JPH07500877A - 制御されたスプレーエッチングのための方法と装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 制御されたスプレーエツチングのための方法と装置〔技術分野〕 プリント回路基板を含む多くのものを製造する過程において、基板、プリント回 路フィルム、あるいは、その他のパネルはチャンバの長手方向に人口から出口へ 通り抜ける時に、水平に配列されながら、一般に、好ましくは水平の進路に沿っ て送達される。この様な送達の過程の間、そして、特に、プリント回路基板、フ ィルムおよび類似のものについては、上側および下側の表面から金属材料を取り 除きながらパネルの表面部分にエツチングをすることは普通のことになっている 。一般に、この様な金属材料は銅であって、エツチング液は基板の表面から金属 材料を取り除くことのできる何らかの種々なエツチング液である。

〔背景技術〕

この様な基板またはパネルは、エツチングチャンバを入口から出口へ、通過する 時に、しばしば、全く均一にエツチング液を適用しても、色々のノズルから基板 上にエツチング液か散布されることによって、パネルの周辺部分には中央部分よ りも深いエツチングがされる傾向があることが知られている。

この現象は、パネルの周辺または縁の部分が、直接にそこをねらったスプレーだ けでなく、パネルの中央表面部分の上にスプレーされ、周縁を越えて移動するこ とによってパネルを離れるにつれて、パネルの周辺部分を横切って動くエツチン グ液をも受ける様な、中央の表面部分から外側に向かって縁を越えるエツチング 液の流れの結果として、パネルの上側表面と下側表面は、一般的にその周辺部分 において、中央部分よりも多《のエツチング液に遭遇することによると信じられ ている。

パネル表面の金属の深さが最小の厚みしかない様な場合においては、特に、パネ ルかプリント回路基板である場合には、パネルの周辺表面部分がより大きくエツ チングされると、パネルの周辺部分の金属表面は大きすぎる程にエツチングされ 、あるいは、そこには不十分な金属しかない様にされ、電気信号の正しい伝達の 様な、あるいは類似の、後の正しい利用に対しては、望ましくない深さの金属か パネルからエツチングされるという結果になることがある。

〔発明の開示〕

本発明は、パネルがエツチングチャンバを通って送達される時に遂行されるエツ チングの量を、パネルの周辺部分には中央部分よりも少ないエツチング液がスプ レーされる様に制御することを目的としている。

本発明は、パネルの中央表面部分により多く供給されたエツチング液がパネルの 周辺部分を横切って流れる場合に特に有効である、というのは、本発明による正 味の結果は、パネルの表面全体にわたるエツチングの深さのより大きな制御、あ るいは、パネルの中央と周辺の表面の間での変化を小さくしながら、パネルの表 面を横切って均一な量のエツチング結果を得ることであろうということによる。

したがって、本発明の第１の目的はパネルのスプレーエツチングの拡大された制 御を提供することである。

パネルの側部表面部分に、中央表面部分に対して供給されるエツチング液よりも 減量されたエツチング液を供給することによって上記の目的を達成することは本 発明のさらなる目的である。

パネルの先頭および末尾の表面部分に、中央表面部分に対して供給されるエツチ ング液よりも減量されたエツチング液を供給することによって上記のいずれかの 目的を達成することは本発明のさらなる目的である。

エツチングチャンバの横方向の外側のスプレーノズルに、内側のスプレーノズル に供給されるのに比較して低い圧力のスプレーエツチング液を供給することによ って上記のいずれかの目的を達成することは本発明のさらなる目的である。

パネルがエツチングチャンバを通り抜ける時に、他のノズルを介してのスプレー エツチング液の供給に対して、エツチングチャンバの入口における第１スプレー ノズルを介しての間欠的なスプレーエツチングの供給によって上記のいずれかの 目的を達成することは本発明のさらなる目的である。

パネルがエツチングチャンバを通り抜ける時に、スプレーエツチング液の間欠的 な供給が、パネルの存在を検知して、パネルの先頭と末尾の表面部分に少ないエ ツチング液を供給する様に反応的に幾つかのノズルを作動させるセンサによって 指令されることによって上記のいくつかの目的を達成することも本発明のさらな る目的である。

