JPH0747269B2 - 真空チャック及びそれを用いた吸着保持方法 - Google Patents
真空チャック及びそれを用いた吸着保持方法Info
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- JPH0747269B2 JPH0747269B2 JP7683191A JP7683191A JPH0747269B2 JP H0747269 B2 JPH0747269 B2 JP H0747269B2 JP 7683191 A JP7683191 A JP 7683191A JP 7683191 A JP7683191 A JP 7683191A JP H0747269 B2 JPH0747269 B2 JP H0747269B2
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- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
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- 239000010730 cutting oil Substances 0.000 description 1
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は真空チャック及びそれを
用いた吸着保持方法に関するものである。
用いた吸着保持方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、吸引孔を弁により開閉する真空チ
ャックは弁と吸引孔内壁との隙間に切粉等の異物が付着
すると弁の密閉が悪くなり真空度が低下して吸着力を失
うという問題があった。
ャックは弁と吸引孔内壁との隙間に切粉等の異物が付着
すると弁の密閉が悪くなり真空度が低下して吸着力を失
うという問題があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前記のような
問題点を解決し、切粉等の異物の付着によって真空度の
低下を生じさせることがなく、被保持体を常に安定した
吸着力で吸着保持することを目的としたものである。
問題点を解決し、切粉等の異物の付着によって真空度の
低下を生じさせることがなく、被保持体を常に安定した
吸着力で吸着保持することを目的としたものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記の問題点を解決する
ための第１の発明は真空室に通じる小孔を透設した弧状
の弁座を設けた弁室に伸縮自在な弾性弁を設け、該弾性
弁に弁座の小孔を遮蔽する小孔遮蔽部を除いて複数の拡
径自在な微細孔を形成したことを特徴とするものであ
る。また、第２の発明は真空チャックの弾性弁を、弾性
弁が内外圧差により伸ばされると弾性弁に透設されてい
る微細孔の孔径が大きくなって内外圧差が小さくなり、
その結果弾性弁が縮むと前記微細孔の孔径が小さくなっ
て内外圧差が増加するという一連の運動を繰り返すこと
により、振動させつつ被保持体を吸着保持することを特
徴とするものである。
ための第１の発明は真空室に通じる小孔を透設した弧状
の弁座を設けた弁室に伸縮自在な弾性弁を設け、該弾性
弁に弁座の小孔を遮蔽する小孔遮蔽部を除いて複数の拡
径自在な微細孔を形成したことを特徴とするものであ
る。また、第２の発明は真空チャックの弾性弁を、弾性
弁が内外圧差により伸ばされると弾性弁に透設されてい
る微細孔の孔径が大きくなって内外圧差が小さくなり、
その結果弾性弁が縮むと前記微細孔の孔径が小さくなっ
て内外圧差が増加するという一連の運動を繰り返すこと
により、振動させつつ被保持体を吸着保持することを特
徴とするものである。
【０００５】
【実施例】以下、本発明を図に基づいて詳細に説明す
る。１は真空室であり、該真空室１の天板部には弧状の
弁座２を設けた弁室３が多数設けられている。４は弧状
の弁座２に形成された小孔であり、該小孔４は真空室１
と弁室３を連通させるものである。５は多数の吸引孔６
を透設した吸着板であり、該吸着板５の吸引孔６は弁室
３に接続されている。７は弁室３に設けられる伸縮自在
な弾性弁であり、該弾性弁７には小孔４を閉塞する小孔
遮蔽部８を除いて複数の微細孔９が透設されており、該
微細孔９は弾性弁７の伸縮に応じて拡径するものであ
る。１０は真空室１の排気孔である。
る。１は真空室であり、該真空室１の天板部には弧状の
弁座２を設けた弁室３が多数設けられている。４は弧状
の弁座２に形成された小孔であり、該小孔４は真空室１
と弁室３を連通させるものである。５は多数の吸引孔６
