JPH073919B2 - ハンドラ - Google Patents
ハンドラInfo
- Publication number
- JPH073919B2 JPH073919B2 JP58146356A JP14635683A JPH073919B2 JP H073919 B2 JPH073919 B2 JP H073919B2 JP 58146356 A JP58146356 A JP 58146356A JP 14635683 A JP14635683 A JP 14635683A JP H073919 B2 JPH073919 B2 JP H073919B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shooter
- gas
- unit
- handler
- package
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Chutes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は、試料を任意の目的で選別する技術に関するも
ので、特にリードレスチップキャリア（LCC）等の自重
の小さい半導体装置を選別することに利用して有効な技
術に関するものである。
ので、特にリードレスチップキャリア（LCC）等の自重
の小さい半導体装置を選別することに利用して有効な技
術に関するものである。
最近、チップキャリアの組立技術等が進み、外径寸法が
標準化されてくるにつれ、高速でかつ高信頼性のハンド
ラが要求されてきている。このため、DIP（デュアル・
インライン・パッケージ）用ハンドラー（工業調査会発
行 電子材料別冊1981年版参照）の試料の移送方式を利
用して、チップキャリアパッケージの移送方式として、
そのチップキャリアパッケージ自身の自重にて自然落下
させて移送することが考えられる。しかしながら、例え
ばリードレスチップキャリア（LCC）パッケージのよう
な軽量の試料を低温状態で測定したときに、LCCパッケ
ージの移送不良が生じた。そのため、本発明者がその原
因を追求したところ次のような問題があることを初めて
見い出した。
標準化されてくるにつれ、高速でかつ高信頼性のハンド
ラが要求されてきている。このため、DIP（デュアル・
インライン・パッケージ）用ハンドラー（工業調査会発
行 電子材料別冊1981年版参照）の試料の移送方式を利
用して、チップキャリアパッケージの移送方式として、
そのチップキャリアパッケージ自身の自重にて自然落下
させて移送することが考えられる。しかしながら、例え
ばリードレスチップキャリア（LCC）パッケージのよう
な軽量の試料を低温状態で測定したときに、LCCパッケ
ージの移送不良が生じた。そのため、本発明者がその原
因を追求したところ次のような問題があることを初めて
見い出した。
つまり、低温測定が終了したLCCパッケージの表面温度
は、外気よりも極めて低温となっているため、LCCパッ
ケージが湿度の高い外気にふれたときに、パッケージの
表面に結露のため水滴が付着していた。そのため、水滴
がLCCパッケージとそのパッケージと接触しているシュ
ータの面との間にまたがって付着していると、水滴の表
面張力によりLCCパッケージが自然落下せず、移送不良
が発生することを発見した。本発明は、その点に鑑みて
なされたものである。
は、外気よりも極めて低温となっているため、LCCパッ
ケージが湿度の高い外気にふれたときに、パッケージの
表面に結露のため水滴が付着していた。そのため、水滴
がLCCパッケージとそのパッケージと接触しているシュ
ータの面との間にまたがって付着していると、水滴の表
面張力によりLCCパッケージが自然落下せず、移送不良
が発生することを発見した。本発明は、その点に鑑みて
なされたものである。
本発明の目的は、試料の移送を確実に行なうことができ
るハンドラを提供することである。
るハンドラを提供することである。
本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は、
本明細書の記述および添付図面からあきらかになるであ
ろう。
本明細書の記述および添付図面からあきらかになるであ
ろう。
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
すなわち、低温測定部近傍において、試料を低露点ガス
又は水分のほとんど含まないガスの雰囲気にて移送する
ことにより、試料表面上に水滴が付着することはないの
で、落下（移送）不良が生じることはなく、確実な試料
の移送ができうるハンドラを得ることができる。
又は水分のほとんど含まないガスの雰囲気にて移送する
