JPH0748341B2 - 真空遮断器用真空バルブの真空圧力測定装置 - Google Patents
真空遮断器用真空バルブの真空圧力測定装置Info
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- JPH0748341B2 JPH0748341B2 JP2252306A JP25230690A JPH0748341B2 JP H0748341 B2 JPH0748341 B2 JP H0748341B2 JP 2252306 A JP2252306 A JP 2252306A JP 25230690 A JP25230690 A JP 25230690A JP H0748341 B2 JPH0748341 B2 JP H0748341B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は真空遮断器用真空バルブの真空圧力測定装置に
関するものである。
関するものである。
従来の真空バルブの内部真空圧力測定は工場出荷前に真
空バルブ単品で測定しているため、被測定真空圧力容器
を包囲するソレノイドコイルは、励磁磁束密度を大きく
するため巻数を数百巻以上にし、電源容量を余り大きく
しなかつた。あるいは真空圧力測定による真空容器内の
脱ガス効果を抑えるため、電極間に印加する直流高電圧
をサイラトロン等によりパルス印加する方式等がある。
また、実開昭54−30975号公報に示すように、被測定真
空容器を包囲するソレノイドコイルを二重以上にして真
空圧力の測定範囲を拡大したり、公開技報番号第86−50
4号に示すように、電離放射線による先駆放電を利用し
て真空圧力の測定範囲を拡大していた。
空バルブ単品で測定しているため、被測定真空圧力容器
を包囲するソレノイドコイルは、励磁磁束密度を大きく
するため巻数を数百巻以上にし、電源容量を余り大きく
しなかつた。あるいは真空圧力測定による真空容器内の
脱ガス効果を抑えるため、電極間に印加する直流高電圧
をサイラトロン等によりパルス印加する方式等がある。
また、実開昭54−30975号公報に示すように、被測定真
空容器を包囲するソレノイドコイルを二重以上にして真
空圧力の測定範囲を拡大したり、公開技報番号第86−50
4号に示すように、電離放射線による先駆放電を利用し
て真空圧力の測定範囲を拡大していた。
一方、真空遮断器に搭載された真空バルブの真空圧力測
定については、真空バルブの端板にマグネトロン素子を
具備して置く方法が検討されたが、マグネトロン素子が
高価なため、真空遮断器のコストアツプの要因となるの
で実現されていない。また、簡易法では真空遮断器の線
間の容量変化から真空圧力の劣化を検出する方法もある
が、精度も悪く、あまり採用されていない。
定については、真空バルブの端板にマグネトロン素子を
具備して置く方法が検討されたが、マグネトロン素子が
高価なため、真空遮断器のコストアツプの要因となるの
で実現されていない。また、簡易法では真空遮断器の線
間の容量変化から真空圧力の劣化を検出する方法もある
が、精度も悪く、あまり採用されていない。
最近の高度に発達した情報化社会において安定した高品
質の電力供給を行うためには、送電，配電の基幹となる
真空遮断器には高信頼性が要求されている。そのために
は真空遮断器のバイタルパーツである真空バルブの使用
寿命予測，すなわち真空圧力推移予測が注目されてい
る。しかしながら前述したように、真空遮断器に搭載し
た状態での測定方法が確立されていない。また、真空バ
ルブ単品の真空圧力測定方式は、被測定容器を包囲する
コイルが大きかつたり、電源設備が大きかつたりするた
め、フイールドで使用している真空遮断器の真空圧力測
定には利用されていない。
質の電力供給を行うためには、送電，配電の基幹となる
真空遮断器には高信頼性が要求されている。そのために
は真空遮断器のバイタルパーツである真空バルブの使用
寿命予測，すなわち真空圧力推移予測が注目されてい
る。しかしながら前述したように、真空遮断器に搭載し
た状態での測定方法が確立されていない。また、真空バ
ルブ単品の真空圧力測定方式は、被測定容器を包囲する
コイルが大きかつたり、電源設備が大きかつたりするた
め、フイールドで使用している真空遮断器の真空圧力測
定には利用されていない。
現在、一番利用されている方法は、直流高電圧発生器を
用いた直流耐電圧法である。しかし、本方式は内部真空
圧力が３×10-2Torr以上のグロー放電領域の真空度チエ
ツカーとしては有効であるが、真空バルブの保障限界値
である５×10-4Torr以下の値が測定できない。また、真
