JPH0740021B2

JPH0740021B2 - 超音波探傷装置

Info

Publication number: JPH0740021B2
Application number: JP1204203A
Authority: JP
Inventors: 幸男有馬; 徹宮田; 一秀関; 裕章柳本
Original assignee: Hitachi Construction Machinery Co Ltd
Current assignee: Hitachi Construction Machinery Co Ltd
Priority date: 1989-08-07
Filing date: 1989-08-07
Publication date: 1995-05-01
Anticipated expiration: 2010-05-01
Also published as: JPH0367163A

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］この発明は、超音波探傷装置に関し、さらに詳しくは、
セラミック、複合材料等の素材、その他の新素材の欠陥
探傷をはじめとして、半導体等の電子部品の各種の検査
を超音波を用いて行う場合において、その傷とか欠陥に
ついて被検体（前記の材料、部品等）の内部状態が全体
との関係で明瞭に把握できるような超音波探傷装置に関
する。

［従来の技術］超音波探傷装置は、セラミック、複合材料等の素材，電
子部品等の欠陥検査をはじめとして、これらの相互比
較、熱処理、引張，圧縮，加圧，減圧等の種々の処理を
行った後の状態検査など、材料，電子部品に対する種々
の試験に利用される。

この種の超音波探傷装置としては、X,Y,Z座標内で被検
体を走査するXYZ走査装置（又はスキャナ）を備えてい
て、材料，電子部品等の被検体の状態をＣスキャンし、
そのＣスコープ像を得て、得た画像を観測又はデータ処
理することで検査が行なわれる。

この種の検査では、被検体としての検査部品，検査材料
等と欠陥との縦断面方向の状態を把握したいという要請
があって、Ｃスキャナ機能を備えた超音波探傷装置の中
にはＸ−Ｚスキャンが可能なものがある。

［解決しようとする課題］しかし、材料とか、電子部品の検査にあっては、単に欠
陥の位置とか、傷の状態にとどまらず、材料，部品の表
面とか、底面の外形から見た全体的な形状との関係から
欠陥位置とか状態、傷の関係等を把握することが必要に
なる。

しかし、前記の場合、Ｃスコープ像とＢスコープ像の測
定は、その走査条件や走査範囲を独立し、これらはそれ
ぞれ独立な測定モードとなっているので、部品の断面形
態が画面上に表示されたとしても前記のようなＢスコー
プ像を個別的に採ることでは、それは、単にある一部の
縦断面方向における欠陥等が分かるだけに過ぎない。そ
こで、従来では、測定されたＢスコープ像とＣスコープ
像とのそれぞれの像を見て検査員が頭脳でイメージして
被検体の全体像を把握しなければならず、被検体の外形
から見た欠陥や傷に対する全体的な関係が把握し難いも
のとなっている。したがって、検査効果がよくない。

この発明は、このような従来技術の問題点を解決するも
のであって、Ｂスコープ像をＣスコープ像との関連にお
いて測定し、表示することにより、材料，電子部品等の
被検体に対して全体と、傷とか欠陥との関係を被検体全
体との関係で把握し易く、効率のよい測定ができる超音
波探傷装置を提供することを目的とする。

