JPH0745560Y2

JPH0745560Y2 - 蒸着装置

Info

Publication number: JPH0745560Y2
Application number: JP849591U
Authority: JP
Inventors: 剛史三石
Original assignee: Hoya Corp
Current assignee: Hoya Corp
Priority date: 1991-01-31
Filing date: 1991-01-31
Publication date: 1995-10-18
Anticipated expiration: 2005-10-18
Also published as: JPH04100252U

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は眼鏡レンズに反射防止膜
を施す際に使用して好適な蒸着装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】従来から、眼鏡レンズの表面には反射率
を減少し透過光を増すと共に、フレアーによるコントラ
ストの低下やゴーストなどの反射光による種々の障害を
除くため反射防止膜を施すことが行われている。反射防
止膜用物質としては、通常弗化マグネシウムが使用され
るが、最近では反射防止効果をより一層高めるため異な
る物質を３層〜４層に重ねた多層反射防止膜を施してい
る。このような反射防止膜を施す方法は、真空槽内で蒸
着物質を抵抗加熱法により加熱蒸発させ、その蒸気をレ
ンズ表面に透明な薄膜として成膜させる真空蒸着法が最
も一般的である（例：「眼鏡」，Ｐ７５，（株）メディ
カル葵出版，１９８６年５月２２日発行）。この場合、
蒸着物質を何度も加熱蒸発させて使用すると、不純物
が混入し易い、一度溶融したものと、溶融していない
ものとでは屈折率が変化するため、再現性が悪い、蒸
着物質を成膜中に補充すると、蒸発粒子の蒸発方向を乱
し易く、不均一な膜ができ易い等の問題があった。その
ため、このような問題を解消する方法として、例えば特
開昭６１−１８３４６号公報に開示されたものが知られ
ている。これは、間欠的に回転される蒸発坩堝の上面に
複数個の蒸着物質を収納配置し、一回の成膜毎に坩堝を
回動させて蒸着物質を変えるように構成したものであ
る。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の蒸着装置においては、蒸発坩堝に形成され蒸
着物質を収納する収納凹部の数によって成膜回数が決定
されるため、連続して多数のレンズを成膜する場合に
は、蒸発坩堝を交換する度に真空槽の真空を破って交換
し、その後再び真空排気して所定の真空度にしなければ
ならず、非能率的で生産性が悪いという問題があった。
また、真空槽を開く度に内部が汚染されるため、クリー
ニングの回数が増加するという問題もあった。

【０００４】したがって、本考案は上記したような従来
の問題点に鑑みてなされたもので、その目的とするとこ
ろは、真空槽を開くことなく、蒸着物質の連続的交換を
可能にし、生産性を向上させると共に、クリーニングの
回数を減少させ得るようにした蒸着装置を提供すること
にある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本考案は上記目的を達成
するためになされたもので、その第１の考案は、それぞ
れ真空槽内に設けられ蒸着物質を収納する複数個の収納
凹部が設けられた複数個のハースを積層収納する第１お
よび第２のハース収納室と、蒸着時に前記第１のハース
収納室に収納されている最上段のハースを把持して加熱
位置に設けられている載置台に受け渡し、載置台上に載
置されているハースの各収納凹部内に収納されている全
ての蒸着物質による真空蒸着が終了すると、当該ハース
を把持し、前記第２のハース収納室に収納するハース搬
送装置を備え、前記第１、第２のハース収納室は、上下
動可能で複数個のハースが積層載置される可動底と、前
記ハースの補給、受取または供給時に前記可動底を昇降
させる可動底昇降機構をそれぞれ備えているものであ
る。第２の考案は上記第１の考案において、前記ハース
搬送装置は、ハースを把持する開閉自在なハンドと、こ
のハンドを開閉動作させる開閉機構と、前記ハンドを水
平面内にて旋回させる旋回駆動機構とを備えているもの
である。第３の考案は上記第１の考案において、前記載
置台はハースの各収納凹部に収納されている蒸着物質の
加熱、蒸着が終了する度に駆動源によって間欠的に回転
され、また前記載置台の近傍には上下動自在で前記ハー
ス搬送装置よりハースを受取る際上昇し、受取後下降す
ることにより前記ハースを前記載置台上に載置するハー
ス受取機構を備えているものである。第４の考案は上記
第１の考案において、前記載置台の近傍にはハースを前
記載置台に押し付け、その中心を前記載置台の回転中心
と一致させる押え機構が設けられているものである。