空バルブの運転中の内部真空圧力は１×10-6Torrから１
×10-4Torrの範囲内にあるため、真空バルブの寿命予測
には、上記範囲内を絶対値で把握する必要がある。
用いた直流耐電圧法である。しかし、本方式は内部真空
圧力が３×10-2Torr以上のグロー放電領域の真空度チエ
ツカーとしては有効であるが、真空バルブの保障限界値
である５×10-4Torr以下の値が測定できない。また、真
空バルブの運転中の内部真空圧力は１×10-6Torrから１
×10-4Torrの範囲内にあるため、真空バルブの寿命予測
には、上記範囲内を絶対値で把握する必要がある。
上記従来技術は、真空遮断器に搭載された真空バルブの
内部真空圧力が絶対値で測定できないため、真空バルブ
の寿命予測ができなかつた。
内部真空圧力が絶対値で測定できないため、真空バルブ
の寿命予測ができなかつた。
本発明は以上の点に鑑みなされたものであり、真空遮断
器に搭載された状態の真空バルブの寿命予測および運
搬，取付けを容易にすることを可能とした真空遮断器用
真空バルブの真空圧力測定装置を提供することを目的と
するものである。
器に搭載された状態の真空バルブの寿命予測および運
搬，取付けを容易にすることを可能とした真空遮断器用
真空バルブの真空圧力測定装置を提供することを目的と
するものである。
上記目的は、大電流パルス電流のパルス電流の立上り時
定数を0.1〜5mSに制御することにより、達成される。
定数を0.1〜5mSに制御することにより、達成される。
被測定真空容器（真空バルブ）に搭載された真空バルブ
を包囲し、磁界を励磁するソレノイドコイルは真空バル
ブに装着自在（１〜50巻）に形成した。
を包囲し、磁界を励磁するソレノイドコイルは真空バル
ブに装着自在（１〜50巻）に形成した。
大電流パルス電源、制御回路および検出回路を、夫々複
数個に分割自在で、かつ可搬可能に形成した。
数個に分割自在で、かつ可搬可能に形成した。
上記手段を設けたので、イオン電流の発生確率が高くな
つて、真空圧力測定範囲を10-7Torrまで拡大できるよう
になる。
つて、真空圧力測定範囲を10-7Torrまで拡大できるよう
になる。
さらに、ソレノイドコイルが真空遮断器に搭載されてい
る真空バルブに装着自在となり、大電流パルス電源、制
御回路および検出回路は夫々複数個に分割自在となる。
る真空バルブに装着自在となり、大電流パルス電源、制
御回路および検出回路は夫々複数個に分割自在となる。
以下、図示した実施例に基づいて本発明を説明する。第
１図から第８図には本発明の一実施例が示されている。
真空遮断器用真空バルブ１の真空圧力測定装置２は、真
空遮断器３に搭載されている真空バルブ１と、この真空
バルブ１中に機密封止された接離自在な電極4,5に高電
圧を印加する直流高圧電源６と、この電源６から電極4,
5に印加される高電圧が所定電圧に達するまでの遅れ時
間を維持する制御回路７と、この制御回路７を介して動
作する大電流パルス電源８と、このパルス電源８の出力
により磁界を発生し、かつ真空バルブ１を包囲して配置
されるソレノイドコイル９とを備えている。そして一対
の電極4,5間を流れるイオン電流の波高値および積分値
を検出回路（イオン電流検出器）10で測定して真空バル
ブ１中の真空圧力を測定する。このように構成された真
空圧力測定装置２で、本実施例では大電流パルス電源８
のパルス電流の立上り時定数を0.1〜5mSに制御した。こ
のようにすることにより、イオン電流の発生確率が高く
なつて、真空圧力測定範囲を10-7Torrまで拡大できるよ
うになり、真空遮断器３に搭載された状態の真空バルブ
１の寿命予測および運搬，取付けを容易にすることを可
能とした真空遮断器用真空バルブ１の真空圧力測定装置
２を得ることができる。
１図から第８図には本発明の一実施例が示されている。
真空遮断器用真空バルブ１の真空圧力測定装置２は、真
空遮断器３に搭載されている真空バルブ１と、この真空
バルブ１中に機密封止された接離自在な電極4,5に高電
圧を印加する直流高圧電源６と、この電源６から電極4,
5に印加される高電圧が所定電圧に達するまでの遅れ時
間を維持する制御回路７と、この制御回路７を介して動
作する大電流パルス電源８と、このパルス電源８の出力
により磁界を発生し、かつ真空バルブ１を包囲して配置
されるソレノイドコイル９とを備えている。そして一対
の電極4,5間を流れるイオン電流の波高値および積分値
を検出回路（イオン電流検出器）10で測定して真空バル
ブ１中の真空圧力を測定する。このように構成された真
空圧力測定装置２で、本実施例では大電流パルス電源８
