JPH074891U - Closed system gas circulation experiment device - Google Patents
Closed system gas circulation experiment deviceInfo
- Publication number
- JPH074891U JPH074891U JP3809893U JP3809893U JPH074891U JP H074891 U JPH074891 U JP H074891U JP 3809893 U JP3809893 U JP 3809893U JP 3809893 U JP3809893 U JP 3809893U JP H074891 U JPH074891 U JP H074891U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- pump
- valve
- circulation
- closed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 title claims description 22
- 239000011553 magnetic fluid Substances 0.000 claims abstract description 10
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 73
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 2
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 2
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】
【目的】 装置を簡素化し、かつ、ガス消費量の節減及
び密閉実験スペース内のガス雰囲気の均一性の維持を図
る。
【構成】 チャンバーやグローブボックス等の密閉実験
スペース１と接続してガスを循環する循環管路２中にベ
ーンポンプ３を介装する。ベーンポンプ３の回転軸９の
軸受部に磁性流体シール１５を設け、軸受部を気密にシ
ールする。ポンプ３の吐出口１８における上記循環管路
２中に高気密性の三方コックよりなる開閉弁４を介装
し、管路２の吐出口１８側とスペース１側、及び管路２
側の吐出口１８側とドレーン管路１９とを開閉弁４で択
一的に連通させる。
(57) [Summary] [Purpose] To simplify the device, reduce gas consumption, and maintain the uniformity of the gas atmosphere in the closed experimental space. [Structure] A vane pump 3 is provided in a circulation conduit 2 for circulating a gas by connecting to a closed experimental space 1 such as a chamber or a glove box. A magnetic fluid seal 15 is provided on the bearing of the rotary shaft 9 of the vane pump 3 to hermetically seal the bearing. An on-off valve 4 made of a highly airtight three-way cock is provided in the circulation line 2 at the discharge port 18 of the pump 3, and the discharge port 18 side and the space 1 side of the line 2 and the pipe line 2 are disposed.
The discharge port 18 side and the drain conduit 19 are selectively communicated by the open / close valve 4.
Description
【０００１】[0001]
本考案は、チャンバー，グローブボックス，デシケータその他の密閉実験スペ ースのガス雰囲気で各種の実験を行う密閉系ガス循環実験装置、さらに詳しくは 、アルゴン，ヘリウム，チッ素，ドライエア，炭酸ガスその他のガスを小流量で 密閉系を循環させながら、実験スペースで実験を行う実験装置、特に密閉系の空 気とガスとの置換及びガス循環機構に関するものである。 The present invention is a closed gas circulation experimental device for conducting various experiments in a gas atmosphere of a closed experiment space such as a chamber, a glove box, a desiccator, and more specifically, argon, helium, nitrogen, dry air, carbon dioxide gas and other The present invention relates to an experimental apparatus for conducting an experiment in an experimental space while circulating a gas at a small flow rate in a closed system, and in particular to replacement of air and gas in the closed system and a gas circulation mechanism.
【０００２】[0002]
従来、たとえばグローブボックス等でアルゴンガスを使用して実験する場合、 ガスをグローブボックス等へ入口側から連続的に導入して出口側から排気（使い 捨て）しながら行う方法（以下、従来技術１という）が一般に知られている。こ の方法はガスを使い捨てするものであるためガス消費量が大になり、ランニング コストが高くなると共にガス公害の問題も生じる。 Conventionally, for example, when an experiment is performed using argon gas in a glove box or the like, a method of continuously introducing the gas into the glove box or the like from the inlet side and exhausting (discarding) from the outlet side (hereinafter, referred to as Prior Art 1 Is commonly known. This method consumes a large amount of gas because the gas is thrown away, which raises the running cost and poses a problem of gas pollution.
