JPH0750332B2 - 電子写真感光体 - Google Patents

電子写真感光体

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JPH0750332B2
JPH0750332B2 JP60194297A JP19429785A JPH0750332B2 JP H0750332 B2 JPH0750332 B2 JP H0750332B2 JP 60194297 A JP60194297 A JP 60194297A JP 19429785 A JP19429785 A JP 19429785A JP H0750332 B2 JPH0750332 B2 JP H0750332B2
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charge generation
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gas
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孝一 大嶋
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Ricoh Co Ltd
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    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03G—ELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
    • G03G5/00—Recording-members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat or to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
    • G03G5/02—Charge-receiving layers
    • G03G5/04—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor
    • G03G5/08—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic
    • G03G5/082—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic and not being incorporated in a bonding material, e.g. vacuum deposited
    • G03G5/08214—Silicon-based
    • G03G5/08221—Silicon-based comprising one or two silicon based layers

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Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は電荷発生層にアモルフアスSi〜Ge系電荷発生材
料を用いた機能分離型電子写真感光体に関する。
従来技術 導電性支持体上に電荷発生層及び電荷輸送層を設けたい
わゆる機能分離型電子写真感光体として特公昭56-1943
号公報、特公昭56-24352号公報等には電荷発生層にa−
Si(aはアモルフアスを表わす。以下同様)、a−SiN,
a−SiC等のa−Si系電荷発生材料を用いたものが知られ
ている。この種の感光体は無公害であり、広い分光感度
領域を有し、またきわめて長寿命であるという特長を持
つことで知られているが、感光体の全層をa−Siで構成
すると製造コストが高く、また波長700nm以上の光感度
が低い上、450〜700nmの光に対しても充分な感度がある
とは云えない。
目的 本発明の目的は安価なアモルフアスSi〜Ge系電荷発生材
料を用いることにより製造コストを低下せしめ、しかも
低波長域から高波長域に亘つて光感度を向上させた機能
分離型の電子写真感光体を提供することである。
構成 本発明の電子写真感光体は導電性支持体上に電荷発生層
