JPH0745767B2 - クリーンルームの床構造 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は、半導体などの電子機器の製造室或いはコン
ピューターなどの電子機器ルーム等のクリーンルームに
おける床構造、特に室内外の微振動をも確実に減衰する
ようにしたスーパークリーンルーム用の防振床構造に関
するものである。

「従来の技術、発明が解決せんとする問題点」 近年半導体産業においてはより高い集積度を目指して超
微細化（線巾１μｍ以下）の開発が進められ、これに伴
ってクリーンルームに対しては0.1μｍの塵埃の除去と
１μｍ以下の床振動防止が必要とされるようなスーパー
クリーンルームの時代を迎えつつある。

ところで、従来のスーパークリーンルームは、専らコン
クリート躯体スラブ上に鉄骨造で作業床を構築してい
る。そのため、減衰効率の悪い鉄骨を接合しながら構造
躯体の上物として構成される結果、微振動を制御するこ
とが極めて困難で、特に交通振動などの外部振動に対す
る防振に対処し得ず、しかもコスト高になるなどの問題
があった。

また従来、大型コンピューターや半導体製造機械などの
重量の大きな機器を設置する部分をコンクリートスラブ
として構築し、人の通行する床部を開口してその上にク
ッション材を介して通気性の床パネルを設置したクリー
ンルームの床構造も一部実施されているが、このような
床構造では機器を設置する部分と、人が通行する部分と
を最初から設計上特定化してしまうため、機器の配置変
更などに対処できないなどの問題があった。

「問題点を解決するための手段」 この発明は前記従来の課題を解決するために、コンクリ
ート構造躯体と一体的に構築して束柱によって支持され
た格子状のコンクリートクロスビームにより、交通振動
などの外部振動に対して確実な防振効果が得られ、また
このコンクリートクロスビーム上に互いに縁切りして前
後左右に隣接した方形枠状の根太ユニットを設置し、こ
の根太ユニット上に床パネルを隣接床パネル間にクッシ
ョン材を介して敷設し、相互に振動を伝達しないユニッ
トフロアーとして構成し、かつ各根太ユニットをクッシ
ョン材を介在した支脚などで支持することにより、人の
通行などの内部振動に対しても確実な防振効果が得られ
ると共に、全面に桝目開口を有するクロスビームと組み
替えの自由な床パネルとにより、機器のレイアウトも自
在で、全面層流方式にも対応でき、しかも低コストで構
築し得る合成的なクリーンルームの床構造を提案するも
のである。

「実施例」 以下この発明を図面に示す実施例について説明すると、
第１〜３図に示すようにコンクリート構造躯体１のスラ
ブ1a上には、鉄筋コンクリート製クロスビーム２が躯体
１と一体に構築されている。

クロスビーム２はその全面に多数の桝目開口３を有する
格子状に成形され、縦横のビームの適宜個所の交点にお
いて多数の束柱４を介して躯体スラブ1aに支持され、周
囲は躯体壁1bに一体的に接合されている。

クロスビーム２上には第４〜６図に示すように、その縦
横のビームに沿って組み替え自在に方形枠状に組立られ
た金属型材からなる根太ユニット５が支脚6,6′を介し
て多数隣接して設置され、各根太ユニット５は独立して
相互に縁切りされている。

そして、クロスビーム２上に構成するフロアーは、計画
されたレイアウトに応じて人が通行する防振ゾーンＡ
と、半導体製造機器などを設置する非防振ゾーンＢとに
区分され、防振ゾーンＡの根太ユニット５はクッション
材を介在した防振支脚６で支持し、その上にグレーチン
グパネルやパンチングパネル等の多孔板からなる通気性
の床パネル７を取付け、また非防振ゾーンＢの根太ユニ
ット５はクッション材のない大きな重量に耐える支脚
６′で支持し、この上に通気性のない床パネル７′を取
付ける。

支脚６は、第4,5図に示すように、ネジ軸８をその下端
の固定板９によりアンカーボルト10でクロスビーム２上
に固定し、このネジ軸８に挿嵌したスリーブ11の上端に
防振ゴム等のクッション材12を介して設けた溝型の支受
板13に根太ユニット５のリップ溝型材を載せ、このリッ
プ溝型材の内底部に入れた締金具14と支受板13とをボル
ト15で締結して着脱自在に取付けられ、スリーブ11の下
端においてネジ軸８にねじ込んだ高さ調節ナット16をね
じ込み調整することにより高さ調節した上で、スリーブ
11の固定ネジ17により所定高さに固定し得るように構成
されている。