本技術に習熟した人々にとっては本発明のその他の目的と利点は以下の図面の簡 単な説明、好適な実施例の詳細な説明、および添付の請求項を読むことによって 容易に理解することができるであろう。

〔図面の簡単な説明〕

ｆｌａｔは、本発明によるスプレーエツチングチャンバの概略的な長手方向断面 図であって、パネルはエツチングチャンバを左から右に通り抜ける様に示されて おり、チャンバを通過するパネルにエツチング液を供給し、制御する手段が示さ れている。

図２は、図１に示された幾つかのエツチング液供給装置の概略的な平面図であっ て、はぼ、［１のＨ−１１線に沿って見たものであり、エツチング液を供給する ノズルを振動させる機構が図解的に示されている。

図３は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線にそった、本発明によるエツチング液供給ライ ンの内の１つの拡大部分縦断面図であって、ノズルの振動が示されている。

図４は、本発明によってエツチングされるパネルの上方透視図であって、横方向 と長手方向のエツチング液の供給のプロフィールが図解的に示されている。

〔発明を達成する最良の態様〕

以下、詳細に図面を参照する、最初に図１を参照するが、そこには本発明の装置 が、エツチングチャンバを構成しながら全体として番号ＩＯによって示されてい る。エツチングチャンバｌＯは、それぞれ上部壁および下部壁１１．１２、およ び、パネルＰをチャンバ１０を通りぬける移動進路に沿ってそこを通すための人 口および出口開口部を画定する開口部を有するそれぞれ左および右の端部壁１３ ．１４を有している。

チャンバは、図示される様に、全ての壁が一緒になって基本的にエツチングチャ ンバ１０を画定する様に、チャンバ１０の横方向に間隔をあけられた遠い側の壁 １７と近い側の壁（番号も付与されておらず図示もされていない）とを備えてい る。

エツチング液Ｉ８のレベルはチャンバの底の、底部壁Ｉ２の上にあることが理解 されであろう。

パネルＰはチャンバ１０を通って送達されるように、それに沿って、ロッド２１ に装着された複数のホイール２ｏによって駆動され、ロッド２１は近い側の壁と 遠い側の壁の間で装置１１０の横方向に延びている。

ロッド２１は、何らかの適切な手段によって回転駆動される、例えばアメリカ合 衆国特許第４．０１５，７０６号の駆動装置によって駆動される、前記公報の完 全な開示はここでは参照に織り込まれている。

入口および出口のローラ２２，２３．２４および２５は、エツチングスプレーが チャンバの外側に通り抜けるのを制限するために、入口１５と出口１６に対にな って備えられている。この様なローラは、本発明の範囲において、アメリカ合衆 国特許第４．　９９９．　０７９号に示されている、あるいは、アメリカ合衆国 特許第５，００７．９６８号に開示されている入口および出口のローラの様に、 あるいは、その他の方法によって、構築されている。前記の両方の特許の完全な 開示は参照に織り込まれている。

タンク１０の底部からのエツチング液１８は、ポンプ２６によって、供給ライン ２７と２８を通って下側マニホールド３０．３１にそれぞれ供給される。エツチ ング液は、例えば、アメリカ合衆国特許第４．２３３．１０６号に開示されたも のとすることができ、前記特許の完全な開示は参照に織り込まれているが、また 他のエツチング液とする事もできる。適切な圧力計３２を、それぞれのマニホー ルドに供給されている圧力をチェックするために使用することかできる。供給ラ イン２７．２８は可撓性の部分３３．３４を有し、以下に述べられる様に、チャ ンバー１０の内部におけるマニホールド３０．３１の横方向の動きをしやすくし ている。