及び電荷輸送層を順次設けた電子写真感光体において、
電荷発生層が、シリコン及びゲルマニウムを母体とし、
更にこれらの電荷発生層が水素及び/又はハロゲン原子
を含む、下記一般式で示されるアモルフアスSi-Ge系電
荷発生材料からなると共に、電荷発生層が空乏層を中間
に配した前記電荷発生材料のP型層、N型層の3層構造
であることを特徴とするものである。
a−(Si1-xGex)1-y(H,X)y (但し0<x<1,0.05<y<0.6で、aはアモルフア
ス、Xはハロゲン原子を表わす。) 前記式で示される本発明のa−Si〜Ge系電荷発生材料か
らなる電荷発生層は電磁波により移動可能なキヤリアを
発生し、このうち易動度の大きいキヤリアが電荷輸送層
に効率よく注入輸送されるように、電荷輸送層が積層さ
れている。このため本発明では例えば電荷輸送材料の電
子の易動度が大きい場合、電荷輸送材料の電子輸送準位
を電荷発生層の伝導帯に近付けてこれらの異種材料のマ
ツチングをとり、注入効率及び輸送の容易性を計ること
ができる。またホールを光減衰キヤリアに使用する場合
も同様に異種材料とのマツチングが可能である。
本発明を図面によって説明すると、第1,2,4図は本発明
の基本的感光体及びその変形を示す参考図である。第1
図は基本的感光体の構成図で、この感光体は導電性支持
体1と電荷発生層2と電荷輸送層3とからなっている。
第2図の感光体は第1図の感光体において支持体1と電
荷発生層2との間に更にブロッキング層4を設けたもの
である。第4図の感光体は第1図の感光体において支持
体1に対する電荷発生層2及び電荷輸送層3の配置を逆
にした上、支持体1と電荷輸送層3との間にブロッキン
グ層4を設けたものである。第3図は本発明の感光体で
あり、第1図の感光体において電荷発生層2とP型層2
−1と空乏層2−2とN型層2−3とに分けたものであ
る。
以上のような本発明の感光体において電荷発生層2は暗
導電度が10-10〜10-6Ω-1cm-1と低いが、光エネルギー
1.5eVにおける吸収係数が約105cm-1と800nm近くの光に
対して大きい。このため本発明の電荷発生層はa−Si単
独の電荷発生層に比べて長波長に分光増感されるという
特長を持つている。このような特長を発揮させるには適
切なSiとGeとの組成比(実用的にはGe/(Ge+Si)比を
用いる。)及び膜厚が必要である。例えば前記一般式
中、x=0.5の組成の場合、膜厚は0.1〜3μが最適であ
る。しかし一般には0<x<1の範囲において膜厚は通
常の場合(第1〜2図及び第4図)0.05〜10μの範囲で
変化し得る。このように本発明の電荷発生層は、露光
時、この層内に発生したホールと電子とを効果的に分離
して量子効率を向上するために第3図に示すようにP型
層2−1と空乏層2−2とN型層2−3との3層構成に
する。ここでP型層2−1の構成材料としては前記一般
式の電荷発生材料にB,Al,Ga,In,Tl等をドープしたもの
が、またN型層2−3の構成材料としては同じく前記一
般式の電荷発生材料にN,P,As,Sb,Bi等をドープしたもの
が使用される。なお第3図のようなP型層2−1及びN
型層2−3の支持体に対する配置は前記発生した電子を
電荷輸送層3に注入する場合であるが、発生したホール
を電荷輸送層3に注入する場合はP型層2−1及びN型
層2−3は逆の配置(支持体側からN型層、P型層の
順)にする必要がある。いずれにしてもP型層2−1、
空乏層2−2、N型層2−3の厚さは前記一般式中で0
<x<1の範囲では夫々0.01〜1.0μ、0.2〜2.0μ、0.0
2〜1.0μが適当である。
電荷輸送層3は従来と同じく電荷輸送材料を主成分とし
て構成される。電荷輸送材料には高分子のものと低分子
のものとがあり、高分子のものではV2O5を含むガラス
半導体、ポリ−N−ビニルカルバゾール及びその誘導体
(例えばハロゲン化ポリ−N−ビニルカルバゾール)、
ポリビニルピレン及びその誘導体、ポリビニルインドロ
キノキサリン、ポリビニルジベンゾチオフエン、ポリビ
ニルアントラセン、ポリビニルアクリジンなどのビニル
重合体やピレン〜ホルムアルデヒド樹脂、ブロムピレン
〜ホルムアルデヒド樹脂、エチルカルバゾール〜ホルム
アルデヒド樹脂、クロロエチルカルバゾール〜ホルムア
ルデヒド樹脂などの縮合樹脂がある。また低分子のもの
はトリアリールメタン類、トリアリールアルカン類およ
