JPH0737847A - 洗浄方法 - Google Patents
洗浄方法Info
- Publication number
- JPH0737847A JPH0737847A JP5201799A JP20179993A JPH0737847A JP H0737847 A JPH0737847 A JP H0737847A JP 5201799 A JP5201799 A JP 5201799A JP 20179993 A JP20179993 A JP 20179993A JP H0737847 A JPH0737847 A JP H0737847A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- octamethylcyclotetrasiloxane
- flat plate
- frozen particles
- cleaned
- cutting oil
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 28
- HMMGMWAXVFQUOA-UHFFFAOYSA-N octamethylcyclotetrasiloxane Chemical compound C[Si]1(C)O[Si](C)(C)O[Si](C)(C)O[Si](C)(C)O1 HMMGMWAXVFQUOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 29
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 12
- 239000010730 cutting oil Substances 0.000 abstract description 14
- 239000003921 oil Substances 0.000 abstract description 10
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 8
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract 3
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 4
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 4
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 4
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 3
- AJDIZQLSFPQPEY-UHFFFAOYSA-N 1,1,2-Trichlorotrifluoroethane Chemical compound FC(F)(Cl)C(F)(Cl)Cl AJDIZQLSFPQPEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 239000003925 fat Substances 0.000 description 2
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 2
- 235000014593 oils and fats Nutrition 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UOCLXMDMGBRAIB-UHFFFAOYSA-N 1,1,1-trichloroethane Chemical compound CC(Cl)(Cl)Cl UOCLXMDMGBRAIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000011089 carbon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N disiloxane Chemical class [SiH3]O[SiH3] KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004453 electron probe microanalysis Methods 0.000 description 1
- 238000000921 elemental analysis Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 230000008014 freezing Effects 0.000 description 1
- 238000007710 freezing Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000005555 metalworking Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000005437 stratosphere Substances 0.000 description 1
- -1 trichlene Chemical compound 0.000 description 1
- 239000005436 troposphere Substances 0.000 description 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Detergent Compositions (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 フロンを使用することなく油等を良好に除去
する。 【構成】 オクタメチルシクロテトラシロキサンを主成
分として凍結させた粒子を被洗浄物に衝突させ、衝突に
