JPH0744169B2 - 洗浄装置 - Google Patents
洗浄装置Info
- Publication number
- JPH0744169B2 JPH0744169B2 JP12028987A JP12028987A JPH0744169B2 JP H0744169 B2 JPH0744169 B2 JP H0744169B2 JP 12028987 A JP12028987 A JP 12028987A JP 12028987 A JP12028987 A JP 12028987A JP H0744169 B2 JPH0744169 B2 JP H0744169B2
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- JP
- Japan
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- cleaning
- basket
- cleaning tank
- slider
- hook
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- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Silicon Compounds (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本発明は多結晶シリコン等の洗浄に好適な洗浄装置に関
する。
する。
＜従来技術と問題点＞ 高純度多結晶シリコンの製造においては、シリコンを棒
状に成長させた後、これを適当な長さに切断して、洗浄
する。該多結晶シリコンの洗浄は通常次の工程でおこな
われる。
状に成長させた後、これを適当な長さに切断して、洗浄
する。該多結晶シリコンの洗浄は通常次の工程でおこな
われる。
フッ化水素酸、硝酸を主な成分とするエッチング液でエ
ッチングして表面の加工層及び酸化被膜を除去し、次い
で純水でエッチング液を洗い流した後、真空脱水する。
該真空脱水により多結晶シリコンの隙間に残留する水分
が吸引除去される。真空脱水に引き続き真空乾燥した
後、次工程に送る。
ッチングして表面の加工層及び酸化被膜を除去し、次い
で純水でエッチング液を洗い流した後、真空脱水する。
該真空脱水により多結晶シリコンの隙間に残留する水分
が吸引除去される。真空脱水に引き続き真空乾燥した
後、次工程に送る。
従来、このような多結晶シリコンの洗浄はバッチ方式に
よって実施されており、例えば適当な長さに切断し、あ
るいは破砕した多結晶シリコンの塊をバスケットに収納
し、各溶液槽やエッチング液に順次移し換えて浸漬する
ことにより洗浄している。ところが上記従来の洗浄方法
においては、バスケットに収納したシリコン塊が互いに
接触し、該接触部分にエッチング斑が生ずる等の問題が
ある。更に洗浄効果を高めるため該シリコン塊を収納し
たバスケットを複数個配置した洗浄槽に順次移し換える
際、あるいは各洗浄槽の内部でバスケットを濯る際、こ
れを手作業で行っており、作業能率が悪い等の問題もあ
る。
よって実施されており、例えば適当な長さに切断し、あ
るいは破砕した多結晶シリコンの塊をバスケットに収納
し、各溶液槽やエッチング液に順次移し換えて浸漬する
ことにより洗浄している。ところが上記従来の洗浄方法
においては、バスケットに収納したシリコン塊が互いに
接触し、該接触部分にエッチング斑が生ずる等の問題が
ある。更に洗浄効果を高めるため該シリコン塊を収納し
たバスケットを複数個配置した洗浄槽に順次移し換える
際、あるいは各洗浄槽の内部でバスケットを濯る際、こ
れを手作業で行っており、作業能率が悪い等の問題もあ
る。
＜問題を解決するための手段＞ 本発明は複数個配列した洗浄槽の上方に上下動自在なハ
ンガー部を具えかつ移動自在な搬送機構を設けることに
より、シリコン塊を収納したバスケットを所定のエッチ
ング液が貯溜されている洗浄槽に迅速にかつ連続的に移
し換え、洗浄作業の能率を格段に高め、さらに各洗浄槽
の底部に傾斜面を形成するとともに該バスケットを洗浄
槽内部で揺動自在に保持してエッチング斑を防止して洗
浄効果を高め、従来の問題点を解消した。
ンガー部を具えかつ移動自在な搬送機構を設けることに
より、シリコン塊を収納したバスケットを所定のエッチ
ング液が貯溜されている洗浄槽に迅速にかつ連続的に移