ことにより、試料表面上に水滴が付着することはないの
で、落下（移送）不良が生じることはなく、確実な試料
の移送ができうるハンドラを得ることができる。
第１図は本発明の一実施例である低温テスト用のハンド
ラーの概略全体図、第２図Ａは第１図におけるIIの拡大
断面図、第２図Ｂは第２図Ａの一部拡大図、第３図は第
１図におけるIIIの拡大断面図、第４図は第３図を矢印
方向から見た一部拡大図、第５図はシュータの説明図で
ある。図において、１はローダ部で試料が入ったマガジ
ン２が多数収納されている。３は傾斜台で、マガジン２
を一定の角度に傾斜させて、LCCパッケージ（以下パッ
ケージ）４をシュータ５に移送するようになっている。
ピン６及び７は、その突出や引っ込み動作によりパッケ
ージ４を１個づつ振り分けシュータ８に移送できるよう
になっている。前記振り分けシュータ８は、第２図Ｂ
（および第５図）に示すごとく、振り分けシュータ８の
底壁内部に中空部10a（および10）を有し、その中空部1
0aから振り分けシュータ８の内壁底面に連通するガス噴
出孔11b（および11）が多数設けられている。12は紙面
垂直方向に並列に複数配置された貯蔵シュータであり、
振り分けシュータ８を貯蔵シュータ12の並列方向に移動
させて、パッケージ４を振り分けて貯蔵シュータ12に移
送している。なお、シューター13は、パッケージ４を貯
蔵シュータ12に送り込む時に開放されるようになってい
る。この貯蔵シュータ12の周囲は測定温度、例えば−65
℃の低温雰囲気に設定することができるようになってい
る。14は前記貯蔵シュータ12からパッケージ14を一個づ
つ受け取り、測定部15に移送することができる測定部移
送用のシュータである。測定部15にて測定を終えたパッ
ケージ４は、シュータ16を介して第４図に示すように並
列に配設したシュータ17に移送される。このシュータ17
には、底壁内部に中空部10bが設けられ、その中空部10b
から内壁底面にガス導入孔11bが連通して配設されてい
る。このガス導入孔11からN2ガスを供給してパッケージ
４が、シュータ17に移送された時やピン18により静止し
ているとき、その周囲がN2ガス雰囲気となるようになっ
ている。19はシャッタで、シュータ16からパッケージ４
をシュータ17に移送するときに開放されるようになって
いる。なお、このシャッタ19は、外気と触れないように
カバー20で包まれており、さらにカバー20内には管21を
介してN2ガスが供給されている。なお、供給ガスとして
は、N2ガスの他にドライエアーなどの低露点ガスを用い
ることができる。22は分類シュータで、シュータ17から
移送されたパッケージ４を測定部15の結果に基づいて、
良品，不良品等に分類してシュータ23に移送するように
なっている。なお、ピン24は、分類シュータ22がガイド
25にそってスライドする時に、パッケージ４が落下しな
いように突出自在となっている。シュータ23は、アンロ
ーダ部26にパッケージを移送するシュータで、このアン
ローダ部26にて、パッケージ４は分類された状態で収納
されている。
ラーの概略全体図、第２図Ａは第１図におけるIIの拡大
断面図、第２図Ｂは第２図Ａの一部拡大図、第３図は第
１図におけるIIIの拡大断面図、第４図は第３図を矢印
方向から見た一部拡大図、第５図はシュータの説明図で
ある。図において、１はローダ部で試料が入ったマガジ
ン２が多数収納されている。３は傾斜台で、マガジン２
を一定の角度に傾斜させて、LCCパッケージ（以下パッ
ケージ）４をシュータ５に移送するようになっている。
ピン６及び７は、その突出や引っ込み動作によりパッケ
ージ４を１個づつ振り分けシュータ８に移送できるよう
になっている。前記振り分けシュータ８は、第２図Ｂ
（および第５図）に示すごとく、振り分けシュータ８の
底壁内部に中空部10a（および10）を有し、その中空部1
0aから振り分けシュータ８の内壁底面に連通するガス噴
出孔11b（および11）が多数設けられている。12は紙面
垂直方向に並列に複数配置された貯蔵シュータであり、
振り分けシュータ８を貯蔵シュータ12の並列方向に移動
させて、パッケージ４を振り分けて貯蔵シュータ12に移
送している。なお、シューター13は、パッケージ４を貯
蔵シュータ12に送り込む時に開放されるようになってい
る。この貯蔵シュータ12の周囲は測定温度、例えば−65
℃の低温雰囲気に設定することができるようになってい
る。14は前記貯蔵シュータ12からパッケージ14を一個づ
つ受け取り、測定部15に移送することができる測定部移
送用のシュータである。測定部15にて測定を終えたパッ
ケージ４は、シュータ16を介して第４図に示すように並
列に配設したシュータ17に移送される。このシュータ17
