JPH074765Y2 - 走査電子顕微鏡等の表示装置 - Google Patents
走査電子顕微鏡等の表示装置Info
- Publication number
- JPH074765Y2 JPH074765Y2 JP1984184642U JP18464284U JPH074765Y2 JP H074765 Y2 JPH074765 Y2 JP H074765Y2 JP 1984184642 U JP1984184642 U JP 1984184642U JP 18464284 U JP18464284 U JP 18464284U JP H074765 Y2 JPH074765 Y2 JP H074765Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scanning
- image
- brightness
- cathode ray
- ray tube
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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Description
【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、走査電子顕微鏡等の像表示手段として使用さ
れる陰極線管の明るさ及びコントラストを自動的に調整
する機能を備えた走査電子顕微鏡等の表示装置に関す
る。
れる陰極線管の明るさ及びコントラストを自動的に調整
する機能を備えた走査電子顕微鏡等の表示装置に関す
る。
［従来の技術］ 走査電子顕微鏡等の表示装置においては、表示手段とし
て使用される陰極線管（以下CRTと略する）の走査速度
を例えば一走査線当り数μ秒から数分の範囲まで段階的
に選択できる走査速度選択機能、面走査，線走査，走査
領域の拡大，縮小等を選択する走査モード選択機能、多
種画像同時表示，波形モニター等を選択する表示モード
選択機能を設け、観察目的に合せてこれらを選択して使
用している。
て使用される陰極線管（以下CRTと略する）の走査速度
を例えば一走査線当り数μ秒から数分の範囲まで段階的
に選択できる走査速度選択機能、面走査，線走査，走査
領域の拡大，縮小等を選択する走査モード選択機能、多
種画像同時表示，波形モニター等を選択する表示モード
選択機能を設け、観察目的に合せてこれらを選択して使
用している。
［考案が解決しようとする問題点］ このような従来装置では、例えば走査速度，走査モー
ド，表示モードを像観察の目的に合せて任意に選択した
場合、これらの各モードの組み合せによって対応するCR
T上の輝点の単位時間当りの走査速度（又は走査領域）
が大幅に変わるため、試料像（輝度変調像）の明るさ及
びコントラストが変化し、最適な像を得るためにその都
度繁雑な調整操作を必要とする。又、観察用のCRT又は
写真撮影用のCRTを使用して写真撮影をする場合に、明
るさやコントラストが変化するとカメラの絞り、フイル
ム感度等の調整を必要とし写真撮影に長時間を要する。
更に、コントラスト及び明るさの調整操作が最適になさ
れていない場合には、鮮明な像を得られないだけでなく
輝点による所謂CRT焼けを早めてCRTの寿命を縮める欠点
があった。本考案は以上の欠点を解消することを目的と
している。
ド，表示モードを像観察の目的に合せて任意に選択した
場合、これらの各モードの組み合せによって対応するCR
T上の輝点の単位時間当りの走査速度（又は走査領域）
が大幅に変わるため、試料像（輝度変調像）の明るさ及
びコントラストが変化し、最適な像を得るためにその都
度繁雑な調整操作を必要とする。又、観察用のCRT又は
写真撮影用のCRTを使用して写真撮影をする場合に、明
るさやコントラストが変化するとカメラの絞り、フイル
ム感度等の調整を必要とし写真撮影に長時間を要する。
更に、コントラスト及び明るさの調整操作が最適になさ
れていない場合には、鮮明な像を得られないだけでなく
輝点による所謂CRT焼けを早めてCRTの寿命を縮める欠点
があった。本考案は以上の欠点を解消することを目的と
している。
［問題点を解決するための手段］ 本問題点を解決するための本考案の構成は、試料上に照
