JPH0742124B2 - 石英ガラスプレ−トの成形方法 - Google Patents
石英ガラスプレ−トの成形方法Info
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- JPH0742124B2 JPH0742124B2 JP17689585A JP17689585A JPH0742124B2 JP H0742124 B2 JPH0742124 B2 JP H0742124B2 JP 17689585 A JP17689585 A JP 17689585A JP 17689585 A JP17689585 A JP 17689585A JP H0742124 B2 JPH0742124 B2 JP H0742124B2
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- quartz glass
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- glass
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B23/00—Re-forming shaped glass
- C03B23/04—Re-forming tubes or rods
- C03B23/049—Re-forming tubes or rods by pressing
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B23/00—Re-forming shaped glass
- C03B23/04—Re-forming tubes or rods
- C03B23/055—Re-forming tubes or rods by rolling
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は石英ガラスプレートの成形方法に関するもので
ある。
ある。
［従来の技術］ 高純度で無欠点な合成石英ガラス大型プレートは、熱膨
張率が低く、光学特性、化学的耐久性に優れているた
め、ディスプレイ等の基板材料として期待されている。
張率が低く、光学特性、化学的耐久性に優れているた
め、ディスプレイ等の基板材料として期待されている。
合成石英ガラスの製造方法の１つとして従来より知られ
ている気相反応法による石英ガラスの製造方法は、バー
ナーから各種原料ガスを石英ガラス製造用種棒に流出さ
せ、珪素化合物を酸水素炎中で加水分解して、鉛直に懸
下された種棒を回転させながら、該種棒にシリカ粒子を
堆積させつつ順次成長させて多孔質母材を成長させ、こ
れを加熱処理しててガラス化する方法である。
ている気相反応法による石英ガラスの製造方法は、バー
ナーから各種原料ガスを石英ガラス製造用種棒に流出さ
せ、珪素化合物を酸水素炎中で加水分解して、鉛直に懸
下された種棒を回転させながら、該種棒にシリカ粒子を
堆積させつつ順次成長させて多孔質母材を成長させ、こ
れを加熱処理しててガラス化する方法である。
また、他の合成石英ガラスの製造方法として従来より知
られているベルヌーイ法による石英ガラスの製造方法
は、バーナーから各種原料ガスを供給し、酸水素炎等の
火炎中で加分解・ガラス化し、ターゲットのボール上に
堆積させてガラスインゴットを得る方法である。
られているベルヌーイ法による石英ガラスの製造方法
は、バーナーから各種原料ガスを供給し、酸水素炎等の
火炎中で加分解・ガラス化し、ターゲットのボール上に
堆積させてガラスインゴットを得る方法である。
前者の方法により製造される合成石英ガラスは、極めて
高純度でかつ無欠点であるが、その製造法上ほぼ円柱状
であり、通常最大５インチの直径程度である。
高純度でかつ無欠点であるが、その製造法上ほぼ円柱状
であり、通常最大５インチの直径程度である。
一方、従来の方法により製造される合成石英ガラスは、
通常円柱状であり、製造方法によっては、最大200mm〜3
00mm程度の径のものも得られるが、それ以上のものを製
造する事は、技術的に困難であり、また、大型化した場
合には、気泡等を完全に除く事が困難である。
通常円柱状であり、製造方法によっては、最大200mm〜3
00mm程度の径のものも得られるが、それ以上のものを製
