JPH074930A - 透明体の形状計測方法 - Google Patents
透明体の形状計測方法Info
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- JPH074930A JPH074930A JP17218393A JP17218393A JPH074930A JP H074930 A JPH074930 A JP H074930A JP 17218393 A JP17218393 A JP 17218393A JP 17218393 A JP17218393 A JP 17218393A JP H074930 A JPH074930 A JP H074930A
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ガラス、セロハン、プラスチック等の透明体
の高精度な形状検出を容易にする。 【構成】 検査対象透明体2を透過しない波長を有する
電磁波1により、検査対象透明体2を照射する。電磁波
1に対して受光感度を持つ撮像部3により、検査対象透
明体2の像を得る。これにより形状を計測する。検査対
象透明体2が電磁波1を完全に遮断してしまうため、撮
像部3ではコントラストの高い像を得ることができる。
の高精度な形状検出を容易にする。 【構成】 検査対象透明体2を透過しない波長を有する
電磁波1により、検査対象透明体2を照射する。電磁波
1に対して受光感度を持つ撮像部3により、検査対象透
明体2の像を得る。これにより形状を計測する。検査対
象透明体2が電磁波1を完全に遮断してしまうため、撮
像部3ではコントラストの高い像を得ることができる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、透明体の形状計測方法
に関する。
に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、製造現場における目視検査工程は
自動化への対応が盛んになされている。しかしながら、
検査対象透明体に対しては、カメラにおいてこれらの像
が得られにくく、またセンサにおいても感度が著しく低
下するため、自動化への対応が遅れている。
自動化への対応が盛んになされている。しかしながら、
検査対象透明体に対しては、カメラにおいてこれらの像
が得られにくく、またセンサにおいても感度が著しく低
下するため、自動化への対応が遅れている。
【0003】従来、これらの問題を解決するために、図
5に示す特開昭61−79111号公報記載の検査方法
のように、透明体を透過しない波長の光源aを検査対象
透明体bに当て、その反射光を受光部cで検出し、測定
判断装置dで判断を行う方法がある。
5に示す特開昭61−79111号公報記載の検査方法
のように、透明体を透過しない波長の光源aを検査対象
透明体bに当て、その反射光を受光部cで検出し、測定
判断装置dで判断を行う方法がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来技術
においては、反射光を検出するため、検査対象透明体b
の表面による光の吸収が多く、そのために受光部c上で
の像のコントラストが低く、正確な検査をすることが困
難であった。
においては、反射光を検出するため、検査対象透明体b
の表面による光の吸収が多く、そのために受光部c上で
の像のコントラストが低く、正確な検査をすることが困
難であった。
【0005】本発明は、かかる従来の問題点に鑑みてな
されたもので、製品に対して非接触で検査できる光学検
査法により、ガラス、セロハン、プラスチック等の透明
体の形状検出を容易とした形状計測方法を提供すること
を目的とする。
されたもので、製品に対して非接触で検査できる光学検
査法により、ガラス、セロハン、プラスチック等の透明
体の形状検出を容易とした形状計測方法を提供すること
を目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、透明体の形状を計測するにあたり、検査
対象透明体を透過しない波長を有する電磁波により該検
査対象透明体を照射し、前記電磁波に対して受光感度を
持つ撮像部により検査対象透明体の像を得ることとし
た。
に、本発明は、透明体の形状を計測するにあたり、検査