［課題を解決するための手段］このような目的を達成するためのこの発明の超音波探傷
装置における特徴は、前記Ｃスコープ像をディスプレイ
に表示しているときに被検体の平面からみた走査領域の
各測定点の座標位置とディスプレイに表示される画面上
の各画素の座標位置とを設定されたＣスキャンの走査条
件に応じて対応付ける座標管理手段と、ディスプレイに
Ｃスコープ像が表示された状態でカーソルが画面上に表
示されているときにこのカーソルが位置する画素の座標
位置に基づき座標管理手段により管理されるこのカーソ
ルが位置する少なくともＹ方向の座標位置にプローブを
位置決めするプローブ位置決め手段と、測定されたＣス
コープ像を記憶するＣスコープ像記憶手段と、Ｂスコー
プ像がディスプレイに表示された状態でＣスコープ像の
表示指示を受けたときに、この表示指示に応じてＣスコ
ープ像記憶手段から測定されたＣスコープ像を読出して
それをディスプレイ上に画像表示する表示制御手段と、
Ｃスコープ像が表示されているときにＹ方向においてカ
ーソルにより特定の位置が選択されたときにカーソルの
座標位置に対応してプローブ位置決め手段により特定の
位置に位置決めされたプローブのＹ方向の座標位置にお
いてＢモード測定手段を動作させてＢスコープ像を表示
させるＢモード動作手段とを備え、Ｂスコープ像がディ
スプレイに表示された状態でＣスコープ像の表示指示を
受けたときに、この表示指示に応じて表示制御手段によ
り表示されたＣスコープ像の表示に対応してプローブの
座標位置又はカーソルの座標位置のいずれか一方を他方
に対応させてディスプレイ上にカーソルを表示するもの
である。

［作用］このように、Ｃスコープ像の表示状態でカーソルの位置
とプローブの位置とを連動させ、カーソルの位置決めに
よりＸ−Ｚスキャンする位置を選択し、Ｃスコープ像に
表示された欠陥の位置をＸ−ＺスキャンしてＢスコープ
像表示して確認し、また、元のＣスコープ像に戻り、別
の位置をＸ−ＺスキャンしてＢスコープ表示できるの
で、Ｃスコープ像に対応させてＢスコープ像を多数の箇
所で採取し、観察することができる。しかも、そのＸ−
Ｚスキャンの位置もカーソルと連動となっているので容
易に選択できる。

その結果、Ｃスコープ像との関係でＢスコープ像が効率
よく得られ、被検体に対して全体と、傷とか欠陥との関
係をその全体との関係で把握し易く、効率的な検査がで
きる。

［実施例］以下、この発明の一実施例について図面を参照して詳細
に説明する。

第１図は、この発明を適用した材料，部品等を検査する
ための画像処理のフローチャート、第２図は、この発明
を適用した材料，部品等を検査するためのＣスコープ画
像処理機能に加えてＢスコープ画像処理機能を有する超
音波探傷装置のブロック図、第３図は、表示画像とそれ
に対応するＣスキャンの説明図、第４図は、Ｃスコープ
像の表示画面の一例の説明図、第５図は、そのＸ−Ｙス
キャン位置設定をする場合の説明図、第６図は、Ｘ−Ｚ
スキャン状態の説明図、第７図は、その表示画面の説明
図である。

第２図において、20は、超音波探傷装置であって、XYZ
走査装置１と画像処理装置16とからなる。XYZ走査装置
１は、XYZ軸移動機構1aを有していて、画像処理装置16
からの制御信号に応じて、X,Y,Zの各軸が駆動される。
なお、X,Y,Zの各軸は、X,Y,Zの三次元の座標系における
各軸に対応していて、プローブ３をその軸の方向に直接
移動するための基準軸である。

XYZ軸移動機構1aの下側には、水槽４が配置されてい
て、水槽４には媒質4a（媒質として例えば水）が満たさ
れ、被検体２（例えば、セラミックス材料とか電子部
品）がこの媒質4aの中に浸漬され、取付け部材4bを介し
て水槽４の中で取付けられている。

一方、プローブ３は、XYZ軸移動機構1aのＺ軸移動部21
に固定され、このＺ軸移動部21がＸ及びＹ軸移動部22に
支承され、プローブ３がX,Y,Z方向に移動可能となって
いる。

