JPH0743148A - オートフォーカス機構 - Google Patents
オートフォーカス機構Info
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- JPH0743148A JPH0743148A JP18488393A JP18488393A JPH0743148A JP H0743148 A JPH0743148 A JP H0743148A JP 18488393 A JP18488393 A JP 18488393A JP 18488393 A JP18488393 A JP 18488393A JP H0743148 A JPH0743148 A JP H0743148A
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- pinhole
- pinholes
- optical axis
- reflected light
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 44
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] Chemical compound N1=C2C=CC=CC2=[N+]([O-])C1(CC1)CCC21N=C1C=CC=CC1=[N+]2[O-] BGPVFRJUHWVFKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ピンホールを光軸に簡易にかつ迅速に一致さ
せることができるオートフォーカス機構を提供する。 【構成】 分割反射光の結像点の前および後にピンホー
ルを有するピンホール板を配置したオートフォーカス機
構において、ピンホール板１７Ａ，１７Ｂに複数のピン
ホール３１を設ける。最初の組立・調整時にピンホール
３１がオートフォーカス機構の光軸に一致する確率が増
える。また、そのとき一致しない場合にも、ピンホール
板を移動させれば、隣接するいずれかのピンホール３１
が光軸に一致するから、従来に比べピンホールを光軸に
簡易にかつ迅速に一致させることができる。
せることができるオートフォーカス機構を提供する。 【構成】 分割反射光の結像点の前および後にピンホー
ルを有するピンホール板を配置したオートフォーカス機
構において、ピンホール板１７Ａ，１７Ｂに複数のピン
ホール３１を設ける。最初の組立・調整時にピンホール
３１がオートフォーカス機構の光軸に一致する確率が増
える。また、そのとき一致しない場合にも、ピンホール
板を移動させれば、隣接するいずれかのピンホール３１
が光軸に一致するから、従来に比べピンホールを光軸に
簡易にかつ迅速に一致させることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ピンホール方式のオー
トフォーカス機構に関する。詳しくは、物体からの反射
光を２つの光に分割し、その分割反射光の前および後に
ピンホールをそれぞれ配置したピンホール方式のオート
フォーカス機構に関する。
トフォーカス機構に関する。詳しくは、物体からの反射
光を２つの光に分割し、その分割反射光の前および後に
ピンホールをそれぞれ配置したピンホール方式のオート
フォーカス機構に関する。
【０００２】
【背景技術】例えば、表面粗さ計の測定ヘッドやフロー
ピィーディスクドライバーのピックアップなどに用いら
れるオートフォーカス機構の１方式として、ピンホール
方式が知られている。これは、物体からの反射光を２つ
の光に分割し、その分割反射光の前および後にピンホー
ルをそれぞれ配置し、その直後に光検出器を配置し、そ
の光検出器の出力を基にフォーカスエラー信号を得る方
式である。
ピィーディスクドライバーのピックアップなどに用いら
れるオートフォーカス機構の１方式として、ピンホール
方式が知られている。これは、物体からの反射光を２つ
の光に分割し、その分割反射光の前および後にピンホー
ルをそれぞれ配置し、その直後に光検出器を配置し、そ
の光検出器の出力を基にフォーカスエラー信号を得る方
式である。
【０００３】具体的には、物体に光を集光させる対物レ
ンズを含む光学系と、物体からの反射光を２つの光に分