し換え、洗浄作業の能率を格段に高め、さらに各洗浄槽
の底部に傾斜面を形成するとともに該バスケットを洗浄
槽内部で揺動自在に保持してエッチング斑を防止して洗
浄効果を高め、従来の問題点を解消した。
＜発明の構成＞ 本発明によれば、以下の洗浄装置が提供される。
（１）複数個配列された洗浄槽と、該洗浄槽の配列に沿
ってその上方に配設された移動用レールと、該レールに
移動自在に装着されかつ上下動自在なハンガー部を有す
るスライダーと、該スライダーのハンガー部に設けられ
た回転フック機構と、該フックに係合されるバスケット
とを備え、該洗浄槽の底部には該バスケットが載置され
る傾斜面が形成されていることを特徴とする洗浄装置。
ってその上方に配設された移動用レールと、該レールに
移動自在に装着されかつ上下動自在なハンガー部を有す
るスライダーと、該スライダーのハンガー部に設けられ
た回転フック機構と、該フックに係合されるバスケット
とを備え、該洗浄槽の底部には該バスケットが載置され
る傾斜面が形成されていることを特徴とする洗浄装置。
（２）上記スライダーが上下動シリンダーを具え、該シ
リンダーのロッド下端が上記ハンガー部を形成する上記
（１）の洗浄装置。
リンダーのロッド下端が上記ハンガー部を形成する上記
（１）の洗浄装置。
（３）該傾斜面が洗浄槽毎に逆向きに形成されている上
記（１）又は（２）の洗浄装置。
記（１）又は（２）の洗浄装置。
上記シリコン塊を洗浄するには、その洗浄効果が良く、
かつ作業能率の良いことが必要である。本発明は洗浄槽
を複数個配列し、その配列した洗浄槽に沿って移動する
数個のスライダーを洗浄槽上方に架設し、該スライダー
により洗浄槽間でのシリコン塊の移し換えを迅速かつ連
続的に行う。該スライダーを上記レール上を移動させる
には移動用シリンダーを設け、各スライダーに連結する
ロッドを介して所定間隔を保持して複数のスライダーを
同時に移動させる。勿論スライダーの移動機構はこれに
限らない。洗浄槽は洗浄液（エッチング液）の種類に応
じ、かつ洗浄順序に応じて複数個、一列に配設される。
勿論必要に応じ並列に設置してもよい。シリコン塊はバ
スケットに収納された状態で洗浄槽に浸漬され、移送さ
れる。上記スライダーは該バスケットを吊り下げて、上
下動する機構を具えており、例えばシリンダー機構を有
し、該シリンダーのロッド下端がバスケットを懸下する
ためのハンガー部を形成する。該ハンガー部にはバスケ
ットを係合するための回転自在なフックを設け、バスケ
ットが洗浄工程を経由する間、該フックによりバスケッ
トを吊り下げて搬送する。洗浄槽には所定のエッチング
液が貯溜されており、例えば最初の第一洗浄槽および次
の第二洗浄槽にはフッ化水素酸、硝酸を主成分とするエ
ッチング液が貯溜され最後の第三洗浄槽には純水が貯溜
される。勿論エッチング液はこれらに限らず用いられ
る。洗浄効果を高めるため従来は洗浄槽内部のバスケッ
トを手作業で揺動させているが、本洗浄装置では各洗浄
槽底部に傾斜面を形成し、バスケットが各洗浄槽に入れ
られた際、該バスケットを傾斜させ、上記ハンガー部を
上下動することにより、同一洗浄槽内部でバスケットの
傾斜を繰り返し、自動的にバスケットを揺動し、バスケ
ット内部のシリコン塊のエッチング斑を解消する。
かつ作業能率の良いことが必要である。本発明は洗浄槽
を複数個配列し、その配列した洗浄槽に沿って移動する
数個のスライダーを洗浄槽上方に架設し、該スライダー
により洗浄槽間でのシリコン塊の移し換えを迅速かつ連
続的に行う。該スライダーを上記レール上を移動させる
には移動用シリンダーを設け、各スライダーに連結する
ロッドを介して所定間隔を保持して複数のスライダーを
同時に移動させる。勿論スライダーの移動機構はこれに
限らない。洗浄槽は洗浄液（エッチング液）の種類に応
じ、かつ洗浄順序に応じて複数個、一列に配設される。
勿論必要に応じ並列に設置してもよい。シリコン塊はバ
スケットに収納された状態で洗浄槽に浸漬され、移送さ
れる。上記スライダーは該バスケットを吊り下げて、上
下動する機構を具えており、例えばシリンダー機構を有
し、該シリンダーのロッド下端がバスケットを懸下する
ためのハンガー部を形成する。該ハンガー部にはバスケ
ットを係合するための回転自在なフックを設け、バスケ
ットが洗浄工程を経由する間、該フックによりバスケッ
トを吊り下げて搬送する。洗浄槽には所定のエッチング