画像処理装置16は、プローブ３に送信パルス信号を送出
し、これから超音波エコーの受信信号を受ける、プロー
ブ３に接続されたパルサ・レシーバ５と、このパルサ・
レシーバ５によって増幅又は減衰したエコー受信信号に
ゲートを設け、ゲート内の受信超音波エコーの強度に合
ったアナログ出力を得、エコー受信信号をモニタリング
するオシロスコープ６、同様に、パルサ・レシーバ５か
らのエコー受信信号に対してゲートを設けて特定のエコ
ー受信信号を選択するゲート回路７、ゲート回路７によ
り選択されたエコー受信信号（アナログ出力信号）のピ
ーク値をとるピークディテクタ９と、そのピーク値信号
をデジタル信号に変換して演算処理装置10に送出するA/
D変換器８と、A/D変換器８の出力信号に対して所定の演
算処理する演算処理装置10等とを備えている。

ここで、演算処理装置10は、マイクロプロセッサ10aと
メモリ10bとを有していて、メモリ10bには、XYZ走査装
置１の各軸をＸ−Ｚスキャン制御するＸ−Ｚスキャン制
御プログラム23aと、各軸をＣスキャン制御するＣスキ
ャン制御プログラム23bと、プローブ位置設定プログラ
ム23c、送信パルス信号及び各エコー受信信号のデータ
からこれらの信号間の時間間隔を算出する時間計測プロ
グラム23d、走査座標表示座標管理プログラム23e、そし
て表示状態制御プログラム23f等とが記憶され、さら
に、測定された画像データ等を記憶する画像データ記憶
部23gと測定条件や入力された走査条件を採取された画
像対応に記憶し、最新カーソル位置等を記憶する各種デ
ータ記憶領域23h等とを有している。また、キーボード1
1から入力される探傷データ及び画像処理データに関す
るその他の各種のデータもメモリ10bに記憶される。

一方、マイクロプロセッサ10aは、メモリ10bに記憶され
たこれらのデータと各種の処理プログラムに基づき、所
定の演算処理を行い、探傷結果に相当するＣモード動作
における画像データ（Ｃスコープ像）を生成するととも
に、モータコントローラ15に対して位置制御データを送
出してXYZ方向の位置制御を行う。また、マイクロプロ
セッサ10aは、キーボード11から入力された各種のデー
タ及び現在の制御状態のデータ、そして表示状態をCRT
ディスプレイ14に送出して表示する処理を行う。

キーボード11は、そのキーによりＣモード動作,Bモード
動作の測定状態或はこれらの表示状態の選択的な設定、
画像処理データ、走査範囲等のデータ等を入力するもの
であり、マイクロプロセッサ10aは、これらのデータを
受けてメモリ10bにこれらのデータを一旦記憶する。

画像入出力装置12は、演算処理装置10より伝送されたデ
ータを画像データとして記憶し、そのデータをＣスコー
プ像又はＢスコープ像としてディスプレイ13に送出して
表示する処理を行う。さらに、表示画面上のカーソル位
置の割出しを行い、演算処理装置10にそのデータを転送
する。

モータコントローラ15は、演算処理装置10からの位置制
御データに従って、XYZ走査装置１を制御するものであ
って、XYZの各軸に沿ってプローブ３を所定量移動させ
る駆動信号をXYZ軸移動機構1aの各軸に供給する。

さて、被検体２は、ここでは、第３図に見るように、そ
の平面から見て四角い形状の材料又は電子部品であっ
て、例えば、ここでＸ方向をその横方向に、Ｙ方向をそ
の縦の方向に採るとすると、走査座標表示座標管理プロ
グラム23eは、このX,Yに従って被検体２をプローブ３に
より走査する走査領域（キーボード11により入力された
データで設定された領域）及びＸ方向,Y方向の測定ピッ
チ等の走査条件に応じてディスプレイ13の画面の各画素
（画面上の各ドット）の表示位置が測定ピッチで決定さ
れる各測定位置に対応するように走査領域の座標と画面
上の座標（実際には画面メモリの座標に相当）のそれそ
れの座標を管理する。