割するビームスプリッタと、一方の分割反射光の結像点
の前と他方の分割反射光の結像点の後とにそれぞれ配置
されたピンホールを有するピンホール板と、この各ピン
ホール板の直後に配置された光検出器と、この光検出器
の出力を基に焦点ずれを検出する検出回路と、この検出
回路からの出力信号（フォーカスエラー信号）を基に前
記対物レンズが常に物体表面で焦点を結ぶように対物レ
ンズを移動させる駆動機構とを備えた構成である。
ンズを含む光学系と、物体からの反射光を２つの光に分
割するビームスプリッタと、一方の分割反射光の結像点
の前と他方の分割反射光の結像点の後とにそれぞれ配置
されたピンホールを有するピンホール板と、この各ピン
ホール板の直後に配置された光検出器と、この光検出器
の出力を基に焦点ずれを検出する検出回路と、この検出
回路からの出力信号（フォーカスエラー信号）を基に前
記対物レンズが常に物体表面で焦点を結ぶように対物レ
ンズを移動させる駆動機構とを備えた構成である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述したピンホール方
式のオートフォーカス機構の場合、ピンホールをオート
フォーカス機構の光軸に一致させる必要がある。しか
し、最初の組立・調整時に、ピンホールが光軸の近傍に
位置していないと、光検出器には全く光が入らないか
ら、どちらの方向へピンホール板を移動調整してよいの
かが判らない。そのため、従来は、試行錯誤的にピンホ
ール板を移動調整しながら、ピンホールを光軸に一致さ
せるようにしていたため、調整が面倒でかつ時間がかか
るという欠点があった。
式のオートフォーカス機構の場合、ピンホールをオート
フォーカス機構の光軸に一致させる必要がある。しか
し、最初の組立・調整時に、ピンホールが光軸の近傍に
位置していないと、光検出器には全く光が入らないか
ら、どちらの方向へピンホール板を移動調整してよいの
かが判らない。そのため、従来は、試行錯誤的にピンホ
ール板を移動調整しながら、ピンホールを光軸に一致さ
せるようにしていたため、調整が面倒でかつ時間がかか
るという欠点があった。
【０００５】ここに、本発明の目的は、このような従来
の欠点を解消し、ピンホールを光軸に簡単にかつ迅速に
一致させることができるピンホール方式のオートフォー
カス機構を提供することにある。
の欠点を解消し、ピンホールを光軸に簡単にかつ迅速に
一致させることができるピンホール方式のオートフォー
カス機構を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】第１の発明では、物体に
光を集光させる対物レンズを含む光学系と、物体からの
反射光を２つの光に分割するビームスプリッタと、一方
の分割反射光の結像点の前と他方の分割反射光の結像点
の後とにそれぞれ配置されたピンホールを有するピンホ
ール板と、この各ピンホール板の直後に配置された光検
出器と、この光検出器の出力を基に焦点ずれを検出する
検出回路と、この検出回路からの出力信号を基に前記対
物レンズを移動させる駆動機構とを備えたオートフォー
カス機構において、前記ピンホール板には、複数のピン
ホールが設けられていることを特徴とする。
光を集光させる対物レンズを含む光学系と、物体からの
反射光を２つの光に分割するビームスプリッタと、一方
の分割反射光の結像点の前と他方の分割反射光の結像点
の後とにそれぞれ配置されたピンホールを有するピンホ
ール板と、この各ピンホール板の直後に配置された光検
出器と、この光検出器の出力を基に焦点ずれを検出する
検出回路と、この検出回路からの出力信号を基に前記対
物レンズを移動させる駆動機構とを備えたオートフォー
カス機構において、前記ピンホール板には、複数のピン
ホールが設けられていることを特徴とする。
【０００７】第２の発明では、物体に光を集光させる対
物レンズを含む光学系と、物体からの反射光を２つの光
に分割するビームスプリッタと、一方の分割反射光の結
像点の前と他方の分割反射光の結像点の後とにそれぞれ
配置されたピンホールを有するピンホール板と、この各
ピンホール板の直後に配置された光検出器と、この光検
出器の出力を基に焦点ずれを検出する検出回路と、この
検出回路からの出力信号を基に前記対物レンズを移動さ