【０００６】

【作用】本考案において、ハース搬送装置は第１のハー
ス収納室内に積層収納されているハースを最上段のもの
から順次把持して載置台に搬送し、また成膜を終わった
載置台上のハースを把持して第２のハース収納室に搬送
収納する。第１のハース収納室の可動底は、最上段のハ
ースがハース搬送装置によって取り除かれる度に上昇し
て次のハースのハース搬送装置への受け渡しを可能にす
る。第２のハース収納室の可動底は、ハース搬送装置に
よってハースが収納される度にハース一つ分だけ下降し
て次のハースの受取収納を可能にする。ハース搬送装置
の開閉機構は、ハースの受取、受け渡し時にハンドを開
閉動作させる。旋回駆動機構は、水平面内においてハン
ドを旋回させ、第１のハース収納室−載置台−第２のハ
ース収納室間を往復移動させる。ハース受取機構は、ハ
ース搬送装置よりハースを受取り、下降してハースを載
置台に受け渡す。押え機構は、ハースを押し付けて載置
台に密着させ、その中心を載置台の回転中心と一致させ
る。載置台は、一回の成膜が終了する度に間欠的に回動
され、蒸着物質を変える。

【０００７】

【実施例】以下、本考案を図面に示す実施例に基づいて
詳細に説明する。図１は本考案に係る蒸着装置の要部を
示す一部破断斜視図、図２は同装置の内部を示す平面
図、図３は同装置の縦断面図、図４は第１のハース収納
室の構成を示す縦断面図、図５はハース搬送装置の平面
図、図６は同ハース搬送装置の構成を示す縦断面図、図
７は載置台の構成を示す縦断面図、図８は押え機構の一
部破断側面図である。

【０００８】図１〜図３において、蒸着装置１は蒸着チ
ャンバー２と、蒸着チャンバー２の下端開口部を気密に
閉鎖するベースプレート３とを備え、これらによって真
空槽４を形成し不図示の真空ポンプに接続されている。
真空槽４は、１０^-6Ｔｏｒｒ程度の真空度に保持され
る。真空槽４の内部下方にはそれぞれ２つからなる第１
のハース収納室５Ａ、５Ｂ、各第１のハース収納室５
Ａ、５Ｂをそれぞれ覆うカバー６Ａ、６Ｂ、抵抗加熱蒸
発源７Ａ、７Ｂ、ハース搬送装置８Ａ、８Ｂ、載置台９
Ａ、９Ｂおよび押え機構１０Ａ、１０Ｂと、一つの第２
のハース収納室１１等が配設される一方、内部上方には
これから反射防止膜を施すべき多数（７０〜１００個）
の眼鏡レンズ１２を表面に設置してなるレンズドーム１
３が周縁部を回転台１４に回転自在に保持されて配設さ
れている。前記第２のハース収納室１１は、ベースプレ
ート３の中央に設けられ、その両側に前記載置台９Ａ、
９Ｂが、さらにその両側に前記第１のハース収納室５
Ａ、５Ｂがそれぞれ配置されている。第１のハース収納
室５Ａ、５Ｂと第２のハース収納室１１は同一直線上に
配設され、この直線を挟んで前記ハース搬送装置８Ａ、
８Ｂと前記載置台９Ａ、９Ｂとが対向配置されている。
この場合、第１のハース収納室５Ａ、載置台９Ａおよび
第２のハース収納室１１は、第１のハース搬送装置８Ａ
の回転中心Ｏ₁ を中心とする同一円周上に中心がそれぞ
れ位置するように設けられている。また、第１のハース
収納室５Ｂ、載置台９Ｂおよび第２のハース収納室１１
は、第２のハース搬送装置８Ｂの回転中心Ｏ₂ を中心と
する同一円周上に中心がそれぞれ位置するように設けら
れている。なお、前記真空槽４の両側には、通常はゲー
トバルブによって遮断されており、レンズドーム１３の
装着、交換時に連通されるドーム挿入室とドーム取出室
（いずれも図示せず）が設けられており、これによって
真空槽４内の真空を破らずにレンズドーム１３の装着、
交換を可能にしている。