対象透明体を透過しない波長を有する電磁波により該検
査対象透明体を照射し、前記電磁波に対して受光感度を
持つ撮像部により検査対象透明体の像を得ることとし
た。
【0007】図1は、本発明の概念を示す図である。図
1において、1は検査対象透明体2を透過しない波長を
有する電磁波、2は検査対象透明体、3は前記波長に対
して受光感度を持つ撮像部であり、該撮像部3により前
記電磁波1の照射による検査対象透明体2の像が得られ
るようになっている。
1において、1は検査対象透明体2を透過しない波長を
有する電磁波、2は検査対象透明体、3は前記波長に対
して受光感度を持つ撮像部であり、該撮像部3により前
記電磁波1の照射による検査対象透明体2の像が得られ
るようになっている。
【0008】
【作用】このような方法で検査を行うことにより、検査
対象透明体2が電磁波1を完全に遮断してしまうため、
撮像部3ではコントラストの高い像を得ることができ
る。
対象透明体2が電磁波1を完全に遮断してしまうため、
撮像部3ではコントラストの高い像を得ることができ
る。
【0009】
【実施例1】 (構成)図2は実施例1を示すものである。21は透明
セロハンで包装されたカセットケース、11はカセット
ケース21の一側(図2において左側)に設けられ、透
明セロハンを透過しない約200nmの波長を有するハ
ロゲン紫外光光源、7はこのハロゲン紫外光光源11か
らの200nmの波長の紫外光が平行光となるように、
ハロゲン紫外光光源11とカセットケース21との間に
設置された照明光学系である。また、カセットケース2
1の他側(図2において右側)には、上記紫外光に対し
て受光感度のある紫外線専用カメラ31が設置されてお
り、カセットケース21と紫外線専用カメラ31との間
には、波長約200nm以外の光をカットするフィルタ
4が設置されている。そして、これら部材はほぼ同じ光
軸上に設置されている。8はカセットケース21を光束
中に保持するための治具である。また、5は紫外線専用
カメラ31の出力信号を入力信号とする画像処理部であ
る。
セロハンで包装されたカセットケース、11はカセット
ケース21の一側(図2において左側)に設けられ、透
明セロハンを透過しない約200nmの波長を有するハ
ロゲン紫外光光源、7はこのハロゲン紫外光光源11か
らの200nmの波長の紫外光が平行光となるように、
ハロゲン紫外光光源11とカセットケース21との間に
設置された照明光学系である。また、カセットケース2
1の他側(図2において右側)には、上記紫外光に対し
て受光感度のある紫外線専用カメラ31が設置されてお
り、カセットケース21と紫外線専用カメラ31との間
には、波長約200nm以外の光をカットするフィルタ
4が設置されている。そして、これら部材はほぼ同じ光
軸上に設置されている。8はカセットケース21を光束
中に保持するための治具である。また、5は紫外線専用
カメラ31の出力信号を入力信号とする画像処理部であ
る。
【0010】(作用)ハロゲン紫外光光源11から出射
された紫外光は、照明光学系7により平行光になり、透
明セロハンがある箇所は透明セロハンの角度に依存する
ことなく、紫外光が遮断される。また、ハロゲン紫外光
光源11から照射される200nm以外の波長の光は、
フィルタ4によりカットされる。よって、紫外線専用カ
メラ31に入射する光は、200nmの波長のもので、
かつ透明セロハン以外の箇所だけである。
された紫外光は、照明光学系7により平行光になり、透
明セロハンがある箇所は透明セロハンの角度に依存する
ことなく、紫外光が遮断される。また、ハロゲン紫外光
光源11から照射される200nm以外の波長の光は、
フィルタ4によりカットされる。よって、紫外線専用カ
メラ31に入射する光は、200nmの波長のもので、
かつ透明セロハン以外の箇所だけである。
【0011】紫外線専用カメラ31により得られた透明
セロハンの像を画像処理部5により二値化処理を行い、
面積、長さなどの特徴量を画像処理演算によって求め、
カセットケース21を包装している透明セロハンの形状
を計測することができる。
セロハンの像を画像処理部5により二値化処理を行い、
面積、長さなどの特徴量を画像処理演算によって求め、
カセットケース21を包装している透明セロハンの形状
を計測することができる。