せる駆動機構とを備えたオートフォーカス機構におい
て、前記ピンホール板には、１つのピンホールと、その
ピンホールを通る直線に沿って幅が略ピンホールの直径
以下でかつ長さが所定長さを有するガイト長孔とが設け
られていることを特徴とすることを特徴とする。
物レンズを含む光学系と、物体からの反射光を２つの光
に分割するビームスプリッタと、一方の分割反射光の結
像点の前と他方の分割反射光の結像点の後とにそれぞれ
配置されたピンホールを有するピンホール板と、この各
ピンホール板の直後に配置された光検出器と、この光検
出器の出力を基に焦点ずれを検出する検出回路と、この
検出回路からの出力信号を基に前記対物レンズを移動さ
せる駆動機構とを備えたオートフォーカス機構におい
て、前記ピンホール板には、１つのピンホールと、その
ピンホールを通る直線に沿って幅が略ピンホールの直径
以下でかつ長さが所定長さを有するガイト長孔とが設け
られていることを特徴とすることを特徴とする。
【０００８】
【作用】第１の発明では、ピンホール板に複数のピンホ
ールが設けられているから、最初の組立・調整時にピン
ホールが光軸に一致する確率が増える。最初の組立・調
整時に一致しない場合でも、ピンホール板をいずかの方
向へ移動させれば、隣接するピンホールが光軸に一致す
るから、従来よりも、ピンホールを光軸に簡単にかつ迅
速に一致させることができる。
ールが設けられているから、最初の組立・調整時にピン
ホールが光軸に一致する確率が増える。最初の組立・調
整時に一致しない場合でも、ピンホール板をいずかの方
向へ移動させれば、隣接するピンホールが光軸に一致す
るから、従来よりも、ピンホールを光軸に簡単にかつ迅
速に一致させることができる。
【０００９】第２の発明では、ピンホール板に１つのピ
ンホールと、そのピンホールを通る直線に沿って幅が略
ピンホールの直径以下でかつ長さが所定長さを有するガ
イト長孔とが設けられているから、最初の組立・調整時
にガイド長孔に対して直交する方向でかつガイド長孔の
長さに対応する幅を有する帯域内に光軸が入るように位
置させておく。これは、範囲が広いので容易である。そ
こで、まず、ピンホール板をガイド長孔に対して直交す
る方向へ移動させていくと、光軸がガイド長孔に入る。
次に、ピンホール板をガイド長孔方向へ移動させていく
と、光軸に対してガイド長孔が外れ光検出器からの信号
が一旦とだえるが、そのまま移動させていくと、光軸に
ピンホールが入り光検出器から出力が得られる。従っ
て、従来よりも、ピンホールを光軸に簡単にかつ迅速に
一致させることができる。
ンホールと、そのピンホールを通る直線に沿って幅が略
ピンホールの直径以下でかつ長さが所定長さを有するガ
イト長孔とが設けられているから、最初の組立・調整時
にガイド長孔に対して直交する方向でかつガイド長孔の
長さに対応する幅を有する帯域内に光軸が入るように位
置させておく。これは、範囲が広いので容易である。そ
こで、まず、ピンホール板をガイド長孔に対して直交す
る方向へ移動させていくと、光軸がガイド長孔に入る。
次に、ピンホール板をガイド長孔方向へ移動させていく
と、光軸に対してガイド長孔が外れ光検出器からの信号
が一旦とだえるが、そのまま移動させていくと、光軸に
ピンホールが入り光検出器から出力が得られる。従っ
て、従来よりも、ピンホールを光軸に簡単にかつ迅速に
一致させることができる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明のピンホール方式のオートフォ
ーカス機構を用いた光学式変位計について図を参照しな
がら詳細に説明する。ここでは、はじめに、各実施例に
共通する光学式変位計の構成について説明したのち、各
実施例の説明を行う。
ーカス機構を用いた光学式変位計について図を参照しな
がら詳細に説明する。ここでは、はじめに、各実施例に
共通する光学式変位計の構成について説明したのち、各
実施例の説明を行う。
【００１１】同光学式変位計は、図１に示す如く、変位
計本体１と、この変位計本体１に対して対物レンズ１４
を図で上下方向へ移動自在に保持する対物レンズホルダ
２と、この対物レンズホルダ２を上下方向へ駆動させる
駆動機構としてのボイスコイル６と、前記対物レンズホ