造する事は、技術的に困難であり、また、大型化した場
合には、気泡等を完全に除く事が困難である。
［発明の解決しようとする問題点］ 従って前項に記載の、気相反応法による製造、ベヌーイ
法による製造、いずれの方法によっても、20インチ以上
の大型石英ガラスプレートを製造する事は困難であり、
これらの方法によって得られる高純度石英ガラスインゴ
ットを、加熱加圧処理等により成形加工する必要があ
る。以下高純度石英ガラスの円柱状ロッドを石英ガラス
ロッドまたはガラスロッドと書くことができる。
法による製造、いずれの方法によっても、20インチ以上
の大型石英ガラスプレートを製造する事は困難であり、
これらの方法によって得られる高純度石英ガラスインゴ
ットを、加熱加圧処理等により成形加工する必要があ
る。以下高純度石英ガラスの円柱状ロッドを石英ガラス
ロッドまたはガラスロッドと書くことができる。
従来この成形加工の方法として、石英ガラスロッドをカ
ーボン等で作られた成形容器中で1600〜1800℃に加熱
し、上部より加圧する事により成形する方法が知られて
いる（特開昭57-67031号、特開昭57-92528他）。しかし
これらの方法によって歩留りよく成形できる大きさには
限界があり、例えば直径４インチ、長さ0.5mのガラスロ
ッドを用いた場合には８インチ角ブロックにまで成形す
るのが限界であった。これは、成形の過程でロッドが変
形して行く際に、炉内の微妙な温度分布などにより、均
一な変形が進行しない為に発生すると考えられる、ロッ
ド外表面の巻込みによる気泡の発生が原因であった。
ーボン等で作られた成形容器中で1600〜1800℃に加熱
し、上部より加圧する事により成形する方法が知られて
いる（特開昭57-67031号、特開昭57-92528他）。しかし
これらの方法によって歩留りよく成形できる大きさには
限界があり、例えば直径４インチ、長さ0.5mのガラスロ
ッドを用いた場合には８インチ角ブロックにまで成形す
るのが限界であった。これは、成形の過程でロッドが変
形して行く際に、炉内の微妙な温度分布などにより、均
一な変形が進行しない為に発生すると考えられる、ロッ
ド外表面の巻込みによる気泡の発生が原因であった。
［問題点を解決するための手段］ 本発明は、前述の問題点を解決すべくなされたものであ
り、高純度石英ガラスの円柱状ロッドを高温下で成形し
て所望の形状のガラスプレートとするに際し、加熱炉内
でカーボンよりなる成形容器を用い、円柱状ロッドの軸
に対し垂直方向から加圧し加熱成形する事を特徴とする
石英ガラスプレートの成形方法を提供するものである。
り、高純度石英ガラスの円柱状ロッドを高温下で成形し
て所望の形状のガラスプレートとするに際し、加熱炉内
でカーボンよりなる成形容器を用い、円柱状ロッドの軸
に対し垂直方向から加圧し加熱成形する事を特徴とする
石英ガラスプレートの成形方法を提供するものである。
本発明において用いる石英ガラスロッドとしては、前述
した方法により製造された合成石英ガラスの円柱状ロッ
ドを必要な長さに切断し、有機溶媒及び10〜20％の弗酸
で処理し、ロッドに付着した有機及びSiO2以外の金属酸
化物が金属イオンを除去した後、さらに純水で洗浄，乾
燥したものを用いる事が好ましい。
した方法により製造された合成石英ガラスの円柱状ロッ
ドを必要な長さに切断し、有機溶媒及び10〜20％の弗酸
で処理し、ロッドに付着した有機及びSiO2以外の金属酸
化物が金属イオンを除去した後、さらに純水で洗浄，乾
燥したものを用いる事が好ましい。
これを第１図に示すような形状を有するカーボン、特に
グラファイトよりなる成形容器2,3内にセットし、上部
よりグラファイト製のおもり４を乗せて炉内に定置す
る。炉は、グラファイトヒーターによる抵抗加熱方式の
炉あるいは誘導加熱炉を用いる事が好ましい。
グラファイトよりなる成形容器2,3内にセットし、上部
よりグラファイト製のおもり４を乗せて炉内に定置す
る。炉は、グラファイトヒーターによる抵抗加熱方式の
炉あるいは誘導加熱炉を用いる事が好ましい。
本発明に用いる円柱状ガラスロッドは、第２図に示す如
く、あらかじめ研削を行ない加熱成形中にガラスロッド
が底板上をころがったりずれたりしないようにしておく
事が好ましく、その際の形状はロッドの直径d0に対し、