【0012】(効果)フィルタ4を入れることによっ
て、よりコントラストの高い像が得られ、かつ画像処理
部5を使用することにより自動計測が可能になる。
て、よりコントラストの高い像が得られ、かつ画像処理
部5を使用することにより自動計測が可能になる。
【0013】
【実施例2】 (構成)図3は実施例2を示すものである。実施例1と
同様に、21は透明セロハンで包装されたカセットケー
ス、11は透明セロハンを透過しない約200nmの波
長を有するハロゲン紫外光光源、7はこのハロゲン紫外
光光源11からの200nmの波長の紫外光が平行光と
なるように設置された照明光学系である。波長約200
nm以外の光をカットするフィルタ4は、照明光学系7
とカセットケース21との間に設置されている。6は2
00nmの紫外光が照射されると蛍光を発する蛍光材料
が塗布されたスクリーンで、目盛りが記入してあり、カ
セットケース21を挟んでフィルタ4等とは反対側に設
置されている。そして、これら部材は同じ光軸上に設置
されている。また、8はカセットケース21を光束中に
保持するための治具である。
同様に、21は透明セロハンで包装されたカセットケー
ス、11は透明セロハンを透過しない約200nmの波
長を有するハロゲン紫外光光源、7はこのハロゲン紫外
光光源11からの200nmの波長の紫外光が平行光と
なるように設置された照明光学系である。波長約200
nm以外の光をカットするフィルタ4は、照明光学系7
とカセットケース21との間に設置されている。6は2
00nmの紫外光が照射されると蛍光を発する蛍光材料
が塗布されたスクリーンで、目盛りが記入してあり、カ
セットケース21を挟んでフィルタ4等とは反対側に設
置されている。そして、これら部材は同じ光軸上に設置
されている。また、8はカセットケース21を光束中に
保持するための治具である。
【0014】(作用)ハロゲン紫外光光源11から出射
された紫外光は、照明光学系7により平行光になり、フ
ィルタ4と透明セロハンを介して、スクリーン6上に照
射する。フィルタ4は、透明セロハンを透過しない約2
00nmの波長の光だけを透過するために、スクリーン
6には透明セロハンの影になる領域は蛍光塗料が光ら
ず、それ以外の領域は蛍光材料が光る。この像をスクリ
ーン6の目盛りと目視により計測する。
された紫外光は、照明光学系7により平行光になり、フ
ィルタ4と透明セロハンを介して、スクリーン6上に照
射する。フィルタ4は、透明セロハンを透過しない約2
00nmの波長の光だけを透過するために、スクリーン
6には透明セロハンの影になる領域は蛍光塗料が光ら
ず、それ以外の領域は蛍光材料が光る。この像をスクリ
ーン6の目盛りと目視により計測する。
【0015】(効果)蛍光材料と目盛りにより目視でも
計測が可能である。
計測が可能である。
【0016】
【実施例3】図4は実施例3を示すものである。22は
透明プラスチックケースであり、その一側(図4におい
て左側)には、透明プラスチックケース22を透過しな
い波長193nmのエキシマレーザ12が設置され、エ
キシマレーザ12と透明プラスチックケース22との間
には、そのレーザ光を拡大する照明光学系71が設置さ
れている。一方、透明プラスチックケース22の他側
(図4において右側)には、レーザ光が照射されるとレ
ーザ光を拡散するスクリーン61が設置されており、こ
れら部材は同じ光軸上に設置されている。また、スクリ
ーン61の裏には光軸上にCCDカメラ32が設置され
ている。さらに、透明プラスチックケース22は、治具
81により光軸に対し垂直で、かつ光束中に保持されて
いる。
透明プラスチックケースであり、その一側(図4におい
て左側)には、透明プラスチックケース22を透過しな
い波長193nmのエキシマレーザ12が設置され、エ
キシマレーザ12と透明プラスチックケース22との間
には、そのレーザ光を拡大する照明光学系71が設置さ
れている。一方、透明プラスチックケース22の他側
(図4において右側)には、レーザ光が照射されるとレ
ーザ光を拡散するスクリーン61が設置されており、こ
れら部材は同じ光軸上に設置されている。また、スクリ
ーン61の裏には光軸上にCCDカメラ32が設置され
ている。さらに、透明プラスチックケース22は、治具
81により光軸に対し垂直で、かつ光束中に保持されて
いる。