液が貯溜されており、例えば最初の第一洗浄槽および次
の第二洗浄槽にはフッ化水素酸、硝酸を主成分とするエ
ッチング液が貯溜され最後の第三洗浄槽には純水が貯溜
される。勿論エッチング液はこれらに限らず用いられ
る。洗浄効果を高めるため従来は洗浄槽内部のバスケッ
トを手作業で揺動させているが、本洗浄装置では各洗浄
槽底部に傾斜面を形成し、バスケットが各洗浄槽に入れ
られた際、該バスケットを傾斜させ、上記ハンガー部を
上下動することにより、同一洗浄槽内部でバスケットの
傾斜を繰り返し、自動的にバスケットを揺動し、バスケ
ット内部のシリコン塊のエッチング斑を解消する。
第１図および第２図に本発明に係る洗浄装置の一実施例
を示す。図示するように洗浄装置は、洗浄槽10と、移動
用レール11と、該移動用レール11にガイドロール14を介
して摺動自在に装着されたスライダー20aないし20dとを
備える。上記洗浄槽10はエッチング液の種類に応じて必
要な個数の洗浄槽が１列に配置されている。第１図に示
す実施例においては第一洗浄槽10、第二洗浄槽10a、第
三洗浄槽10bが設けられ、各洗浄槽には順にフッ化水素
酸、硝酸を主成分とし、エッチング速度の早いエッチン
グ液（Ｉ）、エッチング速度の遅いエッチン液（II）、
および純水が貯溜される。上記移動用レールは該洗浄槽
10,10a,10bの配列に沿って、その上方に設けられてい
る。該レール11に摺動自在に装着されるスライダー12は
洗浄槽に連設する供給装置、上方と各洗浄槽毎に一個の
スライダーが対応するように所定間隔を保って複数個配
設される。第１図に示す実施例においては第一洗浄槽か
ら第三洗浄槽10bおよび供給装置上方にそれぞれ配置さ
れる４個のスライダー20a,20b,20c,20dが設けられてい
る。各スライダー20a…20dにはロッド先端が上下動する
シリンダー12aが設けられている。該ロッド先端はバス
ケット13を吊り下げるためのハンガー部12bを形成して
おり、該ハンガー部12bに回転自在なフック12cが軸着さ
れている。第１図に示すフック12cは回転自在にハンガ
ー部に軸着された一対のアーム12dの先端がロッドで連
結されることにより形成されている。他方、バスケット
13には係合部13aが上方に突出しており、該係合部13aの
先端は上記回転フック12cに係合するように側方に曲折
している。勿論該フック12cおよびバスケットの係合部1
3aの形状は図示されるものに限らない。例えば、第２図
に示すフック12dおよび係合部13aは、上記フック12cが
曲折して鈎状を呈し、一方、バスケット13の係合部13a
は単純な棒状をなし、バスケットの上面開口を跨がって
装着されており、上記フック先端が該棒状部材に係合す
るように構成されている。
を示す。図示するように洗浄装置は、洗浄槽10と、移動
用レール11と、該移動用レール11にガイドロール14を介
して摺動自在に装着されたスライダー20aないし20dとを
備える。上記洗浄槽10はエッチング液の種類に応じて必
要な個数の洗浄槽が１列に配置されている。第１図に示
す実施例においては第一洗浄槽10、第二洗浄槽10a、第
三洗浄槽10bが設けられ、各洗浄槽には順にフッ化水素
酸、硝酸を主成分とし、エッチング速度の早いエッチン
グ液（Ｉ）、エッチング速度の遅いエッチン液（II）、
および純水が貯溜される。上記移動用レールは該洗浄槽
10,10a,10bの配列に沿って、その上方に設けられてい
る。該レール11に摺動自在に装着されるスライダー12は
洗浄槽に連設する供給装置、上方と各洗浄槽毎に一個の
スライダーが対応するように所定間隔を保って複数個配
設される。第１図に示す実施例においては第一洗浄槽か
ら第三洗浄槽10bおよび供給装置上方にそれぞれ配置さ
れる４個のスライダー20a,20b,20c,20dが設けられてい
る。各スライダー20a…20dにはロッド先端が上下動する
シリンダー12aが設けられている。該ロッド先端はバス
ケット13を吊り下げるためのハンガー部12bを形成して
おり、該ハンガー部12bに回転自在なフック12cが軸着さ
れている。第１図に示すフック12cは回転自在にハンガ
ー部に軸着された一対のアーム12dの先端がロッドで連
結されることにより形成されている。他方、バスケット
13には係合部13aが上方に突出しており、該係合部13aの
先端は上記回転フック12cに係合するように側方に曲折