その対応付けは、Ｃスコープ像表示状態において行わ
れ、例えば、キーボード11からのＣモードを指定する機
能キーとＣスキャンにおける走査領域が決定されたとき
に、或はＣスコープ像表示を指示する機能キーが入力さ
れたときに、走査領域（又は測定領域）を表示画面に対
応する画素数の画面メモリの各ドット記憶位置に対応さ
せることで、各走査ピッチを算出し、或は指定された測
定ピッチから逆に対応する走査領域に対応する画素領域
を割出して表示画像の各画素が走査領域の各測定位置に
対応するように管理するものである。

具体的には、表示画面のホームポジション（又は表示画
面の中心位置）と走査開始点（又は走査領域の中心位
置）とを一致させる。そして、例えば、画像入出力装置
12が十字カーソルを使用してカーソルの位置制御を表示
ドット対応（その縦×横をｎ×ｎとする通常のカーソル
位置対応でも可）の移動として制御している場合には、
横×縦のドットが250×240ドット構成（又は600×400ド
ット構成）等の画面において、走査ピッチで決定される
各測定位置座標（走査領域におけるプローブのX,Yアド
レス）と、画像入出力装置12から得られるカーソル位置
座標（その表示ドット対応で決定されるカーソルのX,Y
アドレス）とを設定された走査領域の範囲に応じて対応
付けして管理することである。

さらに、走査座標表示座標管理プログラム23eは、キー
ボード11からの指示によりカーソルが画面上に表示され
たときには表示された現在のカーソルアドレスを画像入
出力装置12から得て、プローブ位置設定プログラム23c
を起動する。そして、プローブ位置設定プログラム23c
がカーソルアドレスを画像入出力装置12から得たカーソ
ルの座標位置に対応する走査領域の座標位置にプローブ
３を位置付けてプローブ３の座標とカーソルの座標位置
とを一致するようにプローブ３を位置決め制御する。

この種のプローブの位置座標と画面のカーソル位置座標
との連動管理については、特開昭62第240856号に開示さ
れて公知であるのでその詳細は割愛する。

表示状態制御プログラム23fは、キーボード11からのキ
ー入力によりＢスコープ像が選択されたとき、或は、Ｂ
モード動作が選択されたときには、表示状態をＣスコー
プ像からＢスコープ像表示へと切換え、逆に、キー入力
によりＣスコープ像が選択されたとき、或は、Ｃモード
動作が選択されたときには、表示状態をＢスコープ像或
は他の表示状態からＣスコープ像表示へと切換える。さ
らに、キー入力によりＣスコープ像が選択されたときに
はＣスコープ像とともにその測定条件としてＣモード設
定のときに入力されて記憶されている走査領域の中心座
標をカーソルの位置座標として読出してそれを画像入出
力装置12へと転送してその座標位置にカーソルを表示
し、かつ、プローブ位置設定プログラム23cを起動して
読出した前記の中心座標位置に対応する位置にプローブ
３を位置付けてプローブ３をカーソルの座標位置に対応
させる位置決め制御をする。

Ｃスキャン制御プログラム23bは、キーボード11上の所
定のキー入力によりＣモード動作が選択されたときに演
算処理装置10がＣモード測定状態に設定されて起動され
る。このモードのときには、演算記憶装置10は、Ｃスキ
ャン制御プログラム23bとを起動するとともに、ゲート
回路７とA/D変換器８、そしてＣスキャン制御プログラ
ム23bの処理に従って表示状態制御プログラム23fのプロ
グラムを起動する。

なお、前記のＢモードが選択されたときには、Ｃスコー
プ像表示状態における最新のカーソルの位置座標（その
表示ドット対応のＸアドレス,Yアドレス）を画像入出力
装置12から得て、それをＣスキャンして得たＣスコープ
像の測定データに対応して記憶するようにし、Ｃスコー
プ像表示に戻ったときに、この最新の位置にカーソルを
合わせ、かつ、プローブ３を対応して合わせるようにし
てもよい。

