JPH089164Y2

JPH089164Y2 - 蒸着装置

Info

Publication number: JPH089164Y2
Application number: JP1991008496U
Authority: JP
Inventors: 剛史三石
Original assignee: Hoya Corp
Current assignee: Hoya Corp
Priority date: 1991-01-31
Filing date: 1991-01-31
Publication date: 1996-03-13
Anticipated expiration: 2006-01-31
Also published as: JPH04100253U

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は眼鏡レンズに反射防止膜
を施す際に使用して好適な蒸着装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】従来から、眼鏡レンズの表面には反射率
を減少し透過光を増すと共に、フレアーによるコントラ
ストの低下やゴーストなどの反射光による種々の障害を
除くため反射防止膜を施すことが行われている。反射防
止膜用物質としては、通常弗化マグネシウムが使用され
るが、最近では反射防止効果をより一層高めるため異な
る物質を３層〜４層に重ねた多層反射防止膜を施してい
る。このような反射防止膜を施す方法は、真空槽内で蒸
着物質を抵抗加熱法により加熱蒸発させ、その蒸気をレ
ンズ表面に透明な薄膜として成膜させる真空蒸着法が最
も一般的である（例：「眼鏡」，Ｐ７５，（株）メディ
カル葵出版，１９８６年５月２２日発行）。この場合、
蒸着物質を何度も加熱蒸発させて使用すると、不純物
が混入し易い、一度溶融したものと、溶融していない
ものとでは屈折率が変化するため、再現性が悪い、蒸
着物質を成膜中に補充すると、蒸発粒子の蒸発方向を乱
し易く、不均一な膜ができ易い等の問題があった。その
ため、このような問題を解消する方法として、例えば特
開昭６１−１８３４６号公報に開示されたものが知られ
ている。これは、間欠的に回転される蒸発坩堝の上面に
複数個の蒸着物質を収納配置し、一回の成膜毎に坩堝を
回動させて蒸着物質を変えるように構成したものであ
る。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の蒸着装置においては、蒸発坩堝に形成され蒸
着物質を収納する収納凹部の数によって成膜回数が決定
されるため、連続して多数のレンズを成膜する場合に
は、蒸発坩堝を交換する度に真空槽の真空を破って交換
し、その後再び真空排気して所定の真空度にしなければ
ならず、非能率的で生産性が悪いという問題があった。
また、真空槽を開く度に内部が汚染されるため、クリー
ニングの回数が増加するという問題もあった。

【０００４】したがって、本考案は上記したような従来
の問題点に鑑みてなされたもので、その目的とするとこ
ろは、真空槽を開くことなく、蒸着物質の連続的交換を
可能にし、生産性を向上させると共に、クリーニングの
回数を減少させ得るようにした蒸着装置を提供すること
にある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本考案は、真空槽内に設けられ複数個の蒸着物質を収納
するハースが載置される載置台と、前記真空槽に隣接し
て設けられ外部に連通する第１の開口と前記真空槽に連
通する第２の開口を有するハース交換室と、前記第１の
開口付近に位置して前記ハース交換室内に昇降自在に且
つ回動自在に配設され複数個のハースが載置されるハー
ス交換台と、このハース交換台上のハースを前記第２の
開口に対応して設けられたハース昇降位置に搬送する第
１のハース搬送手段と、前記ハース昇降位置に昇降自在
に配設され、ハースの装着、交換時に前記第２の開口よ
り前記真空槽内のハース受渡、受取位置に搬送する第２
のハース搬送手段と、前記真空槽内に配設され前記ハー
ス受渡、受取位置に搬送された前記第２のハース搬送手
段上の前記ハースを把持して前記載置台に受け渡し、ま
た載置台上に載置されているハースに収納されている全
ての蒸着物質による真空蒸着が終了すると、当該ハース
を把持し、前記第２のハース搬送手段に戻す第３のハー
ス搬送手段と、前記第１および第２の開口をそれぞれ開
閉する第１および第２の開閉扉とを備えたことを特徴と
する。また、本考案においては、第３のハース搬送手段
は、ハースを把持する開閉自在なハンドと、このハンド
を開閉動作させる開閉機構と、前記ハンドを水平面内で
旋回させる旋回駆動機構とを備えたことを特徴とする。
また、本考案においては、載置台はハースに収納されて
いる蒸着物質の加熱、蒸着が終了する度に駆動源によっ
て間欠的に回転され、前記載置台の近傍には上下動自在
で第３のハース搬送手段よりハースを受取る際上昇し、
受取後下降することにより前記ハースを前記載置台上に
載置するハース受取機構を備えていることを特徴とす
る。さらに、本考案は、ハースを載置台に押し付け、そ
の中心を前記載置台の回転中心と一致させる押え機構を
構えていることを特徴とする。