ライン２０は、適切な、好ましくは、手動でセットできるバルブ３５を有するで あろう。マニホールド３０．３１は通常は水平に配列された複数のエツチング液 供給ライン３６に供給をおこなう通常は中空の管として構築される。スプレーノ ズル３７にスプレーエツチング液を供給するエツチング液供給ラインの反対する 位置にある端部は、反対する位置にある端部において、そこで回動できる様に、 ブッシング３８を介してマニホールド３０．３１に結合されており、前記ブッシ ング３８は、マニホールド３０．３１からライン３６へ、そのブッシング３Ｂを 介してエツチング液の供給を密封的に保持しなから、供給ライン３６のマニホー ルド３０．３１に対する回動を可能ならしめている。

それぞれの供給ライン３６は人口の領域４０と、残りの領域４１を有し、ライン 封止具４２（もし望むのであれば、閉じたバルブ、または類似のものでもよい） によって互いに封鎖的に分離されており、領域４０と領域４１のエツチング液は 互いに流通することはできない。二〜ドルバルブ４３あるいは類似のものの様な 絞り機構が、入ｃ１１５に最も近い第１スプレー要素４５に供給されるエツチン グ液の圧力と量を制御するために備えられている。

この様に、第１スプレーノズル４５には入口に最も近いマニホールド３０からの エツチング液が供給され、一方、供給ライン３６の残りのスプレーノズル３７に はマニホールド３１からのエツチング液が供給されることが理解されよう。

３６の様なポンプをチャンバ内部に、アメリカ合衆国特許第４゜９８５．１１１ 号に開示されている様に、またはその他の何らかの方法によって配設することが できる、なお、前記特許の完全な開示は参照に織り込まれている。

スプレーノズル４５へのエツチング液の供給は、パネルＰの先頭の縁５１または 末尾の縁５２の存在を感知し、電気制御ライン５５を介してソレノイド５４を作 動させるための入口■５のセンサ５゜によって間欠的に制御することができるが 、センサ５０は、ノズル４５からのエツチング液の放出を予め定めたパターンに 則って、先頭の下側表面部分はそこかノズル４５を通り過ぎるまではエツチンダ 液を受けない様に指令するためにソレノイドバルブ５Ｇの作動を、順番に制御し 、それからセンサ５０はエツチング液がノズル４５からパネルＰの下側の中央表 面の上に供給されるのを可能ならしめ、続いてパネルＰの末尾の下側表面部分が ノズル４５の上を通る時にノズル４５からのエツチング液の分配が休止され、す べてはソレノイド５４とそのバルブ５６の予めの設定によって決められた通りに 、また認知センサ５０の設定によって決められた通りにされる。

この様なセンサ／ソレノイドのｍ節の予めの設定は、好ましくは、パネルＰの長 さによって予め設定される。この様に、与えられた供給ライン３６から、そこで エツチングされるパネルＰの部分は、ノズル３７からのスプレーによって、ノズ ル４５からのスプレーよりも長い時間にわたってエツチングされる。

多くのニードルバルブまたは４３様のものの設定を、装置１ｏの横方向で、同様 に、側部壁（側部壁１７の様な）に最も近いバルブか装置１０のより内側に向か った供給ラインよりも低い圧力のエツチング液を供給する様に設定できる様に変 えることができる。

近い側あるいは遠い側の壁に隣接していないバルブ４３は全て同じ圧力のエツチ ング液を供給する様に設定することもできるし、あるいは、装置の側部壁に最も 近い領域４０を、大体低い圧力にしておいて、ライン３６の領域４０の全てが装 置１０の横方向で異なる圧力で供給する様に変えることができるということは明 らかであろう。

同様に、機械を横切る中間のこの様な領域４１は全て同じ圧力になる様にしてお いて、側部壁に最も近い領域４１を異なる様にしたり、あるいは、側部壁に最も 近い領域４１を低い圧力にしておいて、この様な領域４１の全てが装置を横切っ て変わる様にして、供給ライン３６の領域４１に供給されるエツチング液の圧力 を制御するニードルバルブまたはその他の絞り手段４４を、機械を横切る異なる ライン３６に対して変えることができる。