【０００９】次に、上記構成からなる蒸着装置１の各部
の詳細について説明する。図１および図４において、前
記第１のハース収納室５Ａは、両端が開放する円筒状の
ハース収納筒２０と、このハース収納筒２０の下端側開
口部にボルト２１によりＯリング２２を介して固定され
た底板２３を備えている。前記ハース収納筒２０の上端
開口部は、前記ベースプレート３の裏面で、かつ該プレ
ートに開設された開口２４の周縁部に同じくボルト２５
によりＯリング２６を介して固定されている。したがっ
て、第１のハース収納室５Ａの内部は、前記蒸着槽４の
内部と連通し真空排気される。また前記ハース収納筒２
０の内部には後述する可動底昇降機構２８によって昇降
される上下動自在な可動底２７が配設されており、この
可動底２７にそれぞれ多数の反射防止膜用蒸着物質２９
を収納してなる複数個のハース３０が段積み積載されて
いる。前記可動底２７は、円盤状に形成された第１の底
板部材３１と、前記ハース３０が嵌挿される円筒体３２
とで構成され、この円筒体３２の下端部外周面には、前
記第１の底板部材３１の上面にＯリング３３を介して密
接されかつ複数個のボルト（図示せず）により固定され
るフランジ部３２Ａが一体に設けられ、またフランジ部
３２Ａと底板部材３１の接合面間には溝３５が形成され
ている。この溝３５には前記ハース３０を冷却する冷却
水３４が後述する可動軸によって循環供給されるように
なっている。

【００１０】前記ハース３０は、銅等の金属によって適
宜板厚を有する円盤状に形成され、その上面外周寄りに
は複数個、例えば８個の収納凹部３６が凹設されて弗化
マグネシウム等の蒸着物質２９を収納しており、中央に
は前記円筒体３２の外周に嵌合する嵌合孔３７が貫通形
成されている。

【００１１】前記可動底昇降機構２８は、前記第１のハ
ース収納室５Ａへのハース３０の補給時および第１のハ
ース収納室５Ａから前記載置台９Ａへのハース供給時に
前記可動底２７を昇降させるもので、前記底板２３の下
方に配設された昇降用駆動モータ４０と、この駆動モー
タ４０の回転がギア４１、４２を介して伝達される主軸
４３と、この主軸４３の回転を前記可動底２７の上下運
動に変換するナット部材４４等で構成されている。前記
主軸４３は、前記底板２３の中央に開設された中心孔４
５を貫通して設けられ、その下端部が前記底板２３の下
面に設けた軸受装置４６によって回転自在に保持されて
いる。軸受装置４６は、前記底板２３の下面に溶接固定
された円筒状の上ベアリング受け４７と、前記主軸４３
にラジアルベアリング４８、４９、スラストベアリング
５０、ウイルソンシール５１等を介して嵌装され、前記
上ベアリング受け４７にボルト５２によりＯリング５３
を介して固定された下ベアリング受け５４等で構成さ
れ、前記ウイルソンシール５１によって主軸４３および
下ベアリング受け５４間の隙間を真空シールしている。
前記主軸４３の上端部、すなわち底板２３より上方に突
出する部分は、雄螺子５６が形成されて、前記可動底２
７の中心孔５７に適宜な隙間を保って挿通されており、
上端には可動底２７の抜けを防止するキャップ５８が固
定されている。一方、前記主軸４３の下端部には前記可
動底２７の高さを検出するため主軸４３の回転数を計測
する周知の回転位置センサ５９が取付けられており、こ
のセンサ５９による検出信号は、不図示の中央処理装置
に送出され、前記駆動モータ４０を駆動制御するように
構成されている。前記ナット部材４４は、前記主軸４３
の雄螺子部５６に螺合され、かつ前記底板部材３１の下
面中央部にねじ止め固定されている。

【００１２】さらに前記底板部材３１の下面外周部寄り
にはそれぞれ一対からなり可動底２７の下面を共通に保
持すると共に回転を防止する第１および第２可動軸６１
Ａ、６１Ｂ、６２Ａ、６２Ｂ（６１Ｂ、６２Ｂは図示せ
ず）が垂設されている。第１可動軸６１Ａ（６１Ｂも同
様）は、丸棒状体に形成されて前記底板２３に形成され
た挿通孔６３にボールベアリング６４を介して上下動自
在に貫通され、上端が前記底板部材３１に固定され、底
板２３より下端部はカバー６５内に適宜な隙間を保って
挿入されている。カバー６５は、前記第１可動軸６１Ａ
を保護すると共に、前記挿通孔６３をシールするもの
で、下端が閉塞された筒状体に形成され、上端開口部が
前記底板２３の下面にＯリング６６を介して密接され、
かつボルト６７により固定されている。第２可動軸６２
Ａ（６２Ｂ）はパイプからなり、上端開口部が前記可動
底２７内に形成された冷却水用溝３５に連通することに
より冷却水３４の供給管（６２Ｂは排水管）を兼用して
いる。そして、この第２可動軸６２Ａは、前記底板２３
に設けられた挿通孔６８を貫通し、上端が前記底板部材
３１の下面に取付部材６９を介して固定され、中間部が
軸受装置７０によって上下動自在に保持され、下端開口
部に可撓管７１の一端が接続されている。前記軸受装置
７０は、前記底板２３の下面にＯリング７３を介して固
定されたベアリング受け７２と、このベアリング受け７
２の内部に配設されたベアリング７４、シール部材７５
等で構成され、前記挿通孔６８を気密にシールしてい
る。

