JPH0749084A - クライオポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ポンプ再生時に、クライオパネル面上から離
脱したガスでクライオポンプ内の圧力が高くなっても、
該シャッターは閉まり勝手となり離脱ガスがクライオポ
ンプ外に漏洩することがなく、真空容器内の真空度を低
下させず、クライオポンプの再生運転を適正に行うこと
ができ、シャッター移動機構の配置スペースが小さいク
ライオポンプを提供する。 【構成】 真空容器２に配設され、液体ヘリウムで極低
温度に冷却されるクライオパネル３と、このクライオパ
ネル３を高温の輻射熱から保護し、液体窒素で低温度に
冷却される熱シールド板８とを備え、クライオポンプ１
のガス入口面と該クライオポンプ奥部との間を移動する
シャッター１４をクライオポンプ１の内側に設け、この
シャッター１４を移動させる駆動手段を当該シャッター
の背部または側部のいずれかに装備した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、クライオポンプに係
り、例えば、核融合装置等で使用される極低温に冷却し
たクライオパネル面に、凝縮，吸着した排気ガス分子
を、短時間内にパネル面より離脱させ、クライオパネル
面を再生するのに好適なクライオポンプに関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】従来の核融合装置の回りに複数基配置す
る、真空容器で構成した各中性粒子入射装置等で使用さ
れる複数基の大形のクライオポンプは、排気するガス分
子を、液体ヘリウム等の極低温冷媒で４．２Ｋ以下に冷
却したパネル面に凝縮，吸着するクライオパネルと、こ
のクライオパネルを高温部の輻射熱から防御する液体窒
素等の低温冷媒で約８０Ｋに冷却した熱シールド板とを
有している。

【０００３】このクライオポンプは長時間使用すると、
クライオパネル面に排気ガスが堆積し、排気性能が劣化
する。このため、周期的にクライオパネル面を被排気系
の真空空間と隔離し、かつ、クライオパネル面を加温し
て温度を上げ、パネル面に堆積した排気ガスを当該パネ
ル面から離脱させてクライオパネル面を再生しなければ
ならない。このような再生装置は、例えば、特開平１ー
１２５５７３号公報に記載されている。

【０００４】すなわち、複数基の大形のクライオポンプ
の内の１つのクライオポンプの排気ガス入り口を、クラ
イオポンプ外に設置した駆動機構により移動する常温の
シャッターで塞ぎ、クライオポンプ内と真空容器内の真
空空間とを隔離する。その後、隔離したクライオポンプ
を加温して、クライオパネル面に、凝縮，吸着した排気
ガス分子をパネル面から離脱させクライオパネル面を再
生する。離脱したガス分子は前記クライオポンプ内と連
通し、前記真空容器外に設置した小形真空ポンプで排気
され、クライオポンプ内をクリーンにして前記真空容器
内の真空空間と同じ程度の真空圧力にする。

【０００５】その後、クライオポンプを再冷却しパネル
面が所定の温度に達したのち、前記シャッターをクライ
オポンプ外の真空空間内で機械的に移動してクライオポ
ンプの排気ガス入り口を開き、クライオポンプにより真
空容器内の真空空間を排気する。次にシャッターは、隣
接の再生するクライオポンプの排気ガス入り口に移動し
て再生作業を行う。前記シャッターの移動距離は、クラ
イオポンプ群の幅をカバーする必要があるので数メート
ルに達する。なお、前記シャッターは、常時前記真空容
器内の真空空間に設置されているものである。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術では、
複数基の大形のクライオポンプ内の１つのクライオポン
プの排気ガス入り口を、クライオポンプ外より常温のシ
ャッターを真空空間内で機械的に移動して塞ぎ、クライ
オポンプ内と真空容器内の真空空間とを隔離するので、
以下の問題があった。 （１）クライオパネル面上のガスが多量に離脱するので
クライオポンプ内のガス濃度が高く、再生しようとする
クライオポンプ内の圧力は、クライオポンプ外の圧力よ
りも高くなる。したがって、クライオポンプの内側から
外側に、圧力差にシャッター面積を乗じた力がシャッタ
ーに作用する。この力は、シャッターを開くように作用
するので、クライオポンプ内外の気密性が阻害され、離
脱ガスがクライオポンプ外に漏洩する。