好ましくは、この様な絞り手段４３．４４はパネルＰの予想される横幅を基にし て予め設定される。

装置１０を通り抜けるプリントされた回路基板またはその他のパネルＰが、装置 の横方向に見て、横方向で間隔をあけて離れた周辺領域では中央領域よりも低い 圧力で供給されたエツチング液を得て、長手方向ではパネルＰの下側表面上の先 端、中央および末尾部分の間で制御された、間欠的なエツチング液の供給を得る 様に、装置を横切る、そして装置の長平方向の異なる位置におけるエツチング液 の供給を制御するための上記の説明の一方で、パネルが装置の入口１５から出口 １６に移動する時にパネルの下側表面の周辺部分に沿って供給されるエツチング 液の量の制御がある。

パネルＰの下側表面へのエツチング液の供給のための上記のシステムは、パネル Ｐの上側表面に供給されるエツチング液はマニホールド３０°、３１′を経由し て移動するという点を除いて、実質的にはパネルＰの上側表面のエツチング液を 供給するシステムのその部分と同じである。

供給ライン３６、領域４０，４１、液体封止要素４２、絞り装置４３．４４、入 口端部ノズル４５、領域４１用の残りのノズル３７の様な、その他の構成要素は 、装置の左から右に通り抜ける進路に沿って図１に矢印６０で示される方向に移 動するパネルＰの上側表面部分に、エツチング液を供給するための上側スプレー 装置の提供において、すべて下側スプレー装置のために述べたのと同様に作用す る。したがって、この様な同じ構成要素について、ここで再び述べる必要はない 。

しかしながら、エツチング液内のポンプ６１は、適切なそれぞれのバルブ６４． ６５を通る供給ライン６２．６３を経由し、それぞれ可撓性のライン６６．６７ を通って、それぞれ連結されたマニホールド３０°、３１°にエツチング液を供 給する。ライン６３では、ソレノイド５４′が、これらはパネルＰの上側表面に 対するエツチング液の制御を提供するという点を除いて、パネルＰの下側表面に 対するエツチング液の制御に関して上述したのと同様に、パネルセンサ５０′に よって指令されながらバルブ５６′を制御する。

図１にはパネルＰの上側表面６８に仮想線で、ノズル４５．３７から上側表面６ ８上に供給されるエツチング液の量の変化が図解的に示され、先頭の上側表面部 分に供給される第１の量を７０で、中央の上側表面部分に供給されるより多い量 を７１で、そして、再び末尾部分の上側表面に供給される少ない量を７２で表し ている。

図２．３を参照すると、ノズル４５．３７は、その角度方向が変化する様に、ま た、パネルＰに供給されるエツチング液の方向がパネルＰか入口から出口へ装置 を通り抜けて横切っていく時に変化することが出来る様に、前後に振動させられ ることができるということか明らかである。

この点に関して、マニホールド３０’、３１’　は、７１．７２に於いて横駆動 バー７０に構造的に装着されている。マニホール）・３０“、３１゛は、偏心ホ イール７４で位置決めされながらブッシング７３に対して摺動自在に動く様に、 適切なブッシングの中に摺動自在に配置されていて、前記偏心ホイール７４は順 番に支持され、被駆動軸７５の上で回転自在に駆動され、被駆動軸７５はバー７ とバーレッタ７６との間にしっかり接続されている。

この様に、振動バーとマニホールド３０’、３１°、および連結された供給ライ ン３６を含む全部のキャリッジを動かす方法は、軸７５の回転によって、全部の キャリッジか装置の横方向に動く様に、モータ（図示されない）が、部材７０と ７６の間で、しっかり接続された関係で駆動するために、偏心ホイール７４を、 順番に、回転する１つまたはそれ以上の軸７５（［ｇ２にｌ個のみ示されている ）を回転することである。

その様にするに当たり、また特に図３を参照すると、供給ラインまたは供給管３ ６は、ここでは、４５．３７のスプレーノズルを支持しながら双頭の矢印８０の 方向に、横方向で前後に動く。しかしながら、上述した様に、供給ライン３６は 回転のためにブッシング３８の内部に装着されているので、それに関して動くこ とは自在である。