より液化したオクタメチルシクロテトラシロキサを被洗
浄物の表面から流下させる。
する。 【構成】 オクタメチルシクロテトラシロキサンを主成
分として凍結させた粒子を被洗浄物に衝突させ、衝突に
より液化したオクタメチルシクロテトラシロキサを被洗
浄物の表面から流下させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、オクタメチルシクロテ
トラシロキサンを用いて洗浄する洗浄方法に関する。
トラシロキサンを用いて洗浄する洗浄方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般にフロン１１３、トリクロロエタ
ン、トリクレン、塩化メチレン等のハロゲン系溶剤は、
その洗浄性、溶解力の強さおよび不燃性であるという取
扱いのしやすさから、金属加工時の切削油等の洗浄に用
いられていた。しかしながら、ハロゲンを含んだフロン
１１３等、パーハロエタンは化学的に特に安定であるた
め対流圏内での寿命が長く、拡散して成層圏に達し、こ
こで太陽光線により分解して発生するハロゲンラジカル
がオゾンと連鎖反応を起こし、オゾン層を破壊すること
から、これらの使用の削減が求められている。
ン、トリクレン、塩化メチレン等のハロゲン系溶剤は、
その洗浄性、溶解力の強さおよび不燃性であるという取
扱いのしやすさから、金属加工時の切削油等の洗浄に用
いられていた。しかしながら、ハロゲンを含んだフロン
１１３等、パーハロエタンは化学的に特に安定であるた
め対流圏内での寿命が長く、拡散して成層圏に達し、こ
こで太陽光線により分解して発生するハロゲンラジカル
がオゾンと連鎖反応を起こし、オゾン層を破壊すること
から、これらの使用の削減が求められている。
【０００３】そこで使用量を削減する方法として、ハロ
ゲンを含まない水系・非水系洗浄液による液浸漬の洗浄
方法が数多く提案されている。また、特開平４−２０６
８２１号公報、特開平４−２０６５２１号公報および特
開平４−１７１８１８号公報においては、洗浄液に浸漬
することなく純水や炭酸ガスの凍結粒子を半導体ウエハ
等の被洗浄物に衝突させることにより洗浄する方法が提
案されている。
ゲンを含まない水系・非水系洗浄液による液浸漬の洗浄
方法が数多く提案されている。また、特開平４−２０６
８２１号公報、特開平４−２０６５２１号公報および特
開平４−１７１８１８号公報においては、洗浄液に浸漬
することなく純水や炭酸ガスの凍結粒子を半導体ウエハ
等の被洗浄物に衝突させることにより洗浄する方法が提
案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】液浸漬の洗浄方法で
は、洗浄液に溶解しないように強固に付着した固体汚れ
は除去しづらく、凍結粒子を衝突させる特開平４−２０
６８２１号公報、特開平４−２０６５２１号公報および
特開平４−１７１８１８号公報のような洗浄が有利であ
る。しかしこの方法では、氷やドライアイスを被洗浄物
に衝突させるため洗浄中に被洗浄物の温度が低下し、環
境湿度によっては被洗浄物上に結露して、洗浄仕上がり
でシミ残りが生じやすくなる。また、粒子衝突により塵
等を除去できると共に、切削油等の油汚れは凍結粒子の
衝突によってある程度は剥ぎ取られるが、凍結粒子が溶
解した純水や炭酸ガスでは、油溶解性がないところか
ら、ガス化した場合に汚れを流し取る効果が得られない
ため、十分に油汚れを除去することができない問題があ
る。本発明は、これらの問題点を考慮してなされ、オゾ
ン層を破壊することなく、塵等や油汚れを十分に洗浄で
きる洗浄方法を提供することを目的とする。
は、洗浄液に溶解しないように強固に付着した固体汚れ
は除去しづらく、凍結粒子を衝突させる特開平４−２０
６８２１号公報、特開平４−２０６５２１号公報および
特開平４−１７１８１８号公報のような洗浄が有利であ
る。しかしこの方法では、氷やドライアイスを被洗浄物
に衝突させるため洗浄中に被洗浄物の温度が低下し、環
境湿度によっては被洗浄物上に結露して、洗浄仕上がり
でシミ残りが生じやすくなる。また、粒子衝突により塵
等を除去できると共に、切削油等の油汚れは凍結粒子の
衝突によってある程度は剥ぎ取られるが、凍結粒子が溶
解した純水や炭酸ガスでは、油溶解性がないところか
ら、ガス化した場合に汚れを流し取る効果が得られない
ため、十分に油汚れを除去することができない問題があ
る。本発明は、これらの問題点を考慮してなされ、オゾ
ン層を破壊することなく、塵等や油汚れを十分に洗浄で
きる洗浄方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段および作用】本発明の洗浄
方法は、オクタメチルシクロテトラシロキサンを主成分
とし凍結させた凍結粒子を被洗浄物の表面に衝突させ、
衝突により溶融液化したオクタメチルシクロテトラシロ
キサンを被洗浄物の表面から流下させることを特徴とす
る。
方法は、オクタメチルシクロテトラシロキサンを主成分
とし凍結させた凍結粒子を被洗浄物の表面に衝突させ、
衝突により溶融液化したオクタメチルシクロテトラシロ
キサンを被洗浄物の表面から流下させることを特徴とす
る。
【０００６】オクタメチルシクロテトラシロキサンは、
凝固点が１７．６℃であるところから、室温近くで固化
させることができ、容易に凍結粒子を生成することがで
きる。この凍結粒子を被洗浄物の表面に吹き付けて衝突
させることにより表面に付着にしている塵や切削油の汚
れを除去することができる。また、オクタメチルシクロ
テトラシロキサンは、液体状態では、切削油等の油脂類
に対して溶解性を有しているため、衝突後に被洗浄物か
ら熱を奪ってオクタメチルシクロテトラシロキサンの凍
結粒子が溶解することにより、被洗浄物表面に残留して
いる油脂汚れを溶解する。そして、このオクタメチルシ
クロテトラシロキサンが、被洗浄物表面から流下するこ