射される荷電粒子線を走査することにより得られる映像
信号を陰極線管に導いて像を表示する装置において、該
陰極線管の走査速度を選択する手段と、該陰極線管の走
査モードを選択する手段と、該陰極線管に表示される像
の表示モードを選択する手段と、該夫々の選択手段より
の選択信号が入力され、該選択信号に基づいて陰極線管
に入力される映像信号の振幅及びレベルを変化させてコ
ントラスト及び明るさを制御するための回路とを備えた
ことを特徴としている。
射される荷電粒子線を走査することにより得られる映像
信号を陰極線管に導いて像を表示する装置において、該
陰極線管の走査速度を選択する手段と、該陰極線管の走
査モードを選択する手段と、該陰極線管に表示される像
の表示モードを選択する手段と、該夫々の選択手段より
の選択信号が入力され、該選択信号に基づいて陰極線管
に入力される映像信号の振幅及びレベルを変化させてコ
ントラスト及び明るさを制御するための回路とを備えた
ことを特徴としている。
［実施例］ 以下本考案の実施例を添付図面により詳述する。
第１図は本考案の一実施例の構成図である。第１図にお
いて、１はCRT、２は増幅器、３は演算増幅器である。
該演算増幅器３には、映像信号（輝度変調信号）Vsがコ
ントラストを調整するボリウム４により分圧されて入力
されている。５はCRT1の明るさを映像信号Vsに関係無く
任意に調整するための電位Va，Vbとの間に接続された明
るさ調整のためのボリウムである。６は演算増幅器３の
帰還抵抗であり、抵抗選択回路７のゲイン調整抵抗R1，
R2，R3……Rnと共に演算増幅器３の出力ゲインを決定す
る。電圧V0とV1はCRT1の特性のバラツキによる明るさの
変化を補正するために与えられる明るさ設定電圧であ
る。Vcはブランキング信号であり、これらの信号や電圧
は加算抵抗Ra〜Rfを介して演算増幅器３又は増幅器２に
入力される。増幅器２の出力はCRT1の輝度変調用のグリ
ッド1Gに供給されている。８は走査速度を例えば一走査
線当り数μ秒（RAPID−１）から数分（SLOW−３）まで
段階的に選択する第２図（イ）に示す速度選択スイッチ
が設けられた走査速度選択回路である。９は、映像信号
の波形を観察用CRT1上に表示する波形モニター（WF
M），同一CRT上に試料の同一部分より得られる２種類ま
たは４種類の情報を同時に表示する多種画像同時表示
（MDD），映像信号をCRTのＹ軸に加えることにより立体
的表示を行なうＹ軸変調表示（Ｙ−MOD）,Y軸変調表示
に輝度変調を加えて表示するYZ軸変調表示（YZ−MOD）
等の表示モード選択スイッチを有する第２図（ロ）に示
す表示モード選択回路である。10は、CRT上に表示され
る試料像の視野を任意の大きさに制限して表示するため
の制限視野走査（REDUCE）、CRTの画像上に十字線、水
平線または点をブライトアップして表示するブライトア
ップ走査（BUP）、照射プローブが試料上を線走査する
ことにより試料から発生した情報の強度変化を輝度変調
像としてCRT上に表示するラインポジショニング走査（L
INE）、又、照射プローブが試料上を線走査することに
より試料から発生した情報の強度変化を波形表示するラ
インスキャンプロファイル（LSP）等の走査モード選択
スイッチを有する第２図（ハ）に示す走査モード選択回
路である。11は走査速度選択回路8,表示モード選択回路
9,走査モード選択回路10の各選択スイッチからの選択信
号が入力される制御装置である。該制御装置11では走査
速度選択回路８及び走査モード選択回路10よりの選択信
号によって、第１図に図示していない電子ビーム走査部
を制御する。又、制御装置11では、各選択スイッチから
の選択信号の組み合せに対応して、他の表示に優先して
表示する優先表示出力コード、選択された走査速度，表
示モード及び走査モードで表示する表示出力コード、表
示を禁止する表示禁止コードが予め決められており、表
示禁止コードを除く出力コードはデコーダ12及び13に出
力される。コード信号が入力されたデコーダ12では、コ
ード信号を解読して、抵抗選択回路７のゲイン調整抵抗
R1〜Rnの該当する抵抗を選択する。これにより、演算増
幅器３の帰還抵抗６と、抵抗選択回路７で選択されたゲ