びテトラアリールメタン類、ジアリールアルカン類、N,
N−ジベンジルアニリン誘導体、アニリン誘導体、ジス
チリル含有芳香族化合物、ポリアリール炭化水素、トリ
トリルアミン、アリールアミン類、4−ジアリールアミ
ノ置換カルコン類、フルオレノン類、ピラゾリン類、オ
キサジアゾール類、チアジアゾール類、トリアゾール
類、イミダゾロン類、オキサゾール類、チアゾール類、
イミダゾール類、ビスイミダゾリジン類、ピラジン類、
1,2,4−トリアジン類、アリリデンオキサゾロン類、ベ
ンゾチアゾール、ベンズイミダゾール、ベンズオキサゾ
ール類、キナゾリン類、ベンゾフラン類、アクリジン及
びフエナジン類、カルバゾール類、エチレン誘導体、ベ
ンジリデンアニリン類、ポリエン類、アミノスチルベン
類、アリールケトン類などであり、更に具体的にはフル
オレノン、2−ニトロ−9−フルオレノン、2,7−ジニ
トロ−9−フルオレノン、2,4,7−トリニトロ−9−フ
ルオレノン、2,4,5,7−テトラニトロ−9−フルオレノ
ン、4H−インデノ〔1,2,−b〕チオフエン−4−オン、
2−ニトロ−4H−インデノ〔1,2−b〕チオフエン−4
−オン、2,6,8−トリニトロ−4H−インデノ〔1,2−b〕
チオフエン−4−オン、8H−インデノ〔2,1−b〕チオ
フエン−8−オン、2−ニトロ−8H−インデノ〔2,1−
b〕チオフエン−8−オン、2−ブロム−6,8−ジニト
ロ−4H−インデノ〔1,2−b〕チオフエン、6,8−ジニト
ロ−4H−インデノ〔1,2−b〕チオフエン、2−ニトロ
ジベンゾチオフエン、2,8−ジニトロジベンゾチオフエ
ン、3−ニトロ−ジベンゾチオフエン−5−オキサイ
ド、3,7−ジニトロ−ジベンゾチオフエン−5−オキサ
イド、1,3,7−トリニトロ−ジベンゾチオフエン−5,5−
ジオキサイド、3−ニトロ−ジベンゾチオフエン−5,5
−ジオキサイド、3,7−ジニトロ−ジベンゾチオフエン
−5,5−ジオキサイド、4−ジシアノメチレン−4H−イ
ンデノ〔1,2−b〕チオフエン、6,8−ジニトロ−4−ジ
シアノメチレン−4H−インデノ〔1,2−b〕チオフエ
ン、1,3,7,9−テトラニトロベンゾ〔c〕シンノリン−
5−オキサイド、2,4,10−トリニトロベンゾ〔c〕シン
ノリン−6−オキサイド、2,4,8−トリニトロベンゾ
〔c〕シンノリン−6−オキサイド、2,4,8−トリニト
ロチオキサントン、2,4,7−トリニトロ−9,10−フエナ
ンスレンキノン、1,4−ナフトキノンベンゾ〔a〕アン
スラセン−7,12−ジオン、2,4,7−トリニトロ−9−ジ
シアノメチレンフルオレン、テトラクロル無水フタル
酸、1−ブロムピレン、1−メチルピレン、1−エチル
ピレン、1−アセチルピレン、カルバゾール、N−エチ
ルカルバゾール、N−β−クロロエチルカルバゾール、
N−β−ヒドロキシエチルカルバゾール、2−フエニル
インドール、2−フエニルナフタレン、2,5−ビス(4
−ジエチルアミノフエニル)−1,3,4−オキサジアゾー
ル、2,5−ビス(4−ジエチルアミノフエニル)−1,3,4
−トリアゾール、1−フエニル−3−(4−ジエチルア
ミノスチリル)−5−(4−ジエチルアミノフエニル)
ピラゾリン、2−フエニル−4−(4−ジエチルアミノ
フエニル)−5−フエニルオキサゾール、トリフエニル
アミン、トリス(4−ジエチルアミノフエニル)メタ
ン、8,6−ビス(ジベンジルアミノ)−9−エチルカル
バゾール、4,4′−ビス(ジベンゾルアミノ)ジフエニ
ルメタン、4,4′−ビス(ジベンジルアミノ)ジフエニ
ルエーテル、1,1−ビス(4−ジベンジルアミノフエニ
ル)プロパン、2−(a−ナフチル)−5−(4−ジエ
チルアモノフエニル)−1,3,4−キオサジアゾール、2
−スチリル−5−(3−N−エチルカルバノゾリル)−
1,3,4−オキサジアゾール、2−(4−メトキシフエニ
ル)−5−(3−N−エチルカルバゾリル)−1,3,4−
オキサジアゾール、2−(4−ジエチルアミノフエニ
ル)−5−(3−N−エチルカルバゾリル)−1,3,4−
オキサジアゾール、9−(4−ジエチルアミノスチリ
ル)アントラセン、9−(4−ジメチルアミノスチリ
ル)アントラセン、a−(9−アニトリル)−β−(3
−N−エチルカルバゾリル)エチレン、5−メチル−2
−(4−ジエチルアミノスチリル)ベンゾオキサゾー
ル、9−(4−ジメチルアミノベンジリデン)フルオレ