を透設した吸着板であり、該吸着板５の吸引孔６は弁室
３に接続されている。７は弁室３に設けられる伸縮自在
な弾性弁であり、該弾性弁７には小孔４を閉塞する小孔
遮蔽部８を除いて複数の微細孔９が透設されており、該
微細孔９は弾性弁７の伸縮に応じて拡径するものであ
る。１０は真空室１の排気孔である。
【０００６】
【作用】このように構成されたものは、真空室１が大気
圧の場合は、弾性弁７の内外圧差はないので、図２のよ
うに微細孔９は殆ど通気しない状態を維持しているが、
真空室１が負圧となって吸着板５の吸引孔６上に被保持
体が載置されると、弾性弁７には負圧が作用して該弾性
弁７は弁座２側に吸引されて引き延ばされるから、図３
のように微細孔９の孔径は拡開して吸引孔６内の空気は
小孔４を通じて真空室１に吸引排気される。このことに
より弾性弁７の内外圧差が小さくなると、弾性弁７自体
の収縮力が勝って弾性弁７が収縮すると拡開されていた
微細孔９の孔径は小さくなるので、内外圧差は大きくな
り弾性弁７は再び弁座２側に引き延ばされることとな
る。このようにして弾性弁７が図４のように振動するこ
とにより切削等により生じる切粉等の異物の侵入は防止
されることとなる。
圧の場合は、弾性弁７の内外圧差はないので、図２のよ
うに微細孔９は殆ど通気しない状態を維持しているが、
真空室１が負圧となって吸着板５の吸引孔６上に被保持
体が載置されると、弾性弁７には負圧が作用して該弾性
弁７は弁座２側に吸引されて引き延ばされるから、図３
のように微細孔９の孔径は拡開して吸引孔６内の空気は
小孔４を通じて真空室１に吸引排気される。このことに
より弾性弁７の内外圧差が小さくなると、弾性弁７自体
の収縮力が勝って弾性弁７が収縮すると拡開されていた
微細孔９の孔径は小さくなるので、内外圧差は大きくな
り弾性弁７は再び弁座２側に引き延ばされることとな
る。このようにして弾性弁７が図４のように振動するこ
とにより切削等により生じる切粉等の異物の侵入は防止
されることとなる。
【０００７】また、例え切粉が微細孔９より弁室３内に
侵入したとしても弁室３の弁座２と弾性弁７との接触面
積は大きいので弁室３の真空度は低下することがない。
また、吸引孔６が外部に解放されている場合、吸引孔６
より吸引される空気は弾性弁７の拡開された微細孔９を
通じて弧状の弁座２間に流入したうえ小孔４より真空室
１に排気されてゆくこととなるが、このとき図３に示す
ように弾性弁７の吸引孔６側を流れる空気流より、弁座
２側を流れる空気流の流速が速いため弁座側２に負圧が
生じ、伸縮自在な弾性弁７の小孔遮蔽部８は弁座２に密
着して弁座２の小孔４を遮蔽することとなるから、大量
の空気が流入することによって真空室１の真空度が低下
することがなく、吸着力は常に維持され、被保持体は的
確に吸着保持されることとなるものである。
侵入したとしても弁室３の弁座２と弾性弁７との接触面
積は大きいので弁室３の真空度は低下することがない。
また、吸引孔６が外部に解放されている場合、吸引孔６
より吸引される空気は弾性弁７の拡開された微細孔９を
通じて弧状の弁座２間に流入したうえ小孔４より真空室
１に排気されてゆくこととなるが、このとき図３に示す
ように弾性弁７の吸引孔６側を流れる空気流より、弁座
２側を流れる空気流の流速が速いため弁座側２に負圧が
生じ、伸縮自在な弾性弁７の小孔遮蔽部８は弁座２に密
着して弁座２の小孔４を遮蔽することとなるから、大量
の空気が流入することによって真空室１の真空度が低下
することがなく、吸着力は常に維持され、被保持体は的
確に吸着保持されることとなるものである。
【０００８】
【発明の効果】本発明は前記説明によって明らかなよう
に、伸縮自在な弾性弁に拡径自在な微細孔を形成したも
のであるから、被保持体の吸着時に弾性弁は振動して切
削による切粉が微細孔を通じて侵入することを防止し、
例え微細孔より異物が侵入したとしても弾性弁と弁座と
のシール面積が大きいため異物によって弾性弁のシール
が不完全となることはない。しかも、真空ポンプを停止
した際、弾性弁の微細孔は殆ど閉塞された状態となるか
ら、溜まっていた切削油等が微細孔を通じて真空室内に
流入することがないから、真空ポンプに悪影響を与える
ことがないものであり、従来の問題点を解決した真空チ
ャック及びそれを用いた吸着保持方法として、産業の発
展に寄与するところ極めて大なものである。
に、伸縮自在な弾性弁に拡径自在な微細孔を形成したも
のであるから、被保持体の吸着時に弾性弁は振動して切
削による切粉が微細孔を通じて侵入することを防止し、
例え微細孔より異物が侵入したとしても弾性弁と弁座と
のシール面積が大きいため異物によって弾性弁のシール
が不完全となることはない。しかも、真空ポンプを停止
