JPH0747892Y2 - 出力可変型固体レーザ発振装置 - Google Patents
出力可変型固体レーザ発振装置Info
- Publication number
- JPH0747892Y2 JPH0747892Y2 JP1987174500U JP17450087U JPH0747892Y2 JP H0747892 Y2 JPH0747892 Y2 JP H0747892Y2 JP 1987174500 U JP1987174500 U JP 1987174500U JP 17450087 U JP17450087 U JP 17450087U JP H0747892 Y2 JPH0747892 Y2 JP H0747892Y2
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- JP
- Japan
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- state laser
- solid
- variable
- laser
- Prior art date
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Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は固体レーザ発振装置に関し,特にレーザ加工分
野において必要な出力可変型の固体レーザ発振装置に関
する。
野において必要な出力可変型の固体レーザ発振装置に関
する。
従来固体レーザ発振装置の出力を加工用途に応じて連続
可変する際は,励起入力レベルを可変にするか,共振器
外部に出力減衰器を用いるかしていた。
可変する際は,励起入力レベルを可変にするか,共振器
外部に出力減衰器を用いるかしていた。
上述した従来方法のうち,励起入力レベルを変える方法
では,固体レーザ媒質中に生ずる熱レンズ効果量が変化
する結果,共振器の安定条件が変化してレーザ出力の安
定度が出力レベルと共に変化するという欠点がある。
では,固体レーザ媒質中に生ずる熱レンズ効果量が変化
する結果,共振器の安定条件が変化してレーザ出力の安
定度が出力レベルと共に変化するという欠点がある。
また共振器外部に透過率可変型の減衰器を設置して出力
を可変する方法では,レーザ反射鏡やポラライザ等余分
な光学的減衰素子が必要となってコストアップ要因とな
る他,不用レーザ出力を吸収するための放熱板が必要と
なり,設置スペースが大きくなる等の欠点がある。
を可変する方法では,レーザ反射鏡やポラライザ等余分
な光学的減衰素子が必要となってコストアップ要因とな
る他,不用レーザ出力を吸収するための放熱板が必要と
なり,設置スペースが大きくなる等の欠点がある。
したがって本発明の目的は光学部品が少なくて済み,且
つ,安定した条件で連続的に可変できる固体レーザ発振
装置を得ようとするものである。
つ,安定した条件で連続的に可変できる固体レーザ発振
装置を得ようとするものである。
本考案による出力可変型固体レーザ発振装置では,出力
ミラーと全反射ミラーを備えた固体レーザ共振器の内部
に形状可変型アパーチャ機構を備え,外部に前記形状可
変型アパーチャ機構を電気的に制御するアパーチャ駆動
回路を備えてレーザ出力を可変にした固体レーザ発振装
置において,前記全反射ミラーの外部に該全反射ミラー
を不可避的に透過する発信器内部出力のもれ光を受けて
電気信号に変える光検出器を設け,さらにこの光検出器
の出力を演算して前記アパーチャ駆動回路にフィードバ
ックする演算回路を備えている。このような構造により
アパーチャの形状を変化させることにより,励起入力レ
ベルを一定のままレーザ出力に所望の変化を与えると共
に,レーザ出力のレベルを可変アパーチャ駆動回路にフ
ィードバックすることができる。
ミラーと全反射ミラーを備えた固体レーザ共振器の内部
に形状可変型アパーチャ機構を備え,外部に前記形状可
変型アパーチャ機構を電気的に制御するアパーチャ駆動
回路を備えてレーザ出力を可変にした固体レーザ発振装
置において,前記全反射ミラーの外部に該全反射ミラー
を不可避的に透過する発信器内部出力のもれ光を受けて
電気信号に変える光検出器を設け,さらにこの光検出器
の出力を演算して前記アパーチャ駆動回路にフィードバ
ックする演算回路を備えている。このような構造により
アパーチャの形状を変化させることにより,励起入力レ
ベルを一定のままレーザ出力に所望の変化を与えると共
に,レーザ出力のレベルを可変アパーチャ駆動回路にフ
ィードバックすることができる。
次に本考案について図面を参照して説明する。
第1図は本考案の一実施例の構成図である。固体レーザ
ロッド11がレーザ電源13により駆動される励起ランプ12
により励起される結果,出力ミラー14a及び全反射ミラ
ー14bにより構成されるレーザ共振器の間で横モードレ
ーザ発信が生じる。形状可変型アパーチャ機構(たとえ
ば多角形可変絞り機構)15は,可変アパーチャ駆動回路
16により電気的にアパーチャ径等の形状がコントロール
され,発振横モードに対する回折損失がコントロールさ
れる結果,レーザ出力ビーム17の出力レベルが電気的に
コントロール可能である。
ロッド11がレーザ電源13により駆動される励起ランプ12
により励起される結果,出力ミラー14a及び全反射ミラ
ー14bにより構成されるレーザ共振器の間で横モードレ
ーザ発信が生じる。形状可変型アパーチャ機構(たとえ
ば多角形可変絞り機構)15は,可変アパーチャ駆動回路
16により電気的にアパーチャ径等の形状がコントロール
され,発振横モードに対する回折損失がコントロールさ