【0017】(作用)エキシマレーザ12で照射された
レーザ光は照明光学系71により拡大され、透明プラス
チックケース22を介してスクリーン61上に照射さ
れ、スクリーン61上に照射されたレーザ光は拡散され
る。透明プラスチックケース22がある領域はレーザ光
が遮断され、それ以外はスクリーン61に直接入射す
る。スクリーン61に入射したレーザ光は拡散され、C
CDカメラ32により取り込まれる。取り込まれた像
は、スクリーン61にレーザ光が直接照射される領域は
明るく、それ以外の領域は暗い。この像をCCDカメラ
32により撮像する。
レーザ光は照明光学系71により拡大され、透明プラス
チックケース22を介してスクリーン61上に照射さ
れ、スクリーン61上に照射されたレーザ光は拡散され
る。透明プラスチックケース22がある領域はレーザ光
が遮断され、それ以外はスクリーン61に直接入射す
る。スクリーン61に入射したレーザ光は拡散され、C
CDカメラ32により取り込まれる。取り込まれた像
は、スクリーン61にレーザ光が直接照射される領域は
明るく、それ以外の領域は暗い。この像をCCDカメラ
32により撮像する。
【0018】(効果)レーザ光は直進性がよいため、光
源と検査対象透明体の距離が離れていてもコントラスト
の高い像が得られる。
源と検査対象透明体の距離が離れていてもコントラスト
の高い像が得られる。
【0019】
【発明の効果】以上のように、本発明の透明体の形状計
測方法によれば、検査対象透明体を透過しない波長を有
する電磁波により照射し、電磁波に対して受光感度を持
つ撮像部により検査対象透明体の像を得ることとしたの
で、精度の高い透明体の計測が容易に実現できる。
測方法によれば、検査対象透明体を透過しない波長を有
する電磁波により照射し、電磁波に対して受光感度を持
つ撮像部により検査対象透明体の像を得ることとしたの
で、精度の高い透明体の計測が容易に実現できる。
【図1】本発明の概念を示す計測装置の概略構成図であ
る。
る。
【図2】本発明の実施例1で用いた計測装置を示す概略
構成図である。
構成図である。
【図3】本発明の実施例2で用いた計測装置を示す概略
構成図である。
構成図である。
【図4】本発明の実施例3で用いた計測装置を示す概略
構成図である。
構成図である。
【図5】従来の計測方法を示す概略構成図である。
1 電磁波 2 検査対象透明体 3 撮像部 4 フィルタ 5 画像処理部 6,61 スクリーン 7,71 照明光学系 11 ハロゲン紫外光光源 12 エキシマレーザ 31 紫外線専用カメラ 32 CCDカメラ
Claims (1)
- 【請求項1】 検査対象透明体を透過しない波長を有す
る電磁波により該検査対象透明体を照射し、前記電磁波
に対して受光感度を持つ撮像部により検査対象透明体の
像を得ることを特徴とする透明体の形状計測方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17218393A JPH074930A (ja) | 1993-06-18 | 1993-06-18 | 透明体の形状計測方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17218393A JPH074930A (ja) | 1993-06-18 | 1993-06-18 | 透明体の形状計測方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH074930A true JPH074930A (ja) | 1995-01-10 |
Family
ID=15937122
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17218393A Withdrawn JPH074930A (ja) | 1993-06-18 | 1993-06-18 | 透明体の形状計測方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH074930A (ja) |
-
1993
- 1993-06-18 JP JP17218393A patent/JPH074930A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000905 |