イン調整抵抗により演算増幅器３の出力ゲインが決定さ
れる。又、デコーダ13では制御装置11よりのコード信号
を解読して記憶回路14に入力する。該記憶回路14には、
D/A変換器15に入力された基準電圧V1をどのような値に
分圧するかを表わす情報内容がデジタル値で記憶されて
いる。該デコーダ13で解読されたコード信号に対応して
記憶回路14に記憶された内容がD/A変換器15に出力され
る。
いて、１はCRT、２は増幅器、３は演算増幅器である。
該演算増幅器３には、映像信号（輝度変調信号）Vsがコ
ントラストを調整するボリウム４により分圧されて入力
されている。５はCRT1の明るさを映像信号Vsに関係無く
任意に調整するための電位Va，Vbとの間に接続された明
るさ調整のためのボリウムである。６は演算増幅器３の
帰還抵抗であり、抵抗選択回路７のゲイン調整抵抗R1，
R2，R3……Rnと共に演算増幅器３の出力ゲインを決定す
る。電圧V0とV1はCRT1の特性のバラツキによる明るさの
変化を補正するために与えられる明るさ設定電圧であ
る。Vcはブランキング信号であり、これらの信号や電圧
は加算抵抗Ra〜Rfを介して演算増幅器３又は増幅器２に
入力される。増幅器２の出力はCRT1の輝度変調用のグリ
ッド1Gに供給されている。８は走査速度を例えば一走査
線当り数μ秒（RAPID−１）から数分（SLOW−３）まで
段階的に選択する第２図（イ）に示す速度選択スイッチ
が設けられた走査速度選択回路である。９は、映像信号
の波形を観察用CRT1上に表示する波形モニター（WF
M），同一CRT上に試料の同一部分より得られる２種類ま
たは４種類の情報を同時に表示する多種画像同時表示
（MDD），映像信号をCRTのＹ軸に加えることにより立体
的表示を行なうＹ軸変調表示（Ｙ−MOD）,Y軸変調表示
に輝度変調を加えて表示するYZ軸変調表示（YZ−MOD）
等の表示モード選択スイッチを有する第２図（ロ）に示
す表示モード選択回路である。10は、CRT上に表示され
る試料像の視野を任意の大きさに制限して表示するため
の制限視野走査（REDUCE）、CRTの画像上に十字線、水
平線または点をブライトアップして表示するブライトア
ップ走査（BUP）、照射プローブが試料上を線走査する
ことにより試料から発生した情報の強度変化を輝度変調
像としてCRT上に表示するラインポジショニング走査（L
INE）、又、照射プローブが試料上を線走査することに
より試料から発生した情報の強度変化を波形表示するラ
インスキャンプロファイル（LSP）等の走査モード選択
スイッチを有する第２図（ハ）に示す走査モード選択回
路である。11は走査速度選択回路8,表示モード選択回路
9,走査モード選択回路10の各選択スイッチからの選択信
号が入力される制御装置である。該制御装置11では走査
速度選択回路８及び走査モード選択回路10よりの選択信
号によって、第１図に図示していない電子ビーム走査部
を制御する。又、制御装置11では、各選択スイッチから
の選択信号の組み合せに対応して、他の表示に優先して
表示する優先表示出力コード、選択された走査速度，表
示モード及び走査モードで表示する表示出力コード、表
示を禁止する表示禁止コードが予め決められており、表
示禁止コードを除く出力コードはデコーダ12及び13に出
力される。コード信号が入力されたデコーダ12では、コ
ード信号を解読して、抵抗選択回路７のゲイン調整抵抗
R1〜Rnの該当する抵抗を選択する。これにより、演算増
幅器３の帰還抵抗６と、抵抗選択回路７で選択されたゲ
イン調整抵抗により演算増幅器３の出力ゲインが決定さ
れる。又、デコーダ13では制御装置11よりのコード信号
を解読して記憶回路14に入力する。該記憶回路14には、
D/A変換器15に入力された基準電圧V1をどのような値に
分圧するかを表わす情報内容がデジタル値で記憶されて
いる。該デコーダ13で解読されたコード信号に対応して
記憶回路14に記憶された内容がD/A変換器15に出力され
る。
以上のように構成された装置において、走査速度選択回
路8,表示モード選択回路9,走査モード選択回路10の各選
択回路の中から目的に応じて選択スイッチを選択する