ルダ２の上下方向位置を検出するリニアエンコーダ９と
を含んで構成されている。前記ボイスコイル６は、前記
変位計本体１に固定されたマグネット４と、前記対物レ
ンズホルダ２に固定されたコイル５とから構成されてい
る。前記リニアエンコーダ９は、前記対物レンズホルダ
２に一端が固定されたスケール７と、前記変位計本体１
にスケール７に対向して固定された検出器８とから構成
されている。
計本体１と、この変位計本体１に対して対物レンズ１４
を図で上下方向へ移動自在に保持する対物レンズホルダ
２と、この対物レンズホルダ２を上下方向へ駆動させる
駆動機構としてのボイスコイル６と、前記対物レンズホ
ルダ２の上下方向位置を検出するリニアエンコーダ９と
を含んで構成されている。前記ボイスコイル６は、前記
変位計本体１に固定されたマグネット４と、前記対物レ
ンズホルダ２に固定されたコイル５とから構成されてい
る。前記リニアエンコーダ９は、前記対物レンズホルダ
２に一端が固定されたスケール７と、前記変位計本体１
にスケール７に対向して固定された検出器８とから構成
されている。
【００１２】前記変位計本体１には、半導体レーザ１１
と、この半導体レーザ１１から放射された光を測定面１
０に向けて反射するビームスプリッタ１２と、このビー
ムスプリッタ１２により進行方向を変えられた光を平行
ビームとして前記対物レンズ１４へ向けるコリメータレ
ンズ１３と、測定面１０からの反射光を結像する結像レ
ンズ１５と、この結像レンズ１５を通過した光を分割す
るビームスプリッタ１６と、このビームスプリッタ１６
により分割された各分割反射光の合焦位置よりも前およ
び後にそれぞれ配置されたピンホール板１７Ａ，１７Ｂ
と、この各ピンホール板１７Ａ，１７Ｂを通過した分割
反射光の光量をそれぞれ検出する光検出器１８Ａ，１８
Ｂとが設けられている。なお、ここでは、前記半導体レ
ーザ１１、ビームスプリッタ１２、コリメータレンズ１
３および測定面１０に光を集光させる対物レンズ１４を
含んで照明用光学系１９が形成されている。
と、この半導体レーザ１１から放射された光を測定面１
０に向けて反射するビームスプリッタ１２と、このビー
ムスプリッタ１２により進行方向を変えられた光を平行
ビームとして前記対物レンズ１４へ向けるコリメータレ
ンズ１３と、測定面１０からの反射光を結像する結像レ
ンズ１５と、この結像レンズ１５を通過した光を分割す
るビームスプリッタ１６と、このビームスプリッタ１６
により分割された各分割反射光の合焦位置よりも前およ
び後にそれぞれ配置されたピンホール板１７Ａ，１７Ｂ
と、この各ピンホール板１７Ａ，１７Ｂを通過した分割
反射光の光量をそれぞれ検出する光検出器１８Ａ，１８
Ｂとが設けられている。なお、ここでは、前記半導体レ
ーザ１１、ビームスプリッタ１２、コリメータレンズ１
３および測定面１０に光を集光させる対物レンズ１４を
含んで照明用光学系１９が形成されている。
【００１３】図２は検出回路２０を示している。同検出
回路２０は、前記各光検出器１８Ａ，１８Ｂの出力電流
を電圧に変換する電流−電圧（Ｉ−Ｖ）変換器２１Ａ，
２１Ｂと、この各Ｉ−Ｖ変換器２１Ａ，２１Ｂの出力電
圧を増幅する増幅器２２Ａ，２２Ｂと、この両増幅器２
２Ａ，２２Ｂの出力の差を演算する差演算器２３と、両
増幅器２２Ａ，２２Ｂの出力の和を演算する和演算器２
４と、前記差演算器２３の出力を和演算器２４の出力で
割ってＳ字状カーブのフォーカスエラー信号Ｓとする徐
算器２５とから構成されている。
回路２０は、前記各光検出器１８Ａ，１８Ｂの出力電流
を電圧に変換する電流−電圧（Ｉ−Ｖ）変換器２１Ａ，
２１Ｂと、この各Ｉ−Ｖ変換器２１Ａ，２１Ｂの出力電
圧を増幅する増幅器２２Ａ，２２Ｂと、この両増幅器２
２Ａ，２２Ｂの出力の差を演算する差演算器２３と、両
増幅器２２Ａ，２２Ｂの出力の和を演算する和演算器２
４と、前記差演算器２３の出力を和演算器２４の出力で
割ってＳ字状カーブのフォーカスエラー信号Ｓとする徐
算器２５とから構成されている。
【００１４】いま、各分割反射光の合焦位置から各ピン
ホール板１７Ａ，１７Ｂまでの距離が互いに等しくなる
ように設定すると、各光検出器１８Ａ，１８Ｂの出力は
図３のようになる。そのとき、検出回路２０から得られ
るフォーカスエラー信号Ｓは、図４のように、Ｓ字状カ