Ｃスキャン制御プログラム23bは、第３図に示すよう
に、入力された走査条件に応じてＸ方向に設定されたピ
ッチで１ピッチごと１ライン走査を行い、その後、Ｙ方
向に１ピッチ送られて同様な１ライン走査をするＣスキ
ャンを行う。この場合の測定範囲（Ｘ方向の長さlxとＹ
方向の長さlv）と走査条件（測定ピッチを画素対応とす
る、或はｎ×ｎ画素対応でも可）等の測定条件は、キー
ボード11から入力されてメモリに記憶され、先の走査座
標表示座標管理プログラム23eによりカーソル移動位置
と対応付けて管理されているものである。

そこで、このＣモードではＣスキャン制御プログラム23
bの実行により、第３図に示されるように、XYZ走査装置
１を制御して測定条件に従ってＣスキャンが行われ、A/
D変換器８から測定データを受けてそれが画像データと
して処理されて画像データ記憶部23gに記憶される。さ
らに、その画像データが画像入出力装置12に送られてＣ
スコープ像として表示される。

キーボード11上の対応するキー入力によりＢモード動作
が選択されると、演算処理装置10がＢモード測定状態に
設定される。このとき演算記憶装置10は、Ｘ−Ｚスキャ
ン制御プログラム23aを起動し、Ｘ−Ｚスキャン制御プ
ログラム23aの処理に従って時間計測プログラム23dと表
示状態制御プログラム23fの各プログラムを起動する。

Ｘ−Ｚスキャン制御プログラム23aは、キーボード11か
ら入力された測定範囲（Ｘ方向の長さlx、Ｚ方向の長さ
lz,Z方向の測定ピッチPz、なお、Ｙ方向は画像入出力装
置12から得られるカーソル位置として指定される）に従
ってXYZ走査装置１を制御して前記の測定条件に従って
Ｘ−Ｚスキャンを行い、測定データをピークディテクタ
９から受けて画像データとして処理して画像データ記憶
部23gを記憶するとともに、画像入出力装置12に送って
Ｂスコープ像を表示する処理をする。なお、ここでは、
プローブ３は、焦点型のプローブを使用し、プローブを
Ｘ−Ｚ移動させてＸ−Ｚスキャンを行うが、非焦点型プ
ローブ又は長焦点型プローブを使用するときは、プロー
ブをＺ方向に移動させずにゲートを測定ピッチに従って
Ｚ方向に移動させてＸ−Ｚスキャンをしてもよい。

このＢモードではＸ−Ｚスキャン制御プログラム23aの
実行により、第６図に見るようにプローブ３を被検体２
に対してＸ−Ｚスキャンして縦断面像を採取する制御に
移る。なお、図中、F₁,F₂は、探傷される欠陥である。
各測定位置において深さ方向に対応するエコー受信信号
のデジタル信号によって送信パルス信号Ｔのトリガから
表面エコーのエコー受信信号Ｓまでの時間、及び表面エ
コーのエコー受信信号Ｓから欠陥エコーのエコー受信信
号Ｆまでの時間、表面エコーのエコー受信信号Ｓから底
面エコーのエコー受信信号Bsまでの時間がＸ−Ｚスキャ
ンの各探傷ピッチごとに演算する処理が時間計測プログ
ラム23dにより順次行われ、それぞれの時間データが測
定点対応に画像データ記憶部23gに記憶される。なお、
この場合、先に記憶したＣスコープ像の画像データの記
憶領域がなければ、外部記憶装置にＣスコープ像の画像
データを待避させてからＢスコープ像の画像データが記
憶される。

画像データ記憶部23gに記憶されたＸ−Ｚスキャンのデ
ータは、表示状態制御プログラム23fに従って第７図に
見るようにＢスコープ像としてディスプレイ13上に表示
される。

次に、第１図に従って演算処理装置10のＣモード動作と
Ｂモード動作、そしてそれぞれの表示状態の切換えとの
切換えを中心に超音波探傷装置20の全体的な処について
説明する。