【０００３】 また、従来、ガスを使用する密閉系の実験装置として、チャンバーやグローブ ボックス等の密閉実験スペースと接続した密閉管路中に真空ポンプ，送風ブロア 及び多種類のバルブを介装したものがある（以下、従来技術２という）。この従 来技術２は次のように使用するものである。すなわち、上記管路中のドレーンに 通じるバルブを開いて真空ポンプを稼動し、実験スペースを含む密閉系内の空気 を外部に可及的排出した後、上記ドレーン側のバルブを閉じてポンプを停止する 。次いで、密閉管路に接続されているガスボンベのバルブを開いてガスを密閉系 内に、系内の陰圧で吸引した後、ボンベ側のバルブを閉じる。これにより密閉系 内の空気はガスと置換される。この状態で実験スペース内で各種の実験を行う。 また、この置換されたガスを循環する必要があるときは、密閉管路中の一部に特 別な密閉室を設け、この室内に送風ブロアを設置して実験を行う場合もある。こ の従来技術２によれば、従来技術１に比べガス消費量を節減できると共にガス公 害の問題も解消し得る。Conventionally, as a closed-system experimental device using gas, a vacuum pump, a blower blower, and various kinds of valves are provided in a closed pipeline connected to a closed experimental space such as a chamber or a glove box. (Hereinafter, referred to as Prior Art 2). This conventional technique 2 is used as follows. That is, open the valve leading to the drain in the above pipeline, operate the vacuum pump, discharge the air in the closed system including the experimental space to the outside as much as possible, then close the valve on the drain side and stop the pump. To do. Then, the valve of the gas cylinder connected to the closed pipeline is opened to suck the gas into the closed system by the negative pressure in the system, and then the valve on the cylinder side is closed. This replaces the air in the closed system with gas. In this state, various experiments are conducted in the experiment space. In addition, when it is necessary to circulate the replaced gas, a special closed chamber may be provided in a part of the closed pipeline, and an air blower may be installed in this chamber to perform the experiment. According to the related art 2, the gas consumption can be reduced as compared with the related art 1, and the problem of gas pollution can be solved.
【０００４】 しかし、従来技術２は構造が複雑であると共に操作も煩雑であり、かつ、次の ような問題を有している。すなわち、ガスを使用して実験スペース内で実験する 場合、スペース内のガス雰囲気を均一にすることが肝要であるが、従来技術２は 密閉系内の空気をガスと置換後、このガスの流動を基本的には停止して実験する ように構成してあり、ガスの循環が必要な場合に送風ブロアを稼動してガスに流 動性を付与し、その目的を達成しようと試みている。However, the prior art 2 has a complicated structure and complicated operation, and has the following problems. That is, when performing an experiment in a test space using a gas, it is essential to make the gas atmosphere in the space uniform. However, in the conventional technique 2, after the air in the closed system is replaced with the gas, the flow of the gas Basically, it is configured to stop and perform the experiment, and when the gas circulation is required, the blower blower is operated to impart fluidity to the gas and attempt to achieve the purpose.
【０００５】 しかるに、送風ブロアでガスを循環する場合、小量のガスの流量調整は極めて 困難であり、特にフィルタを介装した密閉系でガスを循環させる場合、ガスがフ ィルタを透過するとき抵抗が大になるため、送風ブロアでは円滑なガス循環を期 待することは、ほとんど不可能である。そのため、小型実験装置では一般にガス の循環は行われていない。したがって、実験スペース内のガス雰囲気が不均一に なり易く、その結果、実験の均一性に問題がある。However, when the gas is circulated by a blower blower, it is extremely difficult to adjust the flow rate of a small amount of gas. Especially, when the gas is circulated in a closed system having a filter, when the gas passes through the filter. Due to the large resistance, it is almost impossible to expect smooth gas circulation with the blower blower. Therefore, in general, gas circulation is not performed in small experimental equipment. Therefore, the gas atmosphere in the experimental space tends to be non-uniform, resulting in a problem in the uniformity of the experiment.
【０００６】[0006]
本考案は、上記実情に鑑みてなされたもので、装置及び操作を簡略化すると共 にガス消費量の節減及び密閉実験スペース内のガス雰囲気の均一性の維持を図る ことを目的とするものである。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is an object of the present invention to simplify the apparatus and operation, reduce gas consumption, and maintain the uniformity of the gas atmosphere in a closed experimental space. is there.
【０００７】 上記目的を達成するため、請求項１記載の密閉系ガス循環実験装置は、密閉実 験スペースと、この実験スペースと接続してガスを循環する循環管路と、この循 環管路中に介装したベーンポンプと、このポンプの吐出口側にあって、上記循環 管路中に介装した開閉弁とを有し、上記ポンプの軸受部には磁性流体シールが設 けてあり、上記開閉弁は高気密性の三方コックからなり、上記循環管路の上記ポ ンプ側と上記実験スペース側、及び上記循環管路の上記ポンプ側とドレーン管路 とを上記開閉弁で択一的に連通させるように構成したことを特徴とするものであ る。In order to achieve the above-mentioned object, the closed-system gas circulation experimental apparatus according to claim 1 is a closed experimental space, a circulation pipe for connecting a gas to the experimental space to circulate gas, and this circulation pipe. It has a vane pump interposed therein, and an on-off valve on the discharge port side of the pump interposed in the circulation line, and the bearing portion of the pump is provided with a magnetic fluid seal. The on-off valve consists of a highly airtight three-way cock, and the pump side of the circulation line and the experimental space side, and the pump side of the circulation line and the drain line can be selected by the on-off valve. It is characterized in that it is configured to communicate with.