【００１３】このような構成からなる第１のハース収納
室５Ａにあっては、Ｏリング２２、２６、５３、６６、
ウイルソンシール５１、シール部材７５等で内部を気密
にシールしているので、真空槽４と同一の真空度に保持
され、複数個のハース３０が可動底２７上に積層載置さ
れて収納される。また、可動底２７は、ナット部材４４
および第１、第２可動軸６１Ａ、６２Ａ等によって回転
を防止されて保持されているため、駆動モータ４０の駆
動に伴い、その回転がギヤ４１、４２を介して主軸４３
に伝達されると、前記ナット部材４４、第１、第２可動
軸６１Ａ、６２Ａと共に円滑に上下動し、前記載置台９
Ａへのハース供給時に上昇されて最上段のハース３０を
ハース受渡位置に移動させる。この受渡位置は、ベース
プレート３の上方で前記主軸４３の上面よりも高く、か
つ前記ハース搬送装置８Ａと同一高さ位置とされる。

【００１４】なお、第１のハース収納室５Ａ、５Ｂは、
不使用時およびレンズ１２への反射防止膜形成時におい
てカバー６Ａ、６Ｂ（図２参照）によりそれぞれ覆われ
ており、ハース受渡時に開放され、上述した通り可動底
２７を上昇させ最上段のハース３０をハース受渡位置に
移動させる。前記カバー６Ａ、６Ｂは、ベースプレート
３の上面に沿って矢印方向に進退移動自在に配設され、
真空槽４の外部下方に設けた駆動装置（図示せず）によ
って進退移動される。前記第１のハース収納室５Ｂにつ
いては上記した第１のハース収納室５Ａと同一構造のた
め、その説明を省略する。

【００１５】次に、前記ハース搬送装置８Ａの構成等を
図２、図５および図６に基づいて詳細に説明する。この
ハース搬送装置８Ａは、前記第１のハース収納室５Ａの
ハース受渡位置よりハース３０を受け取り、前記載置台
９Ａに受け渡すために設けられるもので、前記ハース３
０を両側から把持する左右一対のハンド８１Ａ、８１Ｂ
と、これらのハンド８１Ａ、８１Ｂを開閉動作させる開
閉機構８２と、前記ハンド８１Ａ、８１Ｂを旋回用回転
軸８３を中心として水平面内にて旋回させる旋回駆動機
構８４とで構成されている。前記ハンド８１Ａ、８１Ｂ
の基部は直線状に形成されて互いに平行に対向し、先端
部は外側に折曲されて間隔が広く設定されると共に、対
向側面、すなわち内側面が前記ハース３０と略同一の曲
率半径で凹曲面とされ、この凹状曲面部８５が前記ハー
ス３０の外周面に密着し把持する把持面とされる。

【００１６】前記ハンド８１Ａ、８１Ｂの開閉機構８２
は、前記旋回用回転軸８３の下端部外周面に固定された
正逆回転自在な駆動モータ８８と、駆動モータ８８の回
転がギヤ８９、９０を介して減速伝達される開閉用回転
軸９５と、開閉用回転軸９５の回転を直線運動に変換
し、前記ハンド８１Ａ、８１Ｂを開閉動作させる一対の
ラック９１Ａ、９１Ｂおよびピニオン９２と、ハンド８
１Ａ、８１Ｂを案内保持する一対のガイドレール９３
Ａ、９３Ｂ等で構成されている。前記開閉用回転軸９５
は、前記旋回用回転軸８３の中心孔９６を同軸に貫通し
て設けられ、上下端部が軸受装置９８とベアリング９９
によって回転自在に軸支されている。開閉用回転軸９５
の下端部は、前記旋回用回転軸８３の下方に突出して前
記ギヤ９０が取り付けられ、上端には前記一対のラック
９１Ａ、９１Ｂに噛合する前記ピニオン９２が固定され
ている。