【０００６】

【作用】本考案において、第１の開閉扉を開いてハース
交換室内のハース交換台上にハースを設置してハース交
換室内を真空排気する。ハース交換室内が真空槽と略同
一の真空度になると、第１のハース搬送手段がハース交
換台上のハースをハース昇降位置に搬送し、第２のハー
ス搬送手段に受け渡す。第２のハース搬送手段はハース
を受け取ると上昇して真空槽内のハース受渡、受取位置
にハースを搬送する。この時、第２の開閉扉が開き真空
槽とハース交換室とを連通させる。ハースがハース受
渡、受取位置に搬送されると、第３のハース搬送手段は
ハースを把持して載置台上に載置する。この時、第３の
ハース搬送手段の開閉機構は、ハース把持のためハンド
を閉動作させる。旋回駆動機構は、水平面内においてハ
ンドを旋回させ、ハース受渡、受取位置と載置台間を往
復移動させる。ハース受取機構は、第３のハース搬送手
段よりハースを受取り、下降してハースを載置台に受け
渡す。押え機構は、ハースを載置台に押し付けて密着さ
せ、その中心を載置台の回転中心と一致させる。載置台
は、一回の成膜が終了する度に間欠的に回動され、蒸着
物質を変える。ハースに収納されている全ての蒸着物質
による蒸着が終了すると、ハースは第３のハース搬送手
段−第２のハース搬送手段−第１のハース搬送手段を経
てハース交換台に戻される。ハース交換台に戻されたハ
ースは、第１の開閉扉を開くことにより外部に取り出さ
れ、新たなハースと交換される。このような操作を繰り
返すことにより真空槽の真空を破らずにハースの装着、
交換が行われる。

【０００７】

【実施例】以下、本考案を図面に示す実施例に基づいて
詳細に説明する。図１は本考案に係る蒸着装置の要部の
概略構成を示す斜視図、図２は同装置の要部断面図、図
３は同装置の要部平面図、図４は同装置の断面図、図５
は第３のハース搬送手段の構成を示す縦断面図、図６は
同搬送手段の平面図、図７は載置台の断面図、図８は押
え機構の一部破断側面図である。なお、本考案において
はそれぞれ２つからなる載置台およびハース交換室を設
け、両載置台にハースを同時にもしくはいずれか一方に
載置して蒸着物質による反射防止膜の成膜を行い得るよ
うにした例を示す。

【０００８】図１〜図４において、蒸着装置１は蒸着チ
ャンバー２と、蒸着チャンバー２の下端開口部を気密に
閉鎖するベースプレート３とを備え、これらによって真
空槽４を形成し不図示の真空ポンプに接続されている。
真空槽４は、１０^-6Ｔｏｒｒ程度の真空度に保持され
る。真空槽４の内部下方にはそれぞれ２つからなるハー
ス交換室５Ａ、５Ｂ、抵抗加熱蒸発源６Ａ、６Ｂ、第３
のハース搬送手段７Ａ、７Ｂ、載置台８Ａ、８Ｂおよび
押え機構９Ａ、９Ｂ（９Ｂは図示せず）が配設される一
方、内部上方にはこれから反射防止膜を施すべき多数
（７０〜１００個）の眼鏡レンズ１０を表面に設置して
なるレンズドーム１１が周縁部を回転台１２に回転自在
に保持されて配設されている。

【０００９】次に、上記構成からなる蒸着装置１の各部
の詳細について説明する。前記ハース交換室５Ａ（５Ｂ
も同様）は、前記ベースプレート３の下方に真空槽４に
隣接して設けられるもので、外部に連通する第１の開口
１４と、真空槽４に連通する第２の開口１５を有し、内
部にはハース交換台１６が前記第１の開口１４付近に、
第２のハース搬送手段１８が前記第２の開口１５の下方
に、ハース交換台１６と第２のハース搬送手段１８との
間に位置する第１のハース搬送手段１７がそれぞれ配設
されると共に、前記各開口１４、１５を気密に開閉する
第１、第２の開閉扉１９、２０が配設されている。前記
第１、第２および第３のハース搬送手段１７、１８、７
Ａはハース２２の搬送装置を構成している。前記第１の
開閉扉１９は一側縁が第１の開口１４に回動自在に枢着
されており、ハース２２の挿入、取出時に作業者により
開閉操作されるようになっている。第２の開閉扉２０
は、ゲートバルブからなり、ハース交換室５Ａの外部に
設けられたシリンダ２３によって開閉操作され、ハース
２２の装着、交換時以外は前記第２の開口１５を気密に
閉鎖し、真空槽４とハース交換室５Ａとを遮断してい
る。そして、前記ハース交換室５Ａはハース２２が挿入
されると真空ポンプ２４によって前記真空槽４とは別個
独立に真空槽４と同程度の真空度に真空排気されるよう
に構成されている。