まず、ステップにおいて、キーボード11の特定の機能
キーを入力してＣモード動作の設定する。次にステップ
において演算処理装置10は、Ｃスキャン制御プログラ
ム23bを起動して、第３図に示すようにプローブ３を被
検体２に対して、表示ドットに対応するある走査ピッチ
Ｃスキャンを行い、ゲートをかけて、パルサ・レシーバ
5,ゲート回路7,A/D変換器８を介して、各探傷ピッチに
おけるＣスキャンに対応してゲート位置の欠陥エコーの
受信信号を得る。このようにしてＣモードに対応するＣ
スコープ像を得て、それを画像データ記憶部23gに記憶
するとともに、画像入出力装置12へと送り、第４図に示
すような画像をディスプレイ13上にＣスコープ像として
表示する。なお、第４図において、25は欠陥の映像を示
すものであり、26は被検体２の平面から見た外形映像で
ある。この場合、走査範囲は、被検体１をカバーしてい
るが、その一部の領域であってもよい。

次のステップにおいて、カーソル表示キーをキーボー
ド11から入力して、第４図に示されるように、十字カー
ソルＫを表示し、このカーソルＫを移動して、第５図に
示すように、カーソルＫを移動して、Ｘ−Ｚスキャンす
るＹ座標の位置に設定する。なお、このときのプローブ
３もこのカーソルの移動に対応してその座標が移動して
走査領域上の対応するＹ座標（＝カーソルと同じＹ座
標）に設定される。また、このときカーソルは、十字カ
ーソルのままであっても、第５図に示すようにカーソル
表示をＸ−Ｚスキャンに合わせて直線カーソルに切換え
て図示するようにしてもよい。そして、ステップにて
キーボード11から測定条件を入力して（あらかじめ入力
されていれば不要）Ｂモード動作に設定する特定の機能
キーを入力する。その結果、演算処理装置10によりＸ−
Ｚスキャン制御プログラム23aが起動されて、プローブ
３が走査領域のうちの測定開始位置に位置決めされてデ
ィスプレイ13上に表示されたカーソルＫのＹ座標の位置
において走査領域をＸ方向に左から右へと入力された走
査条件でＸ−Ｚスキャン（第３図のＣスキャンと走査方
向も同じ）が開始しされる。このときには、パルサ・レ
シーバ5,A/D変換器８を介して、デジタル化されたエコ
ー受信信号に対応するデータを演算処理装置10が受け
る。

なお、このとき最新のカーソルの位置座標を記憶する場
合には、表示状態制御プログラム23fが起動され、Ｃス
コープ像表示状態における最新のカーソルの位置座標
（その表示ドット対応のＸアドレス,Yアドレス）をＣス
キャンして得たＣスコープ像の測定データに対応してデ
ータ領域23hに記憶する。

次のステップにて、演算処理装置10は、Ｘ−Ｚスキャ
ンの各探傷ピッチごとに、表示ドットに対応して各ピッ
チ１〜ｎに対応して表面エコーのエコー受信信号Ｓまで
の時間、そして各欠陥ごとのエコー受信信号Ｆまでの時
間、底面エコーのエコー受信信号Bsまでの時間を順次メ
モリ10bに記憶する。

そして、ステップにて、各探傷ピッチ間の表面エコー
と底面エコーの各データに対応して表面及び底面を線で
結ぶように演算処理を行って、表面状態情報及び底面状
態情報を生成する。そして、これらの表示情報を加えて
Ｂスコープ像の欠陥データを画像入出力装置12に転送す
る。そこで、ディスプレイ13上に第７図に示すようなＢ
スコープ像が表示される。なお、このＢスコープ像は、
Ｘ−ＺスキャンしたＹ座標情報とともに画像データ記憶
部23gに記憶し、さらに、先に記憶したＢスコープ像の
画像データの記憶領域がなければ、外部記憶装置にＢス
コープ像の画像データを記憶して必要に応じて読出すよ
うにしてもよい。