支脚６′は、支脚６とクッション材12が無いだけで、そ
の他の構成は同様である。

なお、支脚6,6′は第６図に示すように、クロスビーム
２の交差部の中間に埋設固定された鋼製支持板18上に取
付けることにより、根太ユニット５を低く設置すること
ができる。

防振ゾーンＡ及び非防振ゾーンＢの各根太ユニット５上
に取付けた床パネル7,7′はそれぞれ互いに縁切りさ
れ、各パネル間にはネオプレーンゴム等のクッション材
19が取付けられ、各パネル相互間の振動の伝達を遮断す
るようになっている。

なお、非防振ゾーンＢにおいては、このゾーンに設置す
る機器自体に備えた防振装置により防振するが、機器の
大きな重量に耐え得る適当な防振器具を介して根太ユニ
ット５を支持することも可能である。

躯体スラブ1aは、長大スパン化が可能なアンボンドPRC
スラフブ（プレストレス鉄筋コンクリートスラブ）によ
り構築されている。

「発明の効果」 以上の通りこの発明によれば、次のような効果を奏す
る。

１）コンクリート構造躯体と一体的に構築して束柱によ
って支持された格子状のコンクリートクロスビームによ
り、極めて減衰効率の高い床部を構成することができ、
交通振動などの外部振動に対して確実な防振効果が得ら
れると共に、クロスビームをコンクリート構造躯体の一
部として構造設計し、躯体と一体的に低コストで構築す
ることが可能となる。

２）全面に桝目開口を有するクロスビームと、この上に
設置する組み替えの自由な根太ユニット及び床パネルと
により、機器のレイアウトも自在で、その後の配置変更
も簡単に行うことができ、また全面層流方式にも対応で
きる。

３）クロスビーム上に互いに縁切りして前後左右に隣接
した方形枠状の根太ユニットを設置し、この根太ユニッ
ト上に床パネルを隣接床パネル間にクッション材を介し
て敷設し、相互に振動を伝達しないユニットフロアーと
して構成することができ、かつ人の通行や建築設備の内
部振動に対して防振を要する根太ユニットをクッション
材を介在した支脚などで支持することにより、内部振動
に対しても確実な防振効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の床構造によるクリーンルームの一部
を破断して表した斜視図、第２図はこの発明の床構造の
平面図、第３図は同縦断側面図、第４図は同床部の詳細
を示す部分縦断側面図、第５図はこの発明に係る支脚の
構造を示す縦断正面図、第６図は同他の態様の床部の詳
細を示す部分縦断側面図である。 １……コンクリート構造躯体、1a……躯体スラブ、1b…
…躯体壁、２……クロスビーム、３……桝目開口、４…
…束柱、５……根太ユニット、6,6′……支脚、7,7′…
…床パネル、12……クッション材、19……クッション
材、Ａ……防振ゾーン、Ｂ……非防振ゾーン。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】多数の桝目開口を有する格子状のコンクリ
   ートクロスビームをその周囲をコンクリート躯体壁に一
   体化し、かつ束柱を介してコンクリート躯体スラブ上に
   一体的に設置し、前記クロスビーム上に高さ調節自在な
   支脚を介して多数の方形枠状の根太ユニットを互いに縁
   切りして前後左右に隣接して設置し、前記根太ユニット
   上に多数の床パネルを隣接床パネル間にクッション材を
   介して敷設してなることを特徴とするクリーンルームの
   床構造。
2. 【請求項２】クロスビーム上の床面を人が通行する防振
   ゾーンと、機器を設置する非防振ゾーンとに区画し、前
   記防振ゾーンの根太ユニットを支持する支脚にはクッシ
   ョン材を介在させてなることを特徴とする特許請求の範
   囲第１項記載のクリーンルームの床構造。
3. 【請求項３】防振ゾーンの床パネルは多孔板であること
   を特徴とする特許請求の範囲第１項又は第２項記載のク
   リーンルームの床構造。
4. 【請求項４】コンクリート躯体スラブはプレストレス鉄
   筋コンクリート造であることを特徴とする特許請求の範
   囲第１項、第２項又は第３項記載のクリーンルームの床
   構造。