【０００７】（２）上記シャッターを開くように作用す
る力に対抗するためには、シャッターをクライオポンプ
の外側から内側に押さえつける機構が必要となり、シャ
ッターの移動，固定保持構造が複雑となる。 （３）上記シャッターの移動，固定保持構造を真空容器
内の真空空間内に設置する必要があり、したがって真空
容器が大形化する。

【０００８】（４）上記シャッターの移動，固定保持構
造を真空容器内の真空空間内に設置する必要があり、保
守点検を行う際に該真空容器内を大気に開放する必要が
ある。このため、保守点検作業に長時間を要するととも
に、保守点検後、該真空容器内の真空空間を正規の状態
に戻すのにも長時間を費やす。 （５）真空容器内の真空空間内で、上記シャッターは長
い距離を移動し、固定保持しなければならないので、大
気内での同様な作動に比べてトラブルが発生し易く、信
頼性が低下する。

【０００９】しかし、例えば、最近の大形核融合装置に
使用する中性粒子入射装置では、クライオポンプの再生
運転は、真空容器内に再生排気ガスが漏洩しないクリー
ンな再生が必要で、かつ、再生運転の信頼性が高く、保
守点検作業が容易であり、真空容器内のシャッター移動
機構の配置スペースが小さいことが要請されている。

【００１０】本発明は、上記従来技術の問題点を解決す
るためになされたもので、ポンプ再生時に、クライオパ
ネル面上から離脱したガスでクライオポンプ内の圧力が
高くなっても、該シャッターは閉まり勝手となり離脱ガ
スがクライオポンプ外に漏洩することがなく、真空容器
内の真空度を低下させず、クライオポンプの再生運転を
適正に行うことができ、シャッター移動機構の配置スペ
ースが小さいクライオポンプを提供することを目的とす
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係るクライオポンプの構成は、第一の冷媒
で極低温度に冷却されるクライオパネルと、このクライ
オパネルを高温の輻射熱から保護し第二の冷媒で低温度
に冷却される輻射熱シールド体とを備え、真空容器に配
設されたクライオポンプにおいて、上記クライオポンプ
のガス入口面と該クライオポンプ奥部との間を移動する
シャッターをクライオポンプの内側に設け、このシャッ
ターを移動させる駆動手段を当該シャッターの背部およ
び側部の少なくともいずれかに装備したものである。

【００１２】より詳しく述べれば、上記構成において、
シャッターを移動させる駆動手段は、当該シャッターの
背部に連結したリンク機構であること、または、当該シ
ャッターの側部に装備した回転形駆動機構であること、
あるいは、当該シャッターの側部に装備した回転形駆動
機構と、前記シャッターの背部に連結したリンク機構と
からなるもののいずれかである。さらに、クライオポン
プの内側に設けるシャッターを、第二の冷媒で低温度に
冷却したものである。

【００１３】なお付記すれば、下記のとおりである。シ
ャッターをクライオポンプ内に内蔵し、クライオポンプ
排気運転時は該シャッターをクライオポンプの奥部に待
避し、クライオポンプ再生時には、該シャッターが排気
ガス入り口に移動し、ガス入り口面を内側から塞ぐよう
にする。シャッターは、熱シールド板を冷却する冷媒で
冷却する。また、該シャッターは真空容器の外側の大気
常温に設置した駆動制御装置の指令で移動する。例えば
駆動手段を回転形駆動機構およびリンク機構とし、前記
シャッターの側部および背部に装備する。クライオポン
プの移動，運搬時に共に移動できるように前記駆動手段
をクライオポンプに一体化する。