第２図におけるｄがd/d0＝0.9〜0.99の範囲である事が
好ましく、これ以上では、ガラスロッドが安定せず、ま
たこれ以下では研削シロが大きすぎ歩留りが低下するの
で好ましくない。さらに、このロッドを第１図の成形容
器内にセットするに際しては、第３図に示す如く、成形
後に得られるべき角状ガラスプレートの上面の相対する
２辺の中点を結ぶ直線を含む底板に垂直な平面内に被成
形物であるガラスロッド１の軸がほぼ含まれるようにガ
ラスロッドを横にねかせて設置する事が好ましい。例え
ばこれを底板の対角線上にガラスロッド１の軸が含まれ
るように設置した場合には、加熱成形中にガラスが流動
すべき距離が、ロッド中央部と端部とで大幅に異なる為
に、均一な成形体を得る事が困難となり好ましくない。
く、あらかじめ研削を行ない加熱成形中にガラスロッド
が底板上をころがったりずれたりしないようにしておく
事が好ましく、その際の形状はロッドの直径d0に対し、
第２図におけるｄがd/d0＝0.9〜0.99の範囲である事が
好ましく、これ以上では、ガラスロッドが安定せず、ま
たこれ以下では研削シロが大きすぎ歩留りが低下するの
で好ましくない。さらに、このロッドを第１図の成形容
器内にセットするに際しては、第３図に示す如く、成形
後に得られるべき角状ガラスプレートの上面の相対する
２辺の中点を結ぶ直線を含む底板に垂直な平面内に被成
形物であるガラスロッド１の軸がほぼ含まれるようにガ
ラスロッドを横にねかせて設置する事が好ましい。例え
ばこれを底板の対角線上にガラスロッド１の軸が含まれ
るように設置した場合には、加熱成形中にガラスが流動
すべき距離が、ロッド中央部と端部とで大幅に異なる為
に、均一な成形体を得る事が困難となり好ましくない。
また、成形容器の基本構成は第１図の如きものが好まし
いが、特に、第３図に示す如く、角状の底板及びこの底
板上に角柱状の成形室が形成されるように縦割型を複数
配設した構造がより好ましい。これは、被成形物である
石英ガラスと成形容器材質のグラファイトの熱膨張率
が、約１ケタ異なる為に加熱成形後、室温まで冷却する
過程で生ずる、ガラス中のビズミ及びクラック等を防止
する効果がある為である。また、特に1700℃以上での成
形を行なう場合には、時としてガラスとグラファイトと
が反応して付着してしまい、ガラスを破損する事がある
ので、その対策として成形容器内面をSiCで被覆してお
くとより効果的である。
いが、特に、第３図に示す如く、角状の底板及びこの底
板上に角柱状の成形室が形成されるように縦割型を複数
配設した構造がより好ましい。これは、被成形物である
石英ガラスと成形容器材質のグラファイトの熱膨張率
が、約１ケタ異なる為に加熱成形後、室温まで冷却する
過程で生ずる、ガラス中のビズミ及びクラック等を防止
する効果がある為である。また、特に1700℃以上での成
形を行なう場合には、時としてガラスとグラファイトと
が反応して付着してしまい、ガラスを破損する事がある
ので、その対策として成形容器内面をSiCで被覆してお
くとより効果的である。
本発明において、加熱成形する際の炉内雰囲気は、本発
明を限定する要素とはならないが、グラファイト抵抗加
熱炉を用い成形容器材質としてグラファイトを用いる場
合には、不活性雰囲気である必要があり、特にアルゴン
ないし、窒素雰囲気である事が好ましい。その他の不活
性ガス、例えば、ヘリウムなどでもよい。ただし、ヘリ
ウムは極めて高価な為に、経済性の面からは問題があ
る。
明を限定する要素とはならないが、グラファイト抵抗加
熱炉を用い成形容器材質としてグラファイトを用いる場
合には、不活性雰囲気である必要があり、特にアルゴン
ないし、窒素雰囲気である事が好ましい。その他の不活
性ガス、例えば、ヘリウムなどでもよい。ただし、ヘリ
ウムは極めて高価な為に、経済性の面からは問題があ
る。
また、本発明において採用される成形温度は被成形物で
ある石英ガラスロッドの粘により一概には決まらない
が、おおむね、1600〜1800℃の範囲が好ましい。これよ
り低温の場合には、石英ガラスの失透が激しく、また高
粘度のため、実際的には成形を行なう事が出来ず、ま
た、これより高温の場合には石英ガラスからのSiO2の飛
散が激しく、歩留の低下及び炉の損傷を来たすので好ま
しくない。
ある石英ガラスロッドの粘により一概には決まらない