のパルス電流の立上り時定数を0.1〜5mSに制御した。こ
のようにすることにより、イオン電流の発生確率が高く
なつて、真空圧力測定範囲を10-7Torrまで拡大できるよ
うになり、真空遮断器３に搭載された状態の真空バルブ
１の寿命予測および運搬，取付けを容易にすることを可
能とした真空遮断器用真空バルブ１の真空圧力測定装置
２を得ることができる。
すなわち第１図に示されているように、真空バルブ１は
真空遮断器３に搭載されている。真空遮断器３からの真
空バルブ１の開閉動作指令は絶縁操作ロツド11より伝達
される。真空バルブ１は、絶縁筒12と上下の端板および
ベローズ13により真空気密を保持されている。閉鎖配電
盤との接続は外部端子14,15を介して行う。
真空遮断器３に搭載されている。真空遮断器３からの真
空バルブ１の開閉動作指令は絶縁操作ロツド11より伝達
される。真空バルブ１は、絶縁筒12と上下の端板および
ベローズ13により真空気密を保持されている。閉鎖配電
盤との接続は外部端子14,15を介して行う。
第１図の状態で真空圧力を測定するためには、ソレノイ
ドコイル９を真空バルブ１に装着する。この時、真空バ
ルブ１が絶縁碍子やモールド製の絶縁カバー（いずれも
図示せず）に固着されているため、ソレノイドコイル９
の装着は容易でない。そのため、絶縁碍子あるいは絶縁
カバーと真空バルブ１との空隙および相間空隙を考慮し
て、ソレノイドコイル９の巻数は50巻から１巻の範囲と
なる。
ドコイル９を真空バルブ１に装着する。この時、真空バ
ルブ１が絶縁碍子やモールド製の絶縁カバー（いずれも
図示せず）に固着されているため、ソレノイドコイル９
の装着は容易でない。そのため、絶縁碍子あるいは絶縁
カバーと真空バルブ１との空隙および相間空隙を考慮し
て、ソレノイドコイル９の巻数は50巻から１巻の範囲と
なる。
真空圧力測定装置２は、直流高電圧電源6,大電流パルス
電源8,検出回路10,直流高電圧を接地する接地スイツチ1
6および接地抵抗17,電源６および機器を制御し、かつイ
オン電流を表示する表示器を具備している制御回路７か
ら構成されている。
電源8,検出回路10,直流高電圧を接地する接地スイツチ1
6および接地抵抗17,電源６および機器を制御し、かつイ
オン電流を表示する表示器を具備している制御回路７か
ら構成されている。
大電流パルス電源８は第２図に示す回路構成になつてい
る。8aは電源、8b,8l,8oは制限抵抗、8c,8m,8pはパルス
発生回路を示す。各パルス発生回路8c,8m,8pは、リアク
タンスと容量とで構成される。パルス発生回路8cはリア
クタンス8e,8g,8jと容量8d,8f,8h,8iで構成されてい
る。他のパルス発生回路8m,8pも基本構成はパルス発生
回路8cと同じである。同図表示のパルス発生回路内の鎖
線は、インダクタンスと容量との組合せを任意に行える
ようにし、後述の励磁電流波形を形成するものである。
また、パルス発生回路8c,8m,8pを鎖線で接続しているの
も、任意に並列接続できることを示すものである。パル
ス発生回路8c,8m,8pの出力側に夫々放電スイツチ8k,8n,
8qを設置し、最終段のパルス発生回路8pにはパルス波形
整形器8rを具備させた。そしてこの大電流パルス電源の
出力端にソレノイドコイル９を接続する。
る。8aは電源、8b,8l,8oは制限抵抗、8c,8m,8pはパルス
発生回路を示す。各パルス発生回路8c,8m,8pは、リアク
タンスと容量とで構成される。パルス発生回路8cはリア
クタンス8e,8g,8jと容量8d,8f,8h,8iで構成されてい
る。他のパルス発生回路8m,8pも基本構成はパルス発生
回路8cと同じである。同図表示のパルス発生回路内の鎖
線は、インダクタンスと容量との組合せを任意に行える
ようにし、後述の励磁電流波形を形成するものである。
また、パルス発生回路8c,8m,8pを鎖線で接続しているの
も、任意に並列接続できることを示すものである。パル
ス発生回路8c,8m,8pの出力側に夫々放電スイツチ8k,8n,
8qを設置し、最終段のパルス発生回路8pにはパルス波形
整形器8rを具備させた。そしてこの大電流パルス電源の
出力端にソレノイドコイル９を接続する。
この大電流パルス電源の動作を、次に説明する。電源8a
より各制限抵抗8b,8l,8oを経て各パルス発生回路8c,8m,
8pの容量（例えば発生回路8cについては8d,8f,8h,8i）
に充電される。充電が完了した時点で放電スイツチ8k,8
n,8qを時間遅れをもつて導通すると、パルス発生回路8
c,8m,8pを重畳した電流波形を形成することができる。
最終段のパルス波形整形器8rでパルス電流波形の波尾を