【００１４】

【作用】上記技術的手段の働きは次のとおりである。ク
ライオポンプ再生時に、シャッターがクライオポンプ内
部から排気ガス入り口に移動してガス入口面を内側から
塞ぐ。したがって、再生時に、クライオパネル面上から
離脱したガスでクライオポンプ内の圧力が高くなって
も、クライオポンプの内側から外側に、圧力差にシャッ
ター面積を乗じた力が該シャッターに作用するので、該
シャッターは閉まり勝手となりシール性能が高まる。よ
って、クライオポンプ内外の気密性が高まり、離脱ガス
がクライオポンプ外に漏洩することがなく、真空容器内
の真空度を低下させずにクリーンに保つことができる。

【００１５】また、上記力に対抗するように、前記シャ
ッターをクライオポンプの内側から外側に押さえつける
機構が不必要となり、固定保持構造が簡単で済む。さら
に、シャッターを移動させる駆動手段を、配置スペース
が小さくて済む回転形駆動機構およびリンク機構とし、
該シャッターの側部または背部で、かつクライオポンプ
内に配置するので、クライオポンプを小形化することが
できる。すなわち、従来のごとく真空容器内のクライオ
ポンプ前面部の真空空間内に、前記シャッターの移動空
間を必要とせず、クライオポンプを小形化でき、真空容
器内部を小形化することができる。

【００１６】また、シャッター移動方向と直角方向に移
動する駆動要素（リンク機構）の動きで該シャッターを
移動させるので、クライオポンプ移動方向、すなわち、
クライオポンプ奥行き方向にクライオポンプ移動距離分
のストロークを確保する駆動要素を配置するスペースが
必要でなく、クライオポンプを小形化して真空容器を小
形化することができる。

【００１７】クライオポンプの移動，運搬時に共に移動
できるように前記駆動手段をクライオポンプに一体化
し、真空容器にクライオポンプを挿入するときに前記駆
動手段を同時に搬入できる。このため、クライオポンプ
設置時に新たにシャッターの調整を必要とせず設置コス
トを低減できる。

【００１８】

【実施例】以下、本発明の各実施例を図１ないし図５を
参照して説明する。 〔実施例 １〕図１は、本発明の一実施例に係るクライ
オポンプの冷却システムの構成例を示す説明図、図２
は、本発明の一実施例に係る３個のクライオパネルを組
み合わせたクライオポンプ１ユニットの上部断面図、図
３は、図２のＸ−Ｘ矢視断面のクライオポンプに真空容
器を合わせて示す断面図である。まず、クライオポンプ
の冷却システムの概略機器構成を図１に示す。

【００１９】図１に示すように、クライオポンプ１は、
核融合装置の中性粒子入射装置やスペースチャンバー等
を構成する真空容器２内に複数台（図１では３台）配置
される。図１において、４は、第一の冷媒である液体ヘ
リウムを製造するヘリウム液化装置、５は、ヘリウム液
化装置４内で製造された液体ヘリウムの供給およびヘリ
ウムガス回収のための配管、９は、第二の冷媒である液
体窒素の窒素貯蔵タンクまたは窒素液化機（以下窒素液
化装置として説明する）、１０は、窒素液化機９からの
液体窒素の供給および窒素ガス回収のための配管であ
る。

【００２０】１２は、クライオポンプのガス入口面に係
る開口部、１３は、後述するシャッターの駆動制御装
置、１５は、後述するクライオパネルから離脱した排気
ガスを導く配管、１６は配管１５を接続する真空ポンプ
である。

【００２１】本実施例のクライオポンプ１の構成の詳細
を図２，３に示す。図２，３において、３は、被排気ガ
スを凝縮，吸着させるクライオパネルで、このクライオ
パネル３は、ステンレス鋼，銅，アルミニウ等の金属製
であり、当該クライオパネル内に液体ヘリウム配管１
７、冷却冷媒流路１８を設けている。図２の例では、ク
ライオポンプ１ユニットの中にクライオパネル３は３個
配設されている。

【００２２】６は液体ヘリウムタンク、７は、各クライ
オパネル３に近接して配設された複数個（図２では４
個）のルーバブラインド、８は、クライオパネル３を高
温の輻射熱から保護する輻射熱シールド体に係る熱シー
ルド板である。ルーバブラインド７および熱シールド板
８の表面は、輻射熱を効率よく吸収するように黒色処理
されている。