【００１０】前記ハース２２は、図６および図７に示す
ように銅等の金属によって適宜板厚を有する円盤状に形
成され、その上面外周寄りには複数個、例えば８個の収
納凹部３０が凹設されて弗化マグネシウム等の蒸着物質
３１を収納しており、中央には嵌合孔３２が貫通形成さ
れている。

【００１１】図１〜図３において、前記ハース交換台１
６は、横幅が前記ハース２２の直径より小さい小判形に
形成され２つのハース２２が載置され得る大きさを有す
る上テーブル３１と、この上テーブル３１の下面に密接
固定された下テーブル３２とで構成され、これら両テー
ブル３１、３２の接合面間には溝３７が形成されてい
る。この溝３７には後述する冷却管３８によって前記ハ
ース２２を冷却する冷却媒体３９が循環供給されるよう
になっている。前記下テーブル３２の下面中央には中空
の回転軸４０が一体に垂設されており、この回転軸４０
は軸受装置４１によって回転自在に軸支され、下端部が
前記ハース交換室５Ａの底板４２に形成された挿通孔か
らウイルソンシール４３を介して下方に突出している。
前記軸受装置４１は、前記回転軸４０の前記底板４２よ
り上方の外周に軸方向の移動を規制されて嵌合されたベ
アリング受け４４と、このベアリング受け４４と前記回
転軸４０との間に介在されたラジラジアルベアリングお
よびスラストベアリング４５とで構成され、昇降機構４
６によって昇降されるように構成されている。昇降機構
４６は、前記底板４２の下面に設けられたシリンダ４７
と、このシリンダ４７によって上下動される可動プレー
ト４８と、可動プレート４８上に立設された複数個のロ
ッド４９とを備え、このロッド４９は前記底板４２に設
けられた挿通孔をシール部材（図示せず）を介して気密
に貫通して前記ハース交換室５Ａ内に突出し、前記ベア
リング受け４４の鍔部下面に連結されている。したがっ
て、前記シリンダ４７によって可動プレート４８を上下
動させると、ロッド４９と共に軸受装置４１が上下動し
これによって前記ハース交換台１６も上下動する。ハー
ス交換台１６は外部からハース２２が挿入される際、上
方位置に停止しており、前記第１のハース搬送手段１７
にハース２２を受け渡す際、該第１のハース搬送手段１
７とより若干低い位置に下降される。前記ハース交換台
１６はさらに駆動モータ５０によって回動されるように
構成されている。この駆動モータ５０は、前記底板４０
の下方に配設されて複数個のギヤ５１を介して回転を前
記回転軸４０に伝達することにより、前記ハース２２の
挿入、取出時に回転軸４０をその長軸方向が前記ハース
交換室５Ａの長手方向と一致するよう１８０°だけ回転
させる。ハース２２の挿入に際しては、第１の開閉扉１
９を開いてハース２２をハース交換台１６の上面手前側
端部に載置する。そしてハース２２が載置されると、駆
動モータ５０が駆動してハース交換台１６を半回転さ
せ、ハース２２が載置されている端部をハース交換室５
Ａの奥方に位置させ、しかる後ハース２２を前記第１の
ハース搬送手段１７に受け渡すべくシリンダ４７が作動
してハース交換台１６を第１のハース搬送手段１７より
若干低い位置まで下降させる。

【００１２】前記冷却管３８は、前記回転軸４０の内部
に適宜な隙間を保って挿入配置されており、その上端が
前記ハース交換台１６の内部に形成された溝３７に連通
し、下端が回転軸４０の下端部に設けられた冷却水入口
５５に連通している。この冷却水入口５５から供給され
る冷却水３９は、前記冷却管３８の内部通路を通って前
記溝３７に導かれてハース交換台１６を冷却し、冷却管
３８と回転軸４０との間に設けられた環状路を通って回
転軸４０の下端部に設けられた冷却水出口５６より排出
される。