には、底壁内部に中空部10bが設けられ、その中空部10b
から内壁底面にガス導入孔11bが連通して配設されてい
る。このガス導入孔11からN2ガスを供給してパッケージ
４が、シュータ17に移送された時やピン18により静止し
ているとき、その周囲がN2ガス雰囲気となるようになっ
ている。19はシャッタで、シュータ16からパッケージ４
をシュータ17に移送するときに開放されるようになって
いる。なお、このシャッタ19は、外気と触れないように
カバー20で包まれており、さらにカバー20内には管21を
介してN2ガスが供給されている。なお、供給ガスとして
は、N2ガスの他にドライエアーなどの低露点ガスを用い
ることができる。22は分類シュータで、シュータ17から
移送されたパッケージ４を測定部15の結果に基づいて、
良品，不良品等に分類してシュータ23に移送するように
なっている。なお、ピン24は、分類シュータ22がガイド
25にそってスライドする時に、パッケージ４が落下しな
いように突出自在となっている。シュータ23は、アンロ
ーダ部26にパッケージを移送するシュータで、このアン
ローダ部26にて、パッケージ４は分類された状態で収納
されている。
（１） 測定部の後段に、試料を低露点ガスまたは水分
をほとんど含まないようなガス雰囲気で移送できうる移
送機構を設けることにより、試料等に水分が結露するこ
とを防止できるので、試料の移送をスムースに行なうこ
とができるという効果が得られる。
をほとんど含まないようなガス雰囲気で移送できうる移
送機構を設けることにより、試料等に水分が結露するこ
とを防止できるので、試料の移送をスムースに行なうこ
とができるという効果が得られる。
（２） 測定部の後段に、試料を低露点ガスまたは水分
をほとんど含まないような、ガス雰囲気で移送できうる
移送機構を設けることにより、試料の移送が確実に行な
うことができるので、試料の移送不良による測定の遅延
を生じることはないという効果が得られる。
をほとんど含まないような、ガス雰囲気で移送できうる
移送機構を設けることにより、試料の移送が確実に行な
うことができるので、試料の移送不良による測定の遅延
を生じることはないという効果が得られる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例にもとづき
具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。たとえば、低温・高温
兼用のハンドラや、ヂュアル・インライン・パッケージ
用，フラットパッケージ用等のハンドラに本発明を適用
してもよい。また、ガス噴出孔の位置・形状・大きさ・
個数等は種々に変更でき、また中空体を設ける位置も、
シュータを構成する側壁内部に設けるようにしてもよ
い。
具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。たとえば、低温・高温
兼用のハンドラや、ヂュアル・インライン・パッケージ
用，フラットパッケージ用等のハンドラに本発明を適用
してもよい。また、ガス噴出孔の位置・形状・大きさ・
個数等は種々に変更でき、また中空体を設ける位置も、
シュータを構成する側壁内部に設けるようにしてもよ
い。
また、第６図に示すように、測定部の後段のシュータを
箱状体27で囲い、その箱状体に管28にて低露点ガスや水
分をほとんど含まないガスを供給して、試料やシュータ
に水分が結露しないようにしてもよい。
箱状体27で囲い、その箱状体に管28にて低露点ガスや水
分をほとんど含まないガスを供給して、試料やシュータ
に水分が結露しないようにしてもよい。
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野である半導体装置のハンド
ラに適用した場合について説明したが、それに限定され
るものではなく、たとえば、軽量な物体を低温で処理す
るような条件のものには適用することができる。
をその背景となった利用分野である半導体装置のハンド
ラに適用した場合について説明したが、それに限定され
るものではなく、たとえば、軽量な物体を低温で処理す
るような条件のものには適用することができる。
第１図は、本発明の一実施例であるハンドラ、 第２図Ａは第１図におけるIIの拡大断面図、 第２図Ｂは振り分けシュータの拡大図、 第３図は第１図におけるIIIの拡大断面図、 第４図は第３図を矢印方向から見た一部拡大図、 第５図及び第６図はシュータの説明図、第６図は他の実
施例を示す斜視図である。 １……ローダ部、２……マガジン、３……傾斜台、４…
…LCCパッケージ、5,16,17,23……シュータ、6,7,9,18,
24……ピン、８……振り分けシュータ、10,10a,10b……