【００２３】１１は液体窒素タンク、１４はシャッター
で、このシャッター１４は、ステンレス鋼，銅，アルミ
ニウ等の金属製であり、当該シャッター１４内に冷却冷
媒流路２３を設けている。１９はルーバホルダーで、ス
テンレス鋼，銅，アルミニウ等の金属製のルーバブライ
ンド７が該ルーバホルダー１９と櫛歯状に組み合わさ
れ、組み合わせ部はろう付け，溶接，半田付け等で冶金
的に一体化されている。２０は、輻射熱シールド体に係
る前面熱シールド板、２４は、クライオポンプ１の外枠
である。

【００２４】また、２５，２６は、クライオポンプ１の
常温の外枠２４に固定した電動モーター、２７，２８
は、これらのモータ回転軸に固定支持したロッド、２
９，３０は連結部、３１はリンク支持台で、これらは、
シャッター１４を、クライオポンプ１のガス入口面であ
る開口部１２と該クライオポンプ奥部との間を移動させ
る駆動リンク機構を構成している。

【００２５】本実施例のクライオポンプの動作を説明す
る。まず、クライオポンプの冷却システムを説明する。
クライオポンプ１のクライオパネル３を冷却する第一の
冷媒である液体ヘリウムは、ヘリウム液化装置４内で製
造され配管５により、各クライオポンプ１上部に内蔵さ
れた液体ヘリウムタンク６内に供給される。クライオポ
ンプ１で加熱されて蒸発したヘリウムガスは、配管５を
通ってヘリウム液化装置４に戻り、再び液化される。

【００２６】被排気ガスは排気運転時にクライオポンプ
１の開口部１２よりクライオパネルに凝固して排気され
る。クライオポンプ再生時には開口部１２がシャッター
の駆動制御装置１３で移動をコントロールされるシャッ
ター１４で閉じられ、クライオパネルから離脱した排気
ガスは配管１５を通り真空ポンプ１６でクライオポンプ
１外に放出される。

【００２７】一方、クライオポンプ１のルーバブライン
ド７および熱シールド板８を冷却する第二の冷媒である
液体窒素は、窒素液化装置９から配管１０により液体窒
素タンク１１内に供給される。クライオポンプ１内で蒸
発した窒素ガスは、配管１０を通って窒素液化装置に戻
り、再び液化されるか、または、大気に放出される。液
体ヘリウムタンク６および液体窒素タンク１１内の液体
ヘリウム、液体窒素は自然循環によりクライオポンプ１
内に供給される。

【００２８】クライオパネル３内では、液体ヘリウムが
ヘリウム配管１７，冷却冷媒流路１８を介して自然循環
で流れ、クライオパネル３は４．５Ｋ以下の極低温に冷
却される。また、シャッター１４内では、液体窒素が冷
却冷媒流路２３を介して自然循環で流れ、シャッター１
４は約８０Ｋ以下の低温に冷却される。さらに、前面熱
シールド板２０は、ルーバホルダー１９に溶接等で冶金
的に一体化されている。ルーバホルダー１９は、同ホル
ダーにろう付け等で冶金的に一体化された配管２１内を
自然循環で流動する液体窒素により温度約８０Ｋに冷却
される。

【００２９】ステンレス鋼，銅，アルミニウ等の金属製
の背面熱シールド板、側面熱シールド板等の熱シールド
板８も、同様にろう付け等で冶金的に一体化された配管
２２内を自然循環で流動する液体窒素により温度約８０
Ｋに冷却される。

【００３０】図２、図３は、クライオポンプ再生時にク
ライオポンプ１内、すなわち、外枠２４内を当該外枠２
４と隔離するために、開口部１２をシャッター１４で閉
鎖する前の位置を示している。シャッター１４で開口面
１２を閉じる場合に、駆動制御装置１３からの制御信号
により、電動モーター２５が図３に対し左回転、電動モ
ーター２６が右回転し、ロッド２７，２８先端の連結部
２９，３０がそれぞれ左方向に移動する。これに伴っ
て、シャッター１４は左方向に押し出され開口面１２を
閉じる。