が、おおむね、1600〜1800℃の範囲が好ましい。これよ
り低温の場合には、石英ガラスの失透が激しく、また高
粘度のため、実際的には成形を行なう事が出来ず、ま
た、これより高温の場合には石英ガラスからのSiO2の飛
散が激しく、歩留の低下及び炉の損傷を来たすので好ま
しくない。
また、被成形物であるガラスロッドの大きさは、ガラス
ロッドの長さl0と成形後に得られるガラスプレートの長
辺の長さl0との比l0/l1が0.5〜1.0の範囲である事が好
ましい。これよりも小さい場合には、本発明の主要な構
成要件であるロッドの軸に対し垂直な方向から成形する
という主旨が生かされず均一なガラスプレートを寸法精
度よく得る事が困難となる。
ロッドの長さl0と成形後に得られるガラスプレートの長
辺の長さl0との比l0/l1が0.5〜1.0の範囲である事が好
ましい。これよりも小さい場合には、本発明の主要な構
成要件であるロッドの軸に対し垂直な方向から成形する
という主旨が生かされず均一なガラスプレートを寸法精
度よく得る事が困難となる。
また、ガラスロッドの直径d0と成形後のガラスプレート
の短辺の長さl2との比が、d0/l2＝0.1〜0.6である事が
好ましいが、これも上述の理由による。
の短辺の長さl2との比が、d0/l2＝0.1〜0.6である事が
好ましいが、これも上述の理由による。
［実施例］ 実施例１ 四塩化ケイ素を原料として製造した、直径120mm、長さ5
00mm、重量12.4kgの合成石英ガラスインゴットを、底板
の内寸が510mm角の第３図に示した如き、グラファイト
製成形容器（ガラスと接触する内面に、炭化珪素粉末
（イビ川電工製、β−ランダム）を0.5mmの厚さで塗
布）に入れ、最大出力250kwのカーボンを発熱体とする9
000mm（内径）×800mm（高さ）の炉内寸法を有する電気
炉内にセットした。その際、インゴットの上面の押棒に
グラファイトの錘りを乗せ、インゴット上面にかかる荷
重が50kgとなるように調節した。
00mm、重量12.4kgの合成石英ガラスインゴットを、底板
の内寸が510mm角の第３図に示した如き、グラファイト
製成形容器（ガラスと接触する内面に、炭化珪素粉末
（イビ川電工製、β−ランダム）を0.5mmの厚さで塗
布）に入れ、最大出力250kwのカーボンを発熱体とする9
000mm（内径）×800mm（高さ）の炉内寸法を有する電気
炉内にセットした。その際、インゴットの上面の押棒に
グラファイトの錘りを乗せ、インゴット上面にかかる荷
重が50kgとなるように調節した。
次いで、炉内を真空ポンプで引き、0.05トールまで減圧
に引いた後、引き続き減圧に引きながら、昇温を開始し
た。２時間で1000℃迄昇温したところで、真空ポンプを
停止し、アルゴンガスを炉内に導入して１気圧とした。
この後２時間で1750℃に昇温し、４時間保持した。
に引いた後、引き続き減圧に引きながら、昇温を開始し
た。２時間で1000℃迄昇温したところで、真空ポンプを
停止し、アルゴンガスを炉内に導入して１気圧とした。
この後２時間で1750℃に昇温し、４時間保持した。
この後1250℃まで１時間で降温し、次いで1000℃まで40
℃/hrで降温し、電気炉の電源を切り放冷した。そして
炉内温度が室温まで冷却した事を確認した後、グラファ
イト製成形容器を炉から取出した。成形後のインゴット
の重量は12.3kgで一辺が511mm、厚み21mmの角状プレー
トであり、内部には巻込み気泡は観察されず、極めてき
れいであった。
℃/hrで降温し、電気炉の電源を切り放冷した。そして
炉内温度が室温まで冷却した事を確認した後、グラファ
イト製成形容器を炉から取出した。成形後のインゴット
の重量は12.3kgで一辺が511mm、厚み21mmの角状プレー
トであり、内部には巻込み気泡は観察されず、極めてき
れいであった。
実施例２ 四塩化ケイ素を原料として製造した、直径120mm、長さ5
00mm、重量12.4kgの合成石英ガラスインゴットを、第２
図に示した如く底面を研削し、d0＝120mm,d＝115mm（d/
d0＝0.96）重量12.3kgとした後、パークロルエチレン及
び10％HF中で洗浄後、水洗乾燥した。これを底板の内寸
が510mm角の第３図に示した如きグラファイト製成形容
器（ガラスと接触する内面に、炭化珪素粉末（イビ川電