【０００８】 請求項２記載の密閉系ガス循環実験装置は、密閉実験スペースと、この実験ス ペースと接続してガスを循環する循環管路と、この循環管路中に介装したベーン ポンプと、このポンプの吐出口側にあって、上記循環管路中に介装した開閉弁と 、この開閉弁と上記ポンプの吐出口との間における上記循環管路中で分岐させた ドレーン管路中に介装した開閉弁とを有し、上記ポンプの軸受部には磁性流体シ ールが設けてあり、上記両開閉弁は高気密性の二方コックよりなることを特徴と するものである。A closed system gas circulation experimental apparatus according to a second aspect of the present invention comprises a closed experimental space, a circulation pipe for connecting a gas to the experimental space to circulate gas, and a vane pump interposed in the circulation pipe. On the discharge port side of this pump, an on-off valve interposed in the circulation line, and in a drain line branched in the circulation line between the on-off valve and the discharge port of the pump. And a magnetic fluid seal provided on the bearing portion of the pump, and both of the on-off valves are highly airtight two-way cocks. .
【０００９】[0009]
請求項１記載の実験装置によれば、開閉弁を操作してドレーン管路側に切換（ この時、循環管路は開閉弁で閉になる）えてポンプを稼動すると、実験スペース 及び循環管路、すなわち、密閉系内の空気はポンプで吸引され、ドレーンから外 部に排出されるので、密閉系内は真空に近い状態になる（この場合、ポンプは排 気作用をする）。逆に開閉弁を循環管路側に切換（この時、ドレーン管路は開閉 弁で閉になる）えてポンプを稼動すると、上記密閉系内の空気（ガスも同様）は ポンプの作用で循環する（この場合、ポンプは循環ポンプとして機能する）。 According to the experimental apparatus of claim 1, when the pump is operated by operating the on-off valve and switching to the drain conduit side (at this time, the circulation conduit is closed by the on-off valve), the experimental space and the circulation conduit are That is, the air in the closed system is sucked by the pump and discharged from the drain to the outside, so that the inside of the closed system is in a state close to a vacuum (in this case, the pump acts as an exhaust gas). On the contrary, when the pump is operated by switching the on-off valve to the circulation line side (at this time, the drain line is closed by the on-off valve), the air in the closed system (also gas) is circulated by the action of the pump ( In this case, the pump functions as a circulation pump).
【００１０】 そこで、循環管路のポンプの吸込口側をボンベ等のガス供給部と接続（この際 、ガス供給部のバルブは閉にしておく）し、ポンプを稼動して開閉弁をドレーン 側に切換え、密閉系内を減圧して真空に近い状態にした後、ガス供給部のバルブ を開き、開閉弁を循環管路側に切換えると、ガス供給部のガスは密閉系内へ吸引 されるので、密閉系内の空気はガスと置換される。ガス供給部のバルブを閉めて 、ポンプの稼動を継続すれば、ガスは密閉系内を循環するので、実験スペース内 のガス雰囲気は均一に維持される。Therefore, the suction port side of the pump of the circulation pipe is connected to a gas supply unit such as a cylinder (at this time, the valve of the gas supply unit is closed), and the pump is operated to open the opening / closing valve on the drain side. After switching to ``, '' decompressing the closed system to make it close to vacuum, open the valve in the gas supply section and switch the on-off valve to the circulation line side, the gas in the gas supply section will be sucked into the closed system. The air in the closed system is replaced with gas. If the valve of the gas supply unit is closed and the pump continues to operate, the gas circulates in the closed system, so the gas atmosphere in the experimental space is maintained uniform.
【００１１】 請求項２記載の実験装置は二方コックよりなる開閉弁を２個設け、両弁を別個 に操作するように構成したもので、この実験装置も請求項１記載のものと同様に 作用する。The experimental apparatus according to claim 2 is configured such that two opening / closing valves each including a two-way cock are provided and both valves are operated separately. This experimental apparatus is the same as that according to claim 1. To work.
【００１２】[0012]
以下、図面を参照して本考案の実施例につき説明する。図１は本考案に係る密 閉系ガス循環実験装置の１実施例の全体構成を示す概略配置図、図２は同上装置 に使用するベーンポンプの１実施例のポンプ室部の縦断面図、図３は同上装置に 使用する開閉弁の１実施例を示す斜視図である。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic layout diagram showing an overall configuration of an embodiment of a closed gas circulation experiment device according to the present invention, and FIG. 2 is a vertical cross-sectional view of a pump chamber portion of an embodiment of a vane pump used in the device. FIG. 3 is a perspective view showing an embodiment of an on-off valve used in the same device.