ーブとなり、測定面１０の変位に応じた信号となる。従
って、フォーカスエラー信号Ｓを基に、対物レンズ１４
が常に測定面１０に焦点を結ぶように、ボイスコイル６
を制御すれば、そのときのリニアエンコーダ９の出力を
測定値として出力することができる。つまり、測定面１
０の粗さをリニアエンコーダ９の出力から求めることが
できる。
ホール板１７Ａ，１７Ｂまでの距離が互いに等しくなる
ように設定すると、各光検出器１８Ａ，１８Ｂの出力は
図３のようになる。そのとき、検出回路２０から得られ
るフォーカスエラー信号Ｓは、図４のように、Ｓ字状カ
ーブとなり、測定面１０の変位に応じた信号となる。従
って、フォーカスエラー信号Ｓを基に、対物レンズ１４
が常に測定面１０に焦点を結ぶように、ボイスコイル６
を制御すれば、そのときのリニアエンコーダ９の出力を
測定値として出力することができる。つまり、測定面１
０の粗さをリニアエンコーダ９の出力から求めることが
できる。
【００１５】第１実施例 上記光学式変位計において、前記各ピンホール板１７
Ａ，１７Ｂには、図５に示す如く、それぞれがピンホー
ル機能を有する複数のピンホール３１が縦および横方向
に一定ピッチ間隔で配列されている。このように、ピン
ホール板１７Ａ，１７Ｂには複数のピンホール３１が設
けられているから、最初の組立・調整時にピンホール３
１が光軸に一致する確率が増える。最初の組立・調整時
に一致しない場合でも、ピンホール板１７Ａ，１７Ｂを
いずかの方向へ移動させれば、隣接するピンホール３１
を光軸に一致させることができる。従って、第１実施例
によれば、従来に比べ、ピンホールを光軸に簡易にかつ
迅速に一致させることができるとともに、作業者の負担
を軽減することができる。
Ａ，１７Ｂには、図５に示す如く、それぞれがピンホー
ル機能を有する複数のピンホール３１が縦および横方向
に一定ピッチ間隔で配列されている。このように、ピン
ホール板１７Ａ，１７Ｂには複数のピンホール３１が設
けられているから、最初の組立・調整時にピンホール３
１が光軸に一致する確率が増える。最初の組立・調整時
に一致しない場合でも、ピンホール板１７Ａ，１７Ｂを
いずかの方向へ移動させれば、隣接するピンホール３１
を光軸に一致させることができる。従って、第１実施例
によれば、従来に比べ、ピンホールを光軸に簡易にかつ
迅速に一致させることができるとともに、作業者の負担
を軽減することができる。
【００１６】なお、第１実施例において、ピンホール３
１の数や配列方法については、上記実施例に限られるも
のでない。例えば、数については、２以上であれば任意
であるが、多くすればするほどピンホールが光軸に一致
する確率が高くなる利点がある。また、配列方法につい
ては、縦および横方向に一定ピッチ間隔に配列する以外
に、不規則に配置するようにしてもよい。
１の数や配列方法については、上記実施例に限られるも
のでない。例えば、数については、２以上であれば任意
であるが、多くすればするほどピンホールが光軸に一致
する確率が高くなる利点がある。また、配列方法につい
ては、縦および横方向に一定ピッチ間隔に配列する以外
に、不規則に配置するようにしてもよい。
【００１７】第２実施例 上記光学式変位計において、前記各ピンホール板１７
Ａ，１７Ｂには、図６に示す如く、１つのピンホール３
２と、そのピンホール３２を通る直線に沿って幅がピン
ホール３２の直径と等しくかつ長さが前記直径の数倍長
さを有するガイト長孔３３とが設けられている。最初の
組立・調整時にガイド長孔３３に対して直交する方向で
かつガイド長孔３３の長さに対応する幅を有する帯域３
４内に光軸が入るように位置させておく。これは、範囲
が広いので容易である。そこで、まず、ピンホール板１
７Ａ，１７Ｂをガイド長孔３３に対して直交する方向へ
移動させていくと、光軸がガイド長孔３３に入る。次
に、ピンホール板１７Ａ，１７Ｂをガイド長孔３３方向
へ移動させていくと、光軸に対してガイド長孔３３が外
れ光検出器１８Ａ，１８Ｂからの信号が一旦とだえる
が、そのまま移動させていくと、光軸にピンホール３２
が入り光検出器１８Ａ，１８Ｂから出力が得られる。従
って、第２実施例によれば、従来に比べ、ピンホールを
光軸に簡易にかつ迅速に一致させることができるととも