クランプ８１は各クランプ８１は図３に示される様に上部端８２をバー８５内部 のスロット８４に受けとめさせながら、クランプ的に供給ライン３６の外側表面 の周りに係合しており、バー８５は、８６に於ける動きに対して順番に固定的に 位置決めされ（図２）、上部端８２が、面取りされたスロット８４にしっかりと 捕まえられ供給ライン３６は矢印８４で示される様に動くことによって、供給ラ イン３６が図３に示された仮想位置の間を動くだけではなくて、それで支持され たノズル４５．３７も、図３において矢印８７で示される様に弧状に振動させら れ、エツチング液の角度だけを変えるのではなくて、放出の点の位置を変えるこ とかできる様に、ノズル３７．４５からのエツチング液の放射あるいは放出の点 を変えることを可能ならしめている。

この様な、キャリッジの振動あるいは前後の動きは、図２において、７９で広く 示され、それによって、本発明によって提供される制御に先行してエツチング液 の装置１１０の横方向へのより均一な供給を可能ならしめる。

特に図４を参照すると、パネルＰか、各供給ライン３６から供給されるエツチン グ液の量の変化に対応した、パネルＰの横方向に供給されるエツチング液の量の 変化を表している概略図９０と共に示されている。図４に、さらに示されている のは、パネルＰの長手方向の中央部分の長手方向に供給されるエツチング液の量 の変化を表す概念図であって、先頭の周辺表面部分９２にはエツチング液が供給 されておらず、中央の上側表面部分９３にはあまねく均一なレベルのエツチング 液が供給されていて、末尾の周辺表面部分９４には再びエツチング液が供給され ていない様な形示されている。

上述より、図４に示されたパネルＰの上側表面の周辺部分へはノズル４５．３７ から少ないエツチング液か供給され、周辺領域にはノズル４５．３７から少ない エツチング液が初期供給され、中央領域９６にはノズル４５．３７から多いエツ チング液が供給されることは明らかである。

図４の概念図はパネルＰの下側表面に対しても類似点があるということは明らか である。

上述より、本発明の構造ならびに使用、操作の細部の色々な変更は、すべて添付 の請求項に規定される本発明の精神と範囲において、簡単にできることは明らか である。例えば、ブロック４２は、供給ライン３６を領域４０と４１に分割する ためのバルブ、または、何らかの他の構造であってもよい。また、キャリッジ９ ７をガイドするための手段は、図示されたブッシング７３以外の手段でもよい。

絞り手段は、図示されたニードルバルブ以外の手段でもよい。

また、本発明の装置は、パネルＰの上側表面と下側表面の両側に所望のエツチン グ液の供給を得るために作動されるが、もし、望むのであれば、これらは上側表 面だけ、または下側表面だけに適用することも可能である。また、色々な構成要 素の等価物をここで述べられ、図示されたものの代わりに用いることも可能であ る。

Claims (18)