と、該スイッチよりの選択信号は制御装置11に入力され
認識される。制御装置11で認識されコード化された制御
信号は、デコーダ12及び13に出力される。ここで、デコ
ーダ12では、各選択回路で選択されたスイッチの組み合
せに対応して抵抗選択回路７のどのゲイン調整抵抗を選
択するかが解読され、帰還抵抗６と選択されたゲイン調
整抵抗により演算増幅器３の出力ゲインが決定されコン
トラストが調整される。又、デコーダ13では、各選択回
路で選択されたスイッチの組み合せに対応して、記憶回
路14に記憶されている内容がD/A変換器15に出力され、D
/A変換器15より記憶回路14よりの値に応じて電圧V1を分
圧した電圧が増幅器２に入力され、増幅器２のレベルが
調整されてCRT1の明るさが変化する。つまり、第３図の
等価回路で示すように、帰還抵抗６とゲイン調整抵抗R1
〜Rn及びD/A変換器15よりの電圧によりゲイン及びレベ
ルが調整される。
路8,表示モード選択回路9,走査モード選択回路10の各選
択回路の中から目的に応じて選択スイッチを選択する
と、該スイッチよりの選択信号は制御装置11に入力され
認識される。制御装置11で認識されコード化された制御
信号は、デコーダ12及び13に出力される。ここで、デコ
ーダ12では、各選択回路で選択されたスイッチの組み合
せに対応して抵抗選択回路７のどのゲイン調整抵抗を選
択するかが解読され、帰還抵抗６と選択されたゲイン調
整抵抗により演算増幅器３の出力ゲインが決定されコン
トラストが調整される。又、デコーダ13では、各選択回
路で選択されたスイッチの組み合せに対応して、記憶回
路14に記憶されている内容がD/A変換器15に出力され、D
/A変換器15より記憶回路14よりの値に応じて電圧V1を分
圧した電圧が増幅器２に入力され、増幅器２のレベルが
調整されてCRT1の明るさが変化する。つまり、第３図の
等価回路で示すように、帰還抵抗６とゲイン調整抵抗R1
〜Rn及びD/A変換器15よりの電圧によりゲイン及びレベ
ルが調整される。
そのため、例えばYZ軸変調表示（YZ−MOD）等の輝度変
調が関係する像をCRT1に表示した場合、各選択回路の選
択スイッチの組み合せに対応してゲイン調整抵抗R1〜Rn
によって演算増幅器３の出力ゲインが最適に定められる
ため、ボリウム４を再調整することなく常に適切なコン
トラストの像がCRT1上に得られる。
調が関係する像をCRT1に表示した場合、各選択回路の選
択スイッチの組み合せに対応してゲイン調整抵抗R1〜Rn
によって演算増幅器３の出力ゲインが最適に定められる
ため、ボリウム４を再調整することなく常に適切なコン
トラストの像がCRT1上に得られる。
又、例えば波形モニター（WFM）等の輝度変調が関係し
ない像をCRTに表示した場合、この輝度変調が関係しな
い選択スイッチの組み合せに対応して、記憶回路14に記
憶された内容がD/A変換器15に出力され、明るさを調整
する増幅器２の入力レベルが変化し、この場合に最適な
明るさの像が得られる。
ない像をCRTに表示した場合、この輝度変調が関係しな
い選択スイッチの組み合せに対応して、記憶回路14に記
憶された内容がD/A変換器15に出力され、明るさを調整
する増幅器２の入力レベルが変化し、この場合に最適な
明るさの像が得られる。
更に、ラインポジショニング（LINE），制限視野走査
（REDUCE）等の輝度変調及び明るさが関係する像を表示
した場合は、コントラストについては増幅器３のゲイン
がゲイン調整抵抗R1〜Rnで、明るさについては増幅器２
のレベルがD/A変換器を介して制御装置11で制御される
ため、CRT1には適切なコントラスト及び明るさの像が表
示される。
（REDUCE）等の輝度変調及び明るさが関係する像を表示
した場合は、コントラストについては増幅器３のゲイン
がゲイン調整抵抗R1〜Rnで、明るさについては増幅器２
のレベルがD/A変換器を介して制御装置11で制御される
ため、CRT1には適切なコントラスト及び明るさの像が表
示される。
尚、本考案は変形が可能であり、第４図に他の実施例の
構成を示す。第４図において、20は制御装置11よりコー
ド信号が入力されるデコーダであり、該デコーダ20で解
読された信号は記憶回路21及び23に入力される。該記憶