とにより、油脂類が除去され、これにより被洗浄物を洗
浄することができる。
凝固点が１７．６℃であるところから、室温近くで固化
させることができ、容易に凍結粒子を生成することがで
きる。この凍結粒子を被洗浄物の表面に吹き付けて衝突
させることにより表面に付着にしている塵や切削油の汚
れを除去することができる。また、オクタメチルシクロ
テトラシロキサンは、液体状態では、切削油等の油脂類
に対して溶解性を有しているため、衝突後に被洗浄物か
ら熱を奪ってオクタメチルシクロテトラシロキサンの凍
結粒子が溶解することにより、被洗浄物表面に残留して
いる油脂汚れを溶解する。そして、このオクタメチルシ
クロテトラシロキサンが、被洗浄物表面から流下するこ
とにより、油脂類が除去され、これにより被洗浄物を洗
浄することができる。
【０００７】しかも、オクタメチルシクロテトラシロキ
サンの凝固点が１７．６℃と室温付近であるため、固化
したオクタメチルシクロテトラシロキサン粒子を被洗浄
物に吹きつけても温度の低下が少なく、これにより結露
が生じにくく洗浄後に結露に起因するシミ残りが生じに
くい。
サンの凝固点が１７．６℃と室温付近であるため、固化
したオクタメチルシクロテトラシロキサン粒子を被洗浄
物に吹きつけても温度の低下が少なく、これにより結露
が生じにくく洗浄後に結露に起因するシミ残りが生じに
くい。
【０００８】さらに、オクタメチルシクロテトラシロキ
サンは蒸発潜熱が低いところから、上述した洗浄後に、
被洗浄物を加温、減圧することにより速やかにに乾燥す
ることができる。かかるオクタメチルシクロテトラシロ
キサンはハロゲンを含んでおらず、オゾン層を破壊する
こともない。
サンは蒸発潜熱が低いところから、上述した洗浄後に、
被洗浄物を加温、減圧することにより速やかにに乾燥す
ることができる。かかるオクタメチルシクロテトラシロ
キサンはハロゲンを含んでおらず、オゾン層を破壊する
こともない。
【０００９】
【実施例１】純度９８％以上のオクタメチルシクロテト
ラシロキサンを約２０℃でタンク内に貯蔵し、このタン
クと洗浄槽内に設けられた可動式断熱膨張ノズルとを送
液可能に接続した。次に被洗浄物として切削油が付着し
ているアルミニウム製のディスク形状の平板を治具に固
定し、洗浄槽内に配置した。そして、断熱膨張ノズルか
らオクタメチルシクロテトラシロキサンを噴出させ、そ
の断熱膨張作用によりオクタメチルシクロテトラシロキ
サンを固化して凍結粒子とする。この凍結粒子を噴出さ
せながら、断熱膨張ノズルを平板上で走査し、平板表面
に均一にオクタメチルシクロテトラシロキサンの凍結粒
子を吹き付ける。吹き付けられたオクタメチルシロキサ
ンの凍結粒子は、平板上に付着していた切削油および塵
を吹き飛ばすと共に、平板上で溶融して液化し、残留し
ている切削油を溶解した。この液化したオクタメチルシ
クロテトラシロキサンを平板から流下させて切削油及び
塵を除去した。その後、平板に８０℃の温風を５分間吹
き付けて乾燥させた。この結果、平板上にからは切削油
が除去され、電子顕微鏡およびＥＰＭＡによる元素分析
においても切削油成分に起因するカーボンは検出され
ず、十分に洗浄できたことが確認できた。
ラシロキサンを約２０℃でタンク内に貯蔵し、このタン
クと洗浄槽内に設けられた可動式断熱膨張ノズルとを送
液可能に接続した。次に被洗浄物として切削油が付着し
ているアルミニウム製のディスク形状の平板を治具に固
定し、洗浄槽内に配置した。そして、断熱膨張ノズルか
らオクタメチルシクロテトラシロキサンを噴出させ、そ
の断熱膨張作用によりオクタメチルシクロテトラシロキ
サンを固化して凍結粒子とする。この凍結粒子を噴出さ
せながら、断熱膨張ノズルを平板上で走査し、平板表面
に均一にオクタメチルシクロテトラシロキサンの凍結粒
子を吹き付ける。吹き付けられたオクタメチルシロキサ
ンの凍結粒子は、平板上に付着していた切削油および塵
を吹き飛ばすと共に、平板上で溶融して液化し、残留し
ている切削油を溶解した。この液化したオクタメチルシ
クロテトラシロキサンを平板から流下させて切削油及び
塵を除去した。その後、平板に８０℃の温風を５分間吹
き付けて乾燥させた。この結果、平板上にからは切削油
が除去され、電子顕微鏡およびＥＰＭＡによる元素分析
においても切削油成分に起因するカーボンは検出され
ず、十分に洗浄できたことが確認できた。
【００１０】
【実施例２】洗浄槽にオクタメチルシクロテトラシロキ
サンを噴出するノズルとそれに近接した位置に乾燥空気
を断熱膨張させる断熱膨張ノズルを配し、オクタメチル
シクロテトラシロキサンをノズルから噴出させる同時に
断熱膨張作用で温度が１０℃以下に低下した低温度の乾
燥空気を噴出させる。この低温空気とオクタメチルシク
ロテトラシロキサンとを混合するように洗浄槽内に吹き
付ける。このとき、オクタメチルシクロテトラシロキサ
ンは低温空気により冷却され凍結粒子となる。この洗浄
槽内に被洗浄物として芯取り油が付着した光学レンズを
治具に固定して配置し、このレンズに低温空気とオクタ
メチルシクロテトラシロキサンとを混合して得られたオ
クタメチルシクロテトラシロキサンの凍結粒子を吹き付
けた。この粒子により芯取り油は除去され、さらに溶融
したオクタメチルシクロテトラシロキサンにより、残留
した芯取り油が溶解し、レンズから除去できた。そし
て、この後、８０℃の温風による乾燥を５分間行った。
このレンズに光学コーテイングを施したところ、コーテ
ィングの剥離等の不具合はなく、良好な洗浄状態であっ
たことが確認できた。
サンを噴出するノズルとそれに近接した位置に乾燥空気
を断熱膨張させる断熱膨張ノズルを配し、オクタメチル
シクロテトラシロキサンをノズルから噴出させる同時に
断熱膨張作用で温度が１０℃以下に低下した低温度の乾
燥空気を噴出させる。この低温空気とオクタメチルシク
ロテトラシロキサンとを混合するように洗浄槽内に吹き
付ける。このとき、オクタメチルシクロテトラシロキサ