【００１３】図１および図２において、前記第１のハー
ス搬送手段１７は、ハース２２を搬送する無端状の搬送
ベルト６０と、搬送ベルト６０の両端が張設されたプー
リ６１と、ハース交換室５Ａの下方に配設された正逆回
転自在な駆動モータ６２と、駆動モータ６２の回転を前
記搬送ベルト６０に伝達する歯車伝達機構６３とで構成
されている。前記搬送ベルト６０の前端は前記ハース交
換台１６の奥側端部の両側にそれぞれ位置し、後端が前
記ハース交換室５Ａの奥方に前記第２の開口１５に対応
して設けられたハース昇降位置５９に位置している。上
述したようにハース２２が載置されているテーブル端部
がハース交換台１６の半回転動作により奥方に位置さ
れ、且つハース交換台１６が第１のハース搬送手段１７
とより低い位置まで下降すると、ハース２２は搬送ベル
ト６０の上面前端部に載置される。そして、この状態で
駆動モータ６２が正方向に駆動し、その回転が歯車伝達
機構６３を介して搬送ベルト６０を正方向に回転走行さ
せると、ハース２２は前記ハース昇降位置５９に搬送さ
れ第２のハース搬送手段１８に引き渡される。

【００１４】前記第２のハース搬送手段１８は、前記一
対の搬送ベルト６０の後端部間で通常これより若干低い
位置か若しくは略同一高さ位置に停止している昇降台７
０と、ハース交換室５Ａの下方に配設され前記昇降台７
０を昇降動作させる油圧シリンダ７１とで構成されてい
る。そして、第１のハース搬送手段１７によってハース
２２がハース昇降位置５９に搬送されると、昇降台７０
は油圧シリンダ７１の駆動によって上昇することによ
り、搬送ベルト６０上のハース２２を受取り、第２の開
閉扉２０が開くことにより、真空槽４内の前記第２の開
口１５の上方に設けられたハース受渡、受取位置７８に
搬送する。また、第２のハース搬送手段１８は、真空槽
４内での蒸着物質３１による蒸着が終了した際にもハー
ス２２を受取るべく上昇して真空槽４内に進入される。

【００１５】次に、前記第３のハース搬送手段７Ａの構
成等を図３、図５および図６に基づいて詳細に説明す
る。この第３のハース搬送手段７Ａは、前記第２の開口
１５の近傍に位置して真空槽４内に配設され、前記第２
のハース搬送手段１８よりハース２２を受け取り、前記
載置台８Ａに受け渡したり、載置台８Ａのハース２２を
第２のハース搬送手段１８に戻すもので、前記ハース２
２を両側から把持する左右一対のハンド８１Ａ、８１Ｂ
と、これらのハンド８１Ａ、８１Ｂを開閉動作させる開
閉機構８２と、前記ハンド８１Ａ、８１Ｂを旋回用回転
軸８３を中心として水平面内にて旋回させる旋回駆動機
構８４とで構成されている。前記ハンド８１Ａ、８１Ｂ
の基部は直線状に形成されて互いに平行に対向し、先端
部は外側に折曲されて間隔が広く設定されると共に、対
向側面、すなわち内側面が前記ハース２２と略同一の曲
率半径で凹曲面とされ、この凹状曲面部８５が前記ハー
ス２２の外周面に密着し把持する把持面とされる。

【００１６】前記ハンド８１Ａ、８１Ｂの開閉機構８２
は、前記旋回用回転軸８３の下端部外周面に固定された
正逆回転自在な駆動モータ８８と、駆動モータ８８の回
転がギヤ８９、９０を介して減速伝達される開閉用回転
軸９５と、開閉用回転軸９５の回転を直線運動に変換
し、前記ハンド８１Ａ、８１Ｂを開閉動作させる一対の
ラック９１Ａ、９１Ｂおよびピニオン９２と、ハンド８
１Ａ、８１Ｂを案内保持する一対のガイドレール９３
Ａ、９３Ｂ等で構成されている。前記開閉用回転軸９５
は、前記旋回用回転軸８３の中心孔９６を同軸に貫通し
て設けられ、上下端部が軸受装置９８とベアリング９９
によって回転自在に軸支されている。開閉用回転軸９５
の下端部は、前記旋回用回転軸８３の下方に突出して前
記ギヤ９０が取り付けられ、上端には前記一対のラック
９１Ａ、９１Ｂに噛合する前記ピニオン９２が固定され
ている。

