JPH0740165Y2 - 欠陥検査装置 - Google Patents
欠陥検査装置Info
- Publication number
- JPH0740165Y2 JPH0740165Y2 JP1988098067U JP9806788U JPH0740165Y2 JP H0740165 Y2 JPH0740165 Y2 JP H0740165Y2 JP 1988098067 U JP1988098067 U JP 1988098067U JP 9806788 U JP9806788 U JP 9806788U JP H0740165 Y2 JPH0740165 Y2 JP H0740165Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detection
- image pickup
- image
- correction circuit
- defect inspection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Picture Signal Circuits (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 考案の目的； （産業上の利用分野） この考案は、シャドウマスク,CCD/LCD用カラーフィル
タ，プロジェクションスクリーン,VDTフィルタ,IC用フ
ォトマスク等の周期性パターンを有した工業製品の製造
工程に発する欠陥やムラを検査する欠陥検査装置に関す
る。
タ，プロジェクションスクリーン,VDTフィルタ,IC用フ
ォトマスク等の周期性パターンを有した工業製品の製造
工程に発する欠陥やムラを検査する欠陥検査装置に関す
る。
（従来の技術） 通常、被検査体を照射して撮像された撮像信号を検査情
報とすると、その撮像設定を構成する照明部には照射分
布の強度差異が現われたり、撮像装置の光電面に感度分
布があり、これらがシェーディングの問題として残され
ていた。又、このようなシェーディングや僅かな解像度
分布の相違があっても検出感度に関与するため、撮像領
域の全域に及ぶ均一な検査レベルでの検査は事実上困難
を極めていた。この結果、被検査体に関する局部によっ
ては検査レベルが過大になったり、或いは過小になった
りする感度ムラの問題を残していた。
報とすると、その撮像設定を構成する照明部には照射分
布の強度差異が現われたり、撮像装置の光電面に感度分
布があり、これらがシェーディングの問題として残され
ていた。又、このようなシェーディングや僅かな解像度
分布の相違があっても検出感度に関与するため、撮像領
域の全域に及ぶ均一な検査レベルでの検査は事実上困難
を極めていた。この結果、被検査体に関する局部によっ
ては検査レベルが過大になったり、或いは過小になった
りする感度ムラの問題を残していた。
（考案が解決しようとする課題） このような問題の解決に対し、照明ランプの位置調整か
ら照度分布の均一化を図る方法が行なわれている。しか
し、周期の大きなシェーディングは補正できても部分的
な感度変化への調整には困難があり、しかもその調整は
手間のかかるものであった。これは例えば撮像管で撮像
した場合、シェーディングや被写領域の解像度等の分布
が画面の４隅に於ける検出感度に対し、相乗的に感度低
下の方向を示す作用として働くことに起因する。この考
案はかかる事情よりなされたものであり、この考案の目
的は、検査装置の照明や撮像レンズに起因する不均一な
検出感度の分布をその原因となる撮像光源の投影照度の
明暗差や撮像部（或いは映像部）の有する曲率度等によ
る検出処理の結果を考慮した補正回路を検査装置に付加
し、補正することによって均一な検出感度を得て検査で
きるような欠陥検査装置を提供することにある。
ら照度分布の均一化を図る方法が行なわれている。しか
し、周期の大きなシェーディングは補正できても部分的
な感度変化への調整には困難があり、しかもその調整は
手間のかかるものであった。これは例えば撮像管で撮像
した場合、シェーディングや被写領域の解像度等の分布
が画面の４隅に於ける検出感度に対し、相乗的に感度低
下の方向を示す作用として働くことに起因する。この考
案はかかる事情よりなされたものであり、この考案の目
的は、検査装置の照明や撮像レンズに起因する不均一な
検出感度の分布をその原因となる撮像光源の投影照度の
明暗差や撮像部（或いは映像部）の有する曲率度等によ
る検出処理の結果を考慮した補正回路を検査装置に付加
し、補正することによって均一な検出感度を得て検査で
きるような欠陥検査装置を提供することにある。
考案の構成； （課題を解決するための手段） この考案は欠陥検査装置に関するもので、この考案の上
記目的は、照明された被検査体を撮像するための撮像装