【００１３】 上記図１〜図３において、この実施例の密閉系ガス循環実験装置は、密閉実験 スペース１と、この実験スペース１と接続して配設した循環管路２と、この管路 ２中に介装したベーンポンプ３と、ポンプ３の吐出口側にあって、上記管路２中 に介装した開閉弁４とを有している。1 to 3, the closed-system gas circulation experimental apparatus of this embodiment includes a closed-experiment space 1, a circulation pipeline 2 connected to the experimental space 1, and a pipeline 2. It has a vane pump 3 installed therein, and an on-off valve 4 installed on the discharge port side of the pump 3 in the pipe line 2.
【００１４】 上記実験スペース１は所要の容積を有し、密閉内部で各種の実験を行うもので 、その目的、用途等に応じ、各種のチャンバーやグローブボックス或いはデシケ ータ等を採用する。The experiment space 1 has a required volume and is used for various experiments in a sealed interior, and various chambers, glove boxes, desiccators, etc. are adopted according to the purpose, application, etc.
【００１５】 上記循環管路２は、実験中に使用するアルゴン，ヘリウム，ドライエアその他 のガスをスペース１に導入して循環するもので、管路２の一端はスペース１のガ ス入口５に、また、他端はスペース１のガス出口６に夫々気密に接続されている 。The circulation conduit 2 is for introducing and circulating gases such as argon, helium, dry air and the like used in the experiment into the space 1, and one end of the conduit 2 is connected to the gas inlet 5 of the space 1. The other ends are airtightly connected to the gas outlets 6 of the space 1, respectively.
【００１６】 上記ベーンポンプ３はポンプ室７のハウジング８内に、回転軸９により回転さ れるロータ１０を、ポンプ室７のリング内面の曲線の中心と偏心させて収納し、 ロータ１０の放射状の溝に摺動自在に設けたベーン１１を遠心力によってリング 内面に押し付けながら回転させるように構成したもので、このポンプ３は任意の 型式のものを適宜選択して採用する。The vane pump 3 accommodates a rotor 10 rotated by a rotating shaft 9 in a housing 8 of a pump chamber 7 in an eccentric manner with respect to a center of a curve of an inner surface of a ring of the pump chamber 7, and a radial groove of the rotor 10. The vane 11, which is slidably provided on the inner surface of the ring, is configured to rotate while being pressed against the inner surface of the ring by a centrifugal force. The pump 3 is arbitrarily selected and employed.
【００１７】 上記ポンプ３の回転軸９は、軸受部のハウジング１２内で、軸受１３，１４で 支持させてあると共に、軸受１３，１４間に磁性流体シール１５を設け、回転軸 ９の軸受部を気密にシールしてある。この磁性流体シール１５は、これによりポ ンプ３の軸受部を外部と気密に遮断するためのもので、磁性流体シール１５の構 成及び設ける位置等は任意に変更可能である。１６はポンプ３を駆動するモータ を示すものである。The rotating shaft 9 of the pump 3 is supported by bearings 13 and 14 in the housing 12 of the bearing portion, and a magnetic fluid seal 15 is provided between the bearings 13 and 14 to provide a bearing portion of the rotating shaft 9. Is hermetically sealed. The magnetic fluid seal 15 is used to hermetically shield the bearing portion of the pump 3 from the outside, and the configuration and position of the magnetic fluid seal 15 can be arbitrarily changed. Reference numeral 16 denotes a motor for driving the pump 3.
【００１８】 上記のように構成したベーンポンプ３は循環管路２のスペース１の出口６と一 端を接続した管路２Ａの他端をポンプ室７の吸込口１７と気密に接続すると共に 循環管路２のスペース１の入口５と一端を接続した管路２Ｂの他端をポンプ室７ の吐出口１８と気密に接続して配設されている。In the vane pump 3 configured as described above, the other end of the pipeline 2 A, which is connected to the outlet 6 of the space 1 of the circulation pipeline 2 at one end, is connected to the suction port 17 of the pump chamber 7 in an airtight manner, and The other end of the conduit 2B, one end of which is connected to the inlet 5 of the space 1 of the passage 2, is airtightly connected to the discharge port 18 of the pump chamber 7.