【００３１】シャッター１４は、フレキシブル管３９を
介して移動中でも液体窒素タンク１１内の液体窒素が冷
却冷媒流路２３に送給され冷却される。クライオポンプ
１内をシャッター１４で外部と隔離したのち、クライオ
パネル３への液体ヘリウムの供給を停止する。液体ヘリ
ウムタンク６およびクライオパネル３内に残留している
液体ヘリウムは定常にクライオパネル３に侵入する熱で
蒸発し次第に液面が低下する。これにともなって、クラ
イオポンプ１の温度が次第に上昇し、クライオパネル３
に凝固していた被排気ガスがクライオポンプ１内に放出
される。

【００３２】このとき、クライオポンプ１内の圧力はク
ライオポンプ外の圧力よりも高くなり、この圧力差によ
ってシャッター１４の長手方向の中央部を複数箇所でシ
ールリング３８にシャッター１４をさらに均等に押しつ
けることができる。このため、シャッター１４が良好に
シールリング３８に接触することにより外部との気密性
が増し、再生時にクライオポンプ内の被排気ガスが真空
容器２内に漏れ込むことを防止できる。そこで、弁３５
を開いて放出された排気ガスを真空ポンプ１６でクライ
オポンプ１外に排気し、クライオパネル３の表面に凝固
堆積した被排気ガスを完全に除去しクライオパネル３を
再生する。

【００３３】この再生運転が終了した後、弁３５を閉じ
て、液体ヘリウムタンク６に液体ヘリウムを再び供給し
クライオパネル３を冷却し所定の温度まで冷却する。次
に、開口面１２を開放する場合、電動モーター２５，２
６をそれぞれ逆回転させ、シャッター１４を右方向、ク
ライオポンプ奥部に後退させる。この操作により、開口
面１２から流入する被排気ガスをクライオパネル３で所
定の排気速度で排気する。各３台のクライオポンプ１を
周期的に別々にこのようにして再生することにより、常
に２台のクライオポンプ１を排気運転する。

【００３４】本実施例では、シャッター１４をワイヤー
等を使用せずに移動できるので、シャッター移動駆動要
素数が少なくて済み、移動駆動要素のトラブルが少なく
なり駆動機構の信頼性を大幅に向上することができる効
果がある。また、シャッター１４長手方向の中央部を複
数箇所でシールリング３８にシャッター１４をさらに均
等に押し付けることができる。このため、シャッター１
４が良好にシールリング３８に接触することにより外部
との気密性が増し、再生時にクライオポンプ１内の被排
気ガスが真空容器２内に漏れ込むことを防止できる効果
がある。

【００３５】本実施例によれば、クライオポンプ再生時
に、シャッター１４がクライオポンプ内部から排気ガス
入口に移動して外枠２４の開口部１２を内側から塞ぐ。
したがって、再生時に、クライオパネル３面上から離脱
したガスでクライオポンプ１内の圧力が高くなっても、
クライオポンプ１の内側から外側に、圧力差にシャッタ
ー面積を乗じた力が該シャッター１４に作用するので、
該シャッター１４は閉まり勝手となりシール性能が高ま
る。よって、クライオポンプ内外の気密性が高まり、離
脱ガスがクライオポンプ１外に漏洩することがなく、真
空容器２内の真空度を低下させずにクリーンに保つこと
ができる。また、シャッターをクライオポンプの内側か
ら外側に押さえつける大がかりな機構が不必要となり、
固定保持構造が簡単で済む。

【００３６】また、真空容器２内のクライオポンプ前面
部の真空空間内に、シャッター１４の移動空間を必要と
せず、シャッター系を含むクライオポンプを小形化でき
真空容器２内部を小形化することができる。さらに、ク
ライオポンプ１の移動時に共に移動できるようにシャッ
ター１４の駆動手段をクライオポンプ１に一体化してい
るので、真空容器２にクライオポンプ１を挿入するとき
に駆動手段を同時に搬入できる。このため、クライオポ
ンプ設置時に新たにシャッター１４の調整を必要とせず
設置コストを低減できる。