成形している。
より各制限抵抗8b,8l,8oを経て各パルス発生回路8c,8m,
8pの容量（例えば発生回路8cについては8d,8f,8h,8i）
に充電される。充電が完了した時点で放電スイツチ8k,8
n,8qを時間遅れをもつて導通すると、パルス発生回路8
c,8m,8pを重畳した電流波形を形成することができる。
最終段のパルス波形整形器8rでパルス電流波形の波尾を
成形している。
第３図には、真空圧力測定装置の簡単なタイムチヤート
が示されている。大電流パルス電源８（第１図参照）は
既に充電完了の状態であることを前提とする。図中Ａは
直流高電圧、Ｂはパルス励磁電流、Ｃはイオン電流を示
す。まず、直流高電圧電源６（第１図参照）のスイツチ
がONされると、直流高電圧が所定電圧に達するまでT1の
時間遅れがある。T1になつたらT3後にパルス電源８（第
１図参照）の放電スイツチをONして、パルス電流Ｂを通
電する。イオン電流Ｃは若干の時間遅れで発生する。こ
の時、直流高電圧Ａは、所定電圧をT2秒持続する。ま
た、パルス電流ＢについてもT5秒持続させる必要があ
る。
が示されている。大電流パルス電源８（第１図参照）は
既に充電完了の状態であることを前提とする。図中Ａは
直流高電圧、Ｂはパルス励磁電流、Ｃはイオン電流を示
す。まず、直流高電圧電源６（第１図参照）のスイツチ
がONされると、直流高電圧が所定電圧に達するまでT1の
時間遅れがある。T1になつたらT3後にパルス電源８（第
１図参照）の放電スイツチをONして、パルス電流Ｂを通
電する。イオン電流Ｃは若干の時間遅れで発生する。こ
の時、直流高電圧Ａは、所定電圧をT2秒持続する。ま
た、パルス電流ＢについてもT5秒持続させる必要があ
る。
第４図はパルス電流Ｂの波形をモデル化した図形であ
る。波高値の63％に達する時定数τは、回路定数とソレ
ノイドコイル９（第１図参照）のリアクタンスとにより
決定される。W1はパルス発生回路8c（第２図参照）のみ
の波形で、W2はパルス発生回路8m,8p（第２図参照）を
重畳した波形である。T4は波高値の50％の電流h50の時
間を示す。
る。波高値の63％に達する時定数τは、回路定数とソレ
ノイドコイル９（第１図参照）のリアクタンスとにより
決定される。W1はパルス発生回路8c（第２図参照）のみ
の波形で、W2はパルス発生回路8m,8p（第２図参照）を
重畳した波形である。T4は波高値の50％の電流h50の時
間を示す。
第５図は真空圧力とイオン電流形成時間ｔとの関係を示
す。イオン電流形成時間とは、真空バルブ１（第１図参
照）の電極間に電圧を印加し、真空バルブ１を包囲した
ソレノイドコイル９（共に第１図参照）のパルス電流を
通電して励磁した瞬間から真空バルブ内のガス分子がイ
オン化し、イオン電流が形成されるまでの時間である。
イオン電流の検出は、イオン電流が形成されなければで
きないので、イオン電流が形成されるまでの時間、パル
ス電流のh50（第４図参照）を持続させる必要がある。
同図の直線ａはソレノイドコイル９（第１図参照）の巻
数が数千巻の従来方式によるイオン化時間を示す。直線
ｂはそのイオン化電流形成時間を示す。直線ｃはソレノ
イドコイル９（第１図参照）の巻数を50巻以下にし、パ
ルス電流の立ち上り時定数τ（第３図および第４図参
照）を5mS以下にした時のイオン化時間であり、直線ｄ
はその時のイオン化電流形成時間である。真空圧力Ｐが
10-6Torrの時はh50のT4時間（第４図参照）は10mS必要
であることが示されている。真空圧力測定下限値を拡大
した場合、例えばＰ＝10-8Torrにした時、イオン化電流
形成時間ｄは1Sとなり、パルス発生回路は数十段とな
り、電源が膨大となる。本発明は、フイールドで使用で
きる装置の提供であるので、真空圧力測定の範囲が10-6
Torr以上であればよいので、T4（第４図参照）は50mS程
度持続すればよい。
す。イオン電流形成時間とは、真空バルブ１（第１図参
照）の電極間に電圧を印加し、真空バルブ１を包囲した
ソレノイドコイル９（共に第１図参照）のパルス電流を
通電して励磁した瞬間から真空バルブ内のガス分子がイ
オン化し、イオン電流が形成されるまでの時間である。
イオン電流の検出は、イオン電流が形成されなければで
きないので、イオン電流が形成されるまでの時間、パル
ス電流のh50（第４図参照）を持続させる必要がある。
同図の直線ａはソレノイドコイル９（第１図参照）の巻
数が数千巻の従来方式によるイオン化時間を示す。直線
ｂはそのイオン化電流形成時間を示す。直線ｃはソレノ
イドコイル９（第１図参照）の巻数を50巻以下にし、パ