【００１７】前記一対のラック９１Ａ、９１Ｂは、前記
各ハンド８１Ａ、８１Ｂの基部内側面にこれらと直交す
るよう且つピニオン９２を挟んで互いに対向配置され、
一方のラック９１Ａの一端がハンド８１Ａに、他方のラ
ック９１Ｂの一端がもう一方のハンド８１Ｂにそれぞれ
固定され、他端部がラック押え板１００にそれぞれ固定
されている。したがって、駆動モータ８８の駆動に伴い
ピニオン８２が開閉用回転軸９５と共に正方向（図５の
時計方向）に回転すると、ラック９１Ａが図６の右方
に、ラック９１Ｂが左方に移動するため、ハンド８１
Ａ、８１Ｂを開くことができ、反対にピニオン８２が反
時計方向に回転すると、ハンド８１Ａ、８１Ｂを閉じる
ことができ、これによって前記ハース２２の把持を可能
にしている。前記ラック押え板１００は、前記一対のガ
イドレール９３Ａ、９３Ｂと共にレールベース１０１上
に配設されている。前記一対のガイドレール９３Ａ、９
３Ｂは、前記ピニオン９２を挟んで平行に対向するよう
にかつハンド８１Ａ、８１Ｂと直交するように配設され
ており、両側面にはＶ字状のガイド溝１０３がそれぞれ
形成されている。前記各ハンド８１Ａ、８１Ｂの基部下
面には前記各ガイドレール９３Ａ、９３Ｂに沿って摺動
するベアリング１０４Ａ、１０４Ｂがそれぞれ固定され
ている。各ベアリング１０４Ａ、１０４Ｂの下面中央に
は前記ガイドレール９３Ａ、９３Ｂの上端部が嵌合し得
る嵌合溝１０５がそれぞれ形成されている。

【００１８】前記ハンド８１Ａ、８１Ｂの旋回駆動機構
８４は、前記ベースプレート３の孔１０７に軸受装置１
０８を介して貫通配置された前記旋回用回転軸８３を備
え、この回転軸８３の上端部外周面にはフランジ１０９
が一体に設けられ、その上に前記レールベース１０１が
連結部材１１０を介して設置されている。前記軸受装置
１０８は、ベースプレート３の孔１０７にＯリング１１
２を介して嵌合されボルト１１３によって固定されたリ
ング状プレート１１１と、前記旋回用回転軸８３にＯリ
ング１１４を介して外嵌され前記リング状プレート１１
１の中心孔に嵌合固定された円筒体１１５と、円筒体１
１５内に配設され前記回転軸８３を回転自在に軸支する
ラジアルベアリング１１６Ａ、１１６Ｂおよびスラスト
ベアリング１１７と、回転軸８３の外周に螺合されたナ
ット１１８等で構成されている。また前記回転軸８３の
上端開口部には前記開閉用回転軸９５を回転自在に軸支
する前記軸受装置９８が配設されている。この軸受装置
９８は、前記回転軸８３の上端開口部にＯリングを介し
て嵌合固定された蓋部材１２３、蓋部材１２３内に嵌合
配置され前記回転軸９５を回転自在に軸支する一対のラ
ジアルベアリング１２５および蓋部材１２３と回転軸９
５の隙間を真空シールするウイルソンシール１２６等で
構成されている。そして前記回転軸８３の中間部外周面
にはギヤ１３０と、該回転軸８３の回転角度を検出する
回転位置センサ１３４とが取り付けられており、ギヤ１
３０は、駆動モータ１３１の出力軸１３２に取り付けら
れた駆動ギヤ１３３に噛合されている。駆動モータ１３
１は、正逆回転自在で前記ベースプレート３の下面にブ
ラケット（図示せず）を介して配設されている。

【００１９】このような構成からなる前記第３のハース
搬送手段７Ａは通常ハース受渡、受取位置７８にハンド
８１Ａ、８１Ｂを開いた状態で待機している。第３のハ
ース搬送手段７Ａによるハース２２の受取動作に際し
て、前述の第２のハース搬送手段１８の昇降台７０（図
１）が上昇移動してハース２２を真空槽４内に挿入する
と、駆動モータ８８が駆動してハンド８１Ａ、８１Ｂを
閉じ、前記ハース２２を把持する。ハンド８１Ａ、８１
Ｂによってハース２２を確実に把持すると、駆動モータ
８８を停止させると同時に、駆動モータ１３１を駆動す
る。するとこの駆動モータ１３１の回転がギヤ１３０、
１３３を介して旋回用回転軸８３に伝達されるため、ハ
ンド８１Ａ、８１Ｂが設置されたレールベース１０１を
該回転軸８３と一体的に回動させ、ハース２２を前記載
置台８Ａの上方に搬送停止させることができる。そし
て、駆動モータ８８を上記とは反対方向に駆動すると、
ハンド８１Ａ、８１Ｂが開き、把持していたハース２２
を載置台８Ａ側に受け渡す。

【００２０】次に、前記載置台８Ａの構成等を図７に基
づいて詳細に説明すると、この載置台８Ａは、上プレー
ト１４０と、上プレート１４０の下面にＯリング１４２
を介して密接され且つボルト（図示せず）によって一体
的に結合固定された下プレート１４１とで構成され、ハ
ース回転軸１４３の上面にＯリング１４４を介して載置
され、且つボルト１４５によって固定されている。そし
て前記上、下プレート１４０、１４１の接合面間には載
置台８Ａ上のハース２２を冷却し蒸着物質３１の加熱溶
融時における熱変形を防止するため冷却水１４６が循環
供給される冷却水用溝１４７が設けられている。