【００１９】 上記開閉弁４は循環管路２の管路２Ｂ中に介装して設けられ、循環管路２のポ ンプ３の吐出口１８側と実験スペース１の入口５側、及びポンプ３の吐出口１８ 側とドレーン管路１９側とを択一的に連通させるもので、開閉弁４は高気密性の 三方コックからなっている。この開閉弁４はガラス製の三方コックを採用するの が好ましい（但し、金属製等も採用可）。実施例では、図３に示すように、スリ ーブ２０に三つの切換ポート２１，２２，２３を突設し、スリーブ２０に回動自 在に気密に嵌挿した切換弁２４を回動操作することにより、ポート２１と２２及 びポート２１と２３とを択一的に連通させるように構成したガラス製の真空三方 コックを採用している。図示の三方コックは理化学実験用のガラス器具の真空装 置や真空ライン用として広く用いられているものである。The on-off valve 4 is provided in the pipeline 2 B of the circulation pipeline 2 so as to be interposed therein, and the discharge port 18 side of the pump 3 of the circulation pipeline 2 and the inlet 5 side of the experimental space 1 and the pump 3 are provided. The discharge port 18 side and the drain pipe line 19 side are selectively communicated with each other, and the opening / closing valve 4 is composed of a highly airtight three-way cock. The on-off valve 4 is preferably made of a glass three-way cock (however, a metal or the like may be used). In the embodiment, as shown in FIG. 3, three switching ports 21, 22, and 23 are provided on the sleeve 20 in a protruding manner, and the switching valve 24 which is hermetically fitted in the sleeve 20 is pivotally operated. As a result, a glass vacuum three-way cock configured to selectively communicate the ports 21 and 22 and the ports 21 and 23 is adopted. The illustrated three-way cock is widely used for vacuum equipment and vacuum lines of glassware for physics and chemistry experiments.
【００２０】 実施例の開閉弁４は上記のように構成され、ポート２１をポンプ３の吐出口１ ８に気密に接続すると共にポート２２を管路２Ｂに気密に接続して配設され、ま た、ポート２３はドレーン管路１９として機能させるようになっている。これに より切換弁２４を回動操作することにより、ポンプの吐出口１８側と実験スペー ス１の入口５側、及び吐出口１８側とドレーン管路１９側とを択一的に連通させ るようになる。The on-off valve 4 of the embodiment is configured as described above, and is arranged such that the port 21 is airtightly connected to the discharge port 18 of the pump 3 and the port 22 is airtightly connected to the pipe line 2B. Moreover, the port 23 is made to function as the drain conduit 19. By rotating the switching valve 24 by this, the discharge port 18 side of the pump and the inlet 5 side of the experimental space 1 and the discharge port 18 side and the drain conduit 19 side are selectively communicated. Like
【００２１】 図１において、２５，２６，２７は循環管路２の管路２Ｂ中に介装して配設し た熱交換器，フィルタ，流量計、２８は管路２Ａから分岐した連結管２９に接続 したガスボンベ、３０はボンベの開閉バルブを示すものである。In FIG. 1, reference numerals 25, 26, and 27 denote heat exchangers, filters, and flowmeters which are disposed in the pipeline 2B of the circulation pipeline 2, and 28 denotes a connecting pipe branched from the pipeline 2A. A gas cylinder connected to the numeral 29, and numeral 30 denotes an opening / closing valve of the cylinder.
【００２２】 この実施例の実験装置は上記のように構成したもので、次に使用方法及び動作 等につき説明する。たとえばアルゴンガスを使用する場合には、アルゴンのガス ボンベ２８を連結管２９に連結する。そして、ボンベ２８のバルブ３０を閉じる と共に開閉弁４をドレーン側に切換えてポンプ３を稼動する。これにより密閉実 験スペース１，循環管路２，熱交換器２５，フィルタ２６，流量計２７で構成さ れる密閉系内の空気はポンプ３で吸引されてドレーン管路１９から系外へ排出さ れ、密閉系内は真空に近い状態になる。次いで、ボンベ２８のバルブ３０を開き 、開閉弁４を循環管路２側へ切換えるとアルゴンガスは密閉系内へ吸引されるの で、適量のガスを吸引後、ボンベのバルブ３０を閉じる。これにより密閉系内の 空気はガスと置換される。そこで再び開閉弁４をドレーン側に切換えると密閉系 内のガス及び一部の残留空気はドレーンから排出され、密閉系内の空気の濃度は 更に低くなり、この操作を３〜４回繰返して行うことにより密閉系内の空気は限 りなく０に近くなり、ガスと完全に置換される。この一連の操作中、ポンプを停 止する必要はない。The experimental apparatus of this embodiment is configured as described above, and the usage method and operation will be described below. For example, when argon gas is used, the argon gas cylinder 28 is connected to the connecting pipe 29. Then, the valve 30 of the cylinder 28 is closed and the opening / closing valve 4 is switched to the drain side to operate the pump 3. As a result, the air in the closed system composed of the closed test space 1, the circulation line 2, the heat exchanger 25, the filter 26, and the flow meter 27 is sucked by the pump 3 and discharged from the drain line 19 to the outside of the system. As a result, the closed system becomes close to a vacuum. Next, when the valve 30 of the cylinder 28 is opened and the on-off valve 4 is switched to the circulation line 2 side, the argon gas is sucked into the closed system. Therefore, after sucking an appropriate amount of gas, the valve 30 of the cylinder is closed. This replaces the air in the closed system with gas. Therefore, when the on-off valve 4 is switched to the drain side again, the gas in the closed system and a part of the residual air are discharged from the drain, and the concentration of the air in the closed system is further lowered. This operation is repeated 3 to 4 times. As a result, the air in the closed system becomes infinitely close to 0 and is completely replaced with gas. It is not necessary to stop the pump during this series of operations.