ルス電流の立ち上り時定数τ（第３図および第４図参
照）を5mS以下にした時のイオン化時間であり、直線ｄ
はその時のイオン化電流形成時間である。真空圧力Ｐが
10-6Torrの時はh50のT4時間（第４図参照）は10mS必要
であることが示されている。真空圧力測定下限値を拡大
した場合、例えばＰ＝10-8Torrにした時、イオン化電流
形成時間ｄは1Sとなり、パルス発生回路は数十段とな
り、電源が膨大となる。本発明は、フイールドで使用で
きる装置の提供であるので、真空圧力測定の範囲が10-6
Torr以上であればよいので、T4（第４図参照）は50mS程
度持続すればよい。
第６図はソレノイドコイル９（第１図参照）が励磁する
磁界のアンペア・ターン（Ａ・Ｔ）とイオン電流が検出
できる真空圧力の範囲とを示す。曲線e,f,g,hの右上を
斜線で示しているのは、その部分がイオン電流の検出で
きることを示す。この曲線e,f,g,hはソレノイドコイル
９（第１図参照）を3,30,300,3000巻にし、励磁電流を
通電した時のイオン電流検出の下限界値の包絡線を示
す。しかし、各々のソレノイドコイルに同じ電流を通電
したのではなく、第１表の励磁電流源に示すようにし
た。すなわち3000巻、300巻は直流定電流を通電し、30
巻,3巻については上述の第４図に示すパルス電流を通電
した。第６図は同じ磁界であれば、励磁電流の立上り時
定数が速い程、真空圧力の検出範囲が拡大していること
を示している。第１表は、磁界が30,000A・Ｔの時のソ
レノイドコイル、励磁電流源、真空圧力の測定下限界、
ヒイールドでの測定の可否を検討したものを示す。同表
に示されているように、ソレノイドコイル3,000巻,300
巻は、真空遮断器に搭載された真空バルブに装着するこ
とは不可能である。30巻,3巻は真空バルブに装着可能で
あるが、パルス電源が大規模になる。従つて真空圧力下
限値と第４図に示すh50のT4秒とを選定し、適切な電源
の大きさを決定することが肝要である。
磁界のアンペア・ターン（Ａ・Ｔ）とイオン電流が検出
できる真空圧力の範囲とを示す。曲線e,f,g,hの右上を
斜線で示しているのは、その部分がイオン電流の検出で
きることを示す。この曲線e,f,g,hはソレノイドコイル
９（第１図参照）を3,30,300,3000巻にし、励磁電流を
通電した時のイオン電流検出の下限界値の包絡線を示
す。しかし、各々のソレノイドコイルに同じ電流を通電
したのではなく、第１表の励磁電流源に示すようにし
た。すなわち3000巻、300巻は直流定電流を通電し、30
巻,3巻については上述の第４図に示すパルス電流を通電
した。第６図は同じ磁界であれば、励磁電流の立上り時
定数が速い程、真空圧力の検出範囲が拡大していること
を示している。第１表は、磁界が30,000A・Ｔの時のソ
レノイドコイル、励磁電流源、真空圧力の測定下限界、
ヒイールドでの測定の可否を検討したものを示す。同表
に示されているように、ソレノイドコイル3,000巻,300
巻は、真空遮断器に搭載された真空バルブに装着するこ
とは不可能である。30巻,3巻は真空バルブに装着可能で
あるが、パルス電源が大規模になる。従つて真空圧力下
限値と第４図に示すh50のT4秒とを選定し、適切な電源
の大きさを決定することが肝要である。
すなわち、ソレノイドコイルの巻数を小さくし、大電流
パルス電源のパルス電流の立上り時定数τを0.1〜5mSに
すれば真空圧力測定範囲を 10-7Torrまで広げることができ、真空遮断器に搭載した
状態の真空バルブの真空圧力が測定できるようになるの
である。このようにイオン電流を測定するのに真空圧力
を低い方にし、ソレノイドコイルを小さくして真空遮断
器に搭載されている真空バルブに装着できるようにし、
イオン電流を測定する装置を小型化して、所期の目的を
達成するようにしたのである。
パルス電源のパルス電流の立上り時定数τを0.1〜5mSに
すれば真空圧力測定範囲を 10-7Torrまで広げることができ、真空遮断器に搭載した
状態の真空バルブの真空圧力が測定できるようになるの
である。このようにイオン電流を測定するのに真空圧力
を低い方にし、ソレノイドコイルを小さくして真空遮断
器に搭載されている真空バルブに装着できるようにし、
イオン電流を測定する装置を小型化して、所期の目的を
達成するようにしたのである。
しかしながら直流高電圧電源、大電流パルス電源、検出
回路、制御回路を一体にした状態で運搬することはでき
ない。そのため各々を分割して運搬できるようにする必
要がある。直流高電圧電源は単独で運搬できるようにす
るのは容易であるが、大電流パルス電源、制御回路は基