している。勿論該フック12cおよびバスケットの係合部1
3aの形状は図示されるものに限らない。例えば、第２図
に示すフック12dおよび係合部13aは、上記フック12cが
曲折して鈎状を呈し、一方、バスケット13の係合部13a
は単純な棒状をなし、バスケットの上面開口を跨がって
装着されており、上記フック先端が該棒状部材に係合す
るように構成されている。
次に上記スライダー20a…20bを移動するシリンダー15が
上記レール11の端部に設けられている。該シリンダー15
はそのロッド15aが上記レール11に沿って往復動するよ
うに配設されており、上記複数のスライダー20a…20dは
該ロッド15aに所定間隔を保って連結され、該ロッド15a
の往復動によりレール11に沿って同時に一体に移動され
る。
上記レール11の端部に設けられている。該シリンダー15
はそのロッド15aが上記レール11に沿って往復動するよ
うに配設されており、上記複数のスライダー20a…20dは
該ロッド15aに所定間隔を保って連結され、該ロッド15a
の往復動によりレール11に沿って同時に一体に移動され
る。
一方、各洗浄槽の底部にはバスケット13が洗浄槽に入れ
られた際、底部に載置された該バスケットが傾斜するよ
うに傾斜面16が形成されている。該傾斜面16は各洗浄槽
毎に順に互いに逆向きに形成すれば、バスケットを順次
逆向きに傾斜させて揺動でき、エッチングの均一化又は
完全洗浄を図るうえで好ましい。
られた際、底部に載置された該バスケットが傾斜するよ
うに傾斜面16が形成されている。該傾斜面16は各洗浄槽
毎に順に互いに逆向きに形成すれば、バスケットを順次
逆向きに傾斜させて揺動でき、エッチングの均一化又は
完全洗浄を図るうえで好ましい。
配列された洗浄槽10,10a,10bの搬入側にはバスケットの
供給装置17が連設され、またその搬出側には搬出装置18
が設置される。これら搬入装置17および搬出装置18は例
えばベルトコンベアを用いることができる。
供給装置17が連設され、またその搬出側には搬出装置18
が設置される。これら搬入装置17および搬出装置18は例
えばベルトコンベアを用いることができる。
上記装置構成において、シリコン塊30を収納したバスケ
ット13がベルトコンベアの供給装置17によって洗浄槽10
まで搬送される。一方、移動用シリンダー15によってス
ライダー20a,20b,20c,20dは搬送側に移動され、搬送側
のスライダー20aが供給装置17のバスケット13の上方で
停止される。次いで該スライダー20aのフック12cが下方
に回転してバスケット13の係合部13aに係合し、上下動
シリンダー12aが作動し、そのロッドが上昇してバスケ
ット13を洗浄槽の上方に吊り上げる。次いで移動用シリ
ンダー15によってスライダー20aは搬送方向に移動さ
れ、第一洗浄槽10の上方で停止される。引き続き上下動
シリンダー12aが作動してバスケット13を第一洗浄槽10
の内部に吊り降ろし、エッチング液に浸す。この場合、
洗浄槽10の内部で数回バスケット13を上下動させ、傾斜
面16に沿ってバスケットの傾斜を繰り返し、該バスケッ
ト13に収納したシリコン塊30のエッチング斑を防止す
る。バスケット13の揺動が終了した後、フック12cが回
転してバスケット13の係合部13aから外れ、ハンガー部1
2bが洗浄槽上方に引き上げられ、次いで移動用シリンダ
ー15が作動してスライダー20aが再び搬入側に移動し、
供給装置17の上方に復帰させる。同時にスライダー20b
は隣接する洗浄槽10aから洗浄槽10の上方に移動され、
該スライダー20bのハンガー部12bが下降してフック12c
がバスケット13の係合部13aに向かって回転し、係合す
る。引き続き上下動シリンダー12aが作動し、ハンガー1
3を吊り上げる。また上記一連の動作と同時に隣接する
スライダー20c,20dの上下動シリンダー12aが作動してそ
れぞれ供給装置上あるいは洗浄槽10,10a,10bのハンガー
13を吊り上げる。引き続き、移動用シンリンダー15が作
動してこれら各スライダー20a,20b,20cを一体に搬出側
に移動し、前述の動作を繰り返し、連続的な洗浄が行な
われる。
ット13がベルトコンベアの供給装置17によって洗浄槽10
まで搬送される。一方、移動用シリンダー15によってス
ライダー20a,20b,20c,20dは搬送側に移動され、搬送側