このようにすれば、後からそのＹ座標でＢスコープ像を
いつでも読出して表示することができる。

次に、ステップにて、Ｃスコープ表示か否かの判定待
ちループに入る。ここで、Ｃスコープ表示キーが入力さ
れると、表示状態制御プログラム23fが起動されてこれ
により表示状態がＢスコープ像からＣスコープ像表示へ
と切換えられる。このとき先に表示した第４図のＣスコ
ープ像がメモリ10b又は外部記憶装置から読出されて表
示される。このとき、カーソルＫの表示位置がＣスキャ
ンの際の測定中心座標とされて読出され、その位置にカ
ーソルが表示される。また、プローブ位置設定プログラ
ム23cを起動し、このカーソルＫの位置座標に従ってプ
ローブ３を対応する座標に位置付けてプローブ３とカー
ソルＫの座標とを一致させる。なお、最新のカーソル位
置を表示する場合には記憶されたカーソル座標が読出さ
れる。

そして、ステップにて処理終了か否かの判定をして終
了でないときには、ステップの処理へと戻り、同様な
処理を繰り返す。また、処理が終了したときには、次の
測定か、他の処理へと移行する。

このように、Ｃスコープ像を表示している状態でＣスコ
ープ像の任意の位置でＢモード動作でＸ−Ｚスキャンを
行ってＢスコープ像を得ることができ、Ｂスコープ像を
得ても元のＣスコープ像を再び戻ることができ、Ｃスコ
ープ像の表示状態において設定したＹ座標でいくつもＢ
スコープ像を得ることができる。また、これら得られた
Ｂスコープ像は、カーソルをそのＹ座標に合わせたと
き、特定のキー入力で読出せるようにすることもできる
ので、Ｃスコープ像をＢスコープ像との関係で把握する
ことが容易となり、被検体の状態が理解し易い。

以上説明してきたが、実施例では、Ｃスコープ像の表示
に戻ったときに、１つ前にＣスコープ表示された像の走
査領域の中心位置にカーソル位置とプローブとを位置決
めするようにしているが、これは、最新の位置やホーム
ポジション等の特定の位置にカーソルを表示し、それに
プローブを合わせるようにしてもよく、さらに、現在の
プローブのある位置を読込んでプローブの位置にカーソ
ル位置を合わせるように表示してもよい。

実施例では、表面エコーの受信信号及び底面エコーの受
信信号に基づき、表面状態情報及び底面状態情報を得て
いるが、これらはいずれか一方であってよく、これらの
端を直線で結んで被検体の外形表示をしてもよい。

［発明の効果］以上の説明から理解できるように、この発明にあって
は、Ｃスコープ像の表示状態でカーソルの位置とプロー
ブの位置とを連動させ、カーソルの位置決めによりＸ−
Ｚスキャンする位置を選択し、Ｃスコープ像に表示され
た欠陥の位置をＸ−ＺスキャンしてＢスコープ像表示し
て確認し、また、元のＣスコープ像に戻り、別の位置を
Ｘ−ＺスキャンしてＢスコープ表示できるので、Ｃスコ
ープ像に対応させてＢスコープ像を多数の箇所で採取
し、観察することができる。しかも、そのＸ−Ｚスキャ
ンの位置もカーソルと連動となっているので容易に選択
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明を適用した材料，部品等を検査する
ための画像処理のフローチャート、第２図は、この発明
を適用した材料，部品等を検査するためのＣスコープ画
像処理機能に加えてＢスコープ画像処理機能を有する超
音波探傷装置のブロック図、第３図は、表示画像とそれ
に対応するＣスキャンの説明図、第４図は、Ｃスコープ
像の表示画面の一例の説明図、第５図は、そのＸ−Ｚス
キャン位置設定をする場合の説明図、第６図は、Ｘ−Ｚ
スキャン状態の説明図、第７図は、その表示表面の説明
図である。１……XYZ走査装置、 1a……XYZ軸移動機構、２……被検体、３……プローブ、４……水槽、4a……媒質、５……パルサ・レシーバ、６……オシロスコープ、７……ゲート回路、８……A/D変換器、９……ピークディテクタ、10……演算処理装置、 11……キーボード、12……画像入出力装置、 13……ディスプレイ、14……CRTディスプレイ、15……
モータコントローラ、 16……画像処理装置、20……超音波探傷装置、 21……Ｚ軸移動部、22……Ｘ及びＹ軸移動部、 23a……Ｘ−Ｚスキャン制御プログラム、 23b……Ｃスキャン制御プログラム、 23c……プローブ位置設定プログラム、 23e……時間計測プログラム、 23d……走査座標表示座標管理プログラム、 23f……表示状態制御プログラム、 23g……画像データ記憶部。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者柳本裕章茨城県土浦市神立町650番地日立建機株式会社土浦工場内 (56)参考文献特開昭63−121748（ＪＰ，Ａ)