【００２３】 そこで、上記のように操作して密閉系内のガスの濃度及び圧力を調整した後、 ボンベのバルブ３０を閉じ、開閉弁４を循環管路２側へ切換える。これにより密 閉系内のガスを循環せしめ、実験スペース１内のガス雰囲気で各種の実験を行う ものである。Therefore, after adjusting the concentration and pressure of the gas in the closed system by operating as described above, the valve 30 of the cylinder is closed and the opening / closing valve 4 is switched to the circulation conduit 2 side. As a result, the gas in the closed system is circulated, and various experiments are conducted in the gas atmosphere in the experimental space 1.
【００２４】 図４は本考案に係る密閉系ガス循環実験装置の別実施例の全体構成を示す概略 配置図、図５は同上装置に使用する開閉弁の１実施例を示す斜視図である。この 実施例の実験装置は、ベーンポンプ３の吐出口１８側にあって、循環管路２中に 介装した開閉弁４Ａと、この開閉弁４Ａとポンプ３の吐出口１８との間における 循環管路２中で分岐させたドレーン管路１９Ａ中に介装した開閉弁４Ｂとを有し ている。FIG. 4 is a schematic layout diagram showing the overall configuration of another embodiment of the closed system gas circulation experiment device according to the present invention, and FIG. 5 is a perspective view showing one embodiment of the on-off valve used in the same device. The experimental apparatus of this embodiment is provided with an opening / closing valve 4A provided on the outlet 18 side of the vane pump 3 in the circulation conduit 2 and a circulation pipe between the opening / closing valve 4A and the outlet 18 of the pump 3. It has an opening / closing valve 4B interposed in a drain pipe line 19A branched in the line 2.
【００２５】 上記両開閉弁４Ａ，４Ｂは高気密性の二方コックからなり、この弁４Ａ，４Ｂ もガラス製の二方コックを採用するのが好ましい（但し、金属製等も採用可能） 。実施例では、図５Ａに示すように、スリーブ２０Ａの側壁面と底部に夫々１個 の開閉ポート２１Ａ，２２Ａを突設し，スリーブ２０Ａに回動自在に気密に嵌挿 した切換弁２４Ａを回動操作することにより、ポート２１Ａと２２Ａを連通・遮 断させるように構成したガラス製の真空二方コック、或いは同図Ｂに示すように 、スリーブ２０Ｂの側壁面に二個の開閉ポート２１Ｂ，２２Ｂを突設し、スリー ブ２０Ｂに回動自在に気密に嵌挿した切換弁２４Ｂを回動操作することにより、 ポート２１Ｂと２２Ｂを連通・遮断させるように構成したガラス製の真空二方コ ックを採用している。この二方コックは理化学実験用のガラス器具の真空装置や 真空ライン用として一般に使用されているものである。実施例の開閉弁４Ａ，４ Ｂは上記のように構成され、一方の開閉弁４Ａは両ポート２１Ａ（２１Ｂ），２ ２Ａ（２２Ｂ）を管路２Ｂと気密に接続し、また、他方の開閉弁４Ｂはポート２ １Ａ（２１Ｂ）を開閉弁４Ａと吐出口１８との間における管路２Ｂと気密に接続 すると共にポート２２Ａ（２２Ｂ）をフリーに開放して配設されている。他の構 成は図１の実施例と全く同一であるため、同一符号を付して説明を省略する。Both the on-off valves 4A and 4B are made of highly airtight two-way cocks, and it is preferable that the valves 4A and 4B also be glass two-way cocks (however, metal-made ones can also be used). In the embodiment, as shown in FIG. 5A, one opening / closing port 21A, 22A is provided on the side wall and the bottom of the sleeve 20A, respectively, and a switching valve 24A is rotatably and airtightly inserted into the sleeve 20A. The vacuum two-way cock made of glass, which is configured to communicate and block the ports 21A and 22A by the dynamic operation, or two opening / closing ports 21B on the side wall surface of the sleeve 20B, as shown in FIG. 22B is a glass vacuum two-way connector configured to connect and disconnect ports 21B and 22B by rotating a switching valve 24B that is rotatably and airtightly inserted in a sleeve 20B. Is adopted. This two-way cock is generally used as a vacuum device for glassware for physics and chemistry experiments and for vacuum lines. The on-off valves 4A and 4B of the embodiment are configured as described above, and one on-off valve 4A air-tightly connects both ports 21A (21B) and 22A (22B) with the pipe line 2B, and opens and closes the other. The valve 4B is arranged such that the port 21A (21B) is hermetically connected to the conduit 2B between the on-off valve 4A and the discharge port 18 and the port 22A (22B) is opened freely. Since the other structure is completely the same as that of the embodiment of FIG. 1, the same reference numerals are given and the description thereof is omitted.