【００１７】前記一対のラック９１Ａ、９１Ｂは、前記
各ハンド８１Ａ、８１Ｂの基部内側面にこれらと直交す
るよう且つピニオン９２を挟んで互いに対向配置され、
一方のラック９１Ａの一端がハンド８１Ａに、他方のラ
ック９１Ｂの一端がもう一方のハンド８１Ｂにそれぞれ
固定され、他端部がラック押え板１００にそれぞれ固定
されている。したがって、駆動モータ８８の駆動に伴い
ピニオン８２が開閉用回転軸９５と共に正方向（図５の
時計方向）に回転すると、ラック９１Ａが右方に、ラッ
ク９１Ｂが左方に移動するため、ハンド８１Ａ、８１Ｂ
を開くことができ、反対にピニオン８２が反時計方向に
回転すると、ハンド８１Ａ、８１Ｂを閉じることがで
き、これによって前記ハース３０の把持を可能にしてい
る。前記ラック押え板１００は、前記一対のガイドレー
ル９３Ａ、９３Ｂと共にレールベース１０１上に配設さ
れている。前記一対のガイドレール９３Ａ、９３Ｂは、
前記ピニオン９２を挟んで平行に対向するようにかつハ
ンド８１Ａ、８１Ｂと直交するように配設されており、
両側面にはＶ字状のガイド溝１０３がそれぞれ形成され
ている。前記各ハンド８１Ａ、８１Ｂの基部下面には前
記各ガイドレール９３Ａ、９３Ｂに沿って摺動するベア
リング１０４Ａ、１０４Ｂがそれぞれ固定されている。
各ベアリング１０４Ａ、１０４Ｂの下面中央には前記ガ
イドレール９３Ａ、９３Ｂの上端部が嵌合し得る嵌合溝
１０５がそれぞれ形成されている。

【００１８】前記ハンド８１Ａ、８１Ｂの旋回駆動機構
８４は、前記ベースプレート３の孔１０７に軸受装置１
０８を介して貫通配置された前記旋回用回転軸８３を備
え、この回転軸８３の上端部外周面にはフランジ１０９
が一体に設けられ、その上に前記レールベース１０１が
連結部材１１０を介して設置されている。前記軸受装置
１０８は、ベースプレート３の孔１０７にＯリング１１
２を介して嵌合されボルト１１３によって固定されたリ
ング状プレート１１１と、前記旋回用回転軸８３にＯリ
ング１１４を介して外嵌され前記リング状プレート１１
１の中心孔に嵌合固定された円筒体１１５と、円筒体１
１５内に配設され前記回転軸８３を回転自在に軸支する
ラジアルベアリング１１６Ａ、１１６Ｂおよびスラスト
ベアリング１１７と、回転軸８３の外周に螺合されたナ
ット１１８等で構成されている。また前記回転軸８３の
上端開口部には前記開閉用回転軸９５を回転自在に軸支
する前記軸受装置９８が配設されている。この軸受装置
９８は、前記回転軸８３の上端開口部にＯリング１２２
を介して嵌合固定された蓋部材１２３、蓋部材１２３内
に嵌合配置され前記回転軸９５を回転自在に軸支する一
対のラジアルベアリング１２５Ａ、１２５Ｂ、および蓋
部材１２３と回転軸９５の隙間を真空シールするウイル
ソンシール１２６等で構成されている。前記回転軸８３
の中間部外周面にはギヤ１３０と、該回転軸８３の回転
角度を検出する回転位置センサ１３４とが取り付けられ
ており、ギヤ１３０は、駆動モータ１３１の出力軸１３
２に取り付けられた駆動ギヤ１３３に噛合されている。
駆動モータ１３１は、正逆回転自在で前記ベースプレー
ト３の下面にブラケット（図示せず）を介して配設され
ている。

【００１９】前記ハース搬送装置８Ａは通常ハース受取
位置、すなわち前記第１のハース収納室５Ａの上方にハ
ンド８１Ａ、８１Ｂを開いた状態で待機している。ハー
ス搬送装置８Ａによるハース３０の受取動作に際して、
前述の可動底２７（図４）が上昇移動して最上段のハー
ス３０をハース受取位置に移動させると、駆動モータ８
８を駆動してハンド８１Ａ、８１Ｂを閉じ、前記ハース
３０を把持する。ハンド８１Ａ、８１Ｂによってハース
３０を確実に把持すると、駆動モータ８８を停止させる
と同時に、駆動モータ１３１を駆動する。するとこの駆
動モータ１３１の回転がギヤ１３３、１３０を介して旋
回用回転軸８３に伝達されるため、ハンド８１Ａ、８１
Ｂが設置されたレールベース１０１を該回転軸８３と一
体的に回動させ、ハース３０を前記載置台９Ａの上方に
搬送停止させることができる。そして、駆動モータ８８
を上記とは反対方向に駆動すると、ハンド８１Ａ、８１
Ｂが開き、把持していたハース３０を載置台９Ａ側に受
け渡すことができる。なお、第１のハース収納室５Ｂか
らハース３０を受取り、載置台９Ｂに搬送するハース搬
送装置８Ｂ（図１）については上記ハース搬送装置８Ａ
と同一構成であるため、その説明を省略する。