本的には一体構造が望ましい。特に大電流パルス電源
は、通電路が大電流をパルスで通電するため、電磁反撥
力、接続による発熱を抑える対策をする必要がある。
回路、制御回路を一体にした状態で運搬することはでき
ない。そのため各々を分割して運搬できるようにする必
要がある。直流高電圧電源は単独で運搬できるようにす
るのは容易であるが、大電流パルス電源、制御回路は基
本的には一体構造が望ましい。特に大電流パルス電源
は、通電路が大電流をパルスで通電するため、電磁反撥
力、接続による発熱を抑える対策をする必要がある。
第７図は大電流パルス電源と制御回路とを分割した状態
を示した。最上段に制御回路箱18,2段目に第１段大電流
パルス発生回路箱8c′、３段目に第２段大電流パルス発
生回路箱8m′、最下段に第Ｎ段大電流パルス発生回路箱
8p′を配置する。各々の箱18,8c′,8m′,8p′の下には
運搬し易いように車輪19を設ける。２段目以下の箱8
c′,8m′,8p′の上部には車輪袋20を設け、上から箱を
装填した場合に、ガイト兼固定に利用する。また上部前
面にはレバー21を設け、上部後面には連結部保護カバー
（保護蓋）22を設ける。なお同図において31は把手であ
る。次に導体を自動連結するのを第７図および第８図に
より説明する。
を示した。最上段に制御回路箱18,2段目に第１段大電流
パルス発生回路箱8c′、３段目に第２段大電流パルス発
生回路箱8m′、最下段に第Ｎ段大電流パルス発生回路箱
8p′を配置する。各々の箱18,8c′,8m′,8p′の下には
運搬し易いように車輪19を設ける。２段目以下の箱8
c′,8m′,8p′の上部には車輪袋20を設け、上から箱を
装填した場合に、ガイト兼固定に利用する。また上部前
面にはレバー21を設け、上部後面には連結部保護カバー
（保護蓋）22を設ける。なお同図において31は把手であ
る。次に導体を自動連結するのを第７図および第８図に
より説明する。
最下段の第Ｎ段大電流パルス発生回路箱8p′には複数個
の容量23とリアクタンスとを配置，接続されている。他
の箱8m′と連結するために、導体24を絶縁体25で保持す
る導体24の先端にチユウリツプコンタクト等の連結部26
を配置する。その連結部26の上部には連結部保護カバー
22を設け、カバー復帰バネ27にワイヤ28を接続し、連結
部保護カバー22の一端もワイヤ28に接続する。ワイヤ28
はガイドピン29を介してレバー21に接続するが、レバー
21の一端は蝶番になつている。第２段大電流パルス発生
回路箱8m′も同様の構成になつているが、前方にバー30
が取り付けてあり、このバー30は導体24の下部先端より
長くする。
の容量23とリアクタンスとを配置，接続されている。他
の箱8m′と連結するために、導体24を絶縁体25で保持す
る導体24の先端にチユウリツプコンタクト等の連結部26
を配置する。その連結部26の上部には連結部保護カバー
22を設け、カバー復帰バネ27にワイヤ28を接続し、連結
部保護カバー22の一端もワイヤ28に接続する。ワイヤ28
はガイドピン29を介してレバー21に接続するが、レバー
21の一端は蝶番になつている。第２段大電流パルス発生
回路箱8m′も同様の構成になつているが、前方にバー30
が取り付けてあり、このバー30は導体24の下部先端より
長くする。
第Ｎ段大電流パルス発生回路箱8p′の上に第２段大電流
パルス発生回路箱8m′を上から装填すると、まず、車輪
19が車輪袋20にガイドされる。車輪19が車輪袋20にガイ
ドされるとバー30がレバー21に当り、ワイヤ28を左側に
引張る際に、ワイヤ28に接続されている連結部保護カバ
ー22が左側にスライドする。連結部保護カバー22も左側
にスライドすると、導体24がさし込まれ連結部26に挿入
され、自動連結する。これと反対に分離する場合は、第
２段大電流パルス発生回路箱8m′を上に持ち上げると、
カバー復帰バネ27により連結部保護カバー22とレバー21
とが元の位置に復帰し、異物や塵埃が連結部26に侵入す
るのを防止できる。
パルス発生回路箱8m′を上から装填すると、まず、車輪
19が車輪袋20にガイドされる。車輪19が車輪袋20にガイ
ドされるとバー30がレバー21に当り、ワイヤ28を左側に
引張る際に、ワイヤ28に接続されている連結部保護カバ
ー22が左側にスライドする。連結部保護カバー22も左側
にスライドすると、導体24がさし込まれ連結部26に挿入
され、自動連結する。これと反対に分離する場合は、第
２段大電流パルス発生回路箱8m′を上に持ち上げると、
カバー復帰バネ27により連結部保護カバー22とレバー21
とが元の位置に復帰し、異物や塵埃が連結部26に侵入す