工製、β−ランダム）を0.5mmの厚さで塗布）に入れ、
最大出力250kwのカーボンを発熱体とする900mm（内径）
×800mm（高さ）の炉内寸法を有する電気炉内にセット
した。その際、インゴットの上面の押板にグラファイト
の錘りを乗せ、インゴット上面にかかる荷重が50kgとな
るように調節した。
00mm、重量12.4kgの合成石英ガラスインゴットを、第２
図に示した如く底面を研削し、d0＝120mm,d＝115mm（d/
d0＝0.96）重量12.3kgとした後、パークロルエチレン及
び10％HF中で洗浄後、水洗乾燥した。これを底板の内寸
が510mm角の第３図に示した如きグラファイト製成形容
器（ガラスと接触する内面に、炭化珪素粉末（イビ川電
工製、β−ランダム）を0.5mmの厚さで塗布）に入れ、
最大出力250kwのカーボンを発熱体とする900mm（内径）
×800mm（高さ）の炉内寸法を有する電気炉内にセット
した。その際、インゴットの上面の押板にグラファイト
の錘りを乗せ、インゴット上面にかかる荷重が50kgとな
るように調節した。
次いで、炉内を真空ポンプで引き、0.05トールまで減圧
に引いた後、引き続き減圧に引きながら昇温を開始し
た。２時間で1000℃迄昇温したところで、真空ポンプを
停止し、アルゴンガスを炉内に導入して１気圧とした。
この後２時間で1750℃に昇温し、４時間保持した。
に引いた後、引き続き減圧に引きながら昇温を開始し
た。２時間で1000℃迄昇温したところで、真空ポンプを
停止し、アルゴンガスを炉内に導入して１気圧とした。
この後２時間で1750℃に昇温し、４時間保持した。
この後1250℃まで１時間で降温し、次いで1000℃まで40
℃/hrで降温し、電気炉の電源を切り放冷した。そして
炉内温度が室温まで冷却した事を確認した後、グラファ
イト製成形容器を炉から取出し、成形インゴットを取り
出した。
℃/hrで降温し、電気炉の電源を切り放冷した。そして
炉内温度が室温まで冷却した事を確認した後、グラファ
イト製成形容器を炉から取出し、成形インゴットを取り
出した。
インゴットの重量は12.2kgで一辺が511mmで厚み21mmの
角状プレートで、内部には巻込み気泡は観察されず、極
めてきれいであった。
角状プレートで、内部には巻込み気泡は観察されず、極
めてきれいであった。
また、加熱加圧に先立ち、合成石英ガラスインゴットの
側面面を研削したことにより極めて安定した加圧成形を
行うことができた。
側面面を研削したことにより極めて安定した加圧成形を
行うことができた。
比較例 四塩化ケイ素を原料として製造した、直径120mm、長さ4
00mm、重量10.0kgの合成石英ガラスインゴットを、底板
の内寸が510mm角の第４図に示した如き、グラファイト
製成形容器（ガラスと接触する内面に、炭化珪素粉末
（イビ川電工製、β−ランダム）を0.5mmの厚さで塗
布）に、ガラスロッドの軸が成形容器の底板面に垂直と
なるように入れ、実施例１と同一の炉内にセットした。
その際、インゴットの上面の押板にグラファイトの錘り
を乗せ、インゴット上面にかかる荷重が50kgとなるよう
に調節した。
00mm、重量10.0kgの合成石英ガラスインゴットを、底板
の内寸が510mm角の第４図に示した如き、グラファイト
製成形容器（ガラスと接触する内面に、炭化珪素粉末
（イビ川電工製、β−ランダム）を0.5mmの厚さで塗
布）に、ガラスロッドの軸が成形容器の底板面に垂直と
なるように入れ、実施例１と同一の炉内にセットした。
その際、インゴットの上面の押板にグラファイトの錘り
を乗せ、インゴット上面にかかる荷重が50kgとなるよう
に調節した。
次いで、炉内を真空ポンプで引き、0.05トールまで減圧
に引いた後、引き続き減圧に引きながら昇温を開始し
た。２時間で1000℃迄昇温したところで、真空ポンプを
停止し、アルゴンガスを炉内に導入して１気圧とした。
この後２時間で1750℃に昇温し、４時間保持した。
に引いた後、引き続き減圧に引きながら昇温を開始し
た。２時間で1000℃迄昇温したところで、真空ポンプを
停止し、アルゴンガスを炉内に導入して１気圧とした。
この後２時間で1750℃に昇温し、４時間保持した。
この後1250℃まで１時間で降温し、次いで1000℃まで45
℃/hrで降温し、電気炉の電源を切り放冷した。そして