に、作業者の負担を軽減することができるほか、１つの
ピンホール３２とガイト長孔３３とを穿孔するだけでよ
いから、第１実施例に比べ穿孔加工を少なくできる。
Ａ，１７Ｂには、図６に示す如く、１つのピンホール３
２と、そのピンホール３２を通る直線に沿って幅がピン
ホール３２の直径と等しくかつ長さが前記直径の数倍長
さを有するガイト長孔３３とが設けられている。最初の
組立・調整時にガイド長孔３３に対して直交する方向で
かつガイド長孔３３の長さに対応する幅を有する帯域３
４内に光軸が入るように位置させておく。これは、範囲
が広いので容易である。そこで、まず、ピンホール板１
７Ａ，１７Ｂをガイド長孔３３に対して直交する方向へ
移動させていくと、光軸がガイド長孔３３に入る。次
に、ピンホール板１７Ａ，１７Ｂをガイド長孔３３方向
へ移動させていくと、光軸に対してガイド長孔３３が外
れ光検出器１８Ａ，１８Ｂからの信号が一旦とだえる
が、そのまま移動させていくと、光軸にピンホール３２
が入り光検出器１８Ａ，１８Ｂから出力が得られる。従
って、第２実施例によれば、従来に比べ、ピンホールを
光軸に簡易にかつ迅速に一致させることができるととも
に、作業者の負担を軽減することができるほか、１つの
ピンホール３２とガイト長孔３３とを穿孔するだけでよ
いから、第１実施例に比べ穿孔加工を少なくできる。
【００１８】なお、第２実施例では、ガイド長孔３３の
幅をピンホール３２の直径と等しくしたが、ガイド長孔
３３の幅は、ピンホール３２の直径より僅か大きくても
よく、また、ピンホール３２の直径より小さくてもよ
い。つまり、略ピンホール３２の直径以下であればよ
い。長さについては、ピンホール板１７Ａ，１７Ｂの移
動調整可能な範囲を考慮して決定すればよい。また、ピ
ンホール３２を挟んだ反対側にもう１つのガイド長孔を
形成し、つまり、ピンホール３２を挟んで２つのガイド
長孔３３，３３をピンホール３２を通る直線上に配列す
るようにすれば、最初の組立・調整時に両側の帯域３４
内に光軸が入るように位置させておけばよいから、第２
実施例の場合よりも簡単である。
幅をピンホール３２の直径と等しくしたが、ガイド長孔
３３の幅は、ピンホール３２の直径より僅か大きくても
よく、また、ピンホール３２の直径より小さくてもよ
い。つまり、略ピンホール３２の直径以下であればよ
い。長さについては、ピンホール板１７Ａ，１７Ｂの移
動調整可能な範囲を考慮して決定すればよい。また、ピ
ンホール３２を挟んだ反対側にもう１つのガイド長孔を
形成し、つまり、ピンホール３２を挟んで２つのガイド
長孔３３，３３をピンホール３２を通る直線上に配列す
るようにすれば、最初の組立・調整時に両側の帯域３４
内に光軸が入るように位置させておけばよいから、第２
実施例の場合よりも簡単である。
【００１９】また、上記各実施例では、光学式変位計に
適用した例について説明したが、本発明のオートフォー
カス機構は、これに限られるものでない。例えば、三次
元測定機で倣い動作させる場合に用いられる倣いプロー
ブやフローピィーディスクドライバーのピックアップな
どにも利用できる。
適用した例について説明したが、本発明のオートフォー
カス機構は、これに限られるものでない。例えば、三次
元測定機で倣い動作させる場合に用いられる倣いプロー
ブやフローピィーディスクドライバーのピックアップな
どにも利用できる。
【００２０】
【発明の効果】以上の通り、本発明のオートフォーカス
機構によれば、ピンホール方式の合焦方式において、ピ
ンホールを光軸に簡易にかつ迅速に一致させることがで
きるという効果を奏する。
機構によれば、ピンホール方式の合焦方式において、ピ
ンホールを光軸に簡易にかつ迅速に一致させることがで
きるという効果を奏する。
【図１】本発明が適用される光学式変位計の構成を示す
断面図である。
断面図である。
【図２】図１の光学式変位計の検出回路を示す図であ
る。
る。
【図３】図１の光学式変位計における光検出器の出力を
示す図である。
示す図である。
【図４】図１の光学式変位計におけるフォーカスエラー
信号を示す図である。
信号を示す図である。
【図５】本発明の第１実施例におけるピンホール板を示
す図である。
す図である。
【図６】本発明の第２実施例におけるピンホール板を示
す図である。