【００２１】前記ハース回転軸１４３は、中空状に形成
されてベースプレート３の軸孔１４８を貫通することに
より、下端部が真空槽４の下方に突出し、軸受装置１４
９によって回転自在に軸支されている。前記軸受装置１
４９は、前記ベースプレート３の軸孔１４８に下方から
Ｏリング１５０を介して嵌合されボルト１５１によって
固定された円板状のプレート１５２と、前記ハース回転
軸１４３の外周にＯリング１５４を介して嵌合され前記
プレート１５２の中心孔に嵌合固定されたベアリング保
持筒１５３と、前記ハース回転軸１４３とベアリング保
持筒１５３との間に介在されハース回転軸１４３を回転
自在に軸支するラジアルベアリング１５５およびスラス
トベアリング１５６と、ラジアルベアリング１５５の抜
けを防止するナット部材１５８等で構成されている。前
記ハース回転軸１４３の中心孔には冷却管１６０が挿入
配置されており、その上端開口部が前記載置台８Ａの冷
却用溝１４７に連通され、下端が前記ハース回転軸１４
３の下端部に設けた冷却水入口１６２に連通されてい
る。この冷却水入口１６２から供給される冷却水１４６
は、前記冷却管１６０の内部通路を通って冷却水用溝１
４７に導かれてハース２２を冷却し、ハース回転軸１４
３の内周面と冷却管１６０との間に形成された環状路１
６３を通って前記ハース回転軸１４３の下端部に設けら
れた冷却水出口１６４より排出される。

【００２２】前記ベースプレート３の下方には蒸着物質
３１による一回の蒸着が終わる度に前記ハース回転軸１
４３を１／８回転ずつ間欠的に回転させる駆動モータ１
６７が配設されており、このモータ１６７の回転がギヤ
１６８、１６９を介して前記ハース回転軸１４３に伝達
されるように構成されている。さらに前記ハース回転軸
１４３の下端部には該回転軸１４３の回転角度を検出す
る周知の回転位置センサ１７０が取付けられている。

【００２３】前記載置台８Ａの周囲には前記第３のハー
ス搬送手段７Ａよりハース２２を受取り、載置台８Ａ上
に載置するハース受取機構１７１が配設されている。こ
のハース受取機構１７１は、前記ベースプレート３を軸
受部材１７２およびウイルソンシール１７３を介して上
下動自在に貫通する３本のハース受取用ロッド１７４
と、モータ１７５と、モータ１７５の回転を前記ロッド
１７４の上下運動に変換するピニオン１７６およびラッ
ク１７７等で構成されている。前記３本のハース受取用
ロッド１７４は、前記ベースプレート３の下方に配設さ
れた可動リング１７８上に周方向に等間隔をおいて立設
されており、この可動リング１７８に前記ピニオン１７
６に噛合するラック１７７が取付けられている。また、
前記可動リング１７８の下方には固定リング１７９が配
設されており、この固定リング１７９はブラケット１８
０を介して前記ベースプレート３の下面に取付けられて
いる。固定リング１７９には複数本、例えば３本のリン
グ支持棒１８１がベアリング１８２を介してそれぞれ上
下動自在に設けられており、その上端が前記可動リング
１７８に連結されている。したがって、モータ１７５の
回転がピニオン１７６およびラック１７７を介して伝達
されると、リング支持部材８１がベアリング１８２に沿
って上下動するため、前記３本のハース受取用ロッド１
７４は前記可動リング１７８と共に上下動し、前記第３
のハース搬送手段７Ａからハース２２を受け取る際に
は、載置台８Ａより高い位置で第３のハース搬送手段７
Ａと同一高さ位置まで上昇して前記第３のハース搬送手
段７Ａが把持しているハース２２を下から受け止め３点
支持する。この状態でハンド８１Ａ、８１Ｂによるハー
ス２２の把持を解除すると、ハース２２は前記ハース受
取用ロッド１７４上に載置され、しかる後モータ１７５
の駆動によりハース受取用ロッド１７４が下降すると、
前記載置台８Ａ上に載置される。そして、このハース２
２は前記押え機構９Ａによって上方から押圧されること
により、前記載置台８Ａ上に密接され、且つ中心を載置
台８Ａの中心と一致される。