炉内温度が室温まで冷却した事を確認した後、グラファ
イト製成形容器を炉から取出し、成形インゴットを取り
出した。
℃/hrで降温し、電気炉の電源を切り放冷した。そして
炉内温度が室温まで冷却した事を確認した後、グラファ
イト製成形容器を炉から取出し、成形インゴットを取り
出した。
インゴットの重量は9.9kgで、一辺が511mmで厚みが17mm
の角状プレートであったが、プレート内部に、ガラスロ
ッドが成形中に折れ曲って発生したと考えられる巻き込
み気泡が多数観察された。
の角状プレートであったが、プレート内部に、ガラスロ
ッドが成形中に折れ曲って発生したと考えられる巻き込
み気泡が多数観察された。
上記の実施例では成形後の石英ガラスはプレート状であ
るが、本発明はプレートに限定されるものではなく、一
般に底面寸法に対して厚みの厚いブロック状の石英ガラ
ス成形体を得る場合にも適用できる。
るが、本発明はプレートに限定されるものではなく、一
般に底面寸法に対して厚みの厚いブロック状の石英ガラ
ス成形体を得る場合にも適用できる。
［発明の効果］ 以上説明したように本発明によれば、高純度石英ガラス
の円柱状ロッドから小型、中型のものは勿論、大型のガ
ラスプレートを歩留り良く得る事が出来、従来その製造
が困難であった高純度大型石英ガラスプレートを製造す
ることができる。
の円柱状ロッドから小型、中型のものは勿論、大型のガ
ラスプレートを歩留り良く得る事が出来、従来その製造
が困難であった高純度大型石英ガラスプレートを製造す
ることができる。
しかも、成形前のガラスロッドの大きさを適当に選定す
る事により、任意の厚さのプレートが得られるため、ブ
ロックからスライスする等の工程を経ずして歩留り良
く、任意の厚さの大型ガラスプレートを得る事が出来
る。
る事により、任意の厚さのプレートが得られるため、ブ
ロックからスライスする等の工程を経ずして歩留り良
く、任意の厚さの大型ガラスプレートを得る事が出来
る。
第１図は、成形容器の説明図であり、第２図（ａ）は被
成形物であるガラスロッドを研削した形状を示すロッド
の軸に垂直な断面図、第２図（ｂ）は同じく側面図であ
る。第３図は、縦割型を複数配設した成形容器構造の一
実施例を示す説明図である。第４図は従来例を示す説明
図である。 １……ガラスロッド、2,3……成形容器、 ４……錘り、５……割型容器の側板、 ６……割型固定用ボルト、 ７……割型容器の底板
成形物であるガラスロッドを研削した形状を示すロッド
の軸に垂直な断面図、第２図（ｂ）は同じく側面図であ
る。第３図は、縦割型を複数配設した成形容器構造の一
実施例を示す説明図である。第４図は従来例を示す説明
図である。 １……ガラスロッド、2,3……成形容器、 ４……錘り、５……割型容器の側板、 ６……割型固定用ボルト、 ７……割型容器の底板
Claims (10)
- 【請求項１】高純度石英ガラスの円柱状ロッドを高温下
で成形して所望の形状のガラスプレートとするに際し、
加熱炉内で成形容器内におかれた前記円柱状ロッドを、
該円柱状ロッドの軸に対し垂直な方向から加圧し加熱成
形することを特徴とする石英ガラスプレートの成形方
法。 - 【請求項２】成形容器の底板上に該底板と前記ガラスロ
ッドの軸が平行あるいはほぼ平行になるようにおかれた
該ガラスロッドを所望の形状のガラスプレートとほぼ同
じ大きさの平面を有する押板を通して上部より加圧する
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の石英ガラ
スプレートの成形方法。 - 【請求項３】成形容器の底板に接する面ならびに押板に
接する面を研削したガラスロッドを、底板に垂直な平面
であって、成形後に得られる長方形のガラスプレートの
上面の相対する２辺の中点を結ぶ直線を含む平面内、前
記ガラスロッド軸がほぼ含まれるよう前記成形容器の底
板上におくことを特徴とする特許請求の範囲第２項記載
の石英ガラスプレートの成形方法。 - 【請求項４】成形容器が、所望のガラスプレートの形状
をもつ底板の上に縦割型を複数配設してなり、前記底板
上に、前記所望形状の底面を有する柱状の成形室を形成
することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の石英
ガラスプレートの成形方法。 - 【請求項５】加熱炉内の雰囲気がアルゴン、窒素、ヘリ