置と、この撮像装置から得られる撮像信号の中央部より
も周辺部の検出レベルを増幅する変調シェーディング補
正回路と、該変調シェーディング補正回路により補正さ
れた撮像信号を一定の閾値分布と照合する画像処理装置
とを具え、均一な検出感度によって検査し、またさら
に、前記撮像信号の周辺部の検出レベルが前記画像処理
装置へのA/D変換レベルを越えないように制御する重畳
シェーディング補正回路を付加したり、あるいは画面の
小領域毎に予め所定の撮像条件で検出処理された閾値分
布を記憶してあるフレームメモリを前記画像処理装置に
設け、この閾値分布を撮像信号を処理した結果と照合す
るようにすることによって達成される。
記目的は、照明された被検査体を撮像するための撮像装
置と、この撮像装置から得られる撮像信号の中央部より
も周辺部の検出レベルを増幅する変調シェーディング補
正回路と、該変調シェーディング補正回路により補正さ
れた撮像信号を一定の閾値分布と照合する画像処理装置
とを具え、均一な検出感度によって検査し、またさら
に、前記撮像信号の周辺部の検出レベルが前記画像処理
装置へのA/D変換レベルを越えないように制御する重畳
シェーディング補正回路を付加したり、あるいは画面の
小領域毎に予め所定の撮像条件で検出処理された閾値分
布を記憶してあるフレームメモリを前記画像処理装置に
設け、この閾値分布を撮像信号を処理した結果と照合す
るようにすることによって達成される。
（作用） この考案は、欠陥検査装置の持つ不均一な検出感度に対
し補正を行なうものである。変調シェーディング補正回
路は画像処理装置が撮像信号を処理する前段階に中央部
よりも周辺部の検出レベルを増幅し、一定の閾値で均一
な感度で検出できるように働くものである。又、この際
周囲部の検出レベルがA/D変換の入力レベルを越えない
ように働かせるのが重畳シェーディング回路であり、こ
の重畳シェーディング補正回路は変調シェーディング補
正回路に対して制御回路の役割を持つが、通常の照度補
正の働きはこの考案では後の演算で相殺されるため無視
される。又、フレームメモリは検査条件となる閾値分布
が記憶されており、画素データを読出して画像データと
するもので、区分化した画面の小領域毎に決定される所
定の閾値を含有している。
し補正を行なうものである。変調シェーディング補正回
路は画像処理装置が撮像信号を処理する前段階に中央部
よりも周辺部の検出レベルを増幅し、一定の閾値で均一
な感度で検出できるように働くものである。又、この際
周囲部の検出レベルがA/D変換の入力レベルを越えない
ように働かせるのが重畳シェーディング回路であり、こ
の重畳シェーディング補正回路は変調シェーディング補
正回路に対して制御回路の役割を持つが、通常の照度補
正の働きはこの考案では後の演算で相殺されるため無視
される。又、フレームメモリは検査条件となる閾値分布
が記憶されており、画素データを読出して画像データと
するもので、区分化した画面の小領域毎に決定される所
定の閾値を含有している。
（実施例） 以下にこの考案の実施例を示す。
周期性パターンを有する工業製品の欠陥検査方法に関し
てはその一例が本出願人によって特開昭61−256237号の
第２図に示されているようなシャドウマスクパターンの
開口面積に異常がある場合の検査及びシャドウマスク全
体に光を照射したときに光が均一に透過せず、透過光に
ムラがある場合の検査として開示されており、この考案
ではそうした欠陥検査方法を補足する為の装置を示すも
のとする。
てはその一例が本出願人によって特開昭61−256237号の
第２図に示されているようなシャドウマスクパターンの
開口面積に異常がある場合の検査及びシャドウマスク全
体に光を照射したときに光が均一に透過せず、透過光に
ムラがある場合の検査として開示されており、この考案
ではそうした欠陥検査方法を補足する為の装置を示すも
のとする。
第１図はこの考案の欠陥検査装置の検出部の構成図であ
る。被検査体１はこれは照射する照明ランプ２と撮像用
として設けられたTVカメラ３によって所定の撮像条件を
得ている。TVカメラ３による撮像信号は重畳シェーディ
ング補正回路４を経て変調シェーディング補正回路５か
ら画像処理装置６へ送られる。このような構成によっ
て、被検査体１の撮像をTVカメラ３によって行い、これ
から得られた撮像信号に補正を加えるわけである。第２
図（Ａ）〜（Ｃ）及び（Ａ′）〜（Ｃ′）は、補正処理
の作用に関連した画面を示した（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）
の各図と、欠陥検査装置の検出系が持つ一定の閾値条件
に対する実際の検出感度との照合を（Ａ′），
（Ｂ′），（Ｃ′）として前記補正処理の作用の各々に
対応させた画面図とを示している。例えばTVカメラ３か