【００２０】次に、前記載置台９Ａ（９Ｂも同様）の構
成等を図１および図７に基づいて詳細に説明すると、こ
の載置台９Ａは、上プレート１４０と、上プレート１４
０の下面にＯリング１４２を介して密接され且つボルト
（図示せず）によって一体的に結合固定された下プレー
ト１４１とで構成され、ハース回転軸１４３の上面にＯ
リング１４４を介して載置され、且つボルト１４５によ
って固定されている。そして前記上、下プレート１４
０、１４１の接合面間には載置台９Ａ上のハース３０を
冷却し蒸着物質２９の加熱溶融時における熱変形を防止
するため冷却水１４６が循環供給される冷却水用溝１４
７が設けられている。

【００２１】前記ハース回転軸１４３は、中空状に形成
されてベースプレート３の軸孔１４８を貫通することに
より、下端部が真空槽４の下方に突出し、軸受装置１４
９によって回転自在に軸支されている。前記軸受装置１
４９は、前記ベースプレート３の軸孔１４８に下方から
Ｏリング１５０を介して嵌合されボルト１５１によって
固定された円板状のプレート１５２と、前記ハース回転
軸１４３の外周にＯリング１５４を介して嵌合され前記
プレート１５２の中心孔に嵌合固定されたベアリング保
持筒１５３と、前記ハース回転軸１４３とベアリング保
持筒１５３との間に介在されハース回転軸１４３を回転
自在に軸支するラジアルベアリング１５５、１５６およ
びスラストベアリング１５７と、ラジアルベアリング１
５６の抜けを防止するナット部材１５８等で構成されて
いる。前記ハース回転軸１４３の中心孔には冷却管１６
０が挿入配置されており、その上端開口部が前記載置台
９Ａの冷却用溝１４７に連通し、下端が前記ハース回転
軸１４３の下端部に設けた冷却水入口１６２に連通して
いる。この冷却水入口１６２から供給される冷却水１４
６は、前記冷却管１６０の内部通路を通って冷却水用溝
１４７に導かれ、ハース回転軸１４３の内周面と冷却管
１６０との間に形成された環状路１６３を通って前記ハ
ース回転軸１４３の下端部に設けられた冷却水出口１６
４より排出される。

【００２２】前記ベースプレート３の下方には蒸着物質
２９による一回の蒸着が終わる度に前記ハース回転軸１
４３を１／８回転ずつ間欠的に回転させる駆動モータ１
６７が配設されており、このモータ１６７の回転がギヤ
１６８、１６９を介して前記ハース回転軸１４３に伝達
されるように構成されている。さらに前記ハース回転軸
１４３の下端部には該回転軸１４３の回転角度を検出す
る周知の回転位置センサ１７０が取付けられている。

【００２３】前記載置台９Ａの周囲には前記ハース搬送
装置８Ａよりハース３０を受取り、載置台９Ａ上に載置
するハース受取機構１７１が配設されている。このハー
ス受取機構１７１は、前記ベースプレート３を軸受部材
１７２およびウイルソンシール１７３を介して上下動自
在に貫通する３本のハース受取用ロッド１７４と、モー
タ１７５と、モータ１７５の回転を前記ロッド１７４の
上下運動に変換するピニオン１７６およびラック１７７
等で構成されている。前記３本のハース受取用ロッド１
７４は、前記ベースプレート３の下方に配設された可動
リング１７８上に周方向に等間隔をおいて立設されてお
り、この可動リング１７８に前記ピニオン１７６に噛合
するラック１７７が取付けられている。また、前記可動
リング１７８の下方には固定リング１７９が配設されて
おり、この固定リング１７９はブラケット１８０を介し
て前記ベースプレート３の下面に取付けられている。固
定リング１７９には複数本、例えば３本のリング支持棒
１８１がベアリング１８２を介してそれぞれ上下動自在
に設けられており、その上端が前記可動リング１７８に
連結されている。したがって、前記モータ１７５の回転
がピニオン１７６およびラック１７７を介して伝達され
ると、リング支持部材８１がベアリング１８２に沿って
上下動するため、前記３本のハース受取用ロッド１７４
は前記可動リング１７８と共に上下動し、ハース搬送装
置８Ａからハース３０を受け取る際には、載置台９Ａよ
り高い位置でハース搬送装置８Ａと同一高さ位置まで上
昇して前記ハース搬送装置８Ａが把持しているハース３
０を下から３点支持する。この状態でハンド８１Ａ、８
１Ｂによるハース３０の把持を解除すると、ハース３０
は前記ハース受取用ロッド１７４に受け渡され、しかる
後モータ１７５の駆動によりハース受取用ロッド１７４
が下降すると、前記載置台９Ａ上に載置される。そし
て、このハース３０は前記押え機構１０Ａによって上方
から押圧されることにより、前記載置台９Ａ上に密接さ
れ、且つ中心を載置台９Ａの中心と一致される。