中空部、11,11a,11b……ガス噴出孔、12……貯蔵シュー
タ、13,19……シャッタ、14……測定部移送シュータ、1
5……測定部、20……カバー、21……管、22……分類シ
ュータ、25……ガイド、26……アンローダ部、27……箱
状体、28……管。
施例を示す斜視図である。 １……ローダ部、２……マガジン、３……傾斜台、４…
…LCCパッケージ、5,16,17,23……シュータ、6,7,9,18,
24……ピン、８……振り分けシュータ、10,10a,10b……
中空部、11,11a,11b……ガス噴出孔、12……貯蔵シュー
タ、13,19……シャッタ、14……測定部移送シュータ、1
5……測定部、20……カバー、21……管、22……分類シ
ュータ、25……ガイド、26……アンローダ部、27……箱
状体、28……管。
Claims (3)
- 【請求項１】半導体装置を供給するローダ部と、前記半
導体装置を収納するアンローダ部と、ローダ部とアンロ
ーダ部との間に設けられた半導体装置の低温特性を測定
する測定部とを具備し、アンローダ部或いはローダ部と
測定部とを各々移送機構で連絡したハンドラであって、
前記測定部とアンローダ部との間に設けられた移送機構
のシュータを構成する壁面に、低露点ガスまたは水分を
ほとんど含まないガスを供給するガス噴出孔を設け該ガ
スの雰囲気中で半導体装置を移送することを特徴とする
ハンドラ。 - 【請求項２】前記移送機構は、シュータと、前記シュー
タを囲む箱状体と、その箱状体に前記ガスを供給するた
めの管を設けてあることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載のハンドラ。 - 【請求項３】前記ガスは窒素ガスまたはドライエアーで
あることを特徴とする特許請求の範囲第１項または第２
項に記載のハンドラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58146356A JPH073919B2 (ja) | 1983-08-12 | 1983-08-12 | ハンドラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58146356A JPH073919B2 (ja) | 1983-08-12 | 1983-08-12 | ハンドラ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6038899A JPS6038899A (ja) | 1985-02-28 |
| JPH073919B2 true JPH073919B2 (ja) | 1995-01-18 |
Family
ID=15405857
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58146356A Expired - Lifetime JPH073919B2 (ja) | 1983-08-12 | 1983-08-12 | ハンドラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH073919B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62185614A (ja) * | 1986-02-10 | 1987-08-14 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | Ｉｃハンドラのジヤム解除機構 |
| JPS62147609U (ja) * | 1986-03-12 | 1987-09-18 | ||
| JPS6358768U (ja) * | 1986-10-03 | 1988-04-19 | ||
| JP4737957B2 (ja) * | 2004-09-02 | 2011-08-03 | ユニバーサル特機株式会社 | 電磁弁制御式舵取機 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53166852U (ja) * | 1977-06-03 | 1978-12-27 | ||
| JPS587710U (ja) * | 1981-07-07 | 1983-01-19 | のむら産業株式会社 | 色彩選別機 |
-
1983
- 1983-08-12 JP JP58146356A patent/JPH073919B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6038899A (ja) | 1985-02-28 |
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