internal-combustion engine
JPH0465146B2 (ja)
JPH0310373Y2 (ja)
JPS585051Y2 (ja) 排気導管
JPH0383800U (ja)
SU1616677A1 (ru) Устройство дл отсасывани и нагнетани жидкости или газа
JPS55104514A (en) Exhaust-gas purifying system for internal combustion engine
JPH03110122U (ja)
JPS5741416A (en) Discharge gas cleaner of internal combustion engine with multi-cylinder for motorcycle
RU98118299A (ru) Устройство для газостатической обработки
JPH0537925U (ja) 真空炉
JPH0634253U (ja) プラズマ処理システム
JPS5632068A (en) Ehaust-gas purifying system
JPH03106018A (ja) 減圧化学気相成長装置
KR19980049592A (ko) 배기가스 재순환장치
JPS6316163A (ja) エンジンの排気還流装置
JPH0357396U (ja)
JPH048684B2 (ja)