した際、弾性弁の微細孔は殆ど閉塞された状態となるか
ら、溜まっていた切削油等が微細孔を通じて真空室内に
流入することがないから、真空ポンプに悪影響を与える
ことがないものであり、従来の問題点を解決した真空チ
ャック及びそれを用いた吸着保持方法として、産業の発
展に寄与するところ極めて大なものである。
【図１】本考案の実施例を示す断面図である。
【図２】同じく真空室に負圧が作用していない状態を示
す弾性弁の断面図である。
す弾性弁の断面図である。
【図３】同じく吸引孔に被保持体が吸着された初期状態
を示す弾性弁の断面図である。
を示す弾性弁の断面図である。
【図４】同じく被保持体の吸着時における弾性弁の振動
状態を示す断面図である。
状態を示す断面図である。
【図５】同じく吸引孔が外部に開放されている状態を示
す弾性弁の断面図である。
す弾性弁の断面図である。
１ 真空室 ２ 弁座 ３ 弁室 ４ 小孔 ７ 弾性弁 ８ 小孔遮蔽部 ９ 微細孔
Claims (2)
- 【請求項１】 真空室に通じる小孔を透設した弧状の弁
座を設けた弁室に伸縮自在な弾性弁を設け、該弾性弁に
弁座の小孔を遮蔽する小孔遮蔽部を除いて複数の拡径自
在な微細孔を形成したことを特徴とする真空チャック。 - 【請求項２】 請求項１に記載の真空チャックの弾性弁
を、弾性弁が内外圧差により伸ばされると弾性弁に透設
されている微細孔の孔径が大きくなって内外圧差が小さ
くなり、その結果弾性弁が縮むと前記微細孔の孔径が小
さくなって内外圧差が増加するという一連の運動を繰り
返すことにより、振動させつつ被保持体を吸着保持する
ことを特徴とする吸着保持方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7683191A JPH0747269B2 (ja) | 1991-03-15 | 1991-03-15 | 真空チャック及びそれを用いた吸着保持方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7683191A JPH0747269B2 (ja) | 1991-03-15 | 1991-03-15 | 真空チャック及びそれを用いた吸着保持方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05329731A JPH05329731A (ja) | 1993-12-14 |
| JPH0747269B2 true JPH0747269B2 (ja) | 1995-05-24 |
Family
ID=13616625
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7683191A Expired - Fee Related JPH0747269B2 (ja) | 1991-03-15 | 1991-03-15 | 真空チャック及びそれを用いた吸着保持方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0747269B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3341990B2 (ja) * | 1998-10-27 | 2002-11-05 | 株式会社東京精密 | 被加工材のチャックテーブル |
| JP2002350483A (ja) * | 2001-05-29 | 2002-12-04 | Hioki Ee Corp | 回路基板吸着装置および回路基板検査装置 |
| JP4838837B2 (ja) * | 2008-11-21 | 2011-12-14 | 三菱重工業株式会社 | 接合装置 |
| KR102304559B1 (ko) * | 2019-10-23 | 2021-09-24 | 성균관대학교산학협력단 | 능동형 3차원 점착 구조 및 이를 포함하는 소프트 그리퍼 이의 제조 방법 |
| CN117509156A (zh) * | 2023-11-27 | 2024-02-06 | 东莞市神州视觉科技有限公司 | 自锁阀、真空吸附部件及真空吸附设备 |
-
1991
- 1991-03-15 JP JP7683191A patent/JPH0747269B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05329731A (ja) | 1993-12-14 |
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Legal Events
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