【００２４】前記押え機構９Ａは、図８に示すようにベ
ースプレート３に設けた貫通孔（図示せず）を気密に貫
通する軸１９０と、ベースプレート３の下方に配設され
前記軸１９０を上下動させる油圧シリンダ等の駆動源１
９１とを備え、軸１９０の上端部にはハース２２を押圧
する押圧部材１９３を先端に有する保持棒１９４が押え
保持具１９５を介して取付けられている。前記押圧部材
１９３は、円筒状の本体１９６、本体１９６の中心孔に
ラジアルベアリング１９７、１９８およびスラストベア
リング１９９を介して回転自在に且つ若干の上下動を許
容されて配設された押圧子２００、押圧子２００の上端
部に螺合されたナット部材２０１、本体１９６の上端開
口部を覆うカバー２０２等で構成され、前記載置台８Ａ
の上方にこれと中心を一致させてかつハース２２の板厚
より大きな間隔を保って位置している。そして、載置台
８Ａ上にハース２２が載置されると、軸１９０の下降に
伴い押圧子２００が降下して前記ハース２２の中心孔３
２を押圧する。この場合、押圧子２００の下端は前記中
心孔３２より若干大きい円板状に形成され、かつその下
面外周部にテーパ面２０３を有し、このテーパ面２０３
を前記中心孔３２の上端側開口縁に押し付けることによ
り、ハース２２の中心を前記載置台８Ａの中心と一致さ
せることができる。したがって、このような押え機構９
Ａを用いると、載置台８Ａの間欠回転によるハース２２
の位置ずれを防止することができ、またハース２２を載
置台８Ａに密着させるため、冷却水１４６によるハース
２２の冷却効果を向上させることができる利点を有す
る。

【００２５】このようにしてハース２２が載置台８Ａ上
に設置されると、抵抗加熱源６Ａ（図１）による蒸着物
質３１の加熱溶融により反射防止膜が眼鏡レンズの表面
に成膜され、一回の成膜が終わると駆動モータ１６７
（図７）の駆動によって載置台８Ａが間欠的に回転さ
れ、新たな蒸着物質３１の加熱溶融による成膜が連続し
て行われる。この間に次のハース２２が前記ハース交換
室５Ａのハース交換台１６上にセットされる。そして、
１つのハース２２に収納されている全ての蒸着物質３１
が使用されると、前記ハース交換室５Ａに準備れている
次のハース２２と交換される。交換に際しては前記押え
機構９Ａによる押圧状態を解除した後、第３のハース搬
送手段７Ａを旋回させて載置台８Ａ上のハース２２をハ
ンド８１Ａ、８１Ｂによって把持し、これをハース受
渡、受取位置７８に移動させ、第２の開閉扉２０を開い
て第２のハース搬送手段１８を上昇させ真空槽４内に前
記第３のハース搬送手段７Ａの高さ位置まで進入させ
る。そしてハンド８１Ａ、８１Ｂによるハース２２の把
持を解除すると、ハース２２は第２のハース搬送手段１
８上に移され、該第２のハース搬送手段１８が下降する
ことでハース交換室５Ａのハース昇降位置５９に戻さ
れ、搬送ベルト６０の上面後端部に載置される。搬送ベ
ルト６０は、ハース２２が載置されると、挿入時とは反
対方向に走行されることでハース２２をハース交換台１
６の位置まで搬送して停止する。この時、ハース交換台
１６の前方端部上面には次に挿入すべきハース２２が載
置されている。第ハース交換台１６は、搬送ベルト６０
が返却すべきハース２２を前方に搬送して停止すると、
所定ストローク上昇してその奥側端部で搬送ベルト６０
上のハース２２を受取り、しかる後半回転して返却すべ
きハース２２を前方側に、これから装着すべきハース２
２を奥側に位置させる。そして、第１の開閉扉１９を開
いて返却すべきハース２２を取り出し、第１の開閉扉１
９を閉じる。第１の開閉扉１９を閉めた後、ハース交換
室５Ａは真空ポンプ２４（図１）によって真空排気さ
れ、真空槽４と同程度の真空度に達すると、上記したハ
ース２２の挿入装着動作が再び繰り返される。

【００２６】かくして上記構成からなる蒸着装置１によ
れば、真空槽４に予備室としてのハース交換室５Ａを設
け、この中でハース２２の交換を行うように構成したの
で、真空槽４の真空を破る必要がなく、蒸着物質２９を
交換することができるので、生産性を高めると共に、ク
リーニングの回数を削減することができる利点を有す
る。また、ハース交換室５Ａは真空槽４に比べて容積が
小さく、短時間にて真空排気することができるため、生
産性を低下させる恐れはない。また、押え機構９Ａによ
ってハース２２を載置台８Ａ上に押し付け、その中心を
載置台８Ａの中心と一致させるようにしているので、載
置台８Ａを間欠的に回転させても、ハース２２がずれた
りすることがなく、蒸着物質３１と加熱源６Ａとの距離
を一定に保つことができる。したがって、成膜に要する
時間も略一定に保つことができる。