【００２４】前記押え機構１０Ａは、図８に示すように
ベースプレート３に設けた貫通孔（図示せず）を気密に
貫通する軸１９０と、ベースプレート３の下方に配設さ
れ前記軸１９０を上下動させる油圧シリンダ等の駆動源
１９１とを備え、軸１９０の上端部にはハース３０を押
圧する押圧部材１９３を先端に有する保持棒１９４が押
え保持具１９５を介して取付けられている。前記押圧部
材１９３は、円筒状の本体１９６、本体１９６の中心孔
にラジアルベアリング１９７、１９８およびスラストベ
アリング１９９を介して回転自在に且つ若干の上下動を
許容されて配設された押圧子２００、押圧子２００の上
端部に螺合されたナット部材２０１、本体１９６の上端
開口部を覆うカバー２０２等で構成され、前記載置台９
Ａの上方にこれと中心を一致させてかつハース３０の板
厚より大きな間隔を保って位置している。そして、載置
台９Ａ上にハース３０が載置されると、軸１９０の下降
に伴い押圧子２００が降下して前記ハース３０の中心孔
３７を押圧する。この場合、押圧子２００の下端は前記
中心孔３７より若干大きい円板状に形成され、かつその
下面外周部にテーパ面２０３を有し、このテーパ面２０
３を前記中心孔３７の上端側開口縁に押し付けることに
より、ハース３０の中心を前記載置台９Ａの中心と一致
させることができる。したがって、このような押え機構
１０Ａを用いると、載置台９Ａの間欠回転によるハース
３０の位置ずれを防止することができ、またハース３０
を載置台９Ａに密着させるため、冷却水１４６によるハ
ース３０の冷却効果を向上させることができる利点を有
する。

【００２５】このようにしてハース３０が載置台９Ａ上
に設置されると、抵抗加熱源７Ａによる蒸着物質２９の
加熱溶融により反射防止膜が眼鏡レンズの表面に成膜さ
れ、一回の成膜が終わると駆動モータ１６７の駆動によ
って載置台９Ａが間欠的に回転され、新たな蒸着物質２
９の加熱溶融による成膜が行われる。そして、１つのハ
ース３０に収納されている全ての蒸着物質２９が使用さ
れると、前記第１のハース収納室５Ａに収納されている
最上段のハース３０と交換される。交換に際しては前記
押え機構１０Ａによる押圧状態を解除した後、ハース搬
送装置８Ａを旋回させて載置台９Ａの上方に移動させて
ハンド８１Ａ、８１Ｂを開いた状態で待機させ、ハース
受取機構１７０によって載置台９Ａ上のハース３０を所
定高さ位置まで押し上げ、ハンド８１Ａ、８１Ｂを閉じ
てハース３０を把持する。次いで、ハース搬送装置８Ａ
を旋回させてハンド８１Ａ、８１Ｂを第２のハース収納
室１１の上方に移動させ、把持しているハース３０を該
ハース収納室１１に収納する。そして、ハース搬送装置
８Ａを第１のハース収納室５Ａの上方に移動させて次の
ハース３０を受け取り、載置台９Ａ側に受け渡すこと
で、ハース３０の自動交換が行われる。この交換は第１
のハース収納室５Ａ内のハース３０が無くなるまで真空
槽４の真空を破ることなく行われる。

【００２６】前記第２のハース収納室１１は、図１に示
すように前記第１のハース収納室５Ａと略同様に構成さ
れている。但し、２つの第１のハース収納室５Ａ、５Ｂ
のハース３０に対して共通に使用されるため、収納室の
深さが第１のハース収納室５Ａよりも深く設定される点
および可動底２１０が上方位置にあってハース搬送装置
８Ａまたは８Ｂよりハース３０を受け取るたびにハース
一つ分の高さだけ可動底昇降機構２８によって下降され
る点で異なっている。なお、第２のハース収納室１１の
詳細については説明を省略する。