ウムから選ばれた１種の雰囲気であることを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の石英ガラスプレートの成形
方法。 - 【請求項６】成形温度が1600〜1800℃である特許請求の
範囲第１項記載の石英ガラスプレートの成形方法。 - 【請求項７】所望のガラスプレートの形状が長方形であ
って、ガラスロッドの軸の長さl0と成形後に得られる長
方形ガラスプレートの長辺の長さl1との比l0/l1が0.5〜
1.0の範囲であることを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の石英ガラスプレートの成形方法。 - 【請求項８】所望のガラスプレートの形状が長方形であ
って、ガラスロッドの断面の直径d0と成形後に得られる
長方形ガラスプレートの短辺の長さl2との比d0/l2が0.1
〜0.6の範囲であることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の石英ガラスプレートの成形方法。 - 【請求項９】成形容器がカーボンよりなることを特徴と
する特許請求の範囲第１項、第２項、第３項または第４
項記載の石英ガラスプレートの成形方法。 - 【請求項１０】前記成形容器の内面をSiC被覆したこと
を特徴とする特許請求の範囲第９項記載の石英ガラスプ
レートの成形方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17689585A JPH0742124B2 (ja) | 1985-08-13 | 1985-08-13 | 石英ガラスプレ−トの成形方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17689585A JPH0742124B2 (ja) | 1985-08-13 | 1985-08-13 | 石英ガラスプレ−トの成形方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6241727A JPS6241727A (ja) | 1987-02-23 |
| JPH0742124B2 true JPH0742124B2 (ja) | 1995-05-10 |
Family
ID=16021625
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17689585A Expired - Fee Related JPH0742124B2 (ja) | 1985-08-13 | 1985-08-13 | 石英ガラスプレ−トの成形方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0742124B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2646148B2 (ja) * | 1990-07-31 | 1997-08-25 | 株式会社クリーンオプチカル | ガラス成形機とそれを用いたガラスブロック成形法 |
| JP4760137B2 (ja) * | 2005-05-27 | 2011-08-31 | 株式会社ニコン | 石英ガラスの成形方法 |
| JP2007106663A (ja) * | 2005-09-15 | 2007-04-26 | Toshiba Ceramics Co Ltd | シリカガラスの製造方法 |
| JP4534957B2 (ja) * | 2005-11-09 | 2010-09-01 | 旭硝子株式会社 | ＴｉＯ２を含有するシリカガラスの成型方法 |
| JP7726682B2 (ja) * | 2021-06-29 | 2025-08-20 | 株式会社豊田中央研究所 | 成形装置および成型方法 |
-
1985
- 1985-08-13 JP JP17689585A patent/JPH0742124B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6241727A (ja) | 1987-02-23 |
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