回路21及び23にはD/A変換器22及び24の出力電圧を決定
するための内容が記憶されており、デコーダ20で解読さ
れた信号により、D/A変換器22及び24のの出力が決定す
る。該D/A変換器22及び24の出力は、第５図の等価回路
に示すようにボリウム５により分圧され加算抵抗Rgを介
して増幅器２に入力される。そのため、増幅器２の入力
レベルが変化して明るさが調整される。一方、制御装置
11よりのコード信号はデコーダ12にも入力されているた
め、ゲイン調整抵抗が選択されて演算増幅器３の出力ゲ
インが変化してコントラストが調整される。
構成を示す。第４図において、20は制御装置11よりコー
ド信号が入力されるデコーダであり、該デコーダ20で解
読された信号は記憶回路21及び23に入力される。該記憶
回路21及び23にはD/A変換器22及び24の出力電圧を決定
するための内容が記憶されており、デコーダ20で解読さ
れた信号により、D/A変換器22及び24のの出力が決定す
る。該D/A変換器22及び24の出力は、第５図の等価回路
に示すようにボリウム５により分圧され加算抵抗Rgを介
して増幅器２に入力される。そのため、増幅器２の入力
レベルが変化して明るさが調整される。一方、制御装置
11よりのコード信号はデコーダ12にも入力されているた
め、ゲイン調整抵抗が選択されて演算増幅器３の出力ゲ
インが変化してコントラストが調整される。
又、第６図及び第７図は他の実施例を示しており、第１
図及び第４図の実施例と同一部分には同一番号を付して
ある。第１図及び第４図の実施例では明るさを変化させ
る回路はCRTのグッドに接続されているが第６図及び第
７図のように増幅器25を介してCRT1のカソード1Kに接続
してもよい。
図及び第４図の実施例と同一部分には同一番号を付して
ある。第１図及び第４図の実施例では明るさを変化させ
る回路はCRTのグッドに接続されているが第６図及び第
７図のように増幅器25を介してCRT1のカソード1Kに接続
してもよい。
更に、第８図に示すように、演算増幅器３の帰還量を記
憶回路27に記憶されたD/A変換器26の出力を決めるため
の信号によって変えることにより、デコーダ20は明るさ
調整用と共用できる。
憶回路27に記憶されたD/A変換器26の出力を決めるため
の信号によって変えることにより、デコーダ20は明るさ
調整用と共用できる。
［考案の効果］ 以上詳細に説明したように本考案によれば、像観察の目
的に合わせて任意に選択スイッチを選択した場合、これ
らの各モードの組み合わせに対応して像の明るさ及びコ
ントラストが変化するため、その都度繁雑な調整操作を
しなくても常に最適なコントラストと明るさを有する像
が表示される。また、写真撮影をする場合にも明るさや
コントラストが自動的に設定されるため、フイルムの絞
り、フイルム感度等の調整を必要としないため、写真撮
影に時間を要することはなく、更に輝点による所謂CRT
焼けを防止してCRTの寿命を伸すことができる。
的に合わせて任意に選択スイッチを選択した場合、これ
らの各モードの組み合わせに対応して像の明るさ及びコ
ントラストが変化するため、その都度繁雑な調整操作を
しなくても常に最適なコントラストと明るさを有する像
が表示される。また、写真撮影をする場合にも明るさや
コントラストが自動的に設定されるため、フイルムの絞
り、フイルム感度等の調整を必要としないため、写真撮
影に時間を要することはなく、更に輝点による所謂CRT
焼けを防止してCRTの寿命を伸すことができる。
第１図は本考案の一実施例の構成図、第２図は（イ），
（ロ），（ハ）は選択回路の選択スイッチの配置の一例
を示す図、第３図は第１図の実施例の等価回路図、第４
図は他の実施例の構成図、第５図は第４図の実施例の等
価回路図、第６図，第７図及び第８図は他の実施例を説
明するための図である。 1:陰極線管、2:増幅器、3:演算増幅器、4,5:ボリウム、
6:帰還抵抗、7:抵抗選択回路、8:走査速度選択回路、9:
表示モード選択回路、10:走査モード選択回路、11:制御
装置、12,13,20:デコーダ、14,21,23,27:記憶回路、15,
22,24,26:D/A変換器、25:増幅器、R1〜Rn：ゲイン調整