ン、N−エチル−3−(9−フルオレニリデン)カルバ
ゾール、2,6−ビス(4−ジエチルアミノスチリル)ピ
リジン、メチルフエニルヒドラゾノ−3−メチリデン−
9−エチルカルバゾール、メチルフエニルヒドラゾノ−
4−メチリデン−N,N−ジエチルアニリン、4−N,N−ジ
フエニルアミノスチルベン、α−フエニル−4−N,N−
ジフエニルアミノスチルベンなどが挙げられる。
また高分子電荷輸送材料の場合は電子受容性化合物と混
合して電荷輸送錯体として使用することができる。更に
電荷輸送材料、特に低分子電荷輸送材料には結着剤を併
用することができる。
ここで電子受容性化合物としてはカルボン酸無水物、オ
ルソー又はパラーキノイド構造など、電子受容性の母核
構造を有する化合物、ニトロ基、シアノ基など電子受容
性の置換基を有する脂肪環式化合物、芳香族化合物、複
素環式化合物などがあり、更に具体的には無水マレイン
酸、無水フタル酸、テトラクロル無水フタル酸、テトラ
ブロム無水フタル酸、無水ナフタル酸、無水ピロメリツ
ト酸、クロル−p−ベンゾキノン、2,5−ジクロルベン
ゾキノン、2,6−ジクロルベンゾキノン、5,8−ジクロル
ナフトキノン、o−クロルアニル、o−ブロムアニル、
p−クロルアニル、p−ブロムアニル、p−ヨードアニ
ル、テトラシアノキノジメタン、5,6−キノリンジオ
ン、クマリン−2,2−ジオン、オキシインジルビン、オ
キシインジコ、1,2−ジニトロエタン、2,2−ジニトロプ
ロパン、2−ニトロ−2−ニトロソプロパン、イミノジ
アセトニトリル、スクシノニトリル、テトラシアノエチ
レン、1,1,3,3−テトラシアノプロペニド、o−,m−又
はp−ジニトロベンゼン、1,2,3−トリニトロベンゼ
ン、1,2,4−トリニトロベンゼン、1,3,5−トリニトロベ
ンゼン、ジニトロジベンジン、2,4−ジニトロアセトフ
エノン、2,4−ジニトロトルエン、1,3,5−トリニトロベ
ンゾフエノン、1,2,3−トリニトロアニソール、α,β
−ジニトロナフタレン、1,4,5,6−テトラニトロナフタ
レン、3,4,5−トリニトロ−1,2−ジメチルベンゼン、3
−ニトロソ−2−ニトロトルエン、2−ニトロソ−3,5
−ジニトロトルエン、o−,m−又はp−ニトロニトロソ
ベンゼン、フタロニトリル、テレフタロニトリル、イソ
フタロニトリル、シアン化ベンゾイル、シアン化ブロム
ベンジル、シアン化キノリン、シアン化o−キシリレ
ン、o−,m−又はp−シアン化ニトロベンジル、3,5−
ジニトロピリジン、3−ニトロ−2−ピリジン、3,4−
ジシアノピリジン、α−,β−又はγ−シアノピリジ
ン、4,6−ジニトロキノン、4−ニトロキサントン、9,1
0−ジニトロアントラセン、1−ニトロアントラセン、
2−ニトロフエナントレンキノン、2,5−ジニトロフル
オレノン、2,6−ジニトロフルオレノン、3,6−ジニトロ
フルオレノン、2,7−ジニトロフルオレノン、2,4,7−ト
リニトロフルオレノン、2,4,5,7−テトラニトロフルオ
レノン、3,6−ジニトロフルオレノンマンデノニトリ
ル、3−ニトロロフルオレノンマンデノニトリル、テト
ラシアノピレンなどがある。
一方、結着剤としては無機質のセラミクスやゴム、種々
のフイルム形性能のある高分子化合物や樹脂類が使用さ
れる。分子量は約1万以上のものが好適である。具体例
をあげると、水ガラス、低融点ガラス、スミセラム(住
友化学)、シリコンゴム、シリコン樹脂、ポリカーボネ
ート、ポリアミド、ポリウレタン、エポキシ樹脂、ポリ
ケトン、ポリメチルメタクリレート、ポリメチルアクリ
レート、ポリブチルアクリレート、ポリ塩化ビニル、塩
化ビニル−酢酸ビニルコポリマー、塩化ビニリデン−塩
化ビニルコポリマー、塩化ビニリデン−アクリロニトリ
ルコポリマー、ポリビニルケトン、ポリ−N−ビニルカ
ルバゾール、ポリスチレン、ポリ−α−メチルスチレ
ン、ポリビニルブチラール、ポリビニルホルマール、ポ
リビニルピロリドン、ポリビニルアルコール、ポリアク
リルアミド、ポリアクリロニトリル、ジアセチルセルロ
ース、トリアセチルセルローズ、セルロースアセテート
ブチレート、セルロースアセテートフタレート、エチル
セルロース、シアノエチルセルロース、ポリエステル、
ポリアミド、スチレン−ブタジエンコポリマー、スチレ
ン−メチルメタクリレートコポリマー、スチレン−アク
リロニトリルコポリマー、アクリロニトリル−ブタジエ