るのを防止できる。
このように本実施例によれば次に述べるような効果を奏
することができる。
することができる。
（１）真空遮断器に搭載された真空バルブにソレノイド
コイルを装置し、真空圧力を絶対値で把握することがで
きる。
コイルを装置し、真空圧力を絶対値で把握することがで
きる。
（２）従つて、定期的に測定することにより、真空バル
ブの内部真空圧力の寿命予測が可能となり、真空遮断器
の信頼性を向上することができる。
ブの内部真空圧力の寿命予測が可能となり、真空遮断器
の信頼性を向上することができる。
（３）本装置を分割して可搬型にしたので、あらゆるフ
イールドに利用することができる。
イールドに利用することができる。
上述のように本発明は真空遮断器に搭載された状態の真
空バルブの寿命予測および運搬，取付けが容易となつ
て、真空遮断器に搭載された状態の真空バルブの寿命予
測および運搬，取付けを容易にすることを可能とした真
空遮断器用真空バルブの真空圧力測定装置を得ることが
できる。
空バルブの寿命予測および運搬，取付けが容易となつ
て、真空遮断器に搭載された状態の真空バルブの寿命予
測および運搬，取付けを容易にすることを可能とした真
空遮断器用真空バルブの真空圧力測定装置を得ることが
できる。
第１図は本発明の真空遮断器用真空バルブの真空圧力測
定装置の一実施例の回路構成を示す説明図、第２図は同
じく一実施例の大電流パルス電源の回路図、第３図は同
じく一実施例のタイムチヤート図、第４図は同じく一実
施例のパルス電流波形図、第５図は同じく一実施例の真
空圧力とイオン電流形成時間との関係を示す特性図、第
６図は同じく一実施例の磁界強度によるイオン電流検出
可能な真空圧力範囲を示す特性図、第７図は同じく一実
施例の大電流パルス電源と制御回路とを分割した状態を
示す斜視図、第８図は同じく一実施例の分割したパルス
発生回路箱を自動連結する状態を示す縦断側面図であ
る。 １…真空バルブ（被測定真空容器）、２…真空圧力測定
装置、３…真空遮断器、4,5…電極、６…直流高電圧電
源、７…制御回路、８…大電流パルス電源、8c′…第１
段大電流パルス発生回路箱、8m′…第２段大電流パルス
発生回路箱、8p′…第Ｎ段大電流パルス発生回路箱、９
…ソレノイドコイル、10…検出回路、22…連結部保護カ
バー（保護蓋）、26…連結部。
定装置の一実施例の回路構成を示す説明図、第２図は同
じく一実施例の大電流パルス電源の回路図、第３図は同
じく一実施例のタイムチヤート図、第４図は同じく一実
施例のパルス電流波形図、第５図は同じく一実施例の真
空圧力とイオン電流形成時間との関係を示す特性図、第
６図は同じく一実施例の磁界強度によるイオン電流検出
可能な真空圧力範囲を示す特性図、第７図は同じく一実
施例の大電流パルス電源と制御回路とを分割した状態を
示す斜視図、第８図は同じく一実施例の分割したパルス
発生回路箱を自動連結する状態を示す縦断側面図であ
る。 １…真空バルブ（被測定真空容器）、２…真空圧力測定
装置、３…真空遮断器、4,5…電極、６…直流高電圧電
源、７…制御回路、８…大電流パルス電源、8c′…第１
段大電流パルス発生回路箱、8m′…第２段大電流パルス
発生回路箱、8p′…第Ｎ段大電流パルス発生回路箱、９
…ソレノイドコイル、10…検出回路、22…連結部保護カ
バー（保護蓋）、26…連結部。
Claims (7)
- 【請求項１】真空遮断器に搭載されている被測定真空容
器と、この被測定真空容器中に気密封止された接離自在
な電極に高電圧を印加する直流高電圧電源と、この電源
から前記電極に印加される高電圧が所定電圧に達するま
での遅れ時間を維持する制御回路と、この制御回路を介
して動作する大電流パルス電源と、このパルス電源の出
力により磁界を発生し、かつ前記被測定真空容器を包囲
して配置されるソレノイドコイルとを備え、前記一対の
電極間を流れるイオン電流の波高値および積分値を検出
回路で測定して前記被測定真空容器中の真空圧力を測定
する真空遮断器用真空バルブの真空圧力測定装置におい
て、前記大電流パルス電源のパルス電流の立上り時定数
を0.1〜5mSに制御してなることを特徴とする真空遮断器
用真空バルブの真空圧力測定装置。 - 【請求項２】前記大電流パルス電源が、大電流パルスの
波高値が1,000Aから10,000Aの出力を有し、立上りから
波高値の50％までの電流通電幅を10から50mS持続する波
形整形機能を有しているものである請求項１記載の真空
遮断器用真空バルブの真空圧力測定装置。 - 【請求項３】前記ソレノイドコイルが、前記真空遮断器
に搭載されている被測定真空容器に装着自在に形成され