らの撮像信号を補正しない場合、通常第２図のように照
明ランプ２の照射分布によって被検査体１の中央部が周
辺部よりも明るくなり、しかも撮像レンズがシェーディ
ングや解像力に分布を有する等の理由によって検出感度
を関与するため、欠陥等による信号変化の様子は山形の
分布を呈する。従って、周辺部の欠陥Q1と中央部の欠陥
Q2を同程度の欠陥としても検出許容範囲を越えた検出レ
ベル間での差異を生じてしまい、第２図（Ａ′）のよう
に一定の閾値（同図中の点線域）に対して中央部の欠陥
Q2は検出され、周辺部の欠陥Q1が検出されなかったりす
る場合が起きる。そこで、周辺部の信号レベルを低下さ
せるために設けたのが重畳シェーディング補正回路４で
ある。第２図（Ｂ）は重畳シェーディング補正回路の作
用を示しているが、この考案では次に送られる変調シェ
ーディング補正回路５に対し、周辺部の信号レベルが画
像処理装置６内のA/D変換の入力レベルを超過するよう
な場合にのみ、これを制御して抑制する機能として働く
ものであり、常用されるような照度分布の補正に関して
は上記の画像処理装置６によるフレーム積分／減算の同
数回数の演算によって相殺され、作用しない。即ち、上
記の周辺部の信号レベルA/D変換の入力レベル範囲内に
収められるような場合には不要となる。また、この補正
が作用した場合であっても、第２図（Ｂ′）のように一
定の閾値に対する検出感度の補正には関与しないものと
なる。
る。被検査体１はこれは照射する照明ランプ２と撮像用
として設けられたTVカメラ３によって所定の撮像条件を
得ている。TVカメラ３による撮像信号は重畳シェーディ
ング補正回路４を経て変調シェーディング補正回路５か
ら画像処理装置６へ送られる。このような構成によっ
て、被検査体１の撮像をTVカメラ３によって行い、これ
から得られた撮像信号に補正を加えるわけである。第２
図（Ａ）〜（Ｃ）及び（Ａ′）〜（Ｃ′）は、補正処理
の作用に関連した画面を示した（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）
の各図と、欠陥検査装置の検出系が持つ一定の閾値条件
に対する実際の検出感度との照合を（Ａ′），
（Ｂ′），（Ｃ′）として前記補正処理の作用の各々に
対応させた画面図とを示している。例えばTVカメラ３か
らの撮像信号を補正しない場合、通常第２図のように照
明ランプ２の照射分布によって被検査体１の中央部が周
辺部よりも明るくなり、しかも撮像レンズがシェーディ
ングや解像力に分布を有する等の理由によって検出感度
を関与するため、欠陥等による信号変化の様子は山形の
分布を呈する。従って、周辺部の欠陥Q1と中央部の欠陥
Q2を同程度の欠陥としても検出許容範囲を越えた検出レ
ベル間での差異を生じてしまい、第２図（Ａ′）のよう
に一定の閾値（同図中の点線域）に対して中央部の欠陥
Q2は検出され、周辺部の欠陥Q1が検出されなかったりす
る場合が起きる。そこで、周辺部の信号レベルを低下さ
せるために設けたのが重畳シェーディング補正回路４で
ある。第２図（Ｂ）は重畳シェーディング補正回路の作
用を示しているが、この考案では次に送られる変調シェ
ーディング補正回路５に対し、周辺部の信号レベルが画
像処理装置６内のA/D変換の入力レベルを超過するよう
な場合にのみ、これを制御して抑制する機能として働く
ものであり、常用されるような照度分布の補正に関して
は上記の画像処理装置６によるフレーム積分／減算の同
数回数の演算によって相殺され、作用しない。即ち、上
記の周辺部の信号レベルA/D変換の入力レベル範囲内に
収められるような場合には不要となる。また、この補正
が作用した場合であっても、第２図（Ｂ′）のように一
定の閾値に対する検出感度の補正には関与しないものと
なる。
次の変調シェーディング補正回路５の働きが事実上のデ
ータ補正処理として作用するもので、第２図（Ｃ）とし
て示している。この変調シェーディング補正回路５は撮
像検出レベルに対し、所定の増幅率を作用させて周辺部
の検出レベルを引き上げ、中央部の検出レベルを抑制さ
せることによって、例えば周辺部の欠陥Q1と中央部の欠
陥Q2とが一定の閾値で同様に検出されるようになるもの
で、これを第２図（Ｃ′）に示している。
ータ補正処理として作用するもので、第２図（Ｃ）とし
て示している。この変調シェーディング補正回路５は撮
像検出レベルに対し、所定の増幅率を作用させて周辺部
の検出レベルを引き上げ、中央部の検出レベルを抑制さ
せることによって、例えば周辺部の欠陥Q1と中央部の欠
陥Q2とが一定の閾値で同様に検出されるようになるもの
で、これを第２図（Ｃ′）に示している。
このようにしてTVカメラ３からの撮像信号は画像処理装
置６でのA/D変換やフレーム積分／減算等の演算による