ン−スチレンコポリマー、塩化ビニリデン−酢酸ビニル
コポリマー、塩素化ポリエチレン、塩素化ポリプロピレ
ン、フエノールホルムアルデヒド樹脂などである。
なお電荷輸送層3中の電荷輸送材料の割合は10〜95重量
%、好ましくは30〜90重量%が適当である。また電荷輸
送層3の厚さは3〜50μ、好ましくは5〜30μ程度が適
当である。
第2図及び第4図に示したブロツキング層4は支持体1
側からの電荷注入を阻止して暗減衰を改良するために支
持体1上に設けられる。ブロツキング層4の構成材料と
してはAl2O3,SiO2,SiC,SiOC,BN,BCN,TiO2,ZrO2,MgF2等
の絶縁性無機物が使用される。ブロツキング層4の厚さ
は300Å〜1μの範囲が適当である。
次に第4図に示した保護層5は感光体表面を保護するた
めに設けられる。保護層の構成材料の代表例としてはポ
リエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリプ
ロピレン、ポリ塩化ビニル等が挙げられる。保護層5の
厚さは0.5〜50μ程度が適当である。
以上の各層を支持する導電性支持体1としてはステンレ
ス、Al,Cr,Mo,Au,Ir,Nb,Ta,V,Ti,Pt,Pd等の金属又はそ
れらの合金からなる板;前記金属又は金属の箔をプラス
チツクフイルム(例えばポリエステル、ポリカーボネー
ト、ポリエチレン、セルローストリアセテート、ポリプ
ロピレン、塩化ビニル−塩化ビニリデンコポリマー、ポ
リスチレン、ポリアミド等のフイルム)、ガラス板、セ
ラミツク板、紙等に蒸着又は積層した複合体;ガラス板
上にIn2O3,SnO2,ITO等を蒸着した複合体;前述のよう
な樹脂プラスチツクフイルム中にAl,Ag,Pb,Zn,Au,Cr,M
o,Ir,Nb,Ta,V,Ti,Pt,Pd等の金属を添加したもの等が挙
げられる。
本発明の感光体を作るには例えば第1図の感光体の場合
は導電性支持体1上に前記一般式の電荷発生材料の原料
ガスをプラズマCVD法により堆積せしめて電荷発生層2
を形成した後、その上に電荷輸送材料を例えば塗布法に
よりコートして電荷輸送層3を形成すればよい。なお第
2図及び第4図の感光体の場合、ブロツキング層4に同
様なプラズマCVD法で、また第3図の感光体の場合、PN
接合を有する電荷発生層2も同様なプラズマCVD法で形
成することができる。
以下に本発明を実施例によつて説明する。
参考例1 (a−Si1-xGex:H層の作成) 清浄化処理したAl基板(60×100mm2)を第5図に示すよ
うなプラズマCVD装置(図中、1は導電性支持体、10は
ベルジャー、11は電極、12はヒーター、13は排気バル
ブ、14はガスバルブ、15は絶縁ガイシ、16は高周波電
源、17〜21はガスフローコントローラー、22〜26はガス
バルブ、27〜31は原料ガス、希釈ガス又はドープガス用
ボンベ)の電極11に1で示すように取付けた後、ベルジ
ャー10を閉じ真空排気した。一方、ガスボンベ27〜31の
いずれか1つには夫々、原料ガスとして各々SiH4及びGe
H4、及び希釈ガスとしてH2を充填した。次に所定の操
作に従って下記条件下でAl基板上にa−Si1-xGex:H(但
しx=0.5)を均一に堆積させることにより、約1μ厚
の電荷発生層を形成した。
全ガス流量 200SCCH ガス組成比 GeH4/(GeH4+SiH4)=0.5 希釈率 (GeH4+SiH4)H2=1/10 基板温度 230〜250℃ 高周波出力 100〜300W(13.56MH2) 堆積時間 3時間 この電荷発生層内のSiとGeとの組成比はGe/(Ge+Si)
比で約0.5であり、また光学的バンドギャップEgoptは約
1.4eVであった。別にa−Si1-xGex:H中の組成比xを0
〜1の間で変化させて各種の電荷発生層を作った。この
時の組成比xと光学的バンドギャップEgoptとの関係を
第6図に示す。
実施例1 参考例のa−Si1-xGex:H層の作成に用いたガスボンベの
残りのガスボンベの1つにH2をベースとしたB2H
6を、また他の1つにH2をベースとしたPH3を充填し、
H2ベースPH3とSiH4とGeH4とを混合比B2H6/(SiH4+
GeH4)=0.03のガスを用いて、参考例と同様の方法でAl
基板上にPドープa−Si1-xGex:H(但しx≒0.4)を均
一に堆積させて約0.5μ厚のN型層を形成した後、Bド