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被検体をＣスキャンして測定したＣスコー
プ像をディスプレイに表示するＣモード測定手段と、前
記Ｃスキャンした任意の一走査方向をＸ方向とし残りを
Ｙ方向とし前記Ｃスキャンした面に垂直な方向をＺ方向
としてＸ−Ｚスキャンして測定したＢスコープ像を前記
ディスプレイに表示するＢモード測定手段とを有し、こ
れら測定モードが選択できる超音波探傷装置において、
前記Ｃスコープ像をディスプレイに表示しているときに
前記被検体の平面からみた走査領域の各測定点の座標位
置と前記ディスプレイに表示される画面上の各画素の座
標位置とを設定されたＣスキャンの走査条件に応じて対
応付ける座標管理手段と、前記ディスプレイにＣスコー
プ像が表示された状態でカーソル画面上に表示されてい
るときにこのカーソルが位置する前記画素の座標位置に
基づき前記座標管理手段により管理されるこのカーソル
が位置する少なくとも前記Ｙ方向の座標位置に前記プロ
ーブを位置決めするプローブ位置決め手段と、測定され
たＣスコープ像を記憶するＣスコープ像記憶手段と、前
記Ｂスコープ像が前記ディスプレイに表示された状態で
前記Ｃスコープ像の表示指示を受けたときに、この表示
指示に応じて前記Ｃスコープ像記憶手段から前記測定さ
れたＣスコープ像を読出してそれを前記ディスプレイ上
に画像表示する表示制御手段と、前記Ｃスコープ像が表
示されているときに前記Ｙ方向において前記カーソルに
より特定の位置が選択されたときに前記カーソルの座標
位置に対応して前記プローブ位置決め手段により前記特
定の位置に位置決めされた前記プローブの前記Ｙ方向の
座標位置において前記Ｂモード測定手段を動作させて前
記Ｂスコープ像を表示させるＢモード動作手段とを備
え、前記Ｂスコープ像が前記ディスプレイに表示された
状態で前記Ｃスコープ像の表示指示を受けたときに、こ
の表示指示に応じて前記表示制御手段により表示された
前記Ｃスコープ像の表示に対応して前記プローブの座標
位置又は前記カーソルの座標位置のいずれか一方を他方
に対応させて前記ディスプレイ上に前記カーソルを表示
することを特徴とする超音波探傷装置。
【請求項２】前記Ｃスコープ像記憶手段は、前記測定さ
れたＣスコープ像とともに走査条件を記憶し、前記Ｂモ
ード動作手段は、前記Ｂモード測定手段の測定条件とし
て前記記憶された走査条件のうちの前記Ｘ方向の走査条
件に従ったＸ方向の走査をするＸ−Ｚスキャンを行うこ
とを特徴とする請求項１記載の超音波探傷装置。