抵抗、Ra〜Rg:加算抵抗。
（ロ），（ハ）は選択回路の選択スイッチの配置の一例
を示す図、第３図は第１図の実施例の等価回路図、第４
図は他の実施例の構成図、第５図は第４図の実施例の等
価回路図、第６図，第７図及び第８図は他の実施例を説
明するための図である。 1:陰極線管、2:増幅器、3:演算増幅器、4,5:ボリウム、
6:帰還抵抗、7:抵抗選択回路、8:走査速度選択回路、9:
表示モード選択回路、10:走査モード選択回路、11:制御
装置、12,13,20:デコーダ、14,21,23,27:記憶回路、15,
22,24,26:D/A変換器、25:増幅器、R1〜Rn：ゲイン調整
抵抗、Ra〜Rg:加算抵抗。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭56−1455（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−199164（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】試料上に照射される荷電粒子線を走査する
ことにより得られる映像信号を陰極線管に導いて像を表
示する装置において、該陰極線管の走査速度を選択する
手段と、該陰極線管の走査モードを選択する手段と、該
陰極線管に表示される像の表示モードを選択する手段
と、該夫々の選択手段よりの選択信号が入力され、該選
択信号に基づいて陰極線管に入力される映像信号の振幅
及びレベルを変化させてコントラスト及び明るさを制御
するための回路とを備えたことを特徴とする走査電子顕
微鏡等の表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984184642U JPH074765Y2 (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 | 走査電子顕微鏡等の表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984184642U JPH074765Y2 (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 | 走査電子顕微鏡等の表示装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6199961U JPS6199961U (ja) | 1986-06-26 |
| JPH074765Y2 true JPH074765Y2 (ja) | 1995-02-01 |
Family
ID=30742127
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984184642U Expired - Lifetime JPH074765Y2 (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 | 走査電子顕微鏡等の表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH074765Y2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS561455A (en) * | 1979-06-18 | 1981-01-09 | Jeol Ltd | Picture signal processing device for scanning electron microscope, etc. |
| JPS57199164A (en) * | 1981-06-03 | 1982-12-07 | Hitachi Ltd | Sample image observation unit |
-
1984
- 1984-12-05 JP JP1984184642U patent/JPH074765Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6199961U (ja) | 1986-06-26 |
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