【００２６】 この実施例の実験装置は上記のように構成したもので、両開閉弁４Ａ，４Ｂを 夫々別個に操作して循環管路の連通・遮断及び循環管路とドレーン管路の連通・ 遮断を選択的に行うもので、図１の実施例と同様に使用し、動作する。The experimental apparatus of this embodiment is configured as described above, and operates both open / close valves 4A and 4B separately to connect / disconnect the circulation conduit and to connect / disconnect the circulation conduit and the drain conduit. The interruption is selectively performed, and is used and operates in the same manner as the embodiment of FIG.
【００２７】[0027]
本考案によれば、次のような効果を奏する。 The present invention has the following effects.
【００２８】 装置の構成を簡素化かつコンパクト化することができると共に、密閉系内の空 気とガスとの置換及びガスの循環を簡単な操作で良好に行うことができる。The configuration of the device can be simplified and made compact, and the replacement of air with gas in the closed system and the circulation of gas can be favorably performed by a simple operation.
【００２９】 ガスの消費量を節減できると共に、密閉実験スペース内のガス雰囲気の均一性 を維持することができる。It is possible to reduce gas consumption and maintain the uniformity of the gas atmosphere in the closed experimental space.
【００３０】 ベーンポンプの軸受部には磁性流体シールを設けて気密にシールしてあるので 、密閉系内の密閉性を確保できる。Since the bearing of the vane pump is hermetically sealed by providing a magnetic fluid seal, the hermeticity of the hermetic system can be ensured.
【図１】本考案に係る密閉系ガス循環実験装置の１実施
例の全体構成を示す概略配置図である。FIG. 1 is a schematic layout diagram showing an overall configuration of an embodiment of a closed system gas circulation experimental apparatus according to the present invention.
【図２】同上装置に使用するベーンポンプの１実施例の
ポンプ室部の縦断面図である。FIG. 2 is a vertical cross-sectional view of a pump chamber portion of one embodiment of a vane pump used in the above apparatus.
【図３】同上装置に使用する開閉弁の１実施例を示す斜
視図である。FIG. 3 is a perspective view showing an embodiment of an on-off valve used in the same apparatus.
【図４】本考案に係る密閉系ガス循環実験装置の別実施
例の全体構成を示す概略配置図である。FIG. 4 is a schematic layout diagram showing an overall configuration of another embodiment of the closed system gas circulation experimental apparatus according to the present invention.
【図５】同上装置に使用する開閉弁の１実施例を示す斜
視図である。FIG. 5 is a perspective view showing an embodiment of an on-off valve used in the same apparatus.