のスライダー20aが供給装置17のバスケット13の上方で
停止される。次いで該スライダー20aのフック12cが下方
に回転してバスケット13の係合部13aに係合し、上下動
シリンダー12aが作動し、そのロッドが上昇してバスケ
ット13を洗浄槽の上方に吊り上げる。次いで移動用シリ
ンダー15によってスライダー20aは搬送方向に移動さ
れ、第一洗浄槽10の上方で停止される。引き続き上下動
シリンダー12aが作動してバスケット13を第一洗浄槽10
の内部に吊り降ろし、エッチング液に浸す。この場合、
洗浄槽10の内部で数回バスケット13を上下動させ、傾斜
面16に沿ってバスケットの傾斜を繰り返し、該バスケッ
ト13に収納したシリコン塊30のエッチング斑を防止す
る。バスケット13の揺動が終了した後、フック12cが回
転してバスケット13の係合部13aから外れ、ハンガー部1
2bが洗浄槽上方に引き上げられ、次いで移動用シリンダ
ー15が作動してスライダー20aが再び搬入側に移動し、
供給装置17の上方に復帰させる。同時にスライダー20b
は隣接する洗浄槽10aから洗浄槽10の上方に移動され、
該スライダー20bのハンガー部12bが下降してフック12c
がバスケット13の係合部13aに向かって回転し、係合す
る。引き続き上下動シリンダー12aが作動し、ハンガー1
3を吊り上げる。また上記一連の動作と同時に隣接する
スライダー20c,20dの上下動シリンダー12aが作動してそ
れぞれ供給装置上あるいは洗浄槽10,10a,10bのハンガー
13を吊り上げる。引き続き、移動用シンリンダー15が作
動してこれら各スライダー20a,20b,20cを一体に搬出側
に移動し、前述の動作を繰り返し、連続的な洗浄が行な
われる。
尚、上記実施例は多結晶シリコンの洗浄装置の例を示し
たが、本発明の洗浄装置はシリコン洗浄に限らず用いる
ことができる。又、上記実施例は４個のスライダーに連
結して一体に移動する構成を示したが、他の機構により
移動させてもよい。
たが、本発明の洗浄装置はシリコン洗浄に限らず用いる
ことができる。又、上記実施例は４個のスライダーに連
結して一体に移動する構成を示したが、他の機構により
移動させてもよい。
＜発明の効果＞ 本発明の洗浄装置は、連続して複数のスライダーが移動
し、順次バスケットを各洗浄槽毎に移し換えて洗浄する
ので従来手作業の洗浄作業に比べて洗浄作業の能率が格
段に良い。また各洗浄槽の内部でバスケットが機械的に
揺動されるので洗浄効果に優れ、エッチング斑を生じな
い。更にスライダーの移動シリンダーの作動が自動的に
なされるので連続的な自動洗浄を行うことができる。
し、順次バスケットを各洗浄槽毎に移し換えて洗浄する
ので従来手作業の洗浄作業に比べて洗浄作業の能率が格
段に良い。また各洗浄槽の内部でバスケットが機械的に
揺動されるので洗浄効果に優れ、エッチング斑を生じな
い。更にスライダーの移動シリンダーの作動が自動的に
なされるので連続的な自動洗浄を行うことができる。
第１図および第２図は本発明の洗浄装置に係り、第１図
はその一実施例を示す概略図、第２図は回転フックとバ
スケットの他の例を示す概略図である。 図面中、10……洗浄槽、11……移動用レール、12……ス
ライダー、12a……上下動シリンダー、12b……ハンガー
部、12c……回転フック、13……バスケット、13a……係
合部、15……移動用シリンダー、16……傾斜面、17……
供給装置、18……搬出装置。
はその一実施例を示す概略図、第２図は回転フックとバ
スケットの他の例を示す概略図である。 図面中、10……洗浄槽、11……移動用レール、12……ス
ライダー、12a……上下動シリンダー、12b……ハンガー
部、12c……回転フック、13……バスケット、13a……係
合部、15……移動用シリンダー、16……傾斜面、17……
供給装置、18……搬出装置。
Claims (3)
- 【請求項１】複数個配列された洗浄槽と、該洗浄槽の配
列に沿ってその上方に配設された移動用レールと、該レ
ールに移動自在に装着されかつ上下動自在なハンガー部
を有するスライダーと、該スライダーのハンガー部に設
けられた回転フック機構と、該フックに係合されるバス
ケットとを備え、該洗浄槽の底部には該バスケットが載
置される傾斜面が形成されていることを特徴とする洗浄
装置。 - 【請求項２】上記スライダーが上下動シリンダーを具
え、該シリンダーのロッド下端が上記ハンガー部を形成