【００２７】かくして上記構成からなる蒸着装置１によ
れば、複数個のハース３０を第１のハース収納室５Ａ、
５Ｂ内に三次元的に収納配置しているので、場所を採ら
ず装置の小型化を可能にし、また真空を破ることなく蒸
着物質２９を連続的に交換することができるので、生産
性を高めると共に、クリーニングの回数を削減すること
ができる利点を有する。また、押え機構１０Ａによって
ハース３０を載置台９Ａ上に押し付け、その中心を載置
台９Ａの中心と一致させるようにしているので、載置台
９Ａを間欠的に回転させても、ハース３０がずれたりす
ることがなく、蒸着物質２９と加熱源７Ａとの距離を一
定に保つことができる。したがって、成膜に要する時間
も略一定に保つことができる。

【００２８】なお、上記実施例は２つの第１のハース収
納室５Ａ、５Ｂと、載置台９Ａ、９Ｂを設けた場合につ
いて説明したが、本考案はこれに特定されるものではな
く、１つであっても、また２つ以上であってもよいこと
は勿論である。

【００２９】

【考案の効果】以上説明したように本考案に係る蒸着装
置にあっては、一回の成膜毎に蒸着物質を交換すること
ができるので、成膜の再現性が良く、均一な膜厚を得る
ことができ、また真空槽内に第１のハース収納室を設
け、この中に複数のハースを積層配置し、ハース搬送装
置によってハースを第１のハース収納室より受け取り、
載置台に受け渡すようにしているので、連続的にしかも
真空槽の真空を破ることなく成膜することができる。し
たがって、蒸着の成膜回数が多く、生産性を向上させる
ことができ、また成膜回数が増加すれば装置のクリーニ
ング回数が減少し、稼働率を向上させることができるな
ど、その実用的効果は大である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係る蒸着装置の要部を示す一部破断斜
視図である。

【図２】同装置の内部を示す平面図である。

【図３】同装置の縦断面図である。

【図４】第１のハース収納室の構成を示す縦断面図であ
る。

【図５】ハース搬送装置の平面図である。

【図６】同ハース搬送装置の構成を示す縦断面図であ
る。

【図７】載置台の構成を示す縦断面図である。

【図８】押え機構の一部破断側面図である。

【符号の説明】

３ベースプレート４真空槽５Ａ、５Ｂ第１のハース収納室７Ａ、７Ｂ抵抗加熱源８Ａ、８Ｂハース搬送装置９Ａ、９Ｂ載置台１０Ａ、１０Ｂ押え機構１１第２のハース収納室２７可動底２８可動底昇降機構２９蒸着物質３０ハース８１Ａ、８１Ｂハンド８２開閉機構８４旋回駆動機構１７０ハース受取機構

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】それぞれ真空槽内に設けられ蒸着物質を
収納する複数個の収納凹部が設けられた複数個のハース
を積層収納する第１および第２のハース収納室と、蒸着
時に前記第１のハース収納室に収納されている最上段の
ハースを把持して加熱位置に設けられている載置台に受
け渡し、載置台上に載置されているハースの各収納凹部
内に収納されている全ての蒸着物質による真空蒸着が終
了すると、当該ハースを把持し、前記第２のハース収納
室に収納するハース搬送装置を備え、前記第１、第２の
ハース収納室は、上下動可能で複数個のハースが積層載
置される可動底と、前記ハースの補給、受取または供給
時に前記可動底を昇降させる可動底昇降機構をそれぞれ
備えていることを特徴とする蒸着装置。
【請求項２】請求項１記載の蒸着装置において、前記
ハース搬送装置は、ハースを把持する開閉自在なハンド
と、このハンドを開閉動作させる開閉機構と、前記ハン
ドを水平面内にて旋回させる旋回駆動機構とを備えたこ
とを特徴とする蒸着装置。
【請求項３】請求項１記載の蒸着装置において、前記
載置台はハースの各収納凹部に収納されている蒸着物質
の加熱、蒸着が終了する度に駆動源によって間欠的に回
転され、また前記載置台の近傍には上下動自在で前記ハ
ース搬送装置よりハースを受取る際上昇し、受取後下降
することにより前記ハースを前記載置台上に載置するハ
ース受取機構を備えていることを特徴とする蒸着装置。
【請求項４】請求項１記載の蒸着装置において、前記
載置台の近傍にはハースを前記載置台に押し付け、その
中心を前記載置台の回転中心と一致させる押え機構が設
けられていることを特徴とする蒸着装置。