【００２７】なお、上記実施例は同一構成からなる２つ
のハース交換室５Ａ、５Ｂと、載置台８Ａ、８Ｂを設け
た場合について説明したが、本考案はこれに特定される
ものではなく、１つであっても、また２つ以上であって
もよいことは勿論である。また、ハース交換台１６とし
ては２つのハース２２を載置し得る大きさのものを示し
たが、２つ以上のハースを載置し得るものであってもよ
く、その場合は交換台を平面視ヒトデ型に形成すればよ
い。

【００２８】

【考案の効果】以上説明したように本考案に係る蒸着装
置にあっては、ハース交換室を設け、その内部でハース
を交換して真空槽に挿入装着するように構成したので、
真空槽の真空を破ることなく成膜を行うことができ、生
産性の向上と装置のクリーニング回数を減少させること
ができる。またハースを間欠的に回転させて一回の成膜
毎に蒸着物質を交換するようにしたので、成膜の再現性
が良く、均一な膜厚を得ることができるなど、その実用
的効果は大である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係る蒸着装置の要部の概略構成を示
す斜視図である。

【図２】同装置の要部断面図である。

【図３】同装置の要部平面図である。

【図４】同装置の断面図である。

【図５】第３のハース搬送手段の構成を示す縦断面図
である。

【図６】同搬送手段の平面図である。

【図７】載置台の断面図である。

【図８】押え機構の一部破断側面図である。

【符号の説明】

３…ベースプレート、４…真空槽、５Ａ，５Ｂ…ハース
交換室、６Ａ、６Ｂ…抵抗加熱源、７Ａ，７Ｂ…第３の
ハース搬送手段、８Ａ，８Ｂ…載置台、９Ａ…押え機
構、１４…第１の開口、１５…第２の開口、１６…ハー
ス交換台、１７…第１のハース搬送手段、１８…第２の
ハース搬送手段、１９…第１の開閉扉、２０…第２の開
閉扉、２２…ハース、３１…蒸着物質、５９…ハース昇
降位置、７８…ハース受渡、受取位置、８１Ａ，８１Ｂ
…ハンド、８２…開閉機構、８４…旋回駆動機構、１７
１…ハース受取機構。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】真空槽内に設けられ複数個の蒸着物質を
収納するハースが載置される載置台と、前記真空槽に隣
接して設けられ外部に連通する第１の開口と前記真空槽
に連通する第２の開口を有するハース交換室と、前記第
１の開口付近に位置して前記ハース交換室内に昇降自在
に且つ回動自在に配設され複数個のハースが載置される
ハース交換台と、このハース交換台上のハースを前記第
２の開口に対応して設けられたハース昇降位置に搬送す
る第１のハース搬送手段と、前記ハース昇降位置に昇降
自在に配設され、ハースの装着、交換時に前記第２の開
口より前記真空槽内のハース受渡、受取位置に搬送する
第２のハース搬送手段と、前記真空槽内に配設され前記
ハース受渡、受取位置に搬送された前記第２のハース搬
送手段上の前記ハースを把持して前記載置台に受け渡
し、また載置台上に載置されているハースに収納されて
いる全ての蒸着物質による真空蒸着が終了すると、当該
ハースを把持し、前記第２のハース搬送手段に戻す第３
のハース搬送手段と、前記第１および第２の開口をそれ
ぞれ開閉する第１および第２の開閉扉とを備えたことを
特徴とする蒸着装置。
【請求項２】請求項１記載の蒸着装置において、第３
のハース搬送手段は、ハースを把持する開閉自在なハン
ドと、このハンドを開閉動作させる開閉機構と、前記ハ
ンドを水平面内で旋回させる旋回駆動機構とを備えたこ
とを特徴とする蒸着装置。
【請求項３】請求項１又は２記載の蒸着装置におい
て、載置台はハースに収納されている蒸着物質の加熱、
蒸着が終了する度に駆動源によって間欠的に回転され、
前記載置台の近傍には上下動自在で第３のハース搬送手
段よりハースを受取る際上昇し、受取後下降することに
より前記ハースを前記載置台上に載置するハース受取機
構を備えていることを特徴とする蒸着装置。
【請求項４】請求項１，２又は３記載の蒸着装置にお
いて、ハースを載置台に押し付け、その中心を前記載置
台の回転中心と一致させる押え機構を構えていることを
特徴とする蒸着装置。