【特許請求の範囲】
1. １．パネルがエッチングチャンバの入口から出口に通り抜ける時に、パネル及び 類似物にスプレーエッチングする方法であって、（ａ）少なくとも一つのスプレ ーノズルバンクを有する普通に制限されたスプレーエッチング室を提供するステ ップと、（ｂ）少なくとも一つのスプレーノズルバンクから垂直方向に間隔をあ けて配置された、チャンバを貫通するほぼ水平な移動進路に沿って、ほぼ水平方 向にパネルをチャンバの入口から出口まで長手方向に送達するステップと、 （ｃ）ノズルバンクから、移動進路から垂直方向に間隔をあけて配置されたエッ チング液スプレーによって、パネルの上側と下側の表面の少なくとも一方にスプ レーするステップと、（ｄ）パネルの上側の表面と下側の表面の少なくとも一方 の周辺に沿って供給されるエッチング液スプレーの量を制御するステップであっ て、 （ｉ）パネルの上側の表面と下側の表面の少なくとも一方の、側面部分には、パ ネルの中央表面部分に供給されるエッチング液の量に対して減量された量のエッ チング液を供給し、（ｉｉ）パネルの上側の表面と下側の表面の少なくとも一方 の、先頭部分と末尾部分には、パネルの中央表面部分に供給されるエッチング液 の量に対して減量された量のエッチング液を供給するステップから成る方法。
2. ２．パネル上へのスプレーが、ノズルの上側のバンクと下側のバンクの両側のバ ンクからおこなわれ、ノズルの上側のバンクと下側のバンクの両方に対して制御 されることを特徴とする前記請求項１に記載の方法。
3. ３．ステップ（ｄ）（ｉ）が、チャンバの横方向で、移動の進路の上下の、チャ ンバの側面に沿った外側スプレーノズルに、外側スプレーノズルの中間にある内 側スプレーノズルに供給されるスプレーエッチング液の圧力に比較して低い圧力 のスプレーエッチング液を供給することによって達成されることを特徴とする前 記請求項２に記載の方法。
4. ４．ステップ（ｄ）（ｉｉ）が、パネルがチャンバの出口と入口の間を長手方向 に通り抜ける時に他のノズルを介してなされるスプレーエッチング液の供給に対 して、チャンバヘの入口の所にある第１スプレーノズルを介した間欠的な供給に よって達成されることを特徴とする前記請求項２に記載の方法。
5. ５．ステップ（ｄ）（ｉ）が、チャンバの横方向で、移動の進路の上下の、チャ ンバの側面に沿った外側スプレーノズルに、外側スプレーノズルの中間にある内 側スプレーノズルに供給されるスプレーエッチング液の圧力に比較して低い圧力 のスプレーエッチング液を供給することによって達成され、 ステップ（ｄ）（ｉｉ）が、パネルがチャンバの出口と入口の間を長手方向に通 り抜ける時に他のノズルを介してなされるスプレーエッチング液の供給に対して 、チャンバヘの入口の所にある第１スプレーノズルを介した間欠的な供給によっ て達成されることを特徴とする前記請求項２に記載の方法。
6. ６．エッチング液の間欠的な供給が、パネルがチャンバの入口と出口の間を通る 時にパネルの先頭と末尾の表面部分に少ないエッチング液を供給するための、パ ネルの存在の感知と、感知に反応する第１スプレーノズルの反応的な作動を含む こと特徴とする前記請求項４に記載の方法。
7. ７．反応的な作動のステップが、パネルの先頭、中央および末尾の表面部分が移 動の進路に沿った規定の位置に達した時に第１スプレーノズルを開閉することを 含むこと特徴とする前記請求項６に記載の方法。
8. ８．スプレーノズルをチャンバの横方向に軸回転的に振動させ、そこから供給さ れるスプレーエッチング液の方向をチャンバーの横方向で変化させることを特徴 とする前記請求項１に記載の方法。
9. ９．スプレーエッチング液の間欠的な供給が、パネルの存在の感知と、感知に反 応する第１スプレーノズルの反応的な作動を含み、パネルがチャンバの入口と出 口の間を通る時にパネルの先頭と末尾の表面部分に少ないエッチング液を供給し 、反応的な作動のステップが、パネルの先頭、中央および末尾の表面部分が移動 の進路に沿った規定の位置に達した時に第１スプレーノズルを開閉することを含 み、 スプレーノズルをチャンバの横方向に軸回転的に振動させ、そこから供給される スプレーエッチング液の方向をチャンバーの横方向で変化させることを特徴とす る前記請求項５に記載の方法。