す図である。
１１ 半導体レーザ １４ 対物レンズ １７Ａ，１７Ｂ ピンホール板 １８Ａ，１８Ｂ 光検出器 １９ 照明用光学系 ２０ 検出回路 ３１，３２ ピンホール ３３ ガイド長孔
Claims (2)
- 【請求項１】物体に光を集光させる対物レンズを含む光
学系と、物体からの反射光を２つの光に分割するビーム
スプリッタと、一方の分割反射光の結像点の前と他方の
分割反射光の結像点の後とにそれぞれ配置されたピンホ
ールを有するピンホール板と、この各ピンホール板の直
後に配置された光検出器と、この光検出器の出力を基に
焦点ずれを検出する検出回路と、この検出回路からの出
力信号を基に前記対物レンズを移動させる駆動機構とを
備えたオートフォーカス機構において、前記ピンホール
板には、複数のピンホールが設けられていることを特徴
とするオートフォーカス機構。 - 【請求項２】物体に光を集光させる対物レンズを含む光
学系と、物体からの反射光を２つの光に分割するビーム
スプリッタと、一方の分割反射光の結像点の前と他方の
分割反射光の結像点の後とにそれぞれ配置されたピンホ
ールを有するピンホール板と、この各ピンホール板の直
後に配置された光検出器と、この光検出器の出力を基に
焦点ずれを検出する検出回路と、この検出回路からの出
力信号を基に前記対物レンズを移動させる駆動機構とを
備えたオートフォーカス機構において、前記ピンホール
板には、１つのピンホールと、そのピンホールを通る直
線に沿って幅が略ピンホールの直径以下でかつ長さが所
定長さを有するガイト長孔とが設けられていることを特
徴とするオートフォーカス機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18488393A JP3368941B2 (ja) | 1993-07-27 | 1993-07-27 | オートフォーカス機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18488393A JP3368941B2 (ja) | 1993-07-27 | 1993-07-27 | オートフォーカス機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0743148A true JPH0743148A (ja) | 1995-02-10 |
| JP3368941B2 JP3368941B2 (ja) | 2003-01-20 |
Family
ID=16160986
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18488393A Expired - Fee Related JP3368941B2 (ja) | 1993-07-27 | 1993-07-27 | オートフォーカス機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3368941B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7330278B2 (en) | 2004-03-18 | 2008-02-12 | Mitutoyo Corporation | Optical displacement measurement device |
-
1993
- 1993-07-27 JP JP18488393A patent/JP3368941B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7330278B2 (en) | 2004-03-18 | 2008-02-12 | Mitutoyo Corporation | Optical displacement measurement device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3368941B2 (ja) | 2003-01-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20021022 |
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