ープしないa−Si1-xGex:H(但しx≒0.4)を約0.1μ厚
に堆積させた。
その上に前記H2ベースとB2H6とSiH4とGeH4とを混合
比B2H6/(SiH4+GeH4)=0.01のガスを用いて、Bド
ープa−Si1-xGex:H(但しx≒0.4)を均一に堆積させ
て、約0.3μ厚のP型層を作成することにより、3層構
成の電荷発生層を設けた。更にその上に電荷輸送層形成
液としてTNF/ブチラール樹脂=1:2(重量比)の混合物
をテトラヒドロフランに溶解した溶液を用い、厚さ20μ
の電荷輸送層を設けた。
こうして得られた感光体に暗中で負コロナ放電により表
面電位を約−500Vとし、ついで100luxの白色光で光減衰
させたところ、比較例に比して光感度の向上が見られ
た。その結果を第7図に示す。
実施例2 実施例1のボンベの1つにN2ガスを充填し、a−Si1-x
Gex:Hを堆積させる前にAl基板上に混合比1:1でSiH4とN
2とを混合して流すことにより約0.3μ厚のa−Si3N4製
ブロッキング層を形成した他は実施例1と同じ方法で感
光体を作成した。
比較例 参考例と同様にしてAl基板にa−Si1-xGex:Hを均一に堆
積させ電荷発生層を形成し、その上に電荷輸送層形成液
として3−メチルヒドラゾンメチルリデン−9−エチル
カルバゾール/ポリカーボネート樹脂=1:5(重量比)
の混合物をテトラヒドロフランに溶解した溶液を用い、
厚さ20μの電荷輸送層を設け感光体を作成した。この感
光体を実施例1と同様に試験した結果を第7図に示す。
効果 以上のように電荷発生材料としてa−(Si1-xGex)1-y
(H,X)yを用いたので、本発明の感光体は製造コストが
安く、また波長700nm以上、特に800nm以上の光に対して
も実用的な感度を有し、しかも800nm以下の光に対して
高感度である。その他1)耐光疲労やくり返し疲労が少
ない、2)高濃度、高解像度、ハーフトーンの鮮明な高
品質画像が得られる、3)無公害である等の特長を持つ
ている。
【図面の簡単な説明】
第3図は本発明の感光体の断面図を示し、第1,2,4図は
基本的感光体及びその変形型の感光体の参考断面図、第
5図は実施例で用いたプラズマCVD装置の概略図、第6
図は参考例で作成した電荷発生層の構成材料a−Si1-xG
ex:Hの組成比xと光学的バンドギヤツプとの関係図、第
7図は実施例1の本発明の感光体と比較例の感光体にお
ける露光量と表面電位との関係図である。 1……導電性支持体、2……電荷発生層 3……電荷輸送層、4……ブロツキング層 5……保護層、2−1……P型層 2−2……空乏層、2−3……N型層 10……ベルジヤー、11……電極 12……ヒーター、13……排気バルブ 14……ガスバルブ、15……絶縁ガイシ 16……高周波電源、17〜21……ガスフローコントローラ
ー 22〜26……ガスバルブ 27〜31……原料ガス、希釈ガス又はドープガス用ボンベ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭56−121041(JP,A) 特開 昭57−101849(JP,A) 特開 昭57−165838(JP,A) 特開 昭57−105745(JP,A) 特開 昭54−98588(JP,A) 特開 昭57−202546(JP,A) 特開 昭56−142680(JP,A) 特開 昭59−200244(JP,A) 実開 昭57−23544(JP,U) 実開 昭55−121239(JP,U)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】導電性支持体上に電荷発生層及び電荷輸送
    層を順次設けた電子写真感光体において、電荷発生層が
    シリコン及びゲルマニウムを母体とし、更にこれらの電
    荷発生層が水素及び/又はハロゲン原子を含む、下記一
    般式で示されるアモルファスSi-Ge系電荷発生材料から
    なると共に、電荷発生層が空乏層を中間に配した前記電
    荷発生材料のP型層、N型層の3層構造であることを特
    徴とする電子写真感光体。 a−(Si1-xGex)1-y(H,X)y (但し0<x<1,0.05<y<0.6で、aはアモルファ
    ス、xはハロゲン原子を表す。)
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