10. １０．パネルおよび類似のものにスプレーエッチングするための装置であって、 （ａ）内部に少なくとも一つのスプレーノズルバンクが配列され、パネルの入口 と出口を有する普通に制限されたスプレーエッチングチャンバを提供するチャン バ手段と、 （ｂ）少なくとも一つのスプレーノズルバンクから垂直方向に間隔をあけて配置 された、チャンバを貫通するほぼ水平の移動進路に沿って、ほぼ水平方向に、パ ネルをチャンバの入口開口部と出口開口部との間を長手方向に通して送達するパ ネル送達手段と、（ｃ）ノズルバンクから、移動進路に対して垂直方向に間隔を あけて配置されたエッチング液スプレーによって、パネルの上側表面と下側表面 の少なくとも一方にスプレーをするためのスプレー手段と、（ｄ）パネルの上側 表面と下側表面の少なくとも一方の周辺に沿って供給されるエッチング液スプレ ーの量を制御する制御手段であって、 （ｉ）パネルの上側表面と下側表面の少なくとも一方の、側面部分には、パネル の中央表面部分に供給されるエッチング液の量に対して減量された量のエッチン グ液を供給し、（ｉｉ）パネルの上側表面と下側表面の少なくとも一方の、先頭 部分と末尾部分には、パネルの中央表面部分に供給されるエッチング液の量に対 して減量された量のエッチング液を供給することによって制御する制御手段とか ら成る装置。
11. １１．上側バンクノズルと下側バンクノズルの両方からのエッチング液スプレー の量を制御するために、上側バンクノズルと下側バンクノズルの両方が前記制御 手段を備えていることを特徴とする前記請求項１０に記載の装置。
12. １２．前記（ｄ）（ｉ）に示した様に供給することによって制御する制御手段が 、移動の進路の上と下で、チャンバの側面に沿ったチャンバの横方向外側スプレ ーノズルに、外側のスプレーノズルの中間にある内側スプレーノズルに供給され るスプレーエッチング液の圧力に比較して低い圧力のスプレーエッチング液を供 給する手段を有することを特徴とする前記請求項１１に記載の装置。
13. １３．前記（ｄ）（ｉｉ）に示した様に供給することによって制御する制御手段 が、パネルが出口と入口の間のチャンバを長手方向に通り抜ける時に他のノズル を介してなされるスプレーエッチング液の供給に対して、チャンバヘの入口の所 にある第１スプレーノズルを介して間欠的な供給をする手段を有することを特徴 とする前記請求項１１に記載の装置。
14. １４．前記（ｄ）（ｉ）に示した様に供給することによって制御する制御手段が 、移動の進路の上と下で、チャンバの横方向でチャンバの側面に沿ったチャンバ の横方向外側スプレーノズルに、外側のスプレーノズルの中間にある内側スプレ ーノズルに供給されるスプレーエッチング液の圧力に比較して、低い圧力のスプ レーエッチング液を供給する手段を有し、 前記（ｄ）（ｉｉ）に示した様に供給することによって制御する制御手段が、パ ネルが出口と入口の間のチャンバを長手方向に通り抜ける時に他のノズルを介し てなされるスプレーエッチング液の供給に対して、チャンバヘの入口の所にある 第１スプレーノズルを介して間欠的な供給をする手段を有することを特徴とする 前記請求項１１に記載の装置。
15. １５．スプレーエッチング液を間欠的に供給する手段が、パネルの存在を感知す るための手段と、該感知する手段に反応して第１スプレーノズルを反応的に作動 させるための手段とを有し、パネルがチャンバの入口と出口の間を通る時にパネ ルの先頭と末尾の表面部分に少ないエッチング液を供給すること特徴とする前記 請求項１３に記載の方法。
16. １６．反応的な作動のための手段が、パネルの先頭、中央および末尾の表面部分 が移動の進路に沿った規定の位置に達した時に第１スプレーノズルを開閉するた めの手段を有することを特徴とする前記請求項１５に記載の装置。
17. １７．チャンバの横方向にスプレーノズルを軸回転的に振動させるための手段を 有し、そこから供給されるスプレーエッチング液の方向を、チャンバーの横方向 で変化させることを特徴とする前記請求項１１に記載の装置。
18. １８．スプレーエッチング液を間欠的に供給する手段が、パネルの存在を感知す るための手段と、該感知する手段によって第１スプレーノズルの反応的な作動の ための手段とを有し、パネルがチャンバの入口と出口の間を通る時にパネルの先 頭と末尾の表面部分に少ないエッチング液を供給し、反応的な作動のための手段 が、パネルの先頭、中央および末尾の表面部分が移動の進路に沿った規定の位置 に達した時に第１スプレーノズルを開閉するための手段を有し、チャンバの横方 向にスプレーノズルを軸回転的に振動させるための手段を有し、そこから供給さ れるスプレーエッチング液の方向を、チャンバーの横方向で変化させることを特 徴とする前記請求項１４に記載の装置。