【００３７】〔実施例 ２〕次に、図４は、本発明の他
の実施例に係るクライオポンプの上部断面図である。図
４は、図３のクライオポンプの上部に対応するもので、
図中、図３と同一符号のものは先の実施例と同等部であ
るから、その説明を省略する。図４に示す実施例が先の
図３に示した実施例と相違するところは、シャッターを
移動させる駆動手段である。

【００３８】図４において、３２は、クライオポンプ１
の常温の外枠２４に両端を固定したレール、３３は、レ
ール３２上を自走する回転形駆動機構に係る電動モータ
付き車輪である。本実施例では、電動モータ付き車輪３
３をシャッター１４の側端部に装備し、該電動モータ付
き車輪３３をレール３２上に転動させて、シャッター１
４を直接移動させる。この場合、シャッター１４はフレ
キシブル管３９を介して移動中でも液体窒素タンク１１
内の液体窒素で冷却される。

【００３９】クライオポンプ再生時に、シャッター１４
で開口面１２を閉じる場合に、電動モーター付き車輪３
３が図４に対し左回転し、電動モータ付き車輪３３を支
持したシャッター１４は左方向に押し出され開口面１２
を閉じる。開口面１２を開く場合には、電動モータ付き
車輪３３を逆回転させればシャッター１４が右方向に移
動する。このようにして、シャッター１４はクライオポ
ンプ１の奥まで後退する。

【００４０】本実施例では、シャッターをリンク機構等
を使用せずに移動できるので、シャッター移動駆動要素
数が少なくて済み、移動駆動要素のトラブルが少なくな
り駆動機構の信頼性を大幅に向上することができるとい
う効果がある。また、シャッター１４移動用の電動モー
タ付き車輪３３をクライオポンプに一体化できるので、
真空容器２にクライオポンプを挿入するとき駆動手段を
同時に搬入できるので、クライオポンプ設置時に新たに
シャッターの調整を必要とせず設置コストを低減でき
る。

【００４１】なお、本実施例では、各シャッター１４の
上側端に回転形駆動機構を配置したが、各シャッター１
４の下端にも回転形駆動機構を配置すれば、シールリン
グ３８にシャッター１４をさらに均等に押しつけること
ができる。このため、シャッター１４が良好にシールリ
ング３８に接触することにより外部との気密性が増し、
再生時にクライオポンプ１内の被排気ガスが真空容器２
内に漏れ込むことを防止できる。

【００４２】また、シャッター１４の移動機構をシャッ
ター１４に直接取り付けるので、クライオポンプ１の奥
行き方向を短く、コンパクトなクライオポンプを提供で
きる。また、シャッター１４の質量が大きい場合におい
ても、この質量をレール３２で支持でき、シャッター１
４を良好に移動することができる効果がある。

【００４３】〔実施例 ３〕次に、図５は、本発明のさ
らに他の実施例に係るクライオポンプの上部断面図であ
る。図５は、図３のクライオポンプの上部に対応するも
ので、図中、図３と同一符号のものは先の実施例と同等
部であるから、その説明を省略する。図５に示す実施例
は、シャッター側部に装備した回転形駆動機構と、図３
に示したシャッター背部に連結したリンク機構とからな
るものである。図５において、４０は、レール３２上を
転動し、シャッターを移動させる回転形駆動機構に係る
移動軸受である。

【００４４】この実施例では、図２，３に示した第一の
実施例のリンク機構に加えて、クライオポンプ１の常温
の外枠２４に両端を固定したレール３２をシャッター１
４を挟み込む位置に配置し、シャッター１４側端部に装
備した移動軸受４１がシャッター１４の移動とともにレ
ール３２上を転がり、シャッター１４の水平方向の位置
を一定にできる。したがって、シャッター１４の質量が
大きい場合においても、この質量をレール３２で支持で
きるので、シャッター１４を良好に移動することができ
る効果がある。