撮像処理及び検出処理を受ける前に均一な検出感度が得
られるように補正されるわけである。
置６でのA/D変換やフレーム積分／減算等の演算による
撮像処理及び検出処理を受ける前に均一な検出感度が得
られるように補正されるわけである。
（変形例） 上述の実施例での変調シェーディング補正回路５によっ
ても尚、補正しきれない場合に対処する別な方法があ
る。第３図（Ｂ）に示すように区分した画面の小領域毎
に予め所定の撮像条件に基づく閾値決定を行ない、これ
に記憶可能なフレームメモリを備えた画像処理装置６と
するものである。こうすることによって第３図（Ａ）の
ように画面内で閾値変化を行ない得るようになり、検査
処理上は周辺部の欠陥Q1も中央部の欠陥Q2も同様とみな
され、閾値決定によっては所望の検出感度も得られるよ
うになる。尚、実施例及び変形例で定めた閾値の決定は
あくまで凡例用としたものであって特に限定されるもの
ではない。
ても尚、補正しきれない場合に対処する別な方法があ
る。第３図（Ｂ）に示すように区分した画面の小領域毎
に予め所定の撮像条件に基づく閾値決定を行ない、これ
に記憶可能なフレームメモリを備えた画像処理装置６と
するものである。こうすることによって第３図（Ａ）の
ように画面内で閾値変化を行ない得るようになり、検査
処理上は周辺部の欠陥Q1も中央部の欠陥Q2も同様とみな
され、閾値決定によっては所望の検出感度も得られるよ
うになる。尚、実施例及び変形例で定めた閾値の決定は
あくまで凡例用としたものであって特に限定されるもの
ではない。
考案の効果； 以上のように、この考案によれば周期性パターンを有す
る工業製品の欠陥検査装置に関して、照明や撮像レンズ
等に起因する不均一な検出感度の問題を補正回路を用い
た手段により、極めて合理的に解決した欠陥検査装置を
実現している。精密製品の欠陥検査装置が呈示する検出
データは信頼性や正確性が高度に望まれるので、この考
案の達成した均一な検出感度による欠陥検査装置の意義
は大きく、所望の検出感度に設定できる点も実用性の高
い欠陥検査装置を提供できる。
る工業製品の欠陥検査装置に関して、照明や撮像レンズ
等に起因する不均一な検出感度の問題を補正回路を用い
た手段により、極めて合理的に解決した欠陥検査装置を
実現している。精密製品の欠陥検査装置が呈示する検出
データは信頼性や正確性が高度に望まれるので、この考
案の達成した均一な検出感度による欠陥検査装置の意義
は大きく、所望の検出感度に設定できる点も実用性の高
い欠陥検査装置を提供できる。
第１図はこの考案の一実施例を示す主要構成図、第２図
は検出結果を示す画像処理の画面図、第３図は他の実施
例を説明するための画面図である。 １……被検査体、２……照明ランプ、３……TVカメラ、
４……重畳シェーディング補正回路、５……変調シェー
ディング補正回路、６……画像処理装置。
は検出結果を示す画像処理の画面図、第３図は他の実施
例を説明するための画面図である。 １……被検査体、２……照明ランプ、３……TVカメラ、
４……重畳シェーディング補正回路、５……変調シェー
ディング補正回路、６……画像処理装置。
Claims (3)
- 【請求項１】照明された被検査体を撮像するための撮像
装置と、この撮像装置から得られる撮像信号の中央部よ
りも周辺部の検出レベルを増幅する変調シェーディング
補正回路と、該変調シェーディング補正回路により補正
された撮像信号を一定の閾値分布と照合する画像処理装
置とを具え、均一な検出感度によって検査することを特
徴とする欠陥検査装置。 - 【請求項２】前記撮像信号の周辺部の検出レベルが前記
画像処理装置へのA/D変換レベルを越えないように制御
する重畳シェーディング補正回路を付加した請求項１に
記載の欠陥検査装置。 - 【請求項３】前記画像処理装置に、小領域毎に予め所定
の撮像条件で検出処理された結果に対する閾値分布を記
憶したフレームメモリを設け、前記検出処理結果を前記
閾値分布と照合するようにした請求項１又は２に記載の
欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988098067U JPH0740165Y2 (ja) | 1988-07-25 | 1988-07-25 | 欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988098067U JPH0740165Y2 (ja) | 1988-07-25 | 1988-07-25 | 欠陥検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0220106U JPH0220106U (ja) | 1990-02-09 |
| JPH0740165Y2 true JPH0740165Y2 (ja) | 1995-09-13 |