たものである請求項１記載の真空遮断器用真空バルブの
真空圧力測定装置。 - 【請求項４】前記ソレノイドコイルが、巻数が１〜50巻
である請求項１記載の真空遮断器用真空バルブの真空圧
力測定装置。 - 【請求項５】前記大電流パルス電源、制御回路および検
出回路が、夫々複数個に分割自在で、かつ可搬可能に形
成されたものである請求項１記載の真空遮断器用真空バ
ルブの真空圧力測定装置。 - 【請求項６】前記大電流パルス電源が、複数個の大電流
パルス発生回路箱に収納して分割構成され、かつこれら
回路箱の通電路が上位段の回路箱を装填することにより
自動的に連結されるものである請求項１記載の真空遮断
器用真空バルブの真空圧力測定装置。 - 【請求項７】前記大電流パルス発生回路箱が、前記通電
路の連結部への前記通電路の装填に同期して作動する保
護蓋が設けられたものである請求項６記載の真空遮断器
用真空バルブの真空圧力測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2252306A JPH0748341B2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | 真空遮断器用真空バルブの真空圧力測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2252306A JPH0748341B2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | 真空遮断器用真空バルブの真空圧力測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04132131A JPH04132131A (ja) | 1992-05-06 |
| JPH0748341B2 true JPH0748341B2 (ja) | 1995-05-24 |
Family
ID=17235418
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2252306A Expired - Fee Related JPH0748341B2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | 真空遮断器用真空バルブの真空圧力測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0748341B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9759773B2 (en) | 2011-12-13 | 2017-09-12 | Finley Lee Ledbetter | System and method to predict a usable life of a vacuum interrupter in the field |
| US9026375B1 (en) | 2011-12-13 | 2015-05-05 | Finley Lee Ledbetter | Method to predict a usable life of a vacuum interrupter in the field |
| CN103557988A (zh) * | 2013-11-09 | 2014-02-05 | 宁夏天地经纬电力设备工程有限公司 | 一种旋转式电场探头 |
| WO2016205420A1 (en) * | 2015-06-15 | 2016-12-22 | Finley Lee Ledbetter | System and method to predict a usable life of a vacuum interrupter in the field |
| CN109490934B (zh) * | 2018-12-19 | 2022-11-25 | 上海平高天灵开关有限公司 | 一种真空灭弧室x射线检测平台 |
| CN116818182B (zh) * | 2023-07-06 | 2024-09-13 | 江苏爱斯凯电气有限公司 | 一种高压真空断路器生产用检验装置 |
-
1990
- 1990-09-21 JP JP2252306A patent/JPH0748341B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04132131A (ja) | 1992-05-06 |
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