する特許請求の範囲第１項の洗浄装置。 - 【請求項３】該傾斜面が洗浄槽毎に逆向きに形成されて
いる特許請求の範囲第項１又は第２項の洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12028987A JPH0744169B2 (ja) | 1987-05-19 | 1987-05-19 | 洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12028987A JPH0744169B2 (ja) | 1987-05-19 | 1987-05-19 | 洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63285938A JPS63285938A (ja) | 1988-11-22 |
| JPH0744169B2 true JPH0744169B2 (ja) | 1995-05-15 |
Family
ID=14782556
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12028987A Expired - Fee Related JPH0744169B2 (ja) | 1987-05-19 | 1987-05-19 | 洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0744169B2 (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2599800Y2 (ja) * | 1992-09-25 | 1999-09-20 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板洗浄装置 |
| US6575177B1 (en) * | 1999-04-27 | 2003-06-10 | Applied Materials Inc. | Semiconductor substrate cleaning system |
| JP2006181555A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Mitsubishi Materials Polycrystalline Silicon Corp | 多結晶シリコンの洗浄方法と洗浄装置 |
| KR100968521B1 (ko) * | 2008-06-09 | 2010-07-08 | (주)둔포기계 | 폴리실리콘 에칭 처리장치 |
| JP5817424B2 (ja) * | 2010-10-20 | 2015-11-18 | 三菱マテリアル株式会社 | 多結晶シリコン洗浄装置 |
| CN102059230B (zh) * | 2010-12-30 | 2012-08-08 | 常州松晶电子有限公司 | 用于清洗晶片的摇摆清洗装置 |
| CN102328088A (zh) * | 2011-08-10 | 2012-01-25 | 苏州恒瑞粉末冶金制造有限公司 | 具有防止摇摆功能的萃取篮 |
| CN106540921A (zh) * | 2016-12-08 | 2017-03-29 | 江苏康宏金属软管有限公司 | 一种弹簧自动清洗装置 |
| CN109570105A (zh) * | 2018-11-01 | 2019-04-05 | 贵州梅岭电源有限公司 | 一种电池电极运动冲洗装置及冲洗方法 |
| CN110429021B (zh) * | 2019-07-24 | 2024-09-06 | 曲靖隆基硅材料有限公司 | 一种硅片清洗沥干装置及方法、清洗烘干装置及方法 |
| JP6861921B1 (ja) | 2019-11-05 | 2021-04-21 | 株式会社トクヤマ | シリコン芯線のエッチング装置およびシリコン芯線のエッチング方法 |
| CN116849243A (zh) * | 2023-07-13 | 2023-10-10 | 福建省亚明食品有限公司 | 一种虾滑的工业化制作设备和工艺 |
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1987
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