Family
ID=31324002
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988098067U Expired - Lifetime JPH0740165Y2 (ja) | 1988-07-25 | 1988-07-25 | 欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0740165Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07104287B2 (ja) * | 1993-03-29 | 1995-11-13 | 東洋ガラス株式会社 | 曲面を有する透明物体の微小欠点検査方法 |
| JP4485904B2 (ja) * | 2004-10-18 | 2010-06-23 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 検査装置及び検査方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58144959U (ja) * | 1982-03-26 | 1983-09-29 | 日立電子株式会社 | シエ−デイング補正回路 |
| JPS60187189A (ja) * | 1984-03-06 | 1985-09-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | シエ−デイング補正回路 |
| JPS61132845A (ja) * | 1984-12-02 | 1986-06-20 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 表面欠陥検査装置 |
-
1988
- 1988-07-25 JP JP1988098067U patent/JPH0740165Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0220106U (ja) | 1990-02-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN115022610B (zh) | 一种线阵相机平场校正方法 | |
| TW201621297A (zh) | 可校正光源之檢測系統及其光源校正方 法 | |
| JP2003168103A (ja) | 画面の線欠陥検出方法及び装置並びに画像データの補正方法 | |
| JPH0740165Y2 (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JP3861551B2 (ja) | 外観検査における光学系の較正方法 | |
| JPH0629707B2 (ja) | 光切断線計測装置 | |
| JPH0792104A (ja) | 被検査物の不良個所検査方法 | |
| JPH08254499A (ja) | 表示・外観検査装置 | |
| JP3695374B2 (ja) | フォーカス調整装置およびフォーカス調整方法 | |
| JP2005140655A (ja) | シミ欠陥の検出方法及びその検出装置 | |
| WO2021053852A1 (ja) | 外観検査装置、外観検査装置の較正方法及びプログラム | |
| JP3584507B2 (ja) | パタンムラ検査装置 | |
| JP3675278B2 (ja) | 点欠陥検出装置及びその方法 | |
| JP3335503B2 (ja) | 透孔板の検査方法および検査装置 | |
| JP2936015B2 (ja) | 表面状態検査方法 | |
| JPS60207980A (ja) | 画像取込用装置および方法 | |
| CN113624129A (zh) | 一种尺寸测量仪的实时测量方法 | |
| JP3265003B2 (ja) | ブラウン管パネルの欠陥の検査装置およびブラウン管パネルの欠陥の検査修正装置 | |
| JP4893938B2 (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JPH01210807A (ja) | 塗膜平滑度自動検査装置 | |
| JP3214275B2 (ja) | 自動外観検査装置の感度補正方法 | |
| JPH0731131B2 (ja) | 周期性パタ−ンの斑検査方法 | |
| KR100465804B1 (ko) | 밝기왜곡보정시스템 및 밝기왜곡보정방법 | |
| JP3624073B2 (ja) | プラズマディスプレイ背面板の検査装置 | |
| JPH04362789A (ja) | 画像入力装置 |