れる結果,レーザ出力ビーム17の出力レベルが電気的に
コントロール可能である。
第2図は本考案の実施例2の構成図である。本構成では
全反射ミラー14bを不可避的に透過する発振器内部出力
のもれ光18を光検出器19を利用してモニタし,その電気
的出力を演算回路20を通じて可変アパーチャ駆動回路16
にフィードバックすることにより,レーザ出力の一定値
維持や予めプログラムされた出力レベルに自動的に設定
するなどの制御を行うことができる。
全反射ミラー14bを不可避的に透過する発振器内部出力
のもれ光18を光検出器19を利用してモニタし,その電気
的出力を演算回路20を通じて可変アパーチャ駆動回路16
にフィードバックすることにより,レーザ出力の一定値
維持や予めプログラムされた出力レベルに自動的に設定
するなどの制御を行うことができる。
以上説明したように本考案による固体レーザでは,共振
器内に設置した可変形状アパーチャにより共振器の回折
損失を制御してレーザ出力を制御できる結果,励起ラン
プ入力を変化させる必要がなく,それによるレーザ出力
の不安定性を招くことがないと同時に,余分な光学部品
も必要としない。また共振器内部で発振出力を制御する
から,不用なレーザ出力を共振器外に送出することもな
い。さらにレーザ出力のレベルをフィードバックできる
ので,レーザ出力の一定値維持や予めプログラムされた
出力レベルへの自動設定が可能となる。
器内に設置した可変形状アパーチャにより共振器の回折
損失を制御してレーザ出力を制御できる結果,励起ラン
プ入力を変化させる必要がなく,それによるレーザ出力
の不安定性を招くことがないと同時に,余分な光学部品
も必要としない。また共振器内部で発振出力を制御する
から,不用なレーザ出力を共振器外に送出することもな
い。さらにレーザ出力のレベルをフィードバックできる
ので,レーザ出力の一定値維持や予めプログラムされた
出力レベルへの自動設定が可能となる。
第1図は本考案による出力可変型固体レーザ装置の一実
施例の構成図,第2図は第二の実施例の構成図である。 記号の説明:11……固体レーザロッド,12……励起ラン
プ,13……レーザ電源,14a……出力ミラー,14b……全反
射ミラー,15……形状可変型アパーチャ機構,16……可変
アパーチャ駆動回路,17……レーザ出力ビーム,18……も
れ光,19……光検出器,20……演算回路。
施例の構成図,第2図は第二の実施例の構成図である。 記号の説明:11……固体レーザロッド,12……励起ラン
プ,13……レーザ電源,14a……出力ミラー,14b……全反
射ミラー,15……形状可変型アパーチャ機構,16……可変
アパーチャ駆動回路,17……レーザ出力ビーム,18……も
れ光,19……光検出器,20……演算回路。
Claims (1)
- 【請求項1】出力ミラーと全反射ミラーを備えた固体レ
ーザ共振器の内部に形状可変型アパーチャ機構を備え、
外部に前記形状可変型アパーチャ機構を電気的に制御す
るアパーチャ駆動回路を備えてレーザ出力を可変にした
固体レーザ発振装置において、 前記全反射ミラーの外部に該全反射ミラーを不可避的に
透過する発信器内部出力のもれ光を受けて電気信号に変
える光検出器を設け、さらにこの光検出器の出力を演算
して前記アパーチャ駆動回路にフィードバックする演算
回路を設けて成ることを特徴とする出力可変型固体レー
ザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987174500U JPH0747892Y2 (ja) | 1987-11-17 | 1987-11-17 | 出力可変型固体レーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987174500U JPH0747892Y2 (ja) | 1987-11-17 | 1987-11-17 | 出力可変型固体レーザ発振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0179863U JPH0179863U (ja) | 1989-05-29 |
| JPH0747892Y2 true JPH0747892Y2 (ja) | 1995-11-01 |
Family
ID=31466353
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987174500U Expired - Lifetime JPH0747892Y2 (ja) | 1987-11-17 | 1987-11-17 | 出力可変型固体レーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0747892Y2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4937894U (ja) * | 1972-07-06 | 1974-04-03 | ||
| JPS6189688A (ja) * | 1984-10-09 | 1986-05-07 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ発振器 |
-
1987
- 1987-11-17 JP JP1987174500U patent/JPH0747892Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0179863U (ja) | 1989-05-29 |
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