ンは低温空気により冷却され凍結粒子となる。この洗浄
槽内に被洗浄物として芯取り油が付着した光学レンズを
治具に固定して配置し、このレンズに低温空気とオクタ
メチルシクロテトラシロキサンとを混合して得られたオ
クタメチルシクロテトラシロキサンの凍結粒子を吹き付
けた。この粒子により芯取り油は除去され、さらに溶融
したオクタメチルシクロテトラシロキサンにより、残留
した芯取り油が溶解し、レンズから除去できた。そし
て、この後、８０℃の温風による乾燥を５分間行った。
このレンズに光学コーテイングを施したところ、コーテ
ィングの剥離等の不具合はなく、良好な洗浄状態であっ
たことが確認できた。
【００１１】
【発明の効果】以上のとおり本発明の洗浄方法は、被洗
浄物の表面に固着した固形汚れ及び油脂類の汚れを効率
良く除去できると共に、被洗浄物の温度低下を抑制でき
るため、被洗浄物表面の結露を防止することができ、良
好な洗浄仕上がりとすることができ、しかもオゾン層を
破壊することもない。
浄物の表面に固着した固形汚れ及び油脂類の汚れを効率
良く除去できると共に、被洗浄物の温度低下を抑制でき
るため、被洗浄物表面の結露を防止することができ、良
好な洗浄仕上がりとすることができ、しかもオゾン層を
破壊することもない。
Claims (1)
- 【請求項１】 オクタメチルシクロテトラシロキサンを
主成分とし凍結させた凍結粒子を被洗浄物の表面に衝突
させ、衝突により溶融液化したオクタメチルシクロテト
ラシロキサンを被洗浄物の表面から流下させることを特
徴とする洗浄方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5201799A JPH0737847A (ja) | 1993-07-22 | 1993-07-22 | 洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5201799A JPH0737847A (ja) | 1993-07-22 | 1993-07-22 | 洗浄方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0737847A true JPH0737847A (ja) | 1995-02-07 |
Family
ID=16447127
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5201799A Withdrawn JPH0737847A (ja) | 1993-07-22 | 1993-07-22 | 洗浄方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0737847A (ja) |
-
1993
- 1993-07-22 JP JP5201799A patent/JPH0737847A/ja not_active Withdrawn
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5863883A (en) | Slurry cleaning process | |
| US6128830A (en) | Apparatus and method for drying solid articles | |
| US5695571A (en) | Cleaning method using a defluxing agent | |
| US20020107158A1 (en) | Method for cleaning etcher parts | |
| US5762719A (en) | Terpene based cleaning composition | |
| CN110760861A (zh) | 一种铜清洗剂及其制备方法 | |
| JPH02104683A (ja) | 金属のクリーニング方法 | |
| JP2947611B2 (ja) | 非塩素化溶媒による脱蝋方法 | |
| US7179774B2 (en) | Flushing solutions for coatings removal | |
| JP2000058494A (ja) | 洗浄方法及び洗浄装置 | |
| CN118371811A (zh) | 一种焊接靶材组件的后处理方法 | |
| US5817187A (en) | Composition for grease removal | |
| JP2005074397A (ja) | 電子機器の洗浄方法及びその評価方法 | |
| JPH0347579A (ja) | 電気機器部材の洗浄方法 | |
| US20060189496A1 (en) | Method for stripping cured paint with synthetic surfactants low in volatile organic compounds | |
| JPH06256984A (ja) | 油付着物の洗浄装置 | |
| JP2002226898A (ja) | スプレー用洗浄剤 | |
| JPH06120196A (ja) | 超音波洗浄乾燥方法とその装置 | |
| JPH07102390A (ja) | 金属帯の洗浄方法 | |
| JPH09227897A (ja) | 物品の洗浄方法 | |
| GB2243842A (en) | Circuit board cleaning | |
| JP3573178B2 (ja) | ノンリンス洗浄剤 | |
| JPH02280881A (ja) | 清浄化方法 | |
| JPS6265704A (ja) | 脱水方法 | |
| JPH0731919A (ja) | 焼付塗装方法および装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20001003 |