【００４５】なお、図５ではシャッター１４上端部にレ
ール３２を設置した場合を示したが、さらに下端部にも
同様なレール、移動軸受を設け、シャッター１４の上下
端部で、水平方向の位置を一定にしシャッター１４をさ
らに良好に移動できる効果がある。また、上記の各実施
例では、シャッター１４を液体窒素で冷却しているが、
シャッター１４が常温の場合であっても、同様な移動機
構を適用できることは言うまでもない。

【００４６】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、ポンプ再生時に、クライオパネル面上から離脱し
たガスでクライオポンプ内の圧力が高くなっても、該シ
ャッターは閉まり勝手となり離脱ガスがクライオポンプ
外に漏洩することがなく、真空容器内の真空度を低下さ
せず、クライオポンプの再生運転を適正に行うことがで
き、シャッター移動機構の配置スペースが小さいクライ
オポンプを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係るクライオポンプの冷却
システムの構成例を示す説明図である。

【図２】本発明の一実施例に係る３個のクライオパネル
を組み合わせたクライオポンプ１ユニットの上部断面図
である。

【図３】図２のＸ−Ｘ矢視断面のクライオポンプに真空
容器を合わせて示す断面図である。

【図４】本発明の他の実施例に係るクライオポンプの上
部断面図である。

【図５】本発明のさらに他の実施例に係るクライオポン
プの上部断面図である。

【符号の簡単な説明】

１ クライオポンプ ２ 真空容器 ３ クライオパネル ４ ヘリウム液化装置 ５，１０ 配管 ６ 液体ヘリウムタンク ７ ルーバブラインド ８ 熱シールド板 ９ 窒素液化装置 １１ 液体窒素タンク １２ 開口部 １３ 駆動制御装置 １４ シャッター １７ ヘリウム配管 １８，２３ 冷却冷媒流路 ２５，２６ 電動モータ ２７，２８ ロッド ２９，３０ 連結部 ３２ レール ３３ 電動モータ付き車輪 ４０ 移動軸受

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山下 泰郎 茨城県日立市国分町一丁目１番１号 株式 会社日立製作所国分工場内 (72)発明者 上出 泰生 茨城県日立市国分町一丁目１番１号 株式 会社日立製作所国分工場内 (72)発明者 奥村 義和 茨城県那珂郡那珂町大字向山801番地の１ 日本原子力研究所那珂研究所内 (72)発明者 花田 磨砂也 茨城県那珂郡那珂町大字向山801番地の１ 日本原子力研究所那珂研究所内

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第一の冷媒で極低温度に冷却されるクラ
   イオパネルと、このクライオパネルを高温の輻射熱から
   保護し第二の冷媒で低温度に冷却される輻射熱シールド
   体とを備え、真空容器に配設されたクライオポンプにお
   いて、 上記クライオポンプのガス入口面と該クライオポンプ奥
   部との間を移動するシャッターをクライオポンプの内側
   に設け、 このシャッターを移動させる駆動手段を当該シャッター
   の背部および側部の少なくともいずれかに装備したこと
   を特徴とするクライオポンプ。
2. 【請求項２】 シャッターを移動させる駆動手段は、当
   該シャッターの背部に連結したリンク機構であることを
   特徴とする請求項１記載のクライオポンプ。
3. 【請求項３】 シャッターを移動させる駆動手段は、当
   該シャッターの側部に装備した回転形駆動機構であるこ
   とを特徴とする請求項１記載のクライオポンプ。
4. 【請求項４】 シャッターを移動させる駆動手段は、当
   該シャッターの側部に装備した回転形駆動機構と、前記
   シャッターの背部に連結したリンク機構とからなること
   を特徴とする請求項１記載のクライオポンプ。
5. 【請求項５】 クライオポンプの内側に設けるシャッタ
   ーを、第二の冷媒で低温度に冷却したことを特徴とする
   請求項１ないし４記載のいずれかのクライオポンプ。