１ 密閉実験スペース ２ 循環管路 ３ ベーンポンプ ４，４Ａ，４Ｂ 開閉弁 ９ 回転軸 １０ ロータ １１ ベーン １５ 磁性流体シール 1 Closed experiment space 2 Circulation line 3 Vane pump 4, 4A, 4B Open / close valve 9 Rotating shaft 10 Rotor 11 Vane 15 Magnetic fluid seal
Claims (2)
と接続してガスを循環する循環管路と、この循環管路中
に介装したベーンポンプと、このポンプの吐出口側にあ
って、上記循環管路中に介装した開閉弁とを有し、上記
ポンプの軸受部には磁性流体シールが設けてあり、上記
開閉弁は高気密性の三方コックからなり、上記循環管路
の上記ポンプ側と上記実験スペース側、及び上記循環管
路の上記ポンプ側とドレーン管路とを上記開閉弁で択一
的に連通させるように構成したことを特徴とする密閉系
ガス循環実験装置。1. A closed experimental space, a circulation pipe for connecting a gas to the experimental space to circulate a gas, a vane pump interposed in the circulation pipe, and a discharge port side of the pump for circulating the gas. An on-off valve interposed in the pipeline, a magnetic fluid seal is provided in the bearing portion of the pump, and the on-off valve is composed of a highly airtight three-way cock, and the pump side of the circulation pipeline is provided. And an experimental space side, and the pump side of the circulation line and the drain line are configured to selectively communicate with each other by the opening / closing valve, and a closed system gas circulation experiment device is characterized.
と接続してガスを循環する循環管路と、この循環管路中
に介装したベーンポンプと、このポンプの吐出口側にあ
って、上記循環管路中に介装した開閉弁と、この開閉弁
と上記ポンプの吐出口との間における上記循環管路中で
分岐させたドレーン管路中に介装した開閉弁とを有し、
上記ポンプの軸受部には磁性流体シールが設けてあり、
上記両開閉弁は高気密性の二方コックよりなることを特
徴とする密閉系ガス循環実験装置。2. A closed experimental space, a circulation pipe for circulating a gas connected to the experimental space, a vane pump interposed in the circulation pipe, and a discharge port side of the pump, and the circulation. An on-off valve interposed in the pipeline, and an on-off valve interposed in the drain pipeline branched in the circulation pipeline between the on-off valve and the discharge port of the pump,
The bearing part of the pump is provided with a magnetic fluid seal,
Both of the on-off valves are composed of a highly airtight two-way cock.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3809893U JPH074891U (en) | 1993-06-18 | 1993-06-18 | Closed system gas circulation experiment device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3809893U JPH074891U (en) | 1993-06-18 | 1993-06-18 | Closed system gas circulation experiment device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH074891U true JPH074891U (en) | 1995-01-24 |
Family
ID=12516008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3809893U Pending JPH074891U (en) | 1993-06-18 | 1993-06-18 | Closed system gas circulation experiment device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH074891U (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS487421U (en) * | 1971-06-11 | 1973-01-27 | ||
| CN112730860A (en) * | 2020-12-18 | 2021-04-30 | 南通华兴石油仪器有限公司 | An experimental device for conveying circulation under closed conditions |
-
1993
- 1993-06-18 JP JP3809893U patent/JPH074891U/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS487421U (en) * | 1971-06-11 | 1973-01-27 | ||
| CN112730860A (en) * | 2020-12-18 | 2021-04-30 | 南通华兴石油仪器有限公司 | An experimental device for conveying circulation under closed conditions |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103119413B (en) | Leak detection appliance | |
| JP2608605B2 (en) | Vacuum pump | |
| JP2005330967A (en) | Lightweight vacuum pump system for gas | |
| KR100491875B1 (en) | Switching valve of waste gas for semiconductor process | |
| JPS6357889A (en) | Rotary type compressor | |
| KR20030015422A (en) | Roots vacuum pump | |
| EP0108642A1 (en) | Pump device | |
| CN216770935U (en) | Semiconductor processing equipment and cavity detection system | |
| JP4819828B2 (en) | Method for cleaning a vacuum screw pump | |
| US20030077989A1 (en) | Polishing system with air exhaust system | |
| JP2004052759A (en) | Vacuum pump system and its control method | |
| CN110793245A (en) | Vacuuming method, refrigerant charging method and refrigerator | |
| JPS61123777A (en) | Vacuum pump | |
| JPS6345597Y2 (en) | ||
| CN115164480A (en) | Vacuumizing structure, vacuum fresh-keeping device and refrigerator | |
| CN212506029U (en) | Suction nozzle device and cleaning vehicle having the same | |
| CN210531119U (en) | Oil-free silent air compressor conversion valve | |
| CN224246680U (en) | Liquid mouth ventilation sealing mechanism of dryer | |
| JPH035657A (en) | Device for switching air current | |
| KR20160072962A (en) | Roots pump having improved structure | |
| CN221184022U (en) | Timing blowing structure | |
| US2950046A (en) | High vacuum pump | |
| CN223896565U (en) | Novel magnetic material diffusion furnace | |
| JP3884101B2 (en) | Oil-free scroll vacuum pump | |
